RU95110393A - Способ получения пучка ионов и устройство для его осуществления - Google Patents

Abstract

Техническим результатом изобретения является повышение диссоциативно-ионизационных процессов в газовом разряде, интенсивности тока в пучке ускоренных ионов, содержания в нем атомарных одно/многозарядных ионов при неизменной мощности и газовом разряде и сохранение срока службы катода источника иоенов, повышение интенсивности тока ионов бора B+ в пучке ускоренных ионов на облучаемой мишени имплантора при доминирующем пике B+ в спектре пучка ионов, повышение стабильности тока в пучке ускоренных ионов вследствие устранения ротационной неустойчивости в источнике ионов без конструктивных изменений в импланторах. Технический результат достигается тем, что в способе получения пучка ионов нет ограничений в методе образования плазмы в магнитном поле. Для егo использования в плазму помещают дополнительный электрод с малой рабочей поверхностью по сравнению с поверхностью стенок разрядной камеры и подают на него положительный потенциал по отношению к разрядной камере, чем сосредотачивают на его рабочей поверхности полный ток разряда и повышают концентрацию плазмы и температуру электронов. Одновременно с этим в объеме плазмы образуют дрейфовый поток всех видов заряженных частиц плазмы в скрещенных Е х B полях к экстракционной щели поперек силовых линий магнитного поли вдоль стационарного двойного электрического слоя, образующегося в плазме без нарушения ее квазинейтральности, вызывая повышение концентрации плазмы у экстракционной щели и плотности тока в пучке ускоренных ионов при неизменном режиме разряда. Способ может быть осуществлен с помощью источника ионов с введенным в него дополнительным электрод

Claims (1)

1. Техническим результатом изобретения является повышение диссоциативно-ионизационных процессов в газовом разряде, интенсивности тока в пучке ускоренных ионов, содержания в нем атомарных одно/многозарядных ионов при неизменной мощности и газовом разряде и сохранение срока службы катода источника иоенов, повышение интенсивности тока ионов бора B+ в пучке ускоренных ионов на облучаемой мишени имплантора при доминирующем пике B+ в спектре пучка ионов, повышение стабильности тока в пучке ускоренных ионов вследствие устранения ротационной неустойчивости в источнике ионов без конструктивных изменений в импланторах. Технический результат достигается тем, что в способе получения пучка ионов нет ограничений в методе образования плазмы в магнитном поле. Для егo использования в плазму помещают дополнительный электрод с малой рабочей поверхностью по сравнению с поверхностью стенок разрядной камеры и подают на него положительный потенциал по отношению к разрядной камере, чем сосредотачивают на его рабочей поверхности полный ток разряда и повышают концентрацию плазмы и температуру электронов. Одновременно с этим в объеме плазмы образуют дрейфовый поток всех видов заряженных частиц плазмы в скрещенных Е х B полях к экстракционной щели поперек силовых линий магнитного поли вдоль стационарного двойного электрического слоя, образующегося в плазме без нарушения ее квазинейтральности, вызывая повышение концентрации плазмы у экстракционной щели и плотности тока в пучке ускоренных ионов при неизменном режиме разряда. Способ может быть осуществлен с помощью источника ионов с введенным в него дополнительным электродом с протяженной рабочей поверхностью, закрепленной параллельно оси разрядной камеры. Электрод выполнен из тугоплавкого материала. Это в приложении к ионным источникам, работающим на импланторах, становится значительным в связи с получением существенно увеличенных токов в пучках ускоренных ионов при сохранении времени жизни их катодов.