SU1402185A1 - Источник ионов - Google Patents
Источник ионовInfo
- Publication number
- SU1402185A1 SU1402185A1 SU4017169/25A SU4017169A SU1402185A1 SU 1402185 A1 SU1402185 A1 SU 1402185A1 SU 4017169/25 A SU4017169/25 A SU 4017169/25A SU 4017169 A SU4017169 A SU 4017169A SU 1402185 A1 SU1402185 A1 SU 1402185A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- additional cavity
- ion source
- multiaperture
- anode
- extraction system
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетичных интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.), а также для научных экспериментов. Целью является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника ионов на основе разряда с холодным катодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях. Источник ионов содержит эквипотенциальный полый катод, кольцевой анод, магнитную систему, многоапертурную систему извлечения и дополнительную полость. Рабочий газ в источник ионов напускается через дополнительную полость. Откачка происходит через многоапертурную систему извлечения. Давление в дополнительной полости (находящийся под потенциалом катода) на два порядка больше, чем в полом катоде. Благодаря высокому давлению (10Тор) в дополнительной полости основной разряд горит между анодом и дополнительной полостью с низким напряжением горения. Основная генерация ионов происходит в прианодной части. Отбор ионов осуществляется из полого катода через многоапертурную систему извлечения. 1 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Источник ионов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Источник ионов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1402185A1 true SU1402185A1 (ru) | 1995-04-10 |
Family
ID=60534053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Источник ионов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1402185A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10243406A1 (de) * | 2002-09-18 | 2004-04-01 | Leybold Optics Gmbh | Plasmaquelle |
-
1985
- 1985-12-24 SU SU4017169/25A patent/SU1402185A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10243406A1 (de) * | 2002-09-18 | 2004-04-01 | Leybold Optics Gmbh | Plasmaquelle |
US6841942B2 (en) | 2002-09-18 | 2005-01-11 | Leybold Optics Gmbh | Plasma source with reliable ignition |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE69332T1 (de) | Niederdruckbogenentladungslichtquelleneinheit. | |
SU1402185A1 (ru) | Источник ионов | |
JPS57191950A (en) | Charged-particle source | |
JPS643941A (en) | Ion source | |
CN2112891U (zh) | 长寿命金属蒸汽真空弧离子源 | |
GB1134562A (en) | Methods of preventing localised arcing within the evacuated chamber of electrical discharge apparatus | |
JPS57210551A (en) | Triple-pole type ion pump | |
SU1769630A2 (ru) | Источник ионов | |
JPS6454660A (en) | Luminous radiation electron tube | |
SU1725687A1 (ru) | Источник ионов | |
SU1598757A1 (ru) | Широкоапертурный источник ионов | |
SU456322A1 (ru) | Электронно-ионный источник | |
Song et al. | A side extraction pig ion source with permanent magnetic mirror field | |
GB1507087A (en) | Extractor ion source | |
NO940535L (ru) | ||
GB990159A (en) | Improved vacuum pumps | |
JPH0665011B2 (ja) | ホロ−カソ−ド型イオン源装置 | |
SU1097120A1 (ru) | Источник ионов | |
SU1616412A3 (ru) | Источник заряженных частиц | |
CN2039057U (zh) | 多阳极密封中子管 | |
SU1625254A3 (ru) | Источник ионов газов | |
JPS6435337A (en) | Helium detector | |
GOEBEL | Hollow cathode, magnetic multipole ion sources for neutral beam injection[Ph. D. Thesis] | |
Chumakov et al. | Duoplasmatron with a hollow cold cathode | |
WILBUR | Advanced electric propulsion and space plasma contactor research(Annual Report, 1 Oct. 1984- 1 Jan. 1986) |