RU76164U1 - Газоразрядный источник ионов - Google Patents
Газоразрядный источник ионов Download PDFInfo
- Publication number
- RU76164U1 RU76164U1 RU2008115297/22U RU2008115297U RU76164U1 RU 76164 U1 RU76164 U1 RU 76164U1 RU 2008115297/22 U RU2008115297/22 U RU 2008115297/22U RU 2008115297 U RU2008115297 U RU 2008115297U RU 76164 U1 RU76164 U1 RU 76164U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- gas
- ion
- anode
- source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены из проводящего материала в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.
Description
Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Известен источник ионов с разрядом Пеннинга с холодным катодом. Neutron accelerator tube having improved ionization section. Патент США №4.282.440, МПК: Н01J 47/06 1981.
Газоразрядная камера источника ионов образована цилиндрическим анодом и холодным катодом, состоящим из двух расположенных соосно с анодом дисков. Диски размещены у торцов цилиндрического анода. В одном из дисков имеется отверстие для извлечения ионов. В цилиндрическом объеме, ограниченном анодом и дисками, создают магнитное поле, параллельное оси системы. Анод и катод размещены в объеме вакуумной камеры, в которую подают рабочий газ. Между анодом и катодом прикладывают напряжение, в результате чего имеющиеся в газоразрядной камере электроны ускоряются и ионизируют молекулы газа. Образовавшиеся ионы двигаются к катоду. Часть ионов выходит из источника через отверстие в катоде, а часть бомбардирует катод, выбивая из него электроны.
Кроме того, при наличии на поверхности катода микронеоднородностей, электроны эмитируются с них в результате автоэлектронной эмиссии. Эффективность ионизации рабочего газа зависит от величины коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии и величины автоэлектронной эмиссии на поверхности катода.
На поверхности свежих катодов, как правило, имеются пленки окислов. Однако эти пленки быстро распыляются в результате ионной бомбардировки катода. Быстро распыляются и микронеоднородности, являющиеся источником автоэлектронной эмиссии. По этой причине эффективность источника стабилизируется на уровне, соответствующем
чистой, гладкой поверхности катода.
Известен газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, в котором катод выполнен из проводящей ленты или фольги, имеющей на поверхности слой с высоким коэффициентом вторичной ионноэлектронной эмиссии, путем плотной цилиндрической намотки, причем торец катода расположен в газоразрядной камере источника ионов. Патент Российской Федерации №2233505, МПК: H01J 17/06, 2004. Прототип.
Недостатком такой конструкции является отсутствие концентрации разряда по оси источника ионов. Несмотря на высокую вторичную ионно-электронную эмиссию с торцов катода и антикатода этого источника, концентрация ионов в области отверстия для извлечения ионов оказывается относительно небольшой из-за низкой концентрации разряда по оси источника.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены цилиндрической намоткой из проводящего материала в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1 и фиг.2.
На фиг.1 изображена структурная схема газоразрядного источника ионов, а на фиг.2. представлен вид рабочей поверхности катода со стороны
газоразрядной камеры.
Газоразрядный источник ионов (фиг.1) состоит из цилиндрической вакуумной камеры 1 из немагнитного материала. В камере 1 расположен анод 2 цилиндрической формы и неподогреваемый катод 3, состоящий из двух соединенных электрически частей, размещенных соосно с анодом 2 у его торцов. В одной части катода 3 имеется отверстие 4 для извлечения ионов.
Каждая часть катода 3 изготовлена из тонкой окисленной с поверхности из соединения тонких алюминиевых пластин, края которых и образуют торцы частей катода 3. Цилиндрическая вакуумная камера 1 размещена в полости цилиндрического магнита 5, создающего магнитное поле в газоразрядной камере источника ионов.
На рабочей поверхности катода 3 присутствуют окислы, обеспечивающие повышенную эмиссию электронов. Распыление окислов до чистого алюминия невозможно. Кроме того, в результате различия в скоростях распыления чистого алюминия и окисла на рабочей поверхности появляется микронеоднородность, увеличивающая автоэлектронную эмиссию. В результате наличия на рабочей поверхности катода 3 следов окислов и микронеоднородностей при длительной эксплуатации эффективность ионизации рабочего газа увеличена по сравнению с прототипом.
Claims (1)
- Газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, отличающийся тем, что по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | Газоразрядный источник ионов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | Газоразрядный источник ионов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU76164U1 true RU76164U1 (ru) | 2008-09-10 |
Family
ID=39867358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | Газоразрядный источник ионов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU76164U1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU192776U1 (ru) * | 2019-06-13 | 2019-10-01 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Импульсный источник ионов пеннинга |
-
2008
- 2008-04-22 RU RU2008115297/22U patent/RU76164U1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU192776U1 (ru) * | 2019-06-13 | 2019-10-01 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Импульсный источник ионов пеннинга |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3460745A (en) | Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell | |
JP2006511921A (ja) | スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ | |
RU2004123675A (ru) | Ионный ускоритель | |
CN109192641B (zh) | 一种潘宁冷阴极离子源 | |
CN104716009A (zh) | 一种基于真空紫外光电离和大气压电离的复合电离源 | |
RU76164U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
CN112164644A (zh) | 潘宁离子源 | |
RU76163U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
CN111146049A (zh) | 一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源 | |
CN212907638U (zh) | 潘宁离子源 | |
CN112599397B (zh) | 一种储存式离子源 | |
JP2011003425A (ja) | イオンポンプ | |
CN209963019U (zh) | 一种用于磁质谱仪的高效离子源 | |
RU76749U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
US3746474A (en) | Ionic vacuum pump | |
JP2000076987A (ja) | 冷陰極電子銃 | |
RU2233505C2 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
RU2371804C1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
RU158216U1 (ru) | Источник быстрых нейтральных частиц | |
RU2797815C2 (ru) | Откачное вакуумное устройство | |
US10358713B2 (en) | Surrounding field sputtering source | |
CN211125564U (zh) | 一种光学镀膜辅助离子源 | |
RU2035790C1 (ru) | Полый катод плазменного эмиттера ионов | |
US20230245878A1 (en) | Mass spectrometer | |
RU2294578C1 (ru) | Ленточный плазменный эмиттер ионов |