RU76164U1 - Газоразрядный источник ионов - Google Patents

Газоразрядный источник ионов Download PDF

Info

Publication number
RU76164U1
RU76164U1 RU2008115297/22U RU2008115297U RU76164U1 RU 76164 U1 RU76164 U1 RU 76164U1 RU 2008115297/22 U RU2008115297/22 U RU 2008115297/22U RU 2008115297 U RU2008115297 U RU 2008115297U RU 76164 U1 RU76164 U1 RU 76164U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
gas
ion
anode
source
Prior art date
Application number
RU2008115297/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Петрович Боголюбов
Сергей Владимирович Сыромуков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority to RU2008115297/22U priority Critical patent/RU76164U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU76164U1 publication Critical patent/RU76164U1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены из проводящего материала в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.

Description

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Известен источник ионов с разрядом Пеннинга с холодным катодом. Neutron accelerator tube having improved ionization section. Патент США №4.282.440, МПК: Н01J 47/06 1981.
Газоразрядная камера источника ионов образована цилиндрическим анодом и холодным катодом, состоящим из двух расположенных соосно с анодом дисков. Диски размещены у торцов цилиндрического анода. В одном из дисков имеется отверстие для извлечения ионов. В цилиндрическом объеме, ограниченном анодом и дисками, создают магнитное поле, параллельное оси системы. Анод и катод размещены в объеме вакуумной камеры, в которую подают рабочий газ. Между анодом и катодом прикладывают напряжение, в результате чего имеющиеся в газоразрядной камере электроны ускоряются и ионизируют молекулы газа. Образовавшиеся ионы двигаются к катоду. Часть ионов выходит из источника через отверстие в катоде, а часть бомбардирует катод, выбивая из него электроны.
Кроме того, при наличии на поверхности катода микронеоднородностей, электроны эмитируются с них в результате автоэлектронной эмиссии. Эффективность ионизации рабочего газа зависит от величины коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии и величины автоэлектронной эмиссии на поверхности катода.
На поверхности свежих катодов, как правило, имеются пленки окислов. Однако эти пленки быстро распыляются в результате ионной бомбардировки катода. Быстро распыляются и микронеоднородности, являющиеся источником автоэлектронной эмиссии. По этой причине эффективность источника стабилизируется на уровне, соответствующем
чистой, гладкой поверхности катода.
Известен газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, в котором катод выполнен из проводящей ленты или фольги, имеющей на поверхности слой с высоким коэффициентом вторичной ионноэлектронной эмиссии, путем плотной цилиндрической намотки, причем торец катода расположен в газоразрядной камере источника ионов. Патент Российской Федерации №2233505, МПК: H01J 17/06, 2004. Прототип.
Недостатком такой конструкции является отсутствие концентрации разряда по оси источника ионов. Несмотря на высокую вторичную ионно-электронную эмиссию с торцов катода и антикатода этого источника, концентрация ионов в области отверстия для извлечения ионов оказывается относительно небольшой из-за низкой концентрации разряда по оси источника.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены цилиндрической намоткой из проводящего материала в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1 и фиг.2.
На фиг.1 изображена структурная схема газоразрядного источника ионов, а на фиг.2. представлен вид рабочей поверхности катода со стороны
газоразрядной камеры.
Газоразрядный источник ионов (фиг.1) состоит из цилиндрической вакуумной камеры 1 из немагнитного материала. В камере 1 расположен анод 2 цилиндрической формы и неподогреваемый катод 3, состоящий из двух соединенных электрически частей, размещенных соосно с анодом 2 у его торцов. В одной части катода 3 имеется отверстие 4 для извлечения ионов.
Каждая часть катода 3 изготовлена из тонкой окисленной с поверхности из соединения тонких алюминиевых пластин, края которых и образуют торцы частей катода 3. Цилиндрическая вакуумная камера 1 размещена в полости цилиндрического магнита 5, создающего магнитное поле в газоразрядной камере источника ионов.
На рабочей поверхности катода 3 присутствуют окислы, обеспечивающие повышенную эмиссию электронов. Распыление окислов до чистого алюминия невозможно. Кроме того, в результате различия в скоростях распыления чистого алюминия и окисла на рабочей поверхности появляется микронеоднородность, увеличивающая автоэлектронную эмиссию. В результате наличия на рабочей поверхности катода 3 следов окислов и микронеоднородностей при длительной эксплуатации эффективность ионизации рабочего газа увеличена по сравнению с прототипом.

Claims (1)

  1. Газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, отличающийся тем, что по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены в виде сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности листов, краями которых и образован торец катода.
    Figure 00000001
RU2008115297/22U 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов RU76164U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU76164U1 true RU76164U1 (ru) 2008-09-10

Family

ID=39867358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008115297/22U RU76164U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU76164U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU192776U1 (ru) * 2019-06-13 2019-10-01 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Импульсный источник ионов пеннинга

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU192776U1 (ru) * 2019-06-13 2019-10-01 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Импульсный источник ионов пеннинга

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3460745A (en) Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell
JP2006511921A (ja) スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ
RU2004123675A (ru) Ионный ускоритель
CN109192641B (zh) 一种潘宁冷阴极离子源
CN104716009A (zh) 一种基于真空紫外光电离和大气压电离的复合电离源
RU76164U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN112164644A (zh) 潘宁离子源
RU76163U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN111146049A (zh) 一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源
CN212907638U (zh) 潘宁离子源
CN112599397B (zh) 一种储存式离子源
JP2011003425A (ja) イオンポンプ
CN209963019U (zh) 一种用于磁质谱仪的高效离子源
RU76749U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US3746474A (en) Ionic vacuum pump
JP2000076987A (ja) 冷陰極電子銃
RU2233505C2 (ru) Газоразрядный источник ионов
RU2371804C1 (ru) Газоразрядный источник ионов
RU158216U1 (ru) Источник быстрых нейтральных частиц
RU2797815C2 (ru) Откачное вакуумное устройство
US10358713B2 (en) Surrounding field sputtering source
CN211125564U (zh) 一种光学镀膜辅助离子源
RU2035790C1 (ru) Полый катод плазменного эмиттера ионов
US20230245878A1 (en) Mass spectrometer
RU2294578C1 (ru) Ленточный плазменный эмиттер ионов