SU519066A1 - Источник ионов - Google Patents

Description

(54) ИСТОЧНИК ИОНОВ

Изобретение относитс  к газоразр дным приборам, в частности к плазменным источникам ионов.

Известны плазменные источники ионов, содержащие разр дную камеру, .образованную анодом и катодом и помещенную в магнитное поле. Получение ионных пучков производитс  путем нодачи ускор ющего напр жени  на выт гивающий электрод.

Изв.естен также плазменный источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изол тором и помещенные между полюсами магнита, причем катод и анод выполнены в виде коаксиального диода. Магнит создает магнитное поле, перпендикул рное электрическому, что способствует увеличению траектории электронов и, следовательно, приводит к дополнительной ионизации рабочего газа.

Однако известный источник не позвол ет выт гивать значительные ионные токи из-за малого отнощени  площади сечени  выходного отверсти  к поверхности плазмы, что заставл ет разр д обеспечивать значительной энергией.

Целью изобретени   вл етс  снижение затрат энергии на образование ионов.

Дл  этого катод выполнен в виде сетки и расположен между анодом и извлекактилкм электродом, а размеры полюсов магнит  больше или равны рассто нию между катидом и анодом.

g На фиг. 1 дана схема конструкци : источника; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Источник ионов содержит катод 1, выполненный в виде плоской сетки, удерживаемой катодными держател ми 2 и расположенной между анодом 3, изо,  торам1 4, 0 5 и извлекающим электродом 6. Сисгема электродов помещена между полюскы.мч наконечниками 7 магнита.

Источник работает следующим образом.

По катоду 1 через катодные держатели 2 пропускаетс  электрический ток. который разогревает катод до рабочей температур;,. В зазоре м.ежду полюсными наконечниками 7 создаетс  магнитное поле. На анод 3 подаетс  положительный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2. Электроны, эмиттируемые катодом, ускор ютс  полем анода. В продольном электрическом и поперечном магнитных пол х траектории электронов значительно удлин ютс , что приводит к эффективной ионизации ри ,m-f.

.- -

бочего газа и образованию плазмы. На извлекающий электрод 6 подаетс  отрицательный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2 и пучок ионов извлекаетс  из плазмы через катод в осевом направлении.

Поскольку граница плазмы находитс  в непосредственной близости от катода, через сетку которого производитс  отбор ионов, то это приводит к увеличению выходного ионного тока при незначительных затратах энергии на образование ионов.

.- .

519066

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изол тором и помещенные между полюсами магнита, отличающийс  тем, что, с целью снижени  затрат энергии на образование ионов, катод выполнен в виде сетки и расположен между анодом и извлекающим электродом, а размеры полюсов магнита больше или равны рассто нию между катодом и анодом.

   А А

   ,5

   Фиг.±