CN211125564U - 一种光学镀膜辅助离子源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极，进口端沿周侧设有进气口，第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。本实用新型提供的一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。
Description
技术领域
本实用新型属于离子束技术领域，具体涉及一种光学镀膜辅助离子源。
背景技术
离子束薄膜沉积和离子束材料改性技术是材料科学的一个重要分支，离子束技术的研究和推广取得了巨大的成就。
目前，离子源的种类很多，该装置的基本工作原理为：首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，然后由屏栅和加速栅将离子从等离子腔体中抽取出来，这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。
但是现有离子源的缺点在于：电子束无序乱飞，束流状态差，稳定性差，不易控制；阳极管对电子灰尘的吸附性差。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，所述放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，所述放电室进口端内安装有位于所述第一阳极筒内的阴极，所述进口端沿周侧设有进气口，所述第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，所述第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。
所述栅极采用金属栅网结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用双阳极筒设计，两根阳极筒间设有栅极，较好的控制电子束的大小，进而使得电子束流状态佳，稳定性好；双阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形，增大了对电子灰尘的吸附面积，从而提高了吸附率。
附图说明
图1是原离子源结构示意图；
图2是本实用新型光学镀膜辅助离子源结构示意图。
附图中：1.放电室；2.磁棒；3.屏极；4.加速极；5.中和灯丝；6.第一阳极筒；7.第二阳极筒；8.阴极；9.进气口；10.栅极。
具体实施方式
说明书附图中图1是原离子源结构示意图，它由放电室1和离子引出系统两部分组成。
阴极8位于放电室1中阳极筒内，与阳极筒共同作用，在工作电压下发射电子。
引出系统采用双栅极系统，由一个屏极3与一个加速极4组成，进气口9通入惰性气体，一般采用氩气进入离子源，气体在放电室1中电离形成的离子，由双栅极系统拔出形成离子束。中和灯丝5发射电子对离子束进行中和。磁棒2在此过程中起到控制与筛选等离子体的作用。
说明书附图中图2所示的为本实用新型光学镀膜辅助离子源，包括放电室1、位于放电室1外侧的磁棒2及依次安装在放电室1正前方的屏极3、加速极4及中和灯丝5，放电室内1安装有第一阳极筒6和第二阳极筒7，放电室1进口端内安装有位于第一阳极筒6内的阴极8，进口端沿周侧设有进气口9，第一阳极筒6和第二阳极筒7之间设有栅极10，第一阳极筒6和第二阳极筒7的内侧表面为凹凸不平的波浪形。
栅极10采用金属栅网结构。
工作时，阴极8产生的等离子体，由第一阳极筒6引流至金属栅网结构的栅极10以控制电子束的大小，保证电子束流状态稳定，而后再由第二阳极筒7引流出在屏栅和加速栅的作用下将离子从等离子腔体中抽取出来，该设计提高了电流的稳定性，改变了电子束无序乱飞的束流状态。
第一阳极筒6和第二阳极筒7的内侧表面为凹凸不平的波浪形，增大了对电子灰尘的吸附面积，从而提高了吸附率。
综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。
Claims (2)
1.一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室(1)、位于放电室(1)外侧的磁棒(2)及依次安装在放电室(1)正前方的屏极(3)、加速极(4)及中和灯丝(5)，其特征在于：所述放电室内(1)安装有第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)，所述放电室(1)进口端内安装有位于所述第一阳极筒(6)内的阴极(8)，所述进口端沿周侧设有进气口(9)，所述第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)之间设有栅极(10)，所述第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)的内侧表面为凹凸不平的波浪形。
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜辅助离子源，其特征在于：所述栅极(10)采用金属栅网结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922397576.7U CN211125564U (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种光学镀膜辅助离子源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922397576.7U CN211125564U (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种光学镀膜辅助离子源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211125564U true CN211125564U (zh) | 2020-07-28 |
Family
ID=71707336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922397576.7U Active CN211125564U (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种光学镀膜辅助离子源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211125564U (zh) |
-
2019
- 2019-12-26 CN CN201922397576.7U patent/CN211125564U/zh active Active
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