JPH0665011B2 - ホロ−カソ−ド型イオン源装置 - Google Patents
ホロ−カソ−ド型イオン源装置Info
- Publication number
- JPH0665011B2 JPH0665011B2 JP27876786A JP27876786A JPH0665011B2 JP H0665011 B2 JPH0665011 B2 JP H0665011B2 JP 27876786 A JP27876786 A JP 27876786A JP 27876786 A JP27876786 A JP 27876786A JP H0665011 B2 JPH0665011 B2 JP H0665011B2
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- extraction
- cathode
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、主としてイオン打込用に使用されるホローカ
ソード型のイオン源装置に関する。
ソード型のイオン源装置に関する。
（従来の技術） 従来よりこの種の装置として、中空円筒状のカソード
に、イオン引出用の前面のスリットと、キャリヤガスを
導く背面のガス導入口とを設けると共に、該引出スリッ
トの前方にイオンビーム引出用の引出電極を設けた構成
のものが知られている。
に、イオン引出用の前面のスリットと、キャリヤガスを
導く背面のガス導入口とを設けると共に、該引出スリッ
トの前方にイオンビーム引出用の引出電極を設けた構成
のものが知られている。
（発明が解決しようとする問題点） 上記従来の形式のものは、構造が簡単であると共に使用
寿命が長く、安定したイオンビームが得られる等の利点
を有するが、カソード内のガスはガス圧の増大により該
引出スリットを介して比較的速やかにその前方に排出さ
れ勝ちであり、そのためガスの利用効率が低いという不
都合があった。
寿命が長く、安定したイオンビームが得られる等の利点
を有するが、カソード内のガスはガス圧の増大により該
引出スリットを介して比較的速やかにその前方に排出さ
れ勝ちであり、そのためガスの利用効率が低いという不
都合があった。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、かかる不都合のない装置、即ち、ガス利用効
率を向上させ得る装置を提供することを目的としたもの
で、中空円筒状のカソードに、イオン引出用の前面の引
出スリットと、キャリヤガスを導く背面のガス導入口と
を設けると共に、該引出スリットの前方にイオンビーム
引出用の引出電極を備えるものにおいて、該引出スリッ
トの前方に、該引出電極との間に介在させて、該引出ス
リットに連通して前方にのびる内部のスリット通路を有
する浮遊電位の浮遊電極と、該スリット通路に連なる内
部のスリットを有するその前方のアノードとを備えて成
る。
率を向上させ得る装置を提供することを目的としたもの
で、中空円筒状のカソードに、イオン引出用の前面の引
出スリットと、キャリヤガスを導く背面のガス導入口と
を設けると共に、該引出スリットの前方にイオンビーム
引出用の引出電極を備えるものにおいて、該引出スリッ
トの前方に、該引出電極との間に介在させて、該引出ス
リットに連通して前方にのびる内部のスリット通路を有
する浮遊電位の浮遊電極と、該スリット通路に連なる内
部のスリットを有するその前方のアノードとを備えて成
る。
（作用） 本発明の装置は、カソードの前面の引出スリットが、そ
の前方の浮遊電極内のスリット通路および該浮遊電極の
前方のアノード内のスリットを介して前方へと連通して
おり、そのため全体としてガスの排出通路が比較的小さ
なコンダクタンスになり、該カソード内と、該引出電極
部位、即ち該アノードの前方のイオンビーム部位との間
に、比較的大きな圧力差を与えることが出来、これを換
言すれば、該カソード内を放電を比較的生じ易い比較的
低い真空度に保持してガスの利用効率を向上させること
が出来、更にその際、放電電圧を先ず浮遊電極に作用さ
せ、次いでアノードに切換えて作用させることにより、
主放電を、該スリット通路を介してその前方の該アノー
ドとその後方の該カソードとの間に保持させることが出
来、そのため該スリット通路内ではプラズマが圧縮され
て比較的高密度になり、その前方に比較的大電流のイオ
ンビームを得ることができる。
の前方の浮遊電極内のスリット通路および該浮遊電極の
前方のアノード内のスリットを介して前方へと連通して
おり、そのため全体としてガスの排出通路が比較的小さ
なコンダクタンスになり、該カソード内と、該引出電極
部位、即ち該アノードの前方のイオンビーム部位との間
に、比較的大きな圧力差を与えることが出来、これを換
言すれば、該カソード内を放電を比較的生じ易い比較的
低い真空度に保持してガスの利用効率を向上させること
が出来、更にその際、放電電圧を先ず浮遊電極に作用さ
せ、次いでアノードに切換えて作用させることにより、
主放電を、該スリット通路を介してその前方の該アノー
ドとその後方の該カソードとの間に保持させることが出
来、そのため該スリット通路内ではプラズマが圧縮され
て比較的高密度になり、その前方に比較的大電流のイオ
ンビームを得ることができる。
（実施例） 本発明の実施の１例を別紙図面に付き説明する。
第１図及び第２図の符号(1)は中空円筒状のカソードを
示し、該カソード(1)は、その前面にイオン引出用の引
出スリット(2)と、その背面にアルゴンその他のキャリ
アガスを導くガス導入口(3)とを備えると共に、該引出
スリット(2)の前方に、イオンビーム引出用の引出電極
(4)を備える。該カソード(1)は、例えば直径２５mm、長
さ５０mm程度の寸法とし、該引出電極(2)の電位は、例
えば８Kvとする。
示し、該カソード(1)は、その前面にイオン引出用の引
出スリット(2)と、その背面にアルゴンその他のキャリ
アガスを導くガス導入口(3)とを備えると共に、該引出
スリット(2)の前方に、イオンビーム引出用の引出電極
(4)を備える。該カソード(1)は、例えば直径２５mm、長
さ５０mm程度の寸法とし、該引出電極(2)の電位は、例
えば８Kvとする。
以上は従来のものと特に異ならないが、本発明によれ
ば、該引出スリット(2)の前方に、該引出電極(4)との間
に介在させて、該引出スリット(2)に連通して前方にの
びる内部のスリット通路(5)を有する浮遊電位の浮遊電
極(6)を設け、該浮遊電極(6)の前方に、該スリット通路
(5)に連通する内部のスリット(7)を有するアソード(8)
を設けるようにした。
ば、該引出スリット(2)の前方に、該引出電極(4)との間
に介在させて、該引出スリット(2)に連通して前方にの
びる内部のスリット通路(5)を有する浮遊電位の浮遊電
極(6)を設け、該浮遊電極(6)の前方に、該スリット通路
(5)に連通する内部のスリット(7)を有するアソード(8)
を設けるようにした。
これを更に説明すると、該浮遊電極(6)は電極板(6a)の
複数枚、例えば４枚を絶縁層(6b)を介して互いに前後に
重合させて構成し、該アノード(8)を該浮遊電極(6)の前
面に絶縁層(6b)を介して重合される。該アノード(8)内
のスリット(7)の寸法は、例えば幅２mm、長さ２０mm程
度に形成され、該スリット(7)を介してその前方の引出
電極(4)の方向へイオンビームが引出されるようにし
た。
複数枚、例えば４枚を絶縁層(6b)を介して互いに前後に
重合させて構成し、該アノード(8)を該浮遊電極(6)の前
面に絶縁層(6b)を介して重合される。該アノード(8)内
のスリット(7)の寸法は、例えば幅２mm、長さ２０mm程
度に形成され、該スリット(7)を介してその前方の引出
電極(4)の方向へイオンビームが引出されるようにし
た。
図示実施例の作動を説明すると、該カソード(1)内に該
ガス導入口(3)を介してアルゴンガスその他のキャリア
ガスを導入すると共に、該ガスを引出スリット(2)と、
これに連なるスリット通路(5)と、該スリット通路(5)の
前方のスリット(7)とから成るガス通路を介して排出さ
せる一方、例えば４００〜５００Ｖの放電電圧をカソー
ド(1)と浮遊電極(6)の間に作用させ、次いでカソード
(1)とアノード(8)間に作用させることにより該ガス通路
内にプラズマを発生させ、その前方にイオンビームが引
出される。この作動に際して、該カソード(1)内は例え
ば0.1〜0.2トール、イオンビーム部位は例えば10-4トー
ルになって両者間に比較的大きな圧力差が得られ、その
ため該カソード(1)内に放電の生じ易い比較的低い真空
度が得られるからガス利用効率を良好にすることが出
来、更に該スリット通路(5)内ではこれを介してカソー
ド(1)とアノード(8)間の主放電が行なわれるので、該通
路(5)内に比較的高密度のプラズマを得ることが出来て
比較的大電流のイオンビームが得られる。
ガス導入口(3)を介してアルゴンガスその他のキャリア
ガスを導入すると共に、該ガスを引出スリット(2)と、
これに連なるスリット通路(5)と、該スリット通路(5)の
前方のスリット(7)とから成るガス通路を介して排出さ
せる一方、例えば４００〜５００Ｖの放電電圧をカソー
ド(1)と浮遊電極(6)の間に作用させ、次いでカソード
(1)とアノード(8)間に作用させることにより該ガス通路
内にプラズマを発生させ、その前方にイオンビームが引
出される。この作動に際して、該カソード(1)内は例え
ば0.1〜0.2トール、イオンビーム部位は例えば10-4トー
ルになって両者間に比較的大きな圧力差が得られ、その
ため該カソード(1)内に放電の生じ易い比較的低い真空
度が得られるからガス利用効率を良好にすることが出
来、更に該スリット通路(5)内ではこれを介してカソー
ド(1)とアノード(8)間の主放電が行なわれるので、該通
路(5)内に比較的高密度のプラズマを得ることが出来て
比較的大電流のイオンビームが得られる。
（発明の効果） このように本発明によるときは、カソード内と、引出電
極部位との間に比較的大きな圧力差が得られてガス利用
効率を向上させることが出来ると共に、浮遊電極の内部
のスリット通路内にはこれを介して放電が生じるので高
密度のプラズマが得られ、比較的大電流のイオンビーム
を該通路の前方に導き出すことが可能であり、その構成
は簡単で廉価に製作できる等の効果がある。
極部位との間に比較的大きな圧力差が得られてガス利用
効率を向上させることが出来ると共に、浮遊電極の内部
のスリット通路内にはこれを介して放電が生じるので高
密度のプラズマが得られ、比較的大電流のイオンビーム
を該通路の前方に導き出すことが可能であり、その構成
は簡単で廉価に製作できる等の効果がある。
第１図は本発明装置の１例の截断側面図、第２図は第１
図の截断平面図である。 (1)……カソード、(2)……引出スリット (3)……ガス導入口、(4)……引出電極 (5)……スリット通路、(6)……浮遊電極 (7)……スリット、(8)……アノード
図の截断平面図である。 (1)……カソード、(2)……引出スリット (3)……ガス導入口、(4)……引出電極 (5)……スリット通路、(6)……浮遊電極 (7)……スリット、(8)……アノード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福井 了太 神奈川県藤沢市藤沢3411−８ サンライズ ビル302号
Claims (1)
- 【請求項１】中空円筒状のカソードに、イオン引出用の
前面の引出スリットと、キャリヤガスを導く背面のガス
導入口とを設けると共に、該引出スリットの前方にイオ
ンビーム引出用の引出電極を備えるものにおいて、該引
出スリットの前方に、該引出電極との間に介在させて、
該引出スリットに連通して前方にのびる内部のスリット
通路を有する浮遊電位の浮遊電極と、該スリット通路に
連なる内部のスリットを有するその前方のアノードとを
備えて成るホローカソード型イオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27876786A JPH0665011B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | ホロ−カソ−ド型イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27876786A JPH0665011B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | ホロ−カソ−ド型イオン源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63134659A JPS63134659A (ja) | 1988-06-07 |
| JPH0665011B2 true JPH0665011B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17601899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27876786A Expired - Fee Related JPH0665011B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | ホロ−カソ−ド型イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665011B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107995766B (zh) * | 2017-12-28 | 2019-09-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于空心阴极磁特性的出口电子参数获得方法 |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP27876786A patent/JPH0665011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63134659A (ja) | 1988-06-07 |
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Legal Events
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