SU1402185A1 - Источник ионов - Google Patents

Источник ионов

Info

Publication number
SU1402185A1
SU1402185A1 SU4017169/25A SU4017169A SU1402185A1 SU 1402185 A1 SU1402185 A1 SU 1402185A1 SU 4017169/25 A SU4017169/25 A SU 4017169/25A SU 4017169 A SU4017169 A SU 4017169A SU 1402185 A1 SU1402185 A1 SU 1402185A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
additional cavity
ion source
multiaperture
anode
extraction system
Prior art date
Application number
SU4017169/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.А. Никитинский
Е.И. Лизин
А.Т. Гапоненко
Б.И. Журавлев
Original Assignee
Рубежанский филиал Ворошиловградского машиностроительного института
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Рубежанский филиал Ворошиловградского машиностроительного института filed Critical Рубежанский филиал Ворошиловградского машиностроительного института
Priority to SU4017169/25A priority Critical patent/SU1402185A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1402185A1 publication Critical patent/SU1402185A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетичных интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.), а также для научных экспериментов. Целью является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника ионов на основе разряда с холодным катодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях. Источник ионов содержит эквипотенциальный полый катод, кольцевой анод, магнитную систему, многоапертурную систему извлечения и дополнительную полость. Рабочий газ в источник ионов напускается через дополнительную полость. Откачка происходит через многоапертурную систему извлечения. Давление в дополнительной полости (находящийся под потенциалом катода) на два порядка больше, чем в полом катоде. Благодаря высокому давлению (10Тор) в дополнительной полости основной разряд горит между анодом и дополнительной полостью с низким напряжением горения. Основная генерация ионов происходит в прианодной части. Отбор ионов осуществляется из полого катода через многоапертурную систему извлечения. 1 ил.
SU4017169/25A 1985-12-24 1985-12-24 Источник ионов SU1402185A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) 1985-12-24 1985-12-24 Источник ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) 1985-12-24 1985-12-24 Источник ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1402185A1 true SU1402185A1 (ru) 1995-04-10

Family

ID=60534053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4017169/25A SU1402185A1 (ru) 1985-12-24 1985-12-24 Источник ионов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1402185A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10243406A1 (de) * 2002-09-18 2004-04-01 Leybold Optics Gmbh Plasmaquelle

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10243406A1 (de) * 2002-09-18 2004-04-01 Leybold Optics Gmbh Plasmaquelle
US6841942B2 (en) 2002-09-18 2005-01-11 Leybold Optics Gmbh Plasma source with reliable ignition

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE69332T1 (de) Niederdruckbogenentladungslichtquelleneinheit.
SU1402185A1 (ru) Источник ионов
JPS57191950A (en) Charged-particle source
JPS643941A (en) Ion source
CN2112891U (zh) 长寿命金属蒸汽真空弧离子源
GB1134562A (en) Methods of preventing localised arcing within the evacuated chamber of electrical discharge apparatus
JPS57210551A (en) Triple-pole type ion pump
SU1769630A2 (ru) Источник ионов
JPS6454660A (en) Luminous radiation electron tube
SU1725687A1 (ru) Источник ионов
SU1598757A1 (ru) Широкоапертурный источник ионов
SU456322A1 (ru) Электронно-ионный источник
Song et al. A side extraction pig ion source with permanent magnetic mirror field
GB1507087A (en) Extractor ion source
NO940535L (ru)
GB990159A (en) Improved vacuum pumps
JPH0665011B2 (ja) ホロ−カソ−ド型イオン源装置
SU1097120A1 (ru) Источник ионов
SU1616412A3 (ru) Источник заряженных частиц
CN2039057U (zh) 多阳极密封中子管
SU1625254A3 (ru) Источник ионов газов
JPS6435337A (en) Helium detector
GOEBEL Hollow cathode, magnetic multipole ion sources for neutral beam injection[Ph. D. Thesis]
Chumakov et al. Duoplasmatron with a hollow cold cathode
WILBUR Advanced electric propulsion and space plasma contactor research(Annual Report, 1 Oct. 1984- 1 Jan. 1986)