JP2000241367A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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- JP2000241367A JP2000241367A JP11044645A JP4464599A JP2000241367A JP 2000241367 A JP2000241367 A JP 2000241367A JP 11044645 A JP11044645 A JP 11044645A JP 4464599 A JP4464599 A JP 4464599A JP 2000241367 A JP2000241367 A JP 2000241367A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査対象の欠陥をより確実に検査することが
できるＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】 搬送コンベヤ１２の検査位置には、製品
１０に上方からＸ線を照射するＸ線照射部１４と、製品
１０に側方からＸ線を照射するＸ線照射部１６が設けら
れている。搬送コンベヤ１２の検査位置の下部には、Ｘ
線照射部１４からのＸ線による製品１０の透過像を撮像
するＸ線撮像部１８が設けられ、搬送コンベヤ１２の検
査位置の側方には、Ｘ線照射部１６からのＸ線による製
品１０の透過像を撮像するＸ線撮像部２０が設けられて
いる。画像処理部２８は、Ｘ線撮像部１８、２０により
撮像された製品１０の画像を処理して検査を行う。
できるＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】 搬送コンベヤ１２の検査位置には、製品
１０に上方からＸ線を照射するＸ線照射部１４と、製品
１０に側方からＸ線を照射するＸ線照射部１６が設けら
れている。搬送コンベヤ１２の検査位置の下部には、Ｘ
線照射部１４からのＸ線による製品１０の透過像を撮像
するＸ線撮像部１８が設けられ、搬送コンベヤ１２の検
査位置の側方には、Ｘ線照射部１６からのＸ線による製
品１０の透過像を撮像するＸ線撮像部２０が設けられて
いる。画像処理部２８は、Ｘ線撮像部１８、２０により
撮像された製品１０の画像を処理して検査を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象にＸ線を
照射して検査対象を透視することにより、検査対象の検
査を行うＸ線検査装置に関する。
照射して検査対象を透視することにより、検査対象の検
査を行うＸ線検査装置に関する。
【０００２】ＰＬ法施行以来、消費者の欠陥品に対する
関心は高い。従来より薬品、食品、農林水産分野におい
て、欠陥品撲滅の手段としてＸ線による製品内部の検査
に対して強いニーズがあるが、製品に対するＸ線の影響
を考慮して本格的な導入までには至っていない。本発明
は、このようなＸ線による検査を抜本的に見直すことに
より、Ｘ線本来の特徴を維持しつつ、しかもＸ線量の限
りない低減化を図ることによって、製品に影響を与え
ず、製品内部の欠陥をリアルタイムに検査する装置を実
現するものである。
関心は高い。従来より薬品、食品、農林水産分野におい
て、欠陥品撲滅の手段としてＸ線による製品内部の検査
に対して強いニーズがあるが、製品に対するＸ線の影響
を考慮して本格的な導入までには至っていない。本発明
は、このようなＸ線による検査を抜本的に見直すことに
より、Ｘ線本来の特徴を維持しつつ、しかもＸ線量の限
りない低減化を図ることによって、製品に影響を与え
ず、製品内部の欠陥をリアルタイムに検査する装置を実
現するものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、検査対象にＸ線を照射して検査対
象の検査を行うＸ線検査装置として、本願出願人により
提案されたものが知られている（特開平８−１７８８７
２号公報参照）。
象の検査を行うＸ線検査装置として、本願出願人により
提案されたものが知られている（特開平８−１７８８７
２号公報参照）。
【０００４】この提案されたＸ線非破壊検査装置は、検
査対象を搬送する搬送部の検査位置に閉空間を形成して
検査部を構成し、その検査部に、検査部内への進入を許
容する第１開閉部と、検査部内からの送出を許容する第
２開閉部とを設け、第１開閉部と第２開閉部の閉時に検
査対象にＸ線を照し、Ｘ線照射部から照射されたＸ線に
より検査対象を撮影するようにしている。このようにす
ることにより、Ｘ線に対してほぼ完全な遮蔽が可能とな
り、Ｘ線照射による非破壊検査をインラインで自動的に
行う際に、照射したＸ線が検査空間外に漏洩するのを防
止することが可能である。
査対象を搬送する搬送部の検査位置に閉空間を形成して
検査部を構成し、その検査部に、検査部内への進入を許
容する第１開閉部と、検査部内からの送出を許容する第
２開閉部とを設け、第１開閉部と第２開閉部の閉時に検
査対象にＸ線を照し、Ｘ線照射部から照射されたＸ線に
より検査対象を撮影するようにしている。このようにす
ることにより、Ｘ線に対してほぼ完全な遮蔽が可能とな
り、Ｘ線照射による非破壊検査をインラインで自動的に
行う際に、照射したＸ線が検査空間外に漏洩するのを防
止することが可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このＸ
線非破壊検査装置では、検査対象が載置された状態によ
っては、その撮影画像から欠陥を検出するのが困難であ
る場合がある。また、検査対象が適切に載置されていて
も、欠陥があるかどうかの判断が困難な場合がある。
線非破壊検査装置では、検査対象が載置された状態によ
っては、その撮影画像から欠陥を検出するのが困難であ
る場合がある。また、検査対象が適切に載置されていて
も、欠陥があるかどうかの判断が困難な場合がある。
【０００６】本発明の目的は、検査対象の欠陥をより確
実に検査することができるＸ線検査装置を提供すること
にある。
実に検査することができるＸ線検査装置を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、検査対象に
対して第１の方向からＸ線を照射する第１のＸ線照射部
と、前記第１のＸ線照射部から照射されたＸ線により前
記検査対象を撮影する第１のＸ線撮影部と、前記検査対
象に対して前記第１の方向とは異なる第２の方向からＸ
線を照射する第２のＸ線照射部と、前記第２のＸ線照射
部から照射されたＸ線により前記検査対象を撮影する第
２のＸ線撮影部とを有することを特徴とするＸ線検査装
置によって達成される。
対して第１の方向からＸ線を照射する第１のＸ線照射部
と、前記第１のＸ線照射部から照射されたＸ線により前
記検査対象を撮影する第１のＸ線撮影部と、前記検査対
象に対して前記第１の方向とは異なる第２の方向からＸ
線を照射する第２のＸ線照射部と、前記第２のＸ線照射
部から照射されたＸ線により前記検査対象を撮影する第
２のＸ線撮影部とを有することを特徴とするＸ線検査装
置によって達成される。
【０００８】上述したＸ線検査装置において、前記検査
対象を搬送する搬送部を更に有し、前記第１のＸ線照射
部は、前記搬送部を搬送される前記検査対象に対して上
方からＸ線を照射し、前記第２のＸ線照射部は、前記搬
送部を搬送される前記検査対象に対して側方からＸ線を
照射するようにしてもよい。
対象を搬送する搬送部を更に有し、前記第１のＸ線照射
部は、前記搬送部を搬送される前記検査対象に対して上
方からＸ線を照射し、前記第２のＸ線照射部は、前記搬
送部を搬送される前記検査対象に対して側方からＸ線を
照射するようにしてもよい。
【０００９】上述したＸ線検査装置において、前記第１
のＸ線照射部及び前記第２のＸ線照射部は、Ｘ線をパル
ス的に照射し、前記第１のＸ線撮影部及び前記第２のＸ
線撮影部は、前記検査対象の二次元画像を撮像するよう
にしてもよい。
のＸ線照射部及び前記第２のＸ線照射部は、Ｘ線をパル
ス的に照射し、前記第１のＸ線撮影部及び前記第２のＸ
線撮影部は、前記検査対象の二次元画像を撮像するよう
にしてもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態によるＸ線検
査装置を図１乃至図４を用いて説明する。本実施形態で
は、例えば、医薬品や化粧品等に同封された添付文書の
有無を、包装された状態で検査するＸ線検査装置として
説明する。図１は本実施形態によるＸ線検査装置の構成
を示す図であり、図２は本実施形態によるＸ線検査装置
の検査部近傍の詳細を示す図である。
査装置を図１乃至図４を用いて説明する。本実施形態で
は、例えば、医薬品や化粧品等に同封された添付文書の
有無を、包装された状態で検査するＸ線検査装置として
説明する。図１は本実施形態によるＸ線検査装置の構成
を示す図であり、図２は本実施形態によるＸ線検査装置
の検査部近傍の詳細を示す図である。
【００１１】図１及び図２に示すように、被検査物であ
る製品１０は、搬送コンベヤ１２により図１の左から右
に向かって搬送される。搬送コンベヤ１２中央の検査位
置において製品１０内の添付文書の有無が検査される。
る製品１０は、搬送コンベヤ１２により図１の左から右
に向かって搬送される。搬送コンベヤ１２中央の検査位
置において製品１０内の添付文書の有無が検査される。
【００１２】搬送コンベヤ１２の検査位置には、製品１
０に上方からＸ線を照射するＸ線照射部１４と、製品１
０に側方からＸ線を照射するＸ線照射部１６が設けられ
ている。Ｘ線照射部１４、１６は、撮像時のみにＸ線を
パルス的に照射するフラッシュＸ線方式を採用してい
る。
０に上方からＸ線を照射するＸ線照射部１４と、製品１
０に側方からＸ線を照射するＸ線照射部１６が設けられ
ている。Ｘ線照射部１４、１６は、撮像時のみにＸ線を
パルス的に照射するフラッシュＸ線方式を採用してい
る。
【００１３】Ｘ線照射部１４、１６の周囲には、外部に
Ｘ線が漏れないようにするために、Ｘ線照射部１４、１
６を覆うカバー（図示せず）が設けられ、製品１０が出
入りするために開口部（図示せず）が設けられている。
Ｘ線が漏れないようにするために、Ｘ線照射部１４、１
６を覆うカバー（図示せず）が設けられ、製品１０が出
入りするために開口部（図示せず）が設けられている。
【００１４】搬送コンベヤ１２の検査位置の下部には、
Ｘ線照射部１４からのＸ線による製品１０の透過像を撮
像するＸ線撮像部１８が設けられている。また、搬送コ
ンベヤ１２の検査位置の側方には、Ｘ線照射部１６から
のＸ線による製品１０の透過像を撮像するＸ線撮像部２
０が設けられている。Ｘ線撮像部１８、２０は、それぞ
れ、Ｘ線用光電子増倍管１８ａ、２０ａと、Ｘ線を集光
する光学系レンズ１８ｂ、２０ｂと、Ｘ線画像を撮像す
るＣＣＤカメラ１８ｃ、２０ｃから構成されている。微
弱なＸ線による透過像を撮像することができる。
Ｘ線照射部１４からのＸ線による製品１０の透過像を撮
像するＸ線撮像部１８が設けられている。また、搬送コ
ンベヤ１２の検査位置の側方には、Ｘ線照射部１６から
のＸ線による製品１０の透過像を撮像するＸ線撮像部２
０が設けられている。Ｘ線撮像部１８、２０は、それぞ
れ、Ｘ線用光電子増倍管１８ａ、２０ａと、Ｘ線を集光
する光学系レンズ１８ｂ、２０ｂと、Ｘ線画像を撮像す
るＣＣＤカメラ１８ｃ、２０ｃから構成されている。微
弱なＸ線による透過像を撮像することができる。
【００１５】Ｘ線撮像部１８，２０も、外部にＸ線が漏
れないようにするため、カバー（図示せず）により覆わ
れている。
れないようにするため、カバー（図示せず）により覆わ
れている。
【００１６】Ｘ線照射部１６、Ｘ線撮像部２０の近傍に
は、検査位置に製品１０が到達したことを検出するため
に、位置センサ２４が設けられている。
は、検査位置に製品１０が到達したことを検出するため
に、位置センサ２４が設けられている。
【００１７】Ｘ線照射部コントローラ２６は、Ｘ線照射
部１４、１６からのＸ線の照射を制御する。Ｘ線照射部
コントローラ２６からのＸ線照射信号により、Ｘ線照射
部１４、１６は、製品１０に対してパルス状のＸ線を照
射する。
部１４、１６からのＸ線の照射を制御する。Ｘ線照射部
コントローラ２６からのＸ線照射信号により、Ｘ線照射
部１４、１６は、製品１０に対してパルス状のＸ線を照
射する。
【００１８】画像処理部２８は、Ｘ線撮像部１８、２０
により撮像された製品１０の画像を処理し、添付文書の
有無を判定する。位置センサ２４からの製品１０の検出
信号に同期して、Ｘ線照射部コントローラ２６にＸ線照
射開始信号を出力し、Ｘ線撮像部１８、２０からの映像
信号を入力する。画像処理部２８は、製品１０内部の撮
像画像に対して、予め定めた検査条件パラメータに基づ
いた処理を行い、製品１０に添付文書が添付されている
か否か判定し、有無判定信号を出力する。
により撮像された製品１０の画像を処理し、添付文書の
有無を判定する。位置センサ２４からの製品１０の検出
信号に同期して、Ｘ線照射部コントローラ２６にＸ線照
射開始信号を出力し、Ｘ線撮像部１８、２０からの映像
信号を入力する。画像処理部２８は、製品１０内部の撮
像画像に対して、予め定めた検査条件パラメータに基づ
いた処理を行い、製品１０に添付文書が添付されている
か否か判定し、有無判定信号を出力する。
【００１９】このように本実施形態では、製品１０が通
過したときに１回だけのフラッシュ照射するようにして
いるので、搬送コンベヤ１２が停止したり、製品１０が
詰まったりするトラブルが発生した場合でも、製品１０
が長時間にわたってＸ線に曝され続ける危険性を回避す
ることができる。
過したときに１回だけのフラッシュ照射するようにして
いるので、搬送コンベヤ１２が停止したり、製品１０が
詰まったりするトラブルが発生した場合でも、製品１０
が長時間にわたってＸ線に曝され続ける危険性を回避す
ることができる。
【００２０】また、搬送コンベヤ１２の速度が変動した
り、搬送コンベヤ１２の機械的精度の関連で、製品１０
の位置が変動しても、そのような影響を受けることなく
安定した透過像を得ることができる。そして、高速で移
動する製品１０に対しても静止画の透過像を得ることが
できるので、生産効率を低下させることがない、次に、
本実施形態のＸ線検査装置の動作について説明する。
り、搬送コンベヤ１２の機械的精度の関連で、製品１０
の位置が変動しても、そのような影響を受けることなく
安定した透過像を得ることができる。そして、高速で移
動する製品１０に対しても静止画の透過像を得ることが
できるので、生産効率を低下させることがない、次に、
本実施形態のＸ線検査装置の動作について説明する。
【００２１】製品１０は搬送コンベヤ１２により搬送さ
れ、カバー（図示せず）開口部より内部の検査用空間に
進入する。位置センサ２４により製品１０が検査位置に
達したことが検出されると、検査開始信号が画像処理部
２８に出力される。
れ、カバー（図示せず）開口部より内部の検査用空間に
進入する。位置センサ２４により製品１０が検査位置に
達したことが検出されると、検査開始信号が画像処理部
２８に出力される。
【００２２】画像処理部２８は位置センサ２４からの検
査開始信号に基づいて、Ｘ線照射部コントローラ２６に
対して、Ｘ線照射開始信号を出力する。Ｘ線照射部コン
トローラ２６は、画像処理部２８からのＸ線照射開始信
号に基づいて、Ｘ線照射部１４、１６にＸ線照射信号を
出力する。Ｘ線照射部１４、１６は、Ｘ線照射部コント
ローラ２６からのＸ線照射信号に基づいて、それぞれ製
品１０に対してパルス状のＸ線をほぼ同時に照射する。
Ｘ線撮像部１８、２０は、製品１０を透過したＸ線を受
光し、製品１０内部の２方向からの透過映像をそれぞれ
撮像する。このように撮像された２つの撮像画像は画像
処理部２８に出力される。
査開始信号に基づいて、Ｘ線照射部コントローラ２６に
対して、Ｘ線照射開始信号を出力する。Ｘ線照射部コン
トローラ２６は、画像処理部２８からのＸ線照射開始信
号に基づいて、Ｘ線照射部１４、１６にＸ線照射信号を
出力する。Ｘ線照射部１４、１６は、Ｘ線照射部コント
ローラ２６からのＸ線照射信号に基づいて、それぞれ製
品１０に対してパルス状のＸ線をほぼ同時に照射する。
Ｘ線撮像部１８、２０は、製品１０を透過したＸ線を受
光し、製品１０内部の２方向からの透過映像をそれぞれ
撮像する。このように撮像された２つの撮像画像は画像
処理部２８に出力される。
【００２３】画像処理部２８は、入力された２つの撮像
画像に基づいて、添付文書の有無判定処理を行い、製品
１０に添付文書が添付されていたか否かを判定する。そ
の判定結果は有無判定信号として出力され、不良品と判
定された製品１０は、例えば、フラッパーやエアージェ
ット等の製品排除装置（図示せず）により搬送コンベヤ
から排除される。
画像に基づいて、添付文書の有無判定処理を行い、製品
１０に添付文書が添付されていたか否かを判定する。そ
の判定結果は有無判定信号として出力され、不良品と判
定された製品１０は、例えば、フラッパーやエアージェ
ット等の製品排除装置（図示せず）により搬送コンベヤ
から排除される。
【００２４】本実施形態によるＸ線検査装置は、図３に
示すように、製品１０の搬送方向に対して、その上方
（Ａ方向）からと右側方（Ｂ方向）からＸ線をほぼ同時
に照射して、２方向からの透過像をほぼ同時に撮像し、
これら２つの撮像画像から欠陥を検査するようにしてい
る。
示すように、製品１０の搬送方向に対して、その上方
（Ａ方向）からと右側方（Ｂ方向）からＸ線をほぼ同時
に照射して、２方向からの透過像をほぼ同時に撮像し、
これら２つの撮像画像から欠陥を検査するようにしてい
る。
【００２５】例えば、図３に示すように、製品１０が、
内容物である薬品１１ａの一部に添付文書１１ｂが被せ
られており、これら薬品１１ａと添付文書１１ｂが包装
箱１１ｃに包装されていて、製品１０が搬送方向に搬送
されている場合、Ａ方向とＢ方向からＸ線を照射するこ
とにより、図４（ａ）と図４（ｂ）に示す透過像を撮像
することができる。図４（ａ）では添付文書１１ｂがコ
の字状の断面として撮像され、図４（ｂ）では添付文書
１１ｂの頂部が重なって撮像されている。
内容物である薬品１１ａの一部に添付文書１１ｂが被せ
られており、これら薬品１１ａと添付文書１１ｂが包装
箱１１ｃに包装されていて、製品１０が搬送方向に搬送
されている場合、Ａ方向とＢ方向からＸ線を照射するこ
とにより、図４（ａ）と図４（ｂ）に示す透過像を撮像
することができる。図４（ａ）では添付文書１１ｂがコ
の字状の断面として撮像され、図４（ｂ）では添付文書
１１ｂの頂部が重なって撮像されている。
【００２６】添付文書１１ｂが非常に薄い紙で形成さ
れ、図４（ａ）の透過像では十分な差異がなく検出でき
ない場合であっても、図４（ｂ）に示すように、添付文
書１１ｂを頂部の重なり部分を含む透過像であれば十分
な差異がある像を得ることができ、これにより添付文書
１１ｂの有無を確実に検査することができる。
れ、図４（ａ）の透過像では十分な差異がなく検出でき
ない場合であっても、図４（ｂ）に示すように、添付文
書１１ｂを頂部の重なり部分を含む透過像であれば十分
な差異がある像を得ることができ、これにより添付文書
１１ｂの有無を確実に検査することができる。
【００２７】また、搬送時の製品１０の向きが異なる場
合でも、２方向から透過像を撮像しているので、検査に
適した透過像を確実に得ることができる。
合でも、２方向から透過像を撮像しているので、検査に
適した透過像を確実に得ることができる。
【００２８】また、２方向からの透過像を画像処理する
ことにより、擬似的な三次元画像を生成することができ
る。例えば、透過像であるため一方向から透過画像で
は、画像の各部分の前後の位置関係を把握するのが困難
であるが、他の方向からの透過像を用いれば、各部分の
前後の位置関係も容易に把握することができる。
ことにより、擬似的な三次元画像を生成することができ
る。例えば、透過像であるため一方向から透過画像で
は、画像の各部分の前後の位置関係を把握するのが困難
であるが、他の方向からの透過像を用いれば、各部分の
前後の位置関係も容易に把握することができる。
【００２９】また、本実施形態によるＸ線検査装置を生
産ラインの途中に設置すれば、製品を停止させることな
く全数を自動的に検査することが可能となる。Ｘ線検査
装置の有無判定信号を用いて不良品を自動的にリジェク
トすることが可能である。
産ラインの途中に設置すれば、製品を停止させることな
く全数を自動的に検査することが可能となる。Ｘ線検査
装置の有無判定信号を用いて不良品を自動的にリジェク
トすることが可能である。
【００３０】本発明は上記実施形態に限らず種々の変形
が可能である。
が可能である。
【００３１】上記実施形態では、医薬品に添付される添
付文書の有無検査に本発明を適用したが、他の製品の様
々な添付品の有無検査にも適用することが可能である。
例えば、食品に添付される説明書の有無検査や、インス
タント食品に添付される調味料の有無検査、食品に添付
されるスプーンやストローの有無検査、化粧品に添付さ
れる説明書等の有無検査、化粧品に添付される刷毛やブ
ラシの有無検査等々のあらゆる製品の様々な添付品の有
無検査に適用することができる。
付文書の有無検査に本発明を適用したが、他の製品の様
々な添付品の有無検査にも適用することが可能である。
例えば、食品に添付される説明書の有無検査や、インス
タント食品に添付される調味料の有無検査、食品に添付
されるスプーンやストローの有無検査、化粧品に添付さ
れる説明書等の有無検査、化粧品に添付される刷毛やブ
ラシの有無検査等々のあらゆる製品の様々な添付品の有
無検査に適用することができる。
【００３２】また、透過像により検査するので、製品を
紙、樹脂、金属製の箱、ケース、シート等に挿入包装し
たものや、内容物を紙、樹脂、金属等の容器に充填封入
したものや、内部部品や構造物を組立、ケーシング、モ
ールド封入したもの検査に、本発明を適用することがで
きる。
紙、樹脂、金属製の箱、ケース、シート等に挿入包装し
たものや、内容物を紙、樹脂、金属等の容器に充填封入
したものや、内部部品や構造物を組立、ケーシング、モ
ールド封入したもの検査に、本発明を適用することがで
きる。
【００３３】さらに、添付品に限らず製品のあらゆる検
査に対して本発明を適用することができる。
査に対して本発明を適用することができる。
【００３４】また、上記実施形態では、検査対象に対し
て二方向からＸ線を照射して透過像を撮像したが、二方
向以上の三方向や四方向などの多方向からＸ線を照射し
て、それら透過像に基づいて検査対象を検査するように
してもよい。
て二方向からＸ線を照射して透過像を撮像したが、二方
向以上の三方向や四方向などの多方向からＸ線を照射し
て、それら透過像に基づいて検査対象を検査するように
してもよい。
【００３５】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、検査対象
に対して二方向からＸ線を照射し、二方向からのＸ線に
よる検査対象の透過像をそれぞれ撮像し、その撮像され
た２つの透過像に基づいて検査対象を検査するようにし
たので、検査対象の欠陥をより確実に検査することがで
きる。
に対して二方向からＸ線を照射し、二方向からのＸ線に
よる検査対象の透過像をそれぞれ撮像し、その撮像され
た２つの透過像に基づいて検査対象を検査するようにし
たので、検査対象の欠陥をより確実に検査することがで
きる。
【図１】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の詳細
を示す図である。
を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置におけ
るＸ線の照射方向の具体例を示す図である。
るＸ線の照射方向の具体例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置におけ
る撮像画像を示す図である。
る撮像画像を示す図である。
１０…製品 １１ａ…薬品 １１ｂ…添付文書 １１ｃ…包装箱 １２…搬送コンベヤ １４、１６…Ｘ線照射部 １８、２０…Ｘ線撮像部 １８ａ、２０ａ…Ｘ線用光電子増倍管 １８ｂ、２０ｂ…光学系レンズ １８ｃ、２０ｃ…ＣＣＤカメラ ２４…位置センサ ２６…Ｘ線照射部コントローラ ２８…画像処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA10 BA11 CA01 DA01 DA06 GA06 GA08 HA13 JA01 JA09 JA13 KA03 LA01 PA01 PA06 PA11
Claims (4)
- 【請求項１】 検査対象に対して第１の方向からＸ線を
照射する第１のＸ線照射部と、 前記第１のＸ線照射部から照射されたＸ線により前記検
査対象を撮影する第１のＸ線撮影部と、 前記検査対象に対して前記第１の方向とは異なる第２の
方向からＸ線を照射する第２のＸ線照射部と、 前記第２のＸ線照射部から照射されたＸ線により前記検
査対象を撮影する第２のＸ線撮影部とを有することを特
徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のＸ線検査装置において、 前記検査対象を搬送する搬送部を更に有し、 前記第１のＸ線照射部は、前記搬送部を搬送される前記
検査対象に対して上方からＸ線を照射し、 前記第２のＸ線照射部は、前記搬送部を搬送される前記
検査対象に対して側方からＸ線を照射することを特徴と
するＸ線検査装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のＸ線検査装置にお
いて、 前記第１のＸ線照射部及び前記第２のＸ線照射部は、Ｘ
線をパルス的に照射し、 前記第１のＸ線撮影部及び前記第２のＸ線撮影部は、前
記検査対象の二次元画像を撮像することを特徴とするＸ
線検査装置。 - 【請求項４】 検査対象に対して二方向からＸ線を照射
し、二方向からのＸ線による前記検査対象の透過像をそ
れぞれ撮像し、その撮像された２つの透過像に基づいて
前記検査対象を検査することを特徴とするＸ線検査方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11044645A JP2000241367A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11044645A JP2000241367A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241367A true JP2000241367A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12697190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11044645A Pending JP2000241367A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000241367A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003085391A1 (fr) * | 2002-04-05 | 2003-10-16 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | Technique d'inspection aux rayons x d'un pneumatique et appareil a cet effet |
| JP2006308315A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
| CN113167567A (zh) * | 2019-01-25 | 2021-07-23 | 东丽株式会社 | 结构体检查方法及制造方法、结构体检查装置及制造装置 |
-
1999
- 1999-02-23 JP JP11044645A patent/JP2000241367A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003085391A1 (fr) * | 2002-04-05 | 2003-10-16 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | Technique d'inspection aux rayons x d'un pneumatique et appareil a cet effet |
| US7076022B2 (en) | 2002-04-05 | 2006-07-11 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | Method and device for X-ray inspection of tire |
| JP2006308315A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
| CN113167567A (zh) * | 2019-01-25 | 2021-07-23 | 东丽株式会社 | 结构体检查方法及制造方法、结构体检查装置及制造装置 |
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