SU1616412A3 - Источник заряженных частиц - Google Patents

Источник заряженных частиц

Info

Publication number
SU1616412A3
SU1616412A3 SU4696587/25A SU4696587A SU1616412A3 SU 1616412 A3 SU1616412 A3 SU 1616412A3 SU 4696587/25 A SU4696587/25 A SU 4696587/25A SU 4696587 A SU4696587 A SU 4696587A SU 1616412 A3 SU1616412 A3 SU 1616412A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cathode
anode
intermediate electrode
charged particles
uniaxial
Prior art date
Application number
SU4696587/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.А. Никитинский
О.А. Богатырев
С.И. Объедков
Original Assignee
Объедков Сергей Иванович
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Объедков Сергей Иванович filed Critical Объедков Сергей Иванович
Priority to SU4696587/25A priority Critical patent/SU1616412A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1616412A3 publication Critical patent/SU1616412A3/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Изобретение относится к технологическим газоразрядным источникам заряженных частиц. Цель изобретения - увеличение эффективности извлечения и равномерности распределения плотности тока по сечению пучка. Источник заряженных частиц содержит катод, промежуточный электрод с отверстием, соосным с катодом, анод, эмиссионный и ускоряющий многоапертурные соосные электроды. В стенке промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнено дополнительное отверстие, соосно с которым со стороны катода расположен анод, причем анод и катод размещены в герметичных полостях, соединенных с промежуточным электродом. С целью увеличения равномерности распределения тока по сечению пучка несколько анодов равномерно размещено вокруг катода. 1 ил.
SU4696587/25A 1989-05-29 1989-05-29 Источник заряженных частиц SU1616412A3 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Источник заряженных частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Источник заряженных частиц

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1616412A3 true SU1616412A3 (ru) 1995-04-10

Family

ID=60527912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) 1989-05-29 1989-05-29 Источник заряженных частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1616412A3 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69839937D1 (de) Plasmabehandlungsvorrichtung mit kombinierter anoden/ionen quelle
JPH0814021B2 (ja) スパッタ装置
DK0479840T3 (da) Elektrolysecelle til gasudviklende elektrolytiske processer
SU1616412A3 (ru) Источник заряженных частиц
JPS643941A (en) Ion source
CN112928002B (zh) 一种基于网状阳极结构的小型化真空弧离子源
DE3463316D1 (en) Gas discharge display device with a post-acceleration space
BYCHKOV et al. Impulsive discharge in a gas under conditions of intense ionization by electrons
SU1438511A1 (ru) Взрывоэмиссионный диод
SU1402185A1 (ru) Источник ионов
SU638223A1 (ru) Ускоритель пр мого действи
JPS5741375A (en) Ion treating device
JPS5641658A (en) X-ray tube
SU1494835A1 (ru) Ускоритель ионов металлов
SU1501819A1 (ru) Диод со взрывоэмиссионным катодом
JP2574852B2 (ja) 放電洗浄装置
VANORNUM et al. Electric arc light source having undercut recessed anode[Patent]
SU1799194A1 (ru) Способ получения электронного пучка
SU1590017A1 (ru) Импульсный ускоритель ионов металлов
SU1823782A1 (ru) Вторично-эмиссионный ускоритель электронов
SU1759211A1 (ru) Способ возбуждения разряда в импульсном электроионизационном лазере
Vasil'ev et al. The study of ion source with a hollow cathode and beam axial extraction
UA5774A1 (ru) Источник ионов
RU95110393A (ru) Способ получения пучка ионов и устройство для его осуществления
SU1552910A1 (ru) Катод со взрывной эмиссией