CN110798958A - 一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极；通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；通过将两个法兰盘设为同一电极，将两个环形电极设为另一极电极，成倍的增加了整个电极的表面积，进而使放电室内的有效放电空间面积成倍增加，提高了整个放电室的空间利用率。
Description
技术领域
本发明涉及等离子体放电装置技术领域，具体为一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置。
背景技术
等离子体表面处理已逐步在半导体制造、微电子封装、集成电路等行业普遍应用。所谓的等离子体表面处理，就是利用等离子体通过化学或物理作用时对工件表面进行处理，实现分子水平的表面清洗、粗化、改性，改变表面性状的工艺。
常规的圆腔体等离子体表面处理装置的放电方式是采用在射频电源下，圆形绝缘腔体外包裹着多个环形电极，各电极分别与相邻的电极启辉放电，而处理对象放置于圆柱状腔室内，在辉光放电的作用下，达到表面清洗的目的，这是目前常用的圆腔体等离子清洗装置的电极放置方式，但它在实际使用的过程中仍存在以下弊端：
1.由于电极板的结构以及处理对象的差异性等因素，两个环形电极板之间会存在放电不均的现象；
2.两电极板之间的放电腔体的有效放电空间有限，因此整个圆腔体的空间利用率低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在放电室的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极，所述法兰盘电极的内侧设有与放电室的两端相套配的环形结构的内固定槽口，且在法兰盘电极的外侧设有环形结构的外固定槽口；
所述两个法兰盘电极分别与同一极电极电性相连，且两个环形电极均与另一极电极电性相连。
优选的，所述环形电极的主体为环形板状结构的电极板，所述电极板的首尾相邻，且在电极板的首尾处分别固定连接有两个向外沿伸锁紧板，所述锁紧板通过螺栓组I相固定连接在一起。
优选的，所述放电室的主体为圆柱形管状结构的绝缘管，且在绝缘管外侧所套装有弹性绝缘套。
优选的，所述且在外固定槽口内并且在两个法兰盘电极中间固定套装有支撑架，所述支撑架的左右两侧设有与外固定槽口相套配的环形结构的固定环，且在固定环的中下方水平设有桥状结构的水平撑，所述水平撑的上端并且在两个固定环之间通过螺栓固定安装有板状结构的放料板。
优选的，所述法兰盘电极的外侧面上嵌配有密封环，所述放电室前端法兰盘电极的外侧铰接有密封门，且在放电室后端法兰盘电极的外侧通过螺栓固定连接有封盖。
优选的，所述放电室的前后两端并且在法兰盘电极的下端设有固定座，所述固定座的下端设有板状结构的支撑板，且在支撑板的上端设有与法兰盘电极的外圆相贴合的圆弧形凸台结构的支撑块。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设置合理，功能性强，具有以下优点：
1.通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；
2.通过将两个法兰盘设为同一电极，将两个环形电极设为另一极电极，成倍的增加了整个电极的表面积，进而使放电室内的有效放电空间面积成倍增加，提高了整个放电室的空间利用率。
附图说明
图1为本发明结构轴侧视图；
图2为本发明半剖结构轴侧视图；
图3为图2中A处剖面结构示意图；
图4为环形电极轴侧结构视图；
图5为固定座结构视图；
图6为支撑架结构视图。
图中：1、放电室；2、法兰盘电极；3、环形电极；4、密封门；5、封盖； 6、固定座；7、支撑架；101、绝缘管；102、弹性绝缘套；201、内固定槽口； 202、外固定槽口；203、密封环；301、电极板；302、锁紧板；303、螺栓组 I；601、支撑板；602、支撑块；701、固定环；702、水平撑；703、放料板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1至图6，本发明提供一种技术方案：一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室1、放电室1两端套接的法兰盘电极2与放电室1外圆上套配的环形电极3，放电室1的主体为圆柱形管状结构，且在放电室1的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极3，放电室1的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极2，法兰盘电极2的内侧设有与放电室1的两端相套配的环形结构的内固定槽口201，且在法兰盘电极2的外侧设有环形结构的外固定槽口202；
两个法兰盘电极2分别与同一极电极电性相连，且两个环形电极3均与另一极电极电性相连，进而使两个法兰盘电极2形成同一级电极，而两个环形电极3形成另一极电极，法兰盘电极2与环形电极3之间形成三维放电，增大了放电室1内的有效放电空间，提高了放电稳定性的同时，提高了放电室1的空间利用率。
进一步的，环形电极3的主体为环形板状结构的电极板301，电极板301 的首尾相邻，且在电极板301的首尾处分别固定连接有两个向外沿伸锁紧板 302，锁紧板302通过螺栓组I 303相固定连接在一起，这种结构便于环形电极3在放电室1上的拆装。
进一步的，放电室1的主体为圆柱形管状结构的绝缘管101，且在绝缘管 101外侧所套装有弹性绝缘套102，弹性绝缘套102在绝缘管101的外圆与环形电极3的内壁之间起到一个良好的弹性间隔作用，避免了环形电极3的内壁与绝缘管101的外圆进行直接的硬接触。
进一步的，且在外固定槽口202内并且在两个法兰盘电极2中间固定套装有支撑架7，支撑架7的左右两侧设有与外固定槽口202相套配的环形结构的固定环701，且在固定环701的中下方水平设有桥状结构的水平撑702，水平撑702的上端并且在两个固定环701之间通过螺栓固定安装有板状结构的放料板703，将工件放置于放料板703上，使工件的放电位置位于靠近放电室 1的中间，进而能获得更优质的表面处理效果。
进一步的，法兰盘电极2的外侧面上嵌配有密封环203，放电室1前端法兰盘电极2的外侧铰接有密封门4，且在放电室1后端法兰盘电极2的外侧通过螺栓固定连接有封盖5，密封门4与法兰盘电极2闭合后使整个放电室1内型形成一个相对封闭的放电空间，使放电的效果更佳。
进一步的，放电室1的前后两端并且在法兰盘电极2的下端设有固定座6，固定座6的下端设有板状结构的支撑板601，且在支撑板601的上端设有与法兰盘电极2的外圆相贴合的圆弧形凸台结构的支撑块602，固定座6相对于法兰盘电极2起到一个良好的支撑固定作用。
工作原理：将工件放置于放料板703上，然后将密封门4与法兰盘电极2 闭合，将两个法兰盘电极2与同一极电极接通，将两个环形电极3与另一极电极接通，整个放电室1与法兰盘电极2以及法兰盘电极2外侧的密封门4、封盖5形成一个相对封闭的放电空间，法兰盘电极2与环形电极3之间形成三维放电，放电的范围更广，提高了整个放电室1的空间利用率，同时位于各个位置的放电更加均衡，进而使位于放料板703上的工件的表面处理质量更佳。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室（1）、放电室（1）两端套接的法兰盘电极（2）与放电室（1）外圆上套配的环形电极（3），其特征在于：所述放电室（1）的主体为圆柱形管状结构，且在放电室（1）的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极（3），所述放电室（1）的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极（2），所述法兰盘电极（2）的内侧设有与放电室（1）的两端相套配的环形结构的内固定槽口（201），且在法兰盘电极（2）的外侧设有环形结构的外固定槽口（202）；
所述两个法兰盘电极（2）分别与同一极电极电性相连，且两个环形电极（3）均与另一极电极电性相连。
2.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述环形电极（3）的主体为环形板状结构的电极板（301），所述电极板（301）的首尾相邻，且在电极板（301）的首尾处分别固定连接有两个向外沿伸锁紧板（302），所述锁紧板（302）通过螺栓组I（303）相固定连接在一起。
3.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述放电室（1）的主体为圆柱形管状结构的绝缘管（101），且在绝缘管（101）外侧所套装有弹性绝缘套（102）。
4.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述且在外固定槽口（202）内并且在两个法兰盘电极（2）中间固定套装有支撑架（7），所述支撑架（7）的左右两侧设有与外固定槽口（202）相套配的环形结构的固定环（701），且在固定环（701）的中下方水平设有桥状结构的水平撑（702），所述水平撑（702）的上端并且在两个固定环（701）之间通过螺栓固定安装有板状结构的放料板（703）。
5.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述法兰盘电极（2）的外侧面上嵌配有密封环（203），所述放电室（1）前端法兰盘电极（2）的外侧铰接有密封门（4），且在放电室（1）后端法兰盘电极（2）的外侧通过螺栓固定连接有封盖（5）。
6.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述放电室（1）的前后两端并且在法兰盘电极（2）的下端设有固定座（6），所述固定座（6）的下端设有板状结构的支撑板（601），且在支撑板（601）的上端设有与法兰盘电极（2）的外圆相贴合的圆弧形凸台结构的支撑块（602）。
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