JP2000229435A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 グレーズからなる保温層の耐熱性を向上させ
たサーマルヘッドの製造方法を提供すること。 【解決手段】 放熱性基板１１の上面にグレーズからな
る第一保温層１２ａを形成し、前記第一保温層１２ａの
上面にシリコンと高融点金属と酸素とからなり、前記第
一保温層１２ａよりも高耐熱性の第二保温層１２ｂを積
層して保温層１２を複層に形成し、その複層の保温層１
２の安定化熱処理を前記第一保温層１２ａのグレーズの
ガラス転移点温度以上で、かつ、ガラス軟化点温度以下
の範囲内で行った後、前記第二保温層１２ｂの上面に複
数の発熱抵抗体１３を形成し、これらの各発熱抵抗体１
３に共通電極１４ａおよび個別電極１４ｂを接続させて
形成する。
たサーマルヘッドの製造方法を提供すること。 【解決手段】 放熱性基板１１の上面にグレーズからな
る第一保温層１２ａを形成し、前記第一保温層１２ａの
上面にシリコンと高融点金属と酸素とからなり、前記第
一保温層１２ａよりも高耐熱性の第二保温層１２ｂを積
層して保温層１２を複層に形成し、その複層の保温層１
２の安定化熱処理を前記第一保温層１２ａのグレーズの
ガラス転移点温度以上で、かつ、ガラス軟化点温度以下
の範囲内で行った後、前記第二保温層１２ｂの上面に複
数の発熱抵抗体１３を形成し、これらの各発熱抵抗体１
３に共通電極１４ａおよび個別電極１４ｂを接続させて
形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はサーマルプリンタに
使用されるサーマルヘッドの製造方法に係り、グレーズ
からなる保温層の耐熱性を向上させたサーマルヘッドの
製造方法に関する。
使用されるサーマルヘッドの製造方法に係り、グレーズ
からなる保温層の耐熱性を向上させたサーマルヘッドの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来のサーマルヘッドの構造を
示す断面模式図であり、アルミナ等からなる放熱性基板
１の端部に、半円弧状の部分グレーズ保温層２を形成
し、その保温層２の頂面に略１０ｕｍ高さの凸部をフォ
トリソ技術により形成し、さらに、その上にＴａ−Ｓｉ
Ｏ2 等からなる発熱抵抗体３をスパッタリング等により
積層し、フォトリソ技術で発熱抵抗体３のパターンを形
成し、前記グレーズ保温層２が熱変形を起こさないガラ
ス転移点温度以下の略７００℃で抵抗値安定化のための
熱処理を行ない、続いて、前記発熱抵抗体３に電力エネ
ルギーを供給するための共通電極４ａ、個別電極４ｂお
よび各電極の外部接続端子部（図示せず）等の電極４を
Ａｌ等をスパッタリング等で積層して、フォトリソ技術
により形成し、前記発熱抵抗体３や各電極４ａ，４ｂの
酸化や摩耗を防止するため、サイアロン等からなる数ｕ
ｍの膜厚の保護層５を、前記発熱抵抗体３および各電極
４ａ，４ｂの表面にスパッタリング等により積層して形
成している。
示す断面模式図であり、アルミナ等からなる放熱性基板
１の端部に、半円弧状の部分グレーズ保温層２を形成
し、その保温層２の頂面に略１０ｕｍ高さの凸部をフォ
トリソ技術により形成し、さらに、その上にＴａ−Ｓｉ
Ｏ2 等からなる発熱抵抗体３をスパッタリング等により
積層し、フォトリソ技術で発熱抵抗体３のパターンを形
成し、前記グレーズ保温層２が熱変形を起こさないガラ
ス転移点温度以下の略７００℃で抵抗値安定化のための
熱処理を行ない、続いて、前記発熱抵抗体３に電力エネ
ルギーを供給するための共通電極４ａ、個別電極４ｂお
よび各電極の外部接続端子部（図示せず）等の電極４を
Ａｌ等をスパッタリング等で積層して、フォトリソ技術
により形成し、前記発熱抵抗体３や各電極４ａ，４ｂの
酸化や摩耗を防止するため、サイアロン等からなる数ｕ
ｍの膜厚の保護層５を、前記発熱抵抗体３および各電極
４ａ，４ｂの表面にスパッタリング等により積層して形
成している。
【０００３】このようにして形成される従来のサーマル
ヘッドにおいては、前記発熱抵抗体３が発生させるジュ
ール熱により、前記保護層５の表面に密着した感熱紙や
熱転写インクリボン等（図示せず）を加熱することによ
り、感熱紙の発色または記録紙へのインク転写が行なわ
れて文字や画像が印字されている。
ヘッドにおいては、前記発熱抵抗体３が発生させるジュ
ール熱により、前記保護層５の表面に密着した感熱紙や
熱転写インクリボン等（図示せず）を加熱することによ
り、感熱紙の発色または記録紙へのインク転写が行なわ
れて文字や画像が印字されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、熱転写プリンタ
ーのラフ紙印字品位の改善は目覚ましいものであるが、
高印字品位を得るためには、発熱抵抗体３への印加工ネ
ルギーを高めて、発熱ドットの温度を高温化（ハイパワ
ー化）して、溶融粘度の高い樹脂系インクを用いて、染
み込みが少ないワッペンの状態にラフ紙に転写すること
が必須条件となっている。例えば、ラフ紙用熱転写シリ
アルサーマルヘッドの発熱ピーク温度は、保護層５の厚
みが数ｕｍの場合において、発熱ドットの表面温度を約
６５０℃とした時は、内部の発熱抵抗体３の温度は約１
５０℃も高い、約８００℃の高温となる。そのため、グ
レーズ保温層２には、グレーズのガラス転移温度以上の
温度が繰り返し加わるため、グレーズの熱変形による発
熱抵抗体３や保護層５のクラックや剥離が生じ、発熱抵
抗体３の酸化が発生して発熱ドットの抵抗値を上昇させ
ていた。
ーのラフ紙印字品位の改善は目覚ましいものであるが、
高印字品位を得るためには、発熱抵抗体３への印加工ネ
ルギーを高めて、発熱ドットの温度を高温化（ハイパワ
ー化）して、溶融粘度の高い樹脂系インクを用いて、染
み込みが少ないワッペンの状態にラフ紙に転写すること
が必須条件となっている。例えば、ラフ紙用熱転写シリ
アルサーマルヘッドの発熱ピーク温度は、保護層５の厚
みが数ｕｍの場合において、発熱ドットの表面温度を約
６５０℃とした時は、内部の発熱抵抗体３の温度は約１
５０℃も高い、約８００℃の高温となる。そのため、グ
レーズ保温層２には、グレーズのガラス転移温度以上の
温度が繰り返し加わるため、グレーズの熱変形による発
熱抵抗体３や保護層５のクラックや剥離が生じ、発熱抵
抗体３の酸化が発生して発熱ドットの抵抗値を上昇させ
ていた。
【０００５】また、前述のように、発熱抵抗体３の抵抗
値安定化のための熱処理温度は前記グレーズ保温層２の
耐熱性の制約から略７００℃とされていため、７００℃
以上の温度が加わると発熱ドットの抵抗値が変動して印
字のドット抜け不良を発生させるため、ハイパワー化に
は限界があった。
値安定化のための熱処理温度は前記グレーズ保温層２の
耐熱性の制約から略７００℃とされていため、７００℃
以上の温度が加わると発熱ドットの抵抗値が変動して印
字のドット抜け不良を発生させるため、ハイパワー化に
は限界があった。
【０００６】そのため、熱転写印字技術の発展ととも
に、グレーズ保温層２は高耐熱グレーズの開発（ガラス
転移点の向上）がなされているが、高耐熱グレーズはＳ
ｉＯ2組成が増加するためアルミナ基板への焼成におい
て、熱膨張係数の相違による基板のソリやグレーズの濡
れ性の低下によるグレーズの形成精度や、グレーズの溶
融粘度の高まりが気泡の抜け性を低下させ、内部欠陥率
が大きくなる等の製造問題から、単体のグレーズ保温層
２の耐熱性の改善は限界に達している。例えば、日本特
殊陶業の市販しているグレーズドアルミナ基板のグレー
ズのガラス転移点温度は、６９０℃〜７６０℃である。
に、グレーズ保温層２は高耐熱グレーズの開発（ガラス
転移点の向上）がなされているが、高耐熱グレーズはＳ
ｉＯ2組成が増加するためアルミナ基板への焼成におい
て、熱膨張係数の相違による基板のソリやグレーズの濡
れ性の低下によるグレーズの形成精度や、グレーズの溶
融粘度の高まりが気泡の抜け性を低下させ、内部欠陥率
が大きくなる等の製造問題から、単体のグレーズ保温層
２の耐熱性の改善は限界に達している。例えば、日本特
殊陶業の市販しているグレーズドアルミナ基板のグレー
ズのガラス転移点温度は、６９０℃〜７６０℃である。
【０００７】一方、スパッタリング等で形成される薄膜
発熱抵抗体３は、高抵抗化するため高融点金属のサーメ
ット、例えば、Ｔａ−ＳｉＯ2 ，Ｎｂ−ＳｉＯ2 ，Ｔｉ
−ＳｉＯ2 等が主に用いられており、これらの発熱抵抗
体３は、スパッタリングにより薄膜に形成したままでは
耐熱性が低いので、必ず抵抗値の安定化熱処理を必要と
するが、土台となるグレーズ保温層２のガラス転移温度
で熱処理を行うと、発熱抵抗体３の膜応力があるため、
グレーズ保温層２が変形を起こして表面にシワが生じる
等の不具合が発生することより、従来のサーマルヘッド
の耐熱性は、高耐熱グレーズ保温層を用いても略７５０
℃がＭＡＸとなり、所望の発熱抵抗体３の温度を８００
℃台としたハイパワーサーマルヘッドを製造することが
できないという問題があった。
発熱抵抗体３は、高抵抗化するため高融点金属のサーメ
ット、例えば、Ｔａ−ＳｉＯ2 ，Ｎｂ−ＳｉＯ2 ，Ｔｉ
−ＳｉＯ2 等が主に用いられており、これらの発熱抵抗
体３は、スパッタリングにより薄膜に形成したままでは
耐熱性が低いので、必ず抵抗値の安定化熱処理を必要と
するが、土台となるグレーズ保温層２のガラス転移温度
で熱処理を行うと、発熱抵抗体３の膜応力があるため、
グレーズ保温層２が変形を起こして表面にシワが生じる
等の不具合が発生することより、従来のサーマルヘッド
の耐熱性は、高耐熱グレーズ保温層を用いても略７５０
℃がＭＡＸとなり、所望の発熱抵抗体３の温度を８００
℃台としたハイパワーサーマルヘッドを製造することが
できないという問題があった。
【０００８】本発明は、前述の問題点を鑑み、グレーズ
からなる保温層の耐熱性を向上させたサーマルヘッドの
製造方法を提供することを目的とするものである。
からなる保温層の耐熱性を向上させたサーマルヘッドの
製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の請求項１に係るサーマルヘッドの製造方法は、
放熱性基板の上面にグレーズからなる第一保温層を形成
し、前記第一保温層の上面にシリコンと高融点金属と酸
素とからなり、前記第一保温層よりも高耐熱性の第二保
温層を積層して保温層を複層に形成し、その複層の保温
層の安定化熱処理を前記第一保温層のグレーズのガラス
転移点温度以上で、かつ、ガラス軟化点温度以下の範囲
内で行った後、前記第二保温層の上面に複数の発熱抵抗
体を形成し、これらの各発熱抵抗体に共通電極および個
別電極を接続させてなることを特徴とするものである。
本発明の請求項１に係るサーマルヘッドの製造方法は、
放熱性基板の上面にグレーズからなる第一保温層を形成
し、前記第一保温層の上面にシリコンと高融点金属と酸
素とからなり、前記第一保温層よりも高耐熱性の第二保
温層を積層して保温層を複層に形成し、その複層の保温
層の安定化熱処理を前記第一保温層のグレーズのガラス
転移点温度以上で、かつ、ガラス軟化点温度以下の範囲
内で行った後、前記第二保温層の上面に複数の発熱抵抗
体を形成し、これらの各発熱抵抗体に共通電極および個
別電極を接続させてなることを特徴とするものである。
【００１０】また、請求項２に係るサーマルヘッドの製
造方法は、請求項１に記載のサーマルヘッドの製造方法
において、前記第二保温層は、前記第一保温層上に少な
くとも１５ｕｍの厚みに蒸着により積層形成することを
特徴とするものであり、請求項３に係るサーマルヘッド
の製造方法は、請求項１または請求項２に記載のサーマ
ルヘッドの製造方法において、前記発熱抵抗体は、発熱
抵抗体のパターンを形成してから、少なくとも８００℃
で真空熱処理を行うことを特徴とするものである。
造方法は、請求項１に記載のサーマルヘッドの製造方法
において、前記第二保温層は、前記第一保温層上に少な
くとも１５ｕｍの厚みに蒸着により積層形成することを
特徴とするものであり、請求項３に係るサーマルヘッド
の製造方法は、請求項１または請求項２に記載のサーマ
ルヘッドの製造方法において、前記発熱抵抗体は、発熱
抵抗体のパターンを形成してから、少なくとも８００℃
で真空熱処理を行うことを特徴とするものである。
【００１１】請求項１の発明によれば、放熱性基板の上
面に形成されたグレーズからなる第一保温層の上面に、
高融点材料により形成され、第一保温層よりも遥かに耐
熱性にすぐれた第二保温層を積層して、保温層を複層に
形成することで、下層の第一保温層を構成するグレーズ
のガラス転移点温度以上、かつ、ガラス軟化点温度以下
の範囲内で熱処理を行っても、上層の第二保温層の高耐
熱性と膜厚効果により発熱抵抗体を形成する第二保温層
の表面の変形の発生を防止することができ、このように
複層の保温層とすることにより、従来のグレーズ保温層
には不可能であった発熱抵抗体の安定化熱処理温度を従
来よりも高温とすることができる。
面に形成されたグレーズからなる第一保温層の上面に、
高融点材料により形成され、第一保温層よりも遥かに耐
熱性にすぐれた第二保温層を積層して、保温層を複層に
形成することで、下層の第一保温層を構成するグレーズ
のガラス転移点温度以上、かつ、ガラス軟化点温度以下
の範囲内で熱処理を行っても、上層の第二保温層の高耐
熱性と膜厚効果により発熱抵抗体を形成する第二保温層
の表面の変形の発生を防止することができ、このように
複層の保温層とすることにより、従来のグレーズ保温層
には不可能であった発熱抵抗体の安定化熱処理温度を従
来よりも高温とすることができる。
【００１２】また、請求項２の発明によれば、第二保温
層の厚みを少なくとも１５ｕｍ以上とすることで、下層
のグレーズからなる第一保温層の熱変形を確実に防止す
ることができる。
層の厚みを少なくとも１５ｕｍ以上とすることで、下層
のグレーズからなる第一保温層の熱変形を確実に防止す
ることができる。
【００１３】そして、請求項３の発明によれば、発熱抵
抗体をスパッタリング等により保温層上に積層し、発熱
抵抗体パターンを先に形成して、抵抗体膜の膜応力を低
減しているため、例えば、８００℃程度の高温で抵抗値
の安定化熱処理を行っても、発熱抵抗体の密着性に障害
が発生することを防止することができる。
抗体をスパッタリング等により保温層上に積層し、発熱
抵抗体パターンを先に形成して、抵抗体膜の膜応力を低
減しているため、例えば、８００℃程度の高温で抵抗値
の安定化熱処理を行っても、発熱抵抗体の密着性に障害
が発生することを防止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図１の
本発明のサーマルヘッドを示す断面模式図を用いて説明
する。
本発明のサーマルヘッドを示す断面模式図を用いて説明
する。
【００１５】図１に示すサーマルヘッドは、アルミナ等
からなる基板１１の上面に、グレーズからなる第一保温
層１２ａが基板１１の端部に接近し、断面が略半円弧状
を有して、略３０ｕｍの厚みに部分形成され、そのグレ
ーズからなる第一保温層１２ａの頂部にフォトリソ技術
により、台形状の凸条部が形成されている。その上に、
シリコンと高融点金属と酸素とからなる第二保温層１２
ｂがスパッタリング等により、少なくとも略１５ｕｍの
厚みに蒸著されて複層の保温層１２に形成された後、膜
の応力緩和と内蔵ガスを放出させるため、略８５０℃の
温度で安定化熱処理が施されている。その安定化熱処理
後の第二保温層１２ｂの上面には、Ｔａ−ＳｉＯ2 等か
らなる発熱抵抗体１３がスパッタリング等により積層さ
れ、抵抗値の安定化真空熱処理の前に、フォトリソ技術
により、前記複層の保温層１２に設けた凸条部の上に、
所定のパターンに整列して発熱抵抗体１３を形成し、発
熱抵抗体１３膜の膜応力を低減しておいてから、従来に
比べて１００℃以上高い８００℃〜８５０℃の温度で真
空熱処理が施されている。
からなる基板１１の上面に、グレーズからなる第一保温
層１２ａが基板１１の端部に接近し、断面が略半円弧状
を有して、略３０ｕｍの厚みに部分形成され、そのグレ
ーズからなる第一保温層１２ａの頂部にフォトリソ技術
により、台形状の凸条部が形成されている。その上に、
シリコンと高融点金属と酸素とからなる第二保温層１２
ｂがスパッタリング等により、少なくとも略１５ｕｍの
厚みに蒸著されて複層の保温層１２に形成された後、膜
の応力緩和と内蔵ガスを放出させるため、略８５０℃の
温度で安定化熱処理が施されている。その安定化熱処理
後の第二保温層１２ｂの上面には、Ｔａ−ＳｉＯ2 等か
らなる発熱抵抗体１３がスパッタリング等により積層さ
れ、抵抗値の安定化真空熱処理の前に、フォトリソ技術
により、前記複層の保温層１２に設けた凸条部の上に、
所定のパターンに整列して発熱抵抗体１３を形成し、発
熱抵抗体１３膜の膜応力を低減しておいてから、従来に
比べて１００℃以上高い８００℃〜８５０℃の温度で真
空熱処理が施されている。
【００１６】これらの発熱抵抗体１３の両端部には、Ａ
ｌ，Ｃｕ等からなる一対の共通電極１４ａと個別電極１
４ｂが形成されている。そして各電極１４ａ，１４ｂに
挟まれた各発熱抵抗体１３は、通電により発熱され実際
の印字に寄与する発熱部１３ａとなる。これらの上に
は、耐酸化性および耐摩耗性に優れたサイアロン等から
なる保護層１５がスパッタリングにより略５ｕｍに積層
されて、本発明のハイパワーサーマルヘッドが製造され
ている。
ｌ，Ｃｕ等からなる一対の共通電極１４ａと個別電極１
４ｂが形成されている。そして各電極１４ａ，１４ｂに
挟まれた各発熱抵抗体１３は、通電により発熱され実際
の印字に寄与する発熱部１３ａとなる。これらの上に
は、耐酸化性および耐摩耗性に優れたサイアロン等から
なる保護層１５がスパッタリングにより略５ｕｍに積層
されて、本発明のハイパワーサーマルヘッドが製造され
ている。
【００１７】以上説明したように、本発明に係るサーマ
ルヘッドの製造方法によれば、絶縁性の放熱性基板１１
の上面に形成されたグレーズからなる第一保温層１２ａ
の上面に、その第一保温層１２ａよりも高耐熱性の第二
保温層１２ｂを少なくとも１５ｕｍの厚みに積層して蒸
着形成し、複層とされた保温層１２を形成しているた
め、下層の第一保温層１２ａを構成するグレーズのガラ
ス転移点温度以上、かつ、ガラス軟化点温度以下の範囲
内、例えば、ガラス軟化点温度を略９００℃〜９５０℃
とした場合には略８５０℃で熱処理を行っても、上層の
第二保温層１２ｂの高耐熱性と膜厚効果により、発熱抵
抗体１３を形成する第二保温層１２ｂの表面の変形の発
生を防止することができるので、本発明のように複層の
保温層１２とすることにより、従来の保温層２には不可
能であった発熱抵抗体１３の安定化熱処理温度を８００
℃の大台に引き上げられるため、所望のハイパワーサー
マルヘッドが製造でき、ラフ紙印字品位の向上を図るこ
とができる。
ルヘッドの製造方法によれば、絶縁性の放熱性基板１１
の上面に形成されたグレーズからなる第一保温層１２ａ
の上面に、その第一保温層１２ａよりも高耐熱性の第二
保温層１２ｂを少なくとも１５ｕｍの厚みに積層して蒸
着形成し、複層とされた保温層１２を形成しているた
め、下層の第一保温層１２ａを構成するグレーズのガラ
ス転移点温度以上、かつ、ガラス軟化点温度以下の範囲
内、例えば、ガラス軟化点温度を略９００℃〜９５０℃
とした場合には略８５０℃で熱処理を行っても、上層の
第二保温層１２ｂの高耐熱性と膜厚効果により、発熱抵
抗体１３を形成する第二保温層１２ｂの表面の変形の発
生を防止することができるので、本発明のように複層の
保温層１２とすることにより、従来の保温層２には不可
能であった発熱抵抗体１３の安定化熱処理温度を８００
℃の大台に引き上げられるため、所望のハイパワーサー
マルヘッドが製造でき、ラフ紙印字品位の向上を図るこ
とができる。
【００１８】なお、高耐熱性の第二保温層１２ｂを少な
くとも１５ｕｍの厚みに積層して蒸着形成することとし
たのは、保温層の耐熱特性を示す下表より明らかなよう
に、第一保温層１２ａの厚みを３０ｕｍとして、第二保
温層１２ｂの厚みを５ｕｍ，１０ｕｍ，１５ｕｍ，２０
ｕｍに積層したものを、８５０℃，３Ｈｒの熱処理を行
った時、５ｕｍ〜１０ｕｍの第二保温層１２ｂの厚みで
は、下層の第一保温層１２ａの熱変形が第二保温層１２
ｂの表面に現れたが、１５ｕｍ〜２０ｕｍの第二保温層
１２ｂの厚みでは、表面の変化が全く現れなかったこと
から、第二保温層１２ｂの膜厚に依存していることが分
かり、少なくとも第二保温層１２ｂは１５ｕｍ以上に蒸
着形成することで、ハイパワーのサーマルヘッドの製造
が可能となることが明らかになったためである。
くとも１５ｕｍの厚みに積層して蒸着形成することとし
たのは、保温層の耐熱特性を示す下表より明らかなよう
に、第一保温層１２ａの厚みを３０ｕｍとして、第二保
温層１２ｂの厚みを５ｕｍ，１０ｕｍ，１５ｕｍ，２０
ｕｍに積層したものを、８５０℃，３Ｈｒの熱処理を行
った時、５ｕｍ〜１０ｕｍの第二保温層１２ｂの厚みで
は、下層の第一保温層１２ａの熱変形が第二保温層１２
ｂの表面に現れたが、１５ｕｍ〜２０ｕｍの第二保温層
１２ｂの厚みでは、表面の変化が全く現れなかったこと
から、第二保温層１２ｂの膜厚に依存していることが分
かり、少なくとも第二保温層１２ｂは１５ｕｍ以上に蒸
着形成することで、ハイパワーのサーマルヘッドの製造
が可能となることが明らかになったためである。
【００１９】 なお、第二保温層１２ｂは高融点材料からなるため、グ
レーズからなる保温層に比べて、遥かに耐熱性にすぐ
れ、少なくとも１０００℃以上の耐熱性を有するもので
ある。
レーズからなる保温層に比べて、遥かに耐熱性にすぐ
れ、少なくとも１０００℃以上の耐熱性を有するもので
ある。
【００２０】また、本発明のサーマルヘッドの製造方法
においては、平滑性と加工性にすぐれた第一保温層１２
ａに、フォトリソ技術により、所望の凸形状を加工した
上に、スパッタ蒸着等により第二保温層１２ｂを積層す
ることとしたので、第一保温層１２ａの形状を忠実に再
現することができ、印字品位を低下させる恐れもない。
においては、平滑性と加工性にすぐれた第一保温層１２
ａに、フォトリソ技術により、所望の凸形状を加工した
上に、スパッタ蒸着等により第二保温層１２ｂを積層す
ることとしたので、第一保温層１２ａの形状を忠実に再
現することができ、印字品位を低下させる恐れもない。
【００２１】さらに、前記発熱抵抗体１３をスパッタリ
ング等により保温層１２上に積層し、発熱抵抗体パター
ンを先に形成して抵抗体膜の膜応力を低減しているた
め、８００℃以上の高温において抵抗値の安定化熱処理
を行っても、発熱抵抗体１３の密着性に障害が発生する
こともない。
ング等により保温層１２上に積層し、発熱抵抗体パター
ンを先に形成して抵抗体膜の膜応力を低減しているた
め、８００℃以上の高温において抵抗値の安定化熱処理
を行っても、発熱抵抗体１３の密着性に障害が発生する
こともない。
【００２２】なお、本発明は前記実施形態のものに限定
されるものではなく、必要に応じて種々変更することが
可能である。
されるものではなく、必要に応じて種々変更することが
可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように本発明に係るサーマル
ヘッドの製造方法は、耐熱性に劣る第一保温層の上に、
高耐熱性の第二保温層を少なくとも略１５ｕｍの厚みに
被覆して保温層を複層とすることにより、従来のグレー
ズ保温層のガラス転移点温度、略７５０℃に対して、略
１００℃以上の耐熱性の向上がなされたため、発熱抵抗
体の安定化真空熱処理温度も、従来の略７００℃に対し
て、少なくとも８００℃に高めることができ、発熱ドッ
トの発熱温度を略６００℃を越えて用いることが可能と
なる。
ヘッドの製造方法は、耐熱性に劣る第一保温層の上に、
高耐熱性の第二保温層を少なくとも略１５ｕｍの厚みに
被覆して保温層を複層とすることにより、従来のグレー
ズ保温層のガラス転移点温度、略７５０℃に対して、略
１００℃以上の耐熱性の向上がなされたため、発熱抵抗
体の安定化真空熱処理温度も、従来の略７００℃に対し
て、少なくとも８００℃に高めることができ、発熱ドッ
トの発熱温度を略６００℃を越えて用いることが可能と
なる。
【００２４】よって、ラフ紙印字品位を顕著に改善する
ことができ、発熱抵抗体のパターン形成を行って、発熱
抵抗体の膜応力を低減しておいてから、発熱抵抗体の安
定化真空熱処理を行うようにすることで、大きな熱衝撃
がかかっても、発熱抵抗体の密着障害が起こらず、製造
歩留まりを安定にできる。
ことができ、発熱抵抗体のパターン形成を行って、発熱
抵抗体の膜応力を低減しておいてから、発熱抵抗体の安
定化真空熱処理を行うようにすることで、大きな熱衝撃
がかかっても、発熱抵抗体の密着障害が起こらず、製造
歩留まりを安定にできる。
【００２５】また、平滑性と加工性にすぐれるグレーズ
からなる第一保温層に、印字性を安定化するための凸形
状をあらかじめ形成した上に、スパッタリング等により
蒸着により第二保温層を積層するため、下地の形状の再
現性にすぐれ印字性を損なう問題がなく、ラフ紙印字品
位に優れたハイパワーサーマルヘッドを製造することが
できる等の効果を奏する。
からなる第一保温層に、印字性を安定化するための凸形
状をあらかじめ形成した上に、スパッタリング等により
蒸着により第二保温層を積層するため、下地の形状の再
現性にすぐれ印字性を損なう問題がなく、ラフ紙印字品
位に優れたハイパワーサーマルヘッドを製造することが
できる等の効果を奏する。
【図１】 本発明に係るサーマルヘッドの製造方法によ
り形成されたサーマルヘッドの一実施形態を示す断面模
式図
り形成されたサーマルヘッドの一実施形態を示す断面模
式図
【図２】 従来のサーマルヘッドの構造を示す断面模式
図
図
１１ 放熱性基板 １２ （複層の）保温層 １２ａ 第一保温層 １２ｂ 第二保温層 １３ 発熱抵抗体 １３ａ 発熱部 １４ 電極 １４ａ 共通電極 １４ｂ 個別電極 １５ 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 及川 直樹 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 Ｆターム(参考） 2C065 JC09 JC10 JC11 JC12 JH05 JH06 JH11 JH14
Claims (3)
- 【請求項１】 放熱性基板の上面にグレーズからなる第
一保温層を形成し、前記第一保温層の上面にシリコンと
高融点金属と酸素とからなり、前記第一保温層よりも高
耐熱性の第二保温層を積層して保温層を複層に形成し、
その複層の保温層の安定化熱処理を前記第一保温層のグ
レーズのガラス転移点温度以上で、かつ、ガラス軟化点
温度以下の範囲内で行った後、前記第二保温層の上面に
複数の発熱抵抗体を形成し、これらの各発熱抵抗体に共
通電極および個別電極を接続させてなることを特徴とす
るサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記第二保温層は、前記第一保温層上に
少なくとも１５ｕｍの厚みに蒸着により積層形成するこ
とを特徴とする請求項１に記載のサーマルヘッドの製造
方法。 - 【請求項３】 前記発熱抵抗体は、発熱抵抗体のパター
ンを形成してから、少なくとも８００℃で真空熱処理を
行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の
サーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172799A JP3639139B2 (ja) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172799A JP3639139B2 (ja) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000229435A true JP2000229435A (ja) | 2000-08-22 |
| JP3639139B2 JP3639139B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=12339086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172799A Expired - Fee Related JP3639139B2 (ja) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3639139B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023274202A1 (zh) * | 2021-07-02 | 2023-01-05 | 山东华菱电子股份有限公司 | 耐能量耐腐蚀耐磨损的热敏打印头发热基板 |
-
1999
- 1999-02-09 JP JP3172799A patent/JP3639139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023274202A1 (zh) * | 2021-07-02 | 2023-01-05 | 山东华菱电子股份有限公司 | 耐能量耐腐蚀耐磨损的热敏打印头发热基板 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3639139B2 (ja) | 2005-04-20 |
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