CN106180079B - 一种三氟化氮等离子清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三氟化氮等离子清洗装置，包括壳体、电解仓和热触点，所述壳体左侧设有开口并与清洗仓外壳左端固定连接，所述清洗仓左侧设有开口并与仓盖通过螺纹连接，所述清洗仓腔体内侧壁粘贴条形电极板，并且清洗仓底部内壁和仓盖内壁粘贴圆形电极板，所述清洗仓外壳外部套装螺旋线圈，所述粒子加速器通过特制弧形管道与清洗仓右端连接，所述清洗仓右端通过导管与真空泵连接，所述真空泵固定安装在壳体内部并通过排气管与尾气处理装置连接，所述热触点与清洗仓内部支架固定连接，所述热触点和标定块均通过导线与电压表连接，该装置采用三氟化氮作为离子供给源，采用等离子腐蚀的方式清洗，有效避免电路板和元器件损伤。

Description

一种三氟化氮等离子清洗装置

技术领域

本发明涉及等离子清洗技术领域，具体为一种三氟化氮等离子清洗装置。

背景技术

随着电子业的迅猛发展，大量的电路板及其他元器件被使用，随着设备的更新换代，大批量的电子废品被回收利用，废旧电路板和元器件的清洗问题就随之而来，传统的采用水洗难以清洗电路板和元器件表面的氧化层，而采用酸洗则会因为腐蚀程度难以控制而造成电路板和元器件的损坏，严重影响其二次使用，造成资源浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种三氟化氮等离子清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种三氟化氮等离子清洗装置，包括壳体、电解仓和热触点，所述壳体左侧设有开口并与清洗仓外壳左端固定连接，所述清洗仓左侧设有开口并与仓盖通过螺纹连接，所述清洗仓腔体内侧壁粘贴条形电极板，并且清洗仓底部内壁和仓盖内壁粘贴圆形电极板，所述清洗仓外壳外部套装螺旋线圈，所述电解仓右端通过进气管与外置气源连接，并且电解仓左侧加装粒子加速器，所述电解仓内腔上下两侧对应安装放电电极，所述放电电极与放电电源通过导线连接，所述粒子加速器通过特制弧形管道与清洗仓右端连接，所述清洗仓右端通过导管与真空泵连接，所述真空泵固定安装在壳体内部并通过排气管与尾气处理装置连接，所述热触点与清洗仓内部支架固定连接，所述热触点和标定块均通过导线与电压表连接，所述标定块安装在清洗仓外部并与壳体内部支架固定连接。

优选的，所述清洗仓为圆柱形，且清洗仓与仓盖之间加装密封圈。

优选的，所述条形电极板至少为七对且对应的两块条形电极板通过导线连接第一稳压电源，所述圆形电极板为两块且通过导线与第二稳压电源连接，第一稳压电源和第二稳压电源数量分别与条形电极板和圆形电极板数量的二分之一相同，且第一稳压电源和第二稳压电源均可单独调压。

优选的，所述螺旋线圈为高频抗磁线圈。

优选的，所述标定块外部包裹绝缘材料。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该新型设备改变传统设备采用的水洗和酸洗的方式，采用由电解三氟化氮气体获得的电子进行等离子腐蚀，通过严格控制腐蚀程度，达到清洗工件的目的，能够有效的清理工件表面的污渍和氧化层，同时采用等离子腐蚀，其腐蚀处腐蚀产物较少且不粘附，易于清理。较现有的等离子刻蚀装置，本发明结构加装粒子加速器提高粒子进入清洗仓的初速度，提高清洗效率，而且清洗仓做成圆筒的形状，内部安装至少七对电极板，且每对电极板通过单独的可调式稳压电源供电，能够准确引导离子轰击位置，提高清洗位置的准确性，同时设备内部加装热触点和标定块，通过测量工件表面与标点块的电势差推算工件表面的离子数目，从而确定其清洗程度，严格控制清洗效果，避免工件损伤。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明结构清洗仓截面图。

图中：1壳体、2螺旋线圈、3清洗仓、4条形电极板、5第一稳压电源、6特制弧形管道、7粒子加速器、8放电电极、9电解仓、10进气管、11放电电源、12标定块、13电压表、14真空泵、15排气管、16圆形电极板、17仓盖、18密封圈、19热触点、20第二稳压电源。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种三氟化氮等离子清洗装置，包括壳体1、电解仓9和热触点19，壳体1左侧设有开口并与清洗仓3外壳左端固定连接，清洗仓3左侧设有开口并与仓盖17通过螺纹连接，清洗仓3腔体内侧壁粘贴条形电极板4，并且清洗仓3底部内壁和仓盖17内壁粘贴圆形电极板16，清洗仓3外壳外部套装螺旋线圈2，为高速移动的离子提供改变放行的力，电解仓9右端通过进气管10与外置气源连接，并且电解仓9左侧加装粒子加速器7，提高进入清洗仓3的离子的初速度，电解仓9内腔上下两侧对应安装放电电极8，放电电极8与放电电源11通过导线连接，粒子加速器7通过特制弧形管道6与清洗仓3右端连接，清洗仓3右端通过导管与真空泵14连接，保证清洗仓3内为真空环境，真空泵14固定安装在壳体1内部并通过排气管15与尾气处理装置连接，热触点19与清洗仓3内部支架固定连接，热触点19和标定块12均通过导线与电压表13连接，标定块12安装在清洗仓3外部并与壳体1内部支架固定连接，检测工件与标定块12的电势差，从而推算清洗效果，清洗仓3为圆柱形，且清洗仓3与仓盖17之间加装密封圈18，防止漏气，条形电极板4至少为七对且对应的两块条形电极板4通过导线连接第一稳压电源5，使清洗仓3内部离子能够有多个运动方向，能够准确的轰击加工位置，圆形电极板16为两块且通过导线与第二稳压电源20连接，第一稳压电源5和第二稳压电源20数量与条形电极板4和圆形电极板16数量的二分之一相同，且第一稳压电源5和第二稳压电源20均可单独调压，螺旋线圈2为高频抗磁线圈，标定块12外部包裹绝缘材料，防止因标定块12表面吸附电子造成检测结构失真。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种三氟化氮等离子清洗装置，包括壳体（1）、电解仓（9）和热触点（19），所述壳体（1）左侧设有开口并与清洗仓（3）外壳左端固定连接，所述清洗仓（3）左侧设有开口并与仓盖（17）通过螺纹连接，其特征在于：所述清洗仓（3）腔体内侧壁粘贴条形电极板（4），并且清洗仓（3）底部内壁和仓盖（17）内壁粘贴圆形电极板（16），所述清洗仓（3）外壳外部套装螺旋线圈（2），所述电解仓（9）右端通过进气管（10）与外置气源连接，并且电解仓（9）左侧加装粒子加速器（7），所述电解仓（9）内腔上下两侧对应安装放电电极（8），所述放电电极（8）与放电电源（11）通过导线连接，所述粒子加速器（7）通过特制弧形管道（6）与清洗仓（3）右端连接，所述清洗仓（3）右端通过导管与真空泵（14）连接，所述真空泵（14）固定安装在壳体（1）内部并通过排气管（15）与尾气处理装置连接，所述热触点（19）与清洗仓（3）内部支架固定连接，所述热触点（19）和标定块（12）均通过导线与电压表（13）连接，所述标定块（12）安装在清洗仓（3）外部并与壳体（1）内部支架固定连接；

所述条形电极板（4）至少为七对且对应的两块条形电极板（4）通过导线连接第一稳压电源（5），所述圆形电极板（16）为两块且通过导线与第二稳压电源（20）连接，第一稳压电源（5）和第二稳压电源（20）数量分别与条形电极板（4）和圆形电极板（16）数量的二分之一相同，且第一稳压电源（5）和第二稳压电源（20）均可单独调压；所述螺旋线圈（2）为高频抗磁线圈。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮等离子清洗装置，其特征在于：所述清洗仓（3）为圆柱形，且清洗仓（3）与仓盖（17）之间加装密封圈（18）。

3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮等离子清洗装置，其特征在于：所述标定块（12）外部包裹绝缘材料。