SU1616412A3 - Источник заряженных частиц - Google Patents
Источник заряженных частицInfo
- Publication number
- SU1616412A3 SU1616412A3 SU4696587/25A SU4696587A SU1616412A3 SU 1616412 A3 SU1616412 A3 SU 1616412A3 SU 4696587/25 A SU4696587/25 A SU 4696587/25A SU 4696587 A SU4696587 A SU 4696587A SU 1616412 A3 SU1616412 A3 SU 1616412A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- intermediate electrode
- charged particles
- uniaxial
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относится к технологическим газоразрядным источникам заряженных частиц. Цель изобретения - увеличение эффективности извлечения и равномерности распределения плотности тока по сечению пучка. Источник заряженных частиц содержит катод, промежуточный электрод с отверстием, соосным с катодом, анод, эмиссионный и ускоряющий многоапертурные соосные электроды. В стенке промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнено дополнительное отверстие, соосно с которым со стороны катода расположен анод, причем анод и катод размещены в герметичных полостях, соединенных с промежуточным электродом. С целью увеличения равномерности распределения тока по сечению пучка несколько анодов равномерно размещено вокруг катода. 1 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Источник заряженных частиц |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Источник заряженных частиц |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1616412A3 true SU1616412A3 (ru) | 1995-04-10 |
Family
ID=60527912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4696587/25A SU1616412A3 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Источник заряженных частиц |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1616412A3 (ru) |
-
1989
- 1989-05-29 SU SU4696587/25A patent/SU1616412A3/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69839937D1 (de) | Plasmabehandlungsvorrichtung mit kombinierter anoden/ionen quelle | |
JPH0814021B2 (ja) | スパッタ装置 | |
DK0479840T3 (da) | Elektrolysecelle til gasudviklende elektrolytiske processer | |
SU1616412A3 (ru) | Источник заряженных частиц | |
JPS643941A (en) | Ion source | |
CN112928002B (zh) | 一种基于网状阳极结构的小型化真空弧离子源 | |
DE3463316D1 (en) | Gas discharge display device with a post-acceleration space | |
BYCHKOV et al. | Impulsive discharge in a gas under conditions of intense ionization by electrons | |
SU1438511A1 (ru) | Взрывоэмиссионный диод | |
SU1402185A1 (ru) | Источник ионов | |
SU638223A1 (ru) | Ускоритель пр мого действи | |
JPS5741375A (en) | Ion treating device | |
JPS5641658A (en) | X-ray tube | |
SU1494835A1 (ru) | Ускоритель ионов металлов | |
SU1501819A1 (ru) | Диод со взрывоэмиссионным катодом | |
JP2574852B2 (ja) | 放電洗浄装置 | |
VANORNUM et al. | Electric arc light source having undercut recessed anode[Patent] | |
SU1799194A1 (ru) | Способ получения электронного пучка | |
SU1590017A1 (ru) | Импульсный ускоритель ионов металлов | |
SU1823782A1 (ru) | Вторично-эмиссионный ускоритель электронов | |
SU1759211A1 (ru) | Способ возбуждения разряда в импульсном электроионизационном лазере | |
Vasil'ev et al. | The study of ion source with a hollow cathode and beam axial extraction | |
UA5774A1 (ru) | Источник ионов | |
RU95110393A (ru) | Способ получения пучка ионов и устройство для его осуществления | |
SU1552910A1 (ru) | Катод со взрывной эмиссией |