CN206363982U - 一种多电极的栅控电子枪 - Google Patents

一种多电极的栅控电子枪 Download PDF

Info

Publication number
CN206363982U
CN206363982U CN201621433118.4U CN201621433118U CN206363982U CN 206363982 U CN206363982 U CN 206363982U CN 201621433118 U CN201621433118 U CN 201621433118U CN 206363982 U CN206363982 U CN 206363982U
Authority
CN
China
Prior art keywords
electron gun
multielectrode
negative electrode
auxiliary electrode
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201621433118.4U
Other languages
English (en)
Inventor
沈旭东
张丽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui East China Institute of Optoelectronic Technology
Original Assignee
Anhui East China Institute of Optoelectronic Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui East China Institute of Optoelectronic Technology filed Critical Anhui East China Institute of Optoelectronic Technology
Priority to CN201621433118.4U priority Critical patent/CN206363982U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206363982U publication Critical patent/CN206363982U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种多电极的栅控电子枪结构,在控制栅极后面增加一个辅助电极,起到进一步调节电子注目的,同时可以防止离子对阴极的轰击,起到保护阴极的作用。增加的电极接阴极电位时,不需要增加电源,对使用无影响;增加的电极接接独立电位时,可以更加灵活调节阴极发射电流、电流形状、注腰位置等,使用时要增加额外的电源。

Description

一种多电极的栅控电子枪
技术领域
本实用新型属于真空器件领域,具体涉及一种多电极的栅控电子枪。
背景技术
在微波真空器件领域中,行波管、速调管等线性注器件是应用最广泛的器件。电子枪是行波管、速调管主要部件,为行波管、速调管提供一定发射电流、速度、形状、密度的电子注。当行波管、速调管工作在脉冲状态时,一般使用栅控电子枪。一般的栅控电子枪由阴极、阴影栅网、控制栅网、阳极组成。
通过改进电子枪结构,在控制栅和阳极之间增加一个辅助电极,得到一种新的电子枪。
发明内容
本实用新型旨在提供一种多电极的栅控电子枪结构,目的是通过增加一个电极,起到辅助调节电子注、改善电子注质量的作用。
为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种多电极的栅控电子枪,包括阴极、阴影栅极、控制栅极和阳极,还包括辅助电极,所述阴极、阴影栅极、控制栅极、辅助电极和阳极依次装配在绝缘管壳上,辅助电极在控制栅极和阳极之间,辅助电极与阴极同电位或者通过调节电位连接至阴极。
作为一种优选实施方式:所述绝缘管壳为陶瓷管壳。所述阴极、阴影栅极、控制栅极和辅助电极装配在绝缘管壳上,阳极装配在互作用段上。所述绝缘管壳为陶瓷管壳。
本实用新型的有益效果是:(1)增加的辅助电极,改变了电子枪内部的电场结构,增加了一种调节手段,可以加强对电子注的控制,调节电子束流大小、注腰半径、注腰位置等,改善电子束质量;(2)可以降低栅极负偏压;(3)可以降低阴极边缘的发射电流,使阴极表面发射均匀。阴极发射电流偏小时,可以通过提高控制栅极电压,提高阴极发射电流,保证阴极面发射电流均匀一致;(4)辅助电极可以截获反向离子,防止离子流对阴极的损伤,由于辅助电极电位低,从阳极返回的离子流会首先被辅助电极截获,从而保护阴极不受离子轰击而损伤。
附图说明
本说明书包括以下附图,所示内容分别是:
图1为本实用新型具体实施方式的电子枪结构图。
其中,1、阴极,2、阴影栅极,3、控制栅极,4、辅助电极,5、阳极。
具体实施方式
下面对照附图,通过对实施例的描述,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明,目的是帮助本领域的技术人员对本实用新型的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解,并有助于其实施。
实施例1
一般的栅控电子枪由阴极、阴影栅极、控制栅极和阳极组成,本实用新型在传统电子枪的基础上增加一个辅助电极。
如图1所示,本实用新型将阴极、阴影栅极、控制栅极、辅助电极、阳极装配在陶瓷管壳上,陶瓷管壳起到绝缘作用,将各电极隔开,保证各电极之间的耐压,并保证电极之间的距离与设计值一致。
在控制栅极和阳极之间增加辅助电极,辅助电极电位可以与阴极一致,不需要增加额外电源,使用方便;辅助电极电位也可以与阴极不一致,使用时更加灵活。调整辅助电极的电位可以辅助调节阴极发射电流、电流形状、注腰位置等,使用时要增加额外的电源。辅助电极在控制栅极和阳极之间,辅助电极与阴极同电位或者通过调节电位连接至阴极。辅助电极可以截获反向离子,防止离子流对阴极的损伤,由于辅助电极电位低,从阳极返回的离子流会首先被辅助电极截获,从而保护阴极不受离子轰击而损伤。
实施例2
本实施例与实施例1的不同点在于整管设计时,阳极并不与电子枪装配在一起,阳极装配在互作用段上(如行波管阳极可以装在慢波结构上)。将阴极、阴影栅极、控制栅极、辅助电极、装配在陶瓷管壳上,组成电子枪主体结构,阳极装配在互作用段上,将电子枪主体结构与互作用段装在一起,构成完整的电子枪。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述。显然,本实用新型具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进;或未经改进,将本实用新型的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种多电极的栅控电子枪,包括阴极、阴影栅极、控制栅极和阳极,其特征在于,还包括辅助电极,所述阴极、阴影栅极、控制栅极、辅助电极和阳极依次装配在绝缘管壳上,辅助电极在控制栅极和阳极之间,辅助电极与阴极同电位或者通过调节电位连接至阴极。
2.根据权利要求1所述的多电极的栅控电子枪,其特征在于,所述绝缘管壳为陶瓷管壳。
3.根据权利要求1所述的多电极的栅控电子枪,其特征在于,所述阴极、阴影栅极、控制栅极和辅助电极装配在绝缘管壳上,阳极装配在互作用段上。
4.根据权利要求3所述的多电极的栅控电子枪,其特征在于,所述绝缘管壳为陶瓷管壳。
CN201621433118.4U 2016-12-26 2016-12-26 一种多电极的栅控电子枪 Expired - Fee Related CN206363982U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621433118.4U CN206363982U (zh) 2016-12-26 2016-12-26 一种多电极的栅控电子枪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621433118.4U CN206363982U (zh) 2016-12-26 2016-12-26 一种多电极的栅控电子枪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206363982U true CN206363982U (zh) 2017-07-28

Family

ID=59376626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621433118.4U Expired - Fee Related CN206363982U (zh) 2016-12-26 2016-12-26 一种多电极的栅控电子枪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206363982U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109686638A (zh) * 2018-12-20 2019-04-26 安徽华东光电技术研究所有限公司 一种电子发射源

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109686638A (zh) * 2018-12-20 2019-04-26 安徽华东光电技术研究所有限公司 一种电子发射源

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE29623T1 (de) Magnetron kathodenzerstauebungssystem.
CN105655217B (zh) 一种射频偏压供电的磁控溅射金属铝离子源
RU2014109915A (ru) Осаждение из паровой фазы для нанесения покрытия с погружением в дуговую плазму низкого давления и ионная обработка
Li et al. Design of an electron gun for terahertz radiation source
GB1060309A (en) A source of ions or electrons
CN206363982U (zh) 一种多电极的栅控电子枪
GB1464490A (en) Beam-plasma type ion source
CN203761670U (zh) 一种中子发生器
US2600151A (en) Ion producing mechanism
CN106508075B (zh) 热阴极等离子体电子枪
CN110004422A (zh) 一种磁控溅射设备
CN110416043B (zh) 一种用于电子源系统的真空结构
Nguyen et al. High-perveance W-band sheet-beam electron gun design
JPS5918840B2 (ja) イオン源
CN220079174U (zh) 一种磁控溅射系统
RU146916U1 (ru) Прозрачная лампа бегущей волны с модуляцией электронного пучка в области катода
GB675868A (en) Improvements relating to television or like pick-up tubes
Zhu et al. Simulation of a High-convergence Electron Optics System for an X-band High-impedance Relativistic Klystron.
RU2797582C1 (ru) Устройство для осаждения металлических пленок
CN107833817B (zh) 一种铯催化负氢离子潘宁源的除铯方法及除铯引出电源
RU76164U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US2227025A (en) Electron tube arrangement
US3516920A (en) Sputtering apparatus
CN109088610B (zh) 一种冷阴极正交场放大器及其应用结构
US3148298A (en) Faraday shield suppressor for secondary emission current in crossed electric and magnetic field electronic tubes

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170728

Termination date: 20211226