RU76163U1 - Газоразрядный источник ионов - Google Patents

Газоразрядный источник ионов Download PDF

Info

Publication number
RU76163U1
RU76163U1 RU2008115295/22U RU2008115295U RU76163U1 RU 76163 U1 RU76163 U1 RU 76163U1 RU 2008115295/22 U RU2008115295/22 U RU 2008115295/22U RU 2008115295 U RU2008115295 U RU 2008115295U RU 76163 U1 RU76163 U1 RU 76163U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
gas discharge
ion
anode
discharge chamber
Prior art date
Application number
RU2008115295/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Петрович Боголюбов
Сергей Владимирович Сыромуков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority to RU2008115295/22U priority Critical patent/RU76163U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU76163U1 publication Critical patent/RU76163U1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены цилиндрической намоткой из сжатых, окисленных с поверхности алюминиевых проволочек, концами которых и образован торец катода.

Description

Полезная модель относится к устройствам для получения пучков ионов и может найти применение в ускорительной технике, ускорительных газонаполненных трубках генераторов нейтронов.
Известен источник ионов с разрядом Пеннинга с холодным катодом. Neutron accelerator tube having improved ionization section. Патент США №4.282.440, МПК: H01J 47/06 1981.
Газоразрядная камера источника ионов образована цилиндрическим анодом и холодным катодом, состоящим из двух расположенных соосно с анодом дисков. Диски размещены у торцов цилиндрического анода. В одном из дисков имеется отверстие для извлечения ионов. В цилиндрическом объеме, ограниченном анодом и дисками, создают магнитное поле, параллельное оси системы. Анод и катод размещены в объеме вакуумной камеры, в которую подан рабочий газ. Между анодом и катодом прикладывают напряжение, в результате чего имеющиеся в газоразрядной камере электроны ускоряются и ионизируют молекулы газа. Образовавшиеся ионы двигаются к катоду. Часть ионов выходит из источника через отверстие в катоде, а часть бомбардирует катод, выбивая из него электроны.
Кроме того, при наличии на поверхности катода микронеоднородностей, электроны эмитируются с них в результате автоэлектронной эмиссии. Эффективность ионизации рабочего газа зависит от величины коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии и величины автоэлектронной эмиссии на поверхности катода.
На поверхности свежих катодов, как правило, имеются пленки окислов. Однако эти пленки быстро распыляются в результате ионной бомбардировки катода. Быстро распыляются и микронеоднородности, являющиеся источником автоэлектронной эмиссии.
По этой причине эффективность источника стабилизируется на уровне, соответствующем чистой, гладкой поверхности катода.
Известен газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, в котором катод выполнен из проводящей ленты или фольги, имеющей на поверхности слой с высоким коэффициентом вторичной ионноэлектронной эмиссии, путем плотной цилиндрической намотки, причем торец катода расположен в газоразрядной камере источника ионов. Патент Российской Федерации №2233505, МПК: H01J 17/06.2004. Прототип.
Недостатком такой конструкции является отсутствие концентрации разряда по оси источника ионов. Несмотря на высокую вторичную ионно-электронную эмиссию с торцов катода и антикатода этого источника, концентрация ионов в области отверстия для извлечения ионов оказывается относительно небольшой из-за низкой концентрации разряда по оси источника.
Техническим результатом полезной модели является увеличение эффективности источника повышение коэффициента ионно-электронной эмиссии и повышение автоэлектронной эмиссии с катода.
Технический результат достигается тем, что в газоразрядном источнике ионов, содержащем газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены цилиндрической намоткой из сжатых, окисленных с поверхности алюминиевых проволочек, концами которых и образован торец катода.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1 и фиг.2.
На фиг.1 изображена структурная схема газоразрядного источника ионов, а на фиг.2 представлен вид рабочей поверхности катода со стороны газоразрядной камеры.
Газоразрядный источник ионов (фиг.1) состоит из цилиндрической
вакуумной камеры 1 из немагнитного материала. В камере 1 расположен анод 2 цилиндрической формы и неподогреваемый катод 3, состоящий из двух соединенных электрически частей, размещенных соосно с анодом 2 у его торцов. В одной части катода 3 имеется отверстие 4 для извлечения ионов.
Каждая часть катода 3 изготовлена из соединения тонких алюминиевых проволочек, концы которых образуют торцы частей катода 3. Цилиндрическая вакуумная камера 1 размещена в полости цилиндрического магнита 5, создающего магнитное поле в газоразрядной камере источника ионов.
На рабочей поверхности катода 3 присутствуют окислы, обеспечивающие повышенную эмиссию электронов. Распыление окислов до чистого алюминия невозможно. Кроме того, в результате различия в скоростях распыления чистого алюминия и окисла на рабочей поверхности появляется микронеоднородность, увеличивающая автоэлектронную эмиссию. В результате наличия на рабочей поверхности катода 3 следов окислов и микронеоднородностей при длительной эксплуатации эффективность ионизации рабочего газа увеличена по сравнению с прототипом.

Claims (1)

  1. Газоразрядный источник ионов, содержащий газоразрядную камеру, анод и неподогреваемый катод, выполненный из проводящего материала, покрытого слоем с высоким коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии, торец катода расположен в газоразрядной камере, отличающийся тем, что по разные стороны анода расположены катод и антикатод, в катоде выполнено отверстие для извлечения ионов, причем катод и антикатод изготовлены цилиндрической намоткой из сжатых алюминиевых, окисленных с поверхности алюминиевых проволочек, концами которых и образован торец катода.
    Figure 00000001
RU2008115295/22U 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов RU76163U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115295/22U RU76163U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008115295/22U RU76163U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU76163U1 true RU76163U1 (ru) 2008-09-10

Family

ID=39867357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008115295/22U RU76163U1 (ru) 2008-04-22 2008-04-22 Газоразрядный источник ионов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU76163U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3460745A (en) Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell
JP2006511921A (ja) スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ
CN104716009A (zh) 一种基于真空紫外光电离和大气压电离的复合电离源
CN112164644A (zh) 潘宁离子源
RU76164U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US3890535A (en) Ion sources
RU76163U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN111146049A (zh) 一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源
CN112599397B (zh) 一种储存式离子源
JP3147227B2 (ja) 冷陰極電子銃
CN209963019U (zh) 一种用于磁质谱仪的高效离子源
CN111712033B (zh) 一种级联漂移管电势阱装置及其使用方法
RU76749U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
RU2299489C1 (ru) Ионный источник с холодным катодом
RU2371804C1 (ru) Газоразрядный источник ионов
RU2233505C2 (ru) Газоразрядный источник ионов
CN212907638U (zh) 潘宁离子源
US10358713B2 (en) Surrounding field sputtering source
RU2797815C2 (ru) Откачное вакуумное устройство
RU2294578C1 (ru) Ленточный плазменный эмиттер ионов
US20230245878A1 (en) Mass spectrometer
RU2205467C2 (ru) Ионный источник
SU525377A1 (ru) Плазменный источник ионов
Gavrilov et al. Ion-Emission Properties of a Plasma in a Gaseous-Ion Source with a Plasma Cathode.
Sharapa et al. Efficiency of vacuum cleaning by an electron beam in the prototype of electron-cooling device