JP2000237947A - ドレッサ - Google Patents
ドレッサInfo
- Publication number
- JP2000237947A JP2000237947A JP11041376A JP4137699A JP2000237947A JP 2000237947 A JP2000237947 A JP 2000237947A JP 11041376 A JP11041376 A JP 11041376A JP 4137699 A JP4137699 A JP 4137699A JP 2000237947 A JP2000237947 A JP 2000237947A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellets
- grindstone
- dresser
- base
- surface plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 砥石の平面度出しの精度を高める。
【解決手段】 円板状の基台２と、基台２の表面に貼着
される複数のペレット４、４……からなる目立部材３と
を具えたドレッサ１において、径の異なる複数の環状の
ペレット４、４……によって目立部材３を構成し、基台
２の表面にペレット４、４……を同心円をなすように貼
着する。ドレッサ１の全体を基台２の中心と定盤５の中
心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂで等分して、各
ブロック内におけるペレット４、４……の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内のペレット４、４
……の接触面積はそれぞれ等しくなる。したがって、砥
石６の表面の圧力分布を定盤の直径方向に対して全体に
渡って均一にすることができるので、砥石の平面度出し
の精度を高めることができることになる。
される複数のペレット４、４……からなる目立部材３と
を具えたドレッサ１において、径の異なる複数の環状の
ペレット４、４……によって目立部材３を構成し、基台
２の表面にペレット４、４……を同心円をなすように貼
着する。ドレッサ１の全体を基台２の中心と定盤５の中
心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂで等分して、各
ブロック内におけるペレット４、４……の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内のペレット４、４
……の接触面積はそれぞれ等しくなる。したがって、砥
石６の表面の圧力分布を定盤の直径方向に対して全体に
渡って均一にすることができるので、砥石の平面度出し
の精度を高めることができることになる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は研磨装置の砥石等
の目立（ドレッシング、以下同じ）に用いられるドレッ
サに関し、特に、砥石の表面を高精度で目立することが
できるとともに、砥石の表面の形状を様々な形状（フラ
ット等）に加工することができるドレッサに関するもの
である。
の目立（ドレッシング、以下同じ）に用いられるドレッ
サに関し、特に、砥石の表面を高精度で目立することが
できるとともに、砥石の表面の形状を様々な形状（フラ
ット等）に加工することができるドレッサに関するもの
である。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】アルミディスク等の円板
状の被加工物の表面を研磨する研磨装置には種々の型式
のものがあり、例えば、表面に砥石を貼着した定盤上に
被加工物を載置し、被加工物をキャリヤによって強制的
に回転させつつ、砥石と被加工物との間に研磨液を供給
することにより、被加工物の表面を研磨するように構成
したものが知られている。
状の被加工物の表面を研磨する研磨装置には種々の型式
のものがあり、例えば、表面に砥石を貼着した定盤上に
被加工物を載置し、被加工物をキャリヤによって強制的
に回転させつつ、砥石と被加工物との間に研磨液を供給
することにより、被加工物の表面を研磨するように構成
したものが知られている。
【０００３】このような構成の研磨装置にあっては、被
加工物の研磨面の加工精度を高める等のために、装置の
運転を開始する前に、ドレッサによって砥石の表面を目
立する平面度出し作業が行われている。その一例を図７
に示す。
加工物の研磨面の加工精度を高める等のために、装置の
運転を開始する前に、ドレッサによって砥石の表面を目
立する平面度出し作業が行われている。その一例を図７
に示す。
【０００４】ここで、ドレッサ１１は、円板状の基台１
２と、基台１２の表面に貼着される砥粒を造粒して円柱
状に形成した複数のペレット１４、１４……からなる目
立部材１３とを具えたものであって、目立部材１３の複
数のペレット１４、１４……を定盤１５上の砥石１６に
接触させた状態で、ドレッサ１１と定盤１５とを相対運
動（回転）させることにより、砥石１６の表面を目立す
ることができるものである。
２と、基台１２の表面に貼着される砥粒を造粒して円柱
状に形成した複数のペレット１４、１４……からなる目
立部材１３とを具えたものであって、目立部材１３の複
数のペレット１４、１４……を定盤１５上の砥石１６に
接触させた状態で、ドレッサ１１と定盤１５とを相対運
動（回転）させることにより、砥石１６の表面を目立す
ることができるものである。
【０００５】しかしながら、上記のような構成のドレッ
サ１１にあっては、目立部材１３のペレット１４、１４
……が基台１２の表面の外周部のみにしか設けられてい
ないために、定盤１５の直径方向（図７のａ方向）で見
た場合、砥石１６に対するペレット１４、１４……の接
触面積が場所によって大きく異なる。このため、接触面
積の大きい部分がより多く目立されることになり、砥石
１６の表面形状を定盤１５の直径方向（図７のａ方向）
に対してフラットに形成することができない（図９参
照）。
サ１１にあっては、目立部材１３のペレット１４、１４
……が基台１２の表面の外周部のみにしか設けられてい
ないために、定盤１５の直径方向（図７のａ方向）で見
た場合、砥石１６に対するペレット１４、１４……の接
触面積が場所によって大きく異なる。このため、接触面
積の大きい部分がより多く目立されることになり、砥石
１６の表面形状を定盤１５の直径方向（図７のａ方向）
に対してフラットに形成することができない（図９参
照）。
【０００６】このことは、ドレッサ１１を、基台１２の
中心と定盤１５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直
線ｂで複数に等分して、各ブロック内における目立部材
１３のペレット１４、１４……の砥石１６に対する接触
面積を求めることによって明らかになる。
中心と定盤１５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直
線ｂで複数に等分して、各ブロック内における目立部材
１３のペレット１４、１４……の砥石１６に対する接触
面積を求めることによって明らかになる。
【０００７】例えば、内径が９２０ｍｍ、外径が１４８
０ｍｍの定盤１５を用いて、ドレッサ１１を、基台１２
の中心と定盤１５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想
直線ｂで２０等分して、定盤１５の内径に対応する仮想
直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍｍ、そ
の外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤１５の外径
に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとし、各ブロック内
における目立部材１３のペレット１４、１４……の砥石
１６に対する接触面積を求めると、１４〜７０ｍｍ、２
１０〜２６６ｍｍの範囲内における接触面積が大きいこ
とが分かる。また、ペレット１４、１４……が密に設け
られていないため、均等な接触をしていないことも分か
る。なお、定盤１５からはみ出ているドレッサ１１の部
分は考慮していない。
０ｍｍの定盤１５を用いて、ドレッサ１１を、基台１２
の中心と定盤１５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想
直線ｂで２０等分して、定盤１５の内径に対応する仮想
直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍｍ、そ
の外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤１５の外径
に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとし、各ブロック内
における目立部材１３のペレット１４、１４……の砥石
１６に対する接触面積を求めると、１４〜７０ｍｍ、２
１０〜２６６ｍｍの範囲内における接触面積が大きいこ
とが分かる。また、ペレット１４、１４……が密に設け
られていないため、均等な接触をしていないことも分か
る。なお、定盤１５からはみ出ているドレッサ１１の部
分は考慮していない。
【０００８】さらに、砥石１６の圧力分布を求めると、
図示はしないが、目立部材１３のペレット１４、１４…
…の砥石１６に対する接触面積が大きい部分の圧力が高
いことが分かる。
図示はしないが、目立部材１３のペレット１４、１４…
…の砥石１６に対する接触面積が大きい部分の圧力が高
いことが分かる。
【０００９】以上のことから、目立部材１３のペレット
１４、１４……の砥石１６に対する接触面積が大きい部
分が他の部分よりも多く目立され、砥石１６の表面形状
は図９に示すようになる。したがって、上記のような構
成のドレッサ１１で目立した砥石１６の平面度出しの精
度は低く、そのような砥石１６を用いて研磨する被加工
物の研磨面の加工精度も低くなる。
１４、１４……の砥石１６に対する接触面積が大きい部
分が他の部分よりも多く目立され、砥石１６の表面形状
は図９に示すようになる。したがって、上記のような構
成のドレッサ１１で目立した砥石１６の平面度出しの精
度は低く、そのような砥石１６を用いて研磨する被加工
物の研磨面の加工精度も低くなる。
【００１０】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、砥石の平面度出しの精
度を大幅に高めることができて、被加工物の研磨面の加
工精度を大幅に高めることができるとともに、砥石の表
面を所望の表面形状に目立することができて、被加工物
の研磨面を所望の表面形状に加工することができるドレ
ッサを提供することを目的とするものである。
問題点を解決したものであって、砥石の平面度出しの精
度を大幅に高めることができて、被加工物の研磨面の加
工精度を大幅に高めることができるとともに、砥石の表
面を所望の表面形状に目立することができて、被加工物
の研磨面を所望の表面形状に加工することができるドレ
ッサを提供することを目的とするものである。
【００１１】
【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、定盤上に設けられ、定盤の表面に
貼着した砥石の表面を定盤と相対運動することにより目
立するドレッサであって、円板状の基台と、該基台の表
面に設けられて前記砥石の表面に接触する複数のペレッ
トからなる目立部材とを具え、該目立部材は、径の異な
る複数のペレット（丸型ペレット、扇型ペレット、一体
型のリング状ペレット、その他の形状のペレット）を前
記基台の表面に同心円をなすように設けてなる手段を採
用したものである。また、全体を基台の中心と定盤の中
心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数に等分した場
合に、各ブロック内におけるペレットの砥石に対する接
触面積がそれぞれ等しくなるように構成した手段を採用
したものである。さらに、全体を基台の中心と定盤の中
心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数に等分した場
合に、各ブロック内におけるペレットの砥石に対する接
触面積がそれぞれ所定の値になるように構成した手段を
採用したものである。
るためにこの発明は、定盤上に設けられ、定盤の表面に
貼着した砥石の表面を定盤と相対運動することにより目
立するドレッサであって、円板状の基台と、該基台の表
面に設けられて前記砥石の表面に接触する複数のペレッ
トからなる目立部材とを具え、該目立部材は、径の異な
る複数のペレット（丸型ペレット、扇型ペレット、一体
型のリング状ペレット、その他の形状のペレット）を前
記基台の表面に同心円をなすように設けてなる手段を採
用したものである。また、全体を基台の中心と定盤の中
心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数に等分した場
合に、各ブロック内におけるペレットの砥石に対する接
触面積がそれぞれ等しくなるように構成した手段を採用
したものである。さらに、全体を基台の中心と定盤の中
心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数に等分した場
合に、各ブロック内におけるペレットの砥石に対する接
触面積がそれぞれ所定の値になるように構成した手段を
採用したものである。
【００１２】
【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、定盤とドレッサとを相対運動させると、目立部材
の複数のペレットによって砥石の表面が目立され、砥石
の表面が所望の形状に形成されることになる。そして、
基台の表面に径の異なる複数のペレット（丸型ペレッ
ト、扇型ペレット、一体型のリング状ペレット、その他
の形状のペレット）を同心円をなすように設ける場合に
は、各ペレットの径、幅、間隔等を調整することによっ
て、定盤上の砥石に対する目立部材のペレットの接触面
積を所望の値に調整することが可能となり、砥石の表面
形状を所望の形状に形成することができることになる。
より、定盤とドレッサとを相対運動させると、目立部材
の複数のペレットによって砥石の表面が目立され、砥石
の表面が所望の形状に形成されることになる。そして、
基台の表面に径の異なる複数のペレット（丸型ペレッ
ト、扇型ペレット、一体型のリング状ペレット、その他
の形状のペレット）を同心円をなすように設ける場合に
は、各ペレットの径、幅、間隔等を調整することによっ
て、定盤上の砥石に対する目立部材のペレットの接触面
積を所望の値に調整することが可能となり、砥石の表面
形状を所望の形状に形成することができることになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
によるドレッサの第１の実施の形態が示されていて、こ
の実施の形態に示すドレッサ１は、円板状の基台２と、
基台２の表面に貼着される目立部材３とを具えている。
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
によるドレッサの第１の実施の形態が示されていて、こ
の実施の形態に示すドレッサ１は、円板状の基台２と、
基台２の表面に貼着される目立部材３とを具えている。
【００１４】目立部材３は、砥粒を造粒して環状に形成
した径の異なる複数のペレット４、４……を、基台２の
表面に基台２の中心を中心として同心円をなすように貼
着したものであって、各ペレット４の表面に網目状に溝
を設けたものである。
した径の異なる複数のペレット４、４……を、基台２の
表面に基台２の中心を中心として同心円をなすように貼
着したものであって、各ペレット４の表面に網目状に溝
を設けたものである。
【００１５】この場合、目立部材３は、最内層に位置す
る内径が５６ｍｍ、外径が７０ｍｍのペレット４、第２
層に位置する内径が１１２ｍｍ、外径が１２６ｍｍのペ
レット４、第３層に位置する内径が１６８ｍｍ、外径が
１８４ｍｍのペレット４、第４層に位置する内径が２２
２ｍｍ、外径が２４２ｍｍのペレット４、最外層に位置
する内径が２６１ｍｍ、外径が２９１ｍｍのペレット４
の５個のペレット４を具えているが、これら以外の組合
わせであってもよいものである。
る内径が５６ｍｍ、外径が７０ｍｍのペレット４、第２
層に位置する内径が１１２ｍｍ、外径が１２６ｍｍのペ
レット４、第３層に位置する内径が１６８ｍｍ、外径が
１８４ｍｍのペレット４、第４層に位置する内径が２２
２ｍｍ、外径が２４２ｍｍのペレット４、最外層に位置
する内径が２６１ｍｍ、外径が２９１ｍｍのペレット４
の５個のペレット４を具えているが、これら以外の組合
わせであってもよいものである。
【００１６】そして、上記のように構成したこの実施の
形態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、
目立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
形態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、
目立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
【００１７】ここで、ドレッサ１の全体を、基台２の中
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとして、各ブロ
ック内における目立部材３のペレット４の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内におけるペレット
４の砥石６に対する接触面積はそれぞれ等しくなる（図
２参照）。なお、定盤５からはみ出ているドレッサ１の
部分は考慮していない。
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとして、各ブロ
ック内における目立部材３のペレット４の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内におけるペレット
４の砥石６に対する接触面積はそれぞれ等しくなる（図
２参照）。なお、定盤５からはみ出ているドレッサ１の
部分は考慮していない。
【００１８】したがって、上記のような構成のドレッサ
１を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場
合に、砥石６に対する目立部材３のペレット４の接触面
積を定盤５（砥石６）の直径方向（図１のａ方向）に対
して全体に渡って均一にすることができることになる。
この結果、砥石６の表面の圧力分布を定盤５（砥石６）
の直径方向に対して全体に渡って均一にすることができ
るので、その方向に対して砥石の表面を全体に渡って均
一に目立てすることができ、砥石の表面形状をフラット
に形成することができることになる。また、砥石６の平
面度出し精度を大幅に高めることができるので、このよ
うな砥石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等
の円板状の被加工物の研磨面を研磨する場合に、被加工
物の研磨面の加工精度を大幅に高めることができること
になる。
１を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場
合に、砥石６に対する目立部材３のペレット４の接触面
積を定盤５（砥石６）の直径方向（図１のａ方向）に対
して全体に渡って均一にすることができることになる。
この結果、砥石６の表面の圧力分布を定盤５（砥石６）
の直径方向に対して全体に渡って均一にすることができ
るので、その方向に対して砥石の表面を全体に渡って均
一に目立てすることができ、砥石の表面形状をフラット
に形成することができることになる。また、砥石６の平
面度出し精度を大幅に高めることができるので、このよ
うな砥石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等
の円板状の被加工物の研磨面を研磨する場合に、被加工
物の研磨面の加工精度を大幅に高めることができること
になる。
【００１９】図３及び図４には、この発明によるドレッ
サの第２の実施の形態が示されていて、この実施の形態
に示すドレッサ１は、目立部材３を複数（５個）の環状
のペレット４、４……によって構成し、最内層のペレッ
ト４に内径が５９ｍｍ、外径が６８ｍｍ、第２層のペレ
ット４に内径が１１４ｍｍ、外径が１２３ｍｍ、第３層
のペレット４に内径が１６９ｍｍ、外径が１８３ｍｍ、
第４層のペレット４に内径が２２２ｍｍ、外径が２４１
ｍｍ、最外層のペレット４に内径が２６１ｍｍ、外径が
２９１ｍｍのものを用いたものであって、その他の構成
は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
サの第２の実施の形態が示されていて、この実施の形態
に示すドレッサ１は、目立部材３を複数（５個）の環状
のペレット４、４……によって構成し、最内層のペレッ
ト４に内径が５９ｍｍ、外径が６８ｍｍ、第２層のペレ
ット４に内径が１１４ｍｍ、外径が１２３ｍｍ、第３層
のペレット４に内径が１６９ｍｍ、外径が１８３ｍｍ、
第４層のペレット４に内径が２２２ｍｍ、外径が２４１
ｍｍ、最外層のペレット４に内径が２６１ｍｍ、外径が
２９１ｍｍのものを用いたものであって、その他の構成
は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
【００２０】そして、上記のような構成のこの実施の形
態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、目
立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、目
立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
【００２１】ここで、ドレッサ１の全体を、基台２の中
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとし、各ブロッ
ク内におけるペレット４の砥石６に対する接触面積を求
めると、外周部の接触面積が中央部よりも大きくなる
（図４参照）。なお、定盤からはみ出ているドレッサ１
の部分は考慮していない。
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとし、各ブロッ
ク内におけるペレット４の砥石６に対する接触面積を求
めると、外周部の接触面積が中央部よりも大きくなる
（図４参照）。なお、定盤からはみ出ているドレッサ１
の部分は考慮していない。
【００２２】したがって、このような構成のドレッサ１
を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場合
に、定盤５上の砥石６に対するペレット４の接触面積
は、定盤５の直径方向（図３のａ方向）に対して、中央
部が小さくなり、圧力分布も中央部が小さくなるので、
砥石６の表面形状を中央部が高くなるように形成するこ
とができることになる。
を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場合
に、定盤５上の砥石６に対するペレット４の接触面積
は、定盤５の直径方向（図３のａ方向）に対して、中央
部が小さくなり、圧力分布も中央部が小さくなるので、
砥石６の表面形状を中央部が高くなるように形成するこ
とができることになる。
【００２３】この結果、このような中央高に形成した砥
石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等の円板
状の被加工物の研磨面を研磨した場合に、被加工物との
接触面積が一番大きい砥石６の中央部が被加工物によっ
て削れるのを防止できることになる。
石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等の円板
状の被加工物の研磨面を研磨した場合に、被加工物との
接触面積が一番大きい砥石６の中央部が被加工物によっ
て削れるのを防止できることになる。
【００２４】図５及び図６には、この発明によるドレッ
サの第３の実施の形態が示されていて、この実施の形態
に示すドレッサ１は、目立部材３を複数（５個）の環状
のペレット４、４……によって構成し、最内層のペレッ
ト４に内径が５６ｍｍ、外径が７０ｍｍ、第２層のペレ
ット４に内径が１１２ｍｍ、外径が１２６ｍｍ、第３層
のペレット４に内径が１６８ｍｍ、外径が１８４ｍｍ、
第４層のペレット４に内径が２２２ｍｍ、外径が２４２
ｍｍ、最外層のペレット４に内径が２６１ｍｍ、外径が
２９１ｍｍのものを用いたものであって、その他の構成
は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
サの第３の実施の形態が示されていて、この実施の形態
に示すドレッサ１は、目立部材３を複数（５個）の環状
のペレット４、４……によって構成し、最内層のペレッ
ト４に内径が５６ｍｍ、外径が７０ｍｍ、第２層のペレ
ット４に内径が１１２ｍｍ、外径が１２６ｍｍ、第３層
のペレット４に内径が１６８ｍｍ、外径が１８４ｍｍ、
第４層のペレット４に内径が２２２ｍｍ、外径が２４２
ｍｍ、最外層のペレット４に内径が２６１ｍｍ、外径が
２９１ｍｍのものを用いたものであって、その他の構成
は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
【００２５】この場合、最内層のペレット４及び第２層
のペレット４は、直径が７ｍｍの円柱状の複数ペレット
を環状に並べて全体を環状に形成したものであって、第
３層のペレット４は、直径が８ｍｍの円柱状の複数のペ
レットを環状に並べて全体を環状に形成したものであっ
て、第４層のペレット４は、直径が１０ｍｍの円柱状の
複数のペレットを環状に並べて全体を環状に形成したも
のであって、最外層のペレット４は、直径が１５ｍｍの
円柱状の複数のペレットを環状に並べて全体を環状に形
成したものである。
のペレット４は、直径が７ｍｍの円柱状の複数ペレット
を環状に並べて全体を環状に形成したものであって、第
３層のペレット４は、直径が８ｍｍの円柱状の複数のペ
レットを環状に並べて全体を環状に形成したものであっ
て、第４層のペレット４は、直径が１０ｍｍの円柱状の
複数のペレットを環状に並べて全体を環状に形成したも
のであって、最外層のペレット４は、直径が１５ｍｍの
円柱状の複数のペレットを環状に並べて全体を環状に形
成したものである。
【００２６】そして、上記のように構成したこの実施の
形態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、
目立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
形態によるドレッサ１を研磨装置の定盤５上に位置し、
目立部材３のペレット４を定盤５上の砥石６に接触させ
て、定盤５とドレッサ１とを相対運動（回転）させるこ
とにより、砥石６の表面を目立てすることができるもの
である。
【００２７】ここで、ドレッサ１の全体を、基台２の中
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとして、各ブロ
ック内における目立部材３のペレット４の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内におけるペレット
４の砥石６に対する接触面積はそれぞれ等しくなる（図
６参照）。なお、定盤５からはみ出ているドレッサ１の
部分は考慮していない。
心と定盤５の中心とを結ぶ直線ａに直交する仮想直線ｂ
で複数に等分（２０等分）し、定盤５の内径に対応する
仮想直線ｂを０ｍｍ、その外側の仮想直線ｂを１４ｍ
ｍ、その外側の仮想直線ｂを２８ｍｍ、……、定盤５の
外径に対応する仮想直線ｂを２８０ｍｍとして、各ブロ
ック内における目立部材３のペレット４の砥石６に対す
る接触面積を求めると、各ブロック内におけるペレット
４の砥石６に対する接触面積はそれぞれ等しくなる（図
６参照）。なお、定盤５からはみ出ているドレッサ１の
部分は考慮していない。
【００２８】したがって、上記のような構成のドレッサ
１を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場
合に、砥石６に対する目立部材３のペレット４の接触面
積を定盤５（砥石６）の直径方向（図５のａ方向）に対
して全体に渡って均一にすることができることになる。
この結果、砥石６の表面の圧力分布を定盤５（砥石６）
の直径方向に対して全体に渡って均一にすることができ
るので、その方向に対して砥石の表面を全体に渡って均
一に目立てすることができ、砥石の表面形状をフラット
に形成することができることになる。また、砥石６の平
面度出し精度を大幅に高めることができるので、このよ
うな砥石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等
の円板状の被加工物の研磨面を研磨する場合に、被加工
物の研磨面の加工精度を大幅に高めることができること
になる。
１を用いて研磨装置の定盤５上の砥石６の目立を行う場
合に、砥石６に対する目立部材３のペレット４の接触面
積を定盤５（砥石６）の直径方向（図５のａ方向）に対
して全体に渡って均一にすることができることになる。
この結果、砥石６の表面の圧力分布を定盤５（砥石６）
の直径方向に対して全体に渡って均一にすることができ
るので、その方向に対して砥石の表面を全体に渡って均
一に目立てすることができ、砥石の表面形状をフラット
に形成することができることになる。また、砥石６の平
面度出し精度を大幅に高めることができるので、このよ
うな砥石６を用いた研磨装置によってアルミディスク等
の円板状の被加工物の研磨面を研磨する場合に、被加工
物の研磨面の加工精度を大幅に高めることができること
になる。
【００２９】なお、前記各実施の形態においては、貼着
タイプのペレット４によって目立部材３を構成したが、
図示はしないが電着タイプのペレットによって目立部材
３を構成するようにしてもよいものである。さらに、前
記第３の実施の形態においては、各層のペレット４を、
円柱状の複数のペレットを環状に並べることで全体を環
状に形成したが、三角形状、四角形状、六角形状、…
…、扇形状、星形状、その他の既知の形状に形成した複
数のペレットを環状に並べて全体を環状に形成するよう
にしてもよいものである。
タイプのペレット４によって目立部材３を構成したが、
図示はしないが電着タイプのペレットによって目立部材
３を構成するようにしてもよいものである。さらに、前
記第３の実施の形態においては、各層のペレット４を、
円柱状の複数のペレットを環状に並べることで全体を環
状に形成したが、三角形状、四角形状、六角形状、…
…、扇形状、星形状、その他の既知の形状に形成した複
数のペレットを環状に並べて全体を環状に形成するよう
にしてもよいものである。
【００３０】
【発明の効果】この発明は前記のように構成して、基台
の表面に径の異なる複数のペレット（丸型ペレット、扇
型ペレット、一体型のリング状ペレット、その他の形状
のペレット）を同心円をなすように設けて目立部材とし
たことにより、目立部材のペレットの砥石に対する接触
面積をコントロールすることができることになる。した
がって、砥石の表面における圧力分布をコントロールす
ることができるので、砥石の表面形状を所望の形状に形
成することができることになる。また、全体を基台の中
心と定盤の中心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数
に等分した場合に、各ブロック内におけるペレットの砥
石に対する接触面積がそれぞれ等しくなるように構成し
たことにより、砥石の表面の圧力分布を定盤の直径方向
に対して全体に渡って均一にすることができることにな
る。したがって、砥石の平面度出しの精度を大幅に高め
ることができるので、砥石の表面形状をフラットに形成
することができ、そのような砥石を用いた研磨装置で被
加工物の研磨面を研磨する場合に、加工精度を大幅に高
めることができることになる。さらに、全体を基台の中
心と定盤の中心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数
に等分した場合に、各ブロック内におけるペレットの砥
石に対する接触面積がそれぞれ所定の値になるように構
成したことにより、砥石の表面の圧力分布を定盤の直径
方向に対して所望の値に調整することができることにな
る。したがって、砥石の表面形状を所望の形状に形成す
ることができるので、そのような砥石を用いた研磨装置
で被加工物の研磨面を研磨する場合に、研磨面を所望の
形状に加工することができることになる等の優れた効果
を奏するものである。
の表面に径の異なる複数のペレット（丸型ペレット、扇
型ペレット、一体型のリング状ペレット、その他の形状
のペレット）を同心円をなすように設けて目立部材とし
たことにより、目立部材のペレットの砥石に対する接触
面積をコントロールすることができることになる。した
がって、砥石の表面における圧力分布をコントロールす
ることができるので、砥石の表面形状を所望の形状に形
成することができることになる。また、全体を基台の中
心と定盤の中心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数
に等分した場合に、各ブロック内におけるペレットの砥
石に対する接触面積がそれぞれ等しくなるように構成し
たことにより、砥石の表面の圧力分布を定盤の直径方向
に対して全体に渡って均一にすることができることにな
る。したがって、砥石の平面度出しの精度を大幅に高め
ることができるので、砥石の表面形状をフラットに形成
することができ、そのような砥石を用いた研磨装置で被
加工物の研磨面を研磨する場合に、加工精度を大幅に高
めることができることになる。さらに、全体を基台の中
心と定盤の中心とを結ぶ直線に直交する仮想直線で複数
に等分した場合に、各ブロック内におけるペレットの砥
石に対する接触面積がそれぞれ所定の値になるように構
成したことにより、砥石の表面の圧力分布を定盤の直径
方向に対して所望の値に調整することができることにな
る。したがって、砥石の表面形状を所望の形状に形成す
ることができるので、そのような砥石を用いた研磨装置
で被加工物の研磨面を研磨する場合に、研磨面を所望の
形状に加工することができることになる等の優れた効果
を奏するものである。
【図１】この発明によるドレッサの第１の実施の形態を
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
【図２】図１に示すドレッサの各ブロック内における目
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
【図３】この発明によるドレッサの第２の実施の形態を
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
【図４】図３に示すドレッサの各ブロック内における目
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
【図５】この発明によるドレッサの第３の実施の形態を
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
示した平面図であって、基台側から目立部材を透過した
説明図である。
【図６】図５に示すドレッサの各ブロック内における目
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
【図７】従来のドレッサの一例を示した平面図であっ
て、基台側から目立部材を透過した説明図である。
て、基台側から目立部材を透過した説明図である。
【図８】図７に示すドレッサの各ブロック内における目
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
立部材の砥石に対する接触面積を示した説明図である。
【図９】目立後の砥石の表面形状を示した断面図であ
る。
る。
１、１１……ドレッサ ２、１２……基台 ３、１３……目立部材 ４、１４……ペレット ５、１５……定盤 ６、１６……砥石 ａ……直線 ｂ……仮想直線
Claims (3)
- 【請求項１】 定盤上に設けられ、定盤の表面に貼着し
た砥石の表面を定盤と相対運動することにより目立する
ドレッサであって、円板状の基台と、該基台の表面に設
けられて前記砥石の表面に接触する複数のペレットから
なる目立部材とを具え、該目立部材は、径の異なる複数
のペレット（丸型ペレット、扇型ペレット、一体型のリ
ング状ペレット、その他の形状のペレット）を前記基台
の表面に同心円をなすように設けてなることを特徴とす
るドレッサ。 - 【請求項２】 全体を基台の中心と定盤の中心とを結ぶ
直線に直交する仮想直線で複数に等分した場合に、各ブ
ロック内におけるペレットの砥石に対する接触面積がそ
れぞれ等しくなるように構成した請求項１記載のドレッ
サ。 - 【請求項３】 全体を基台の中心と定盤の中心とを結ぶ
直線に直交する仮想直線で複数に等分した場合に、各ブ
ロック内におけるペレットの砥石に対する接触面積がそ
れぞれ所定の値になるように構成した請求項１記載のド
レッサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11041376A JP2000237947A (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | ドレッサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11041376A JP2000237947A (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | ドレッサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000237947A true JP2000237947A (ja) | 2000-09-05 |
Family
ID=12606702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11041376A Pending JP2000237947A (ja) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | ドレッサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000237947A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003022523A1 (fr) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Nikon Corporation | Outil, dispositif et procede de finissage, dispositif de traitement et procede de production de dispositif a semiconducteurs |
| CN111482902A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-08-04 | 长春长光圆辰微电子技术有限公司 | 一种在化学机械研磨中修整器压力调节的方法 |
-
1999
- 1999-02-19 JP JP11041376A patent/JP2000237947A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003022523A1 (fr) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Nikon Corporation | Outil, dispositif et procede de finissage, dispositif de traitement et procede de production de dispositif a semiconducteurs |
| CN111482902A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-08-04 | 长春长光圆辰微电子技术有限公司 | 一种在化学机械研磨中修整器压力调节的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09103954A (ja) | ポリシング装置 | |
| JP6271339B2 (ja) | 研削研磨装置 | |
| JPH11300599A (ja) | ワークの片面研磨方法及び装置 | |
| JP5422262B2 (ja) | 研磨パッドのコンディショナー | |
| JP2000237947A (ja) | ドレッサ | |
| JP2004327567A (ja) | 研磨パッド | |
| JP4131156B2 (ja) | 砥石による軌道輪の環状溝の超仕上げ研磨方法 | |
| CN208663464U (zh) | 化学机械研磨装置 | |
| JP6159639B2 (ja) | 研削装置 | |
| JP2004119495A (ja) | 研磨ヘッド、化学機械的研磨装置及び半導体装置の製造方法 | |
| JPH04256574A (ja) | 電着砥石の修正方法 | |
| JP3191273B2 (ja) | 研削加工用砥石車及びその電解ドレッシング方式 | |
| JP2012130995A (ja) | ドレッサ | |
| JP3046261B2 (ja) | 砥石のドレッサ及びそれに使用するペレット | |
| JPH065079Y2 (ja) | 研摩装置 | |
| JP5041803B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
| JPS62241648A (ja) | 平面加工方法及びその装置 | |
| JPH03136758A (ja) | 超砥粒メタルボンド砥石を用いたインプロセス電解ドレッシング可能なキャリアプレート型兼インフィード型研摩加工装置 | |
| JPH1110527A (ja) | 磁気ディスク用基板の研磨方法 | |
| JP2010023221A (ja) | 砥石のツルーイング方法およびツルーイング装置 | |
| TWI602651B (zh) | A Compound Chemical Mechanical Dresser | |
| JP2575934B2 (ja) | 硬脆性材料ラッピング方法および装置 | |
| TWI621502B (zh) | Double chemical mechanical polishing trimming system and method thereof | |
| JP2001110763A5 (ja) | ||
| TW201446415A (zh) | 研磨墊以及研磨方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060215 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091006 |