RU76749U1 - Газоразрядный источник ионов - Google Patents

Газоразрядный источник ионов Download PDF

Info

Publication number
RU76749U1
RU76749U1 RU2008115296/22U RU2008115296U RU76749U1 RU 76749 U1 RU76749 U1 RU 76749U1 RU 2008115296/22 U RU2008115296/22 U RU 2008115296/22U RU 2008115296 U RU2008115296 U RU 2008115296U RU 76749 U1 RU76749 U1 RU 76749U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
source
ions
axis
gas
Prior art date
Application number
RU2008115296/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Петрович Боголюбов
Сергей Владимирович Сыромуков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority to RU2008115296/22U priority Critical patent/RU76749U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU76749U1 publication Critical patent/RU76749U1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Техническим результатом полезной модели является увеличение концентрации разряда у оси источника ионов, увеличение концентрации ионов в области отверстия, через которое вытягиваются ионы, увеличение эффективности источника ионов.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, катод и антикатод выполнены в виде цилиндров, в которых аксиально оси источника на поверхностях, обращенных к оси, выполнены проточки, в проточках установлены шайбы из алюминиевой фольги, покрытой окисной пленкой.

Description

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Известен источник ионов, содержащий полый катод с выходным отверстием и перфорированной противоположной стенкой, кольцевой анод, магнитную систему, ускоряющий электрод, диск и герметизированную полость, образованную диском и стенкой полого катода с торцевым зазором, выходящим в сторону оси симметрии, тепловой затвор, через который к стержню основанием прикреплен конус из материала с высоким коэффициентом вторичной эмиссии. Авторское свидетельство СССР, МПК: Н01J 27/04, 1996 г.
Известен газоразрядный источник ионов, включающий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, в котором катод выполнен из проводящей ленты или фольги, имеющей на поверхности слой с высоким коэффициентом вторичной ионноэлектронной эмиссии, путем плотной цилиндрической намотки, причем торец катода расположен в газоразрядной камере источника ионов. Проводящая лента или фольга выполнены из алюминия. Патент Российской Федерации №2233505, МПК: H01J17/06, 2004. Прототип.
Недостатком прототипа является отсутствие концентрации разряда по оси источника ионов. Несмотря на высокую вторичную ионно-электронную эмиссию с торцов катода и антикатода этого источника, концентрация ионов в области отверстия для извлечения ионов оказывается относительно небольшой из-за низкой концентрации разряда по оси источника.
Данная полезная модель устраняет недостатки аналога и прототипа.
Техническим результатом полезной модели является увеличение концентрации разряда у оси источника ионов, увеличение концентрации ионов в области отверстия, через которое вытягиваются ионы, увеличение эффективности источника ионов.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, анод, антикатод, катод с отверстием для извлечения ионов, катод и антикатод выполнены в виде цилиндров, в которых аксиально оси источника на поверхностях, обращенных к оси, выполнены проточки, в проточках установлены шайбы из алюминиевой фольги, покрытой окисной пленкой.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1-2.
На фиг.1 схематично представлен продольный разрез газоразрядного источника ионов, где: 1 - герметичный корпус, 2 - анод, 3 - катод, 4 -отверстие в катоде, 5 - антикатод, 6 - центральные цилиндрические проточки, 7 - шайбы из тонкой проводящей фольги покрытой тонким слоем вещества с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, в частности, шайбы из окисленной с поверхности алюминиевой фольги, 8 - продольное магнитное поле, 9 - магнит, 10 - ионы. На фиг.2 представлена шайба.
В проточках 6 катода 3 и антикатода 5 аксиально оси источника размещены шайбы 7 из проводящей фольги покрытой слоем вещества с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, например шайбы из окисленной с поверхности алюминиевой фольги.
Источник работает следующим образом. Между анодом 2 и катодом 3 и антикатодом 5 источника прикладывают напряжение, в результате чего имеющиеся в газоразрядной камере электроны ускоряются и ионизируют молекулы газа. Образовавшиеся ионы двигаются к катоду 3 и к антикатоду 5. Для увеличения длины пробега электронов в газоразрядной камере с помощью магнита 9 создано продольное магнитное поле 8. Часть ионов 10 выходит из источника через отверстие 4 в катоде 3, а часть бомбардирует катод 3 и антикатод 5, выбивая из них электроны. В катоде 3 и антикатоде 5 выполнены аксиальные цилиндрические проточки 6, обеспечивающие стягивание разряда к оси источника. Эффективность ионизации рабочего газа зависит от величины коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии и величины
автоэлектронной эмиссии на внутренних поверхностях цилиндрических проточек 6. Коэффициент ионно-электронной эмиссии в значительной степени зависит, от наличия на поверхности катода 3 пленок с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, например пленок окислов металлов. При наличии на поверхности катода 3 микронеоднородностей, электроны эмитируются с них в результате автоэлектронной эмиссии. На поверхности свежих катодов 3, как правило, имеются пленки окислов. Однако эти пленки быстро распыляются в результате ионной бомбардировки катода 3. Распыляются и микронеоднородности, являющиеся источником автоэлектронной эмиссии. По этой причине эффективность источника уменьшается и стабилизируется на уровне, соответствующем чистой, гладкой поверхности катода 3. Полезная модель направлена на увеличение эффективности источника ионов путем создания катода 3 и антикатода 5, на боковых рабочих поверхностях аксиальных проточек которых всегда находились бы микровключения, например, окислов металлов, обеспечивающие высокий коэффициент ионно-электронной эмиссии, и микронеоднородности, обеспечивающие повышенную автоэлектронную эмиссию с катода. Для этого в проточках 6 катода 3 и антикатода 5 аксиально оси источника размещены шайбы 7 из тонкой проводящей фольги покрытой тонким слоем вещества с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии. Шайбы 7 могут быть выполнены и из тонкой алюминиевой фольги на поверхности, которой всегда имеется пленка окисла.
В такой конструкции на рабочих поверхностях проточек 6 катода 3 и антикатода 5 всегда присутствуют окислы, обеспечивающие повышенную эмиссию электронов. При этом распыление окислов до чистого алюминия невозможно. Кроме того, в результате различия в скоростях распыления чистого алюминия и окисла на рабочей поверхности появляются микронеоднородности, увеличивающие автоэлектронную эмиссию.
В результате наличия на рабочих поверхностях следов окислов и микронеоднородностей, при длительной эксплуатации, эффективность ионизации рабочего газа не уменьшается.

Claims (1)

  1. Газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод, антикатод, катод с отверстием для извлечения ионов, отличающийся тем, что катод и антикатод выполнены в виде цилиндров, в которых аксиально оси источника на поверхностях, обращенных к оси, выполнены проточки, в проточках установлены шайбы из алюминиевой фольги, покрытой окисной пленкой.
    Figure 00000001
RU2008115296/22U 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов RU76749U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115296/22U RU76749U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115296/22U RU76749U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU76749U1 true RU76749U1 (ru) 2008-09-27

Family

ID=39929357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008115296/22U RU76749U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU76749U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080136309A1 (en) Ion source
US4122347A (en) Ion source
US3460745A (en) Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell
JP4171026B2 (ja) スパッタイオンポンプ
JP2006511921A (ja) スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ
RU2373603C1 (ru) Источник быстрых нейтральных атомов
RU76749U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN112164644A (zh) 潘宁离子源
RU2371804C1 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN111146049A (zh) 一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源
CN214012896U (zh) 一种新型离子源等离子体中和器
JP3147227B2 (ja) 冷陰極電子銃
JP2011003425A (ja) イオンポンプ
WO2001093293A1 (en) Plasma ion source and method
RU76164U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
RU107657U1 (ru) Форвакуумный плазменный электронный источник
RU76163U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US4004172A (en) Gas discharge electron gun for generating an electron beam by means of a glow discharge
JP2017107816A (ja) 熱電子放出用フィラメント、四重極質量分析計、及び残留ガス分析方法
RU2817406C1 (ru) Источник быстрых атомов для равномерного травления плоских диэлектрических подложек
JP2020173984A (ja) イオン源及びイオン注入装置並びにマグネシウムイオン生成方法
RU2817564C1 (ru) Источник быстрых атомов для травления диэлектриков
RU2796652C1 (ru) Устройство для формирования пучка кластерных или атомарных ионов газа
RU2821305C2 (ru) Узел подачи рабочего тела источника плазмы
JP2011513909A (ja) 高効率ガス充填ランプ

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20110423