JP2000223384A

JP2000223384A - プロセスフロー変更システム及びプロセスフロー変更方法

Info

Publication number: JP2000223384A
Application number: JP11022743A
Authority: JP
Inventors: Etsuo Fukuda; 悦生福田; Yuichiro Ozaki; 雄市郎尾崎; Yuuichi Satoguchi; 勇一佐戸口
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1999-01-29
Filing date: 1999-01-29
Publication date: 2000-08-11

Abstract

(57)【要約】【課題】修正内容の信頼性向上を可能にしたプロセス
フロー変更システムを提供する。【解決手段】プロセスフロー情報が記憶された記憶装
置と、前記プロセスフロー情報に従って半導体装置の製
造管理を行う第１の演算装置と、前記記憶装置中のプロ
セスフロー情報から所定のプロセスフロー情報を選択し
て読み出すフロー選択手段及び該フロー選択手段により
読み出されたプロセスフロー情報を編集するフロー編集
手段を有し、該フロー編集手段によって編集されたプロ
セスフロー情報を前記記憶装置に記憶させる第２の演算
装置とを備えている。前記フロー選択手段は、前記第１
の演算装置に対して、前記記憶装置中の所定のプロセス
フロー情報が既に選択中の状態にあるか否かを問い合わ
せ、所定のプロセスフロー情報が既に選択中の状態にあ
るときは、その選択動作を禁止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品を製造
するために登録されたプロセスフロー情報を変更するプ
ロセスフロー変更システム及びプロセスフロー変更方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、半導体装置の生産は、コンピ
ュータシステムによって管理されており、半導体製品を
製造するために前記コンピュータシステムに登録された
プロセスフロー情報は、半導体製造における情報で最も
重要な情報となっている。プロセスフロー情報には、半
導体製造プロセスに関わる一連の工程の位置や順序、各
々工程の処理条件、及び製品の種類などが含まれ、半導
体製品は、このプロセスフロー情報を基に製造が行われ
る。

【０００３】ところが、このプロセスフロー情報を変更
しなければならない状況が存在する。特に半導体製品の
研究試作を行う試作ラインでは、プロセスフローの変更
が頻繁に行われている。これは、新製品であるため各工
程の処理条件が決定しておらず、前の工程の条件から後
の工程の条件が決定するなどのため、後の工程を変更し
なければならない、といった事情等があるためである。
この様なプロセスフローの変更の現実は、試作ラインだ
けではなく量産ラインでも発生する。

【０００４】従来、半導体製造プロセスにおいて、プロ
セスフローの変更が発生した場合は、データベースに保
持されている、当該フローに対応したプロセスフロー情
報を直接変更するようにしている。図７にそのイメージ
を示す。

【０００５】同図に示すように、プロセスフロー情報
は、製品の進度管理を行う工程管理機能１０１に保持さ
れている（これは、ＰＲＯＭＩＳ、ＷｏｒｋＳｔｒｅａ
ｍ、Ｐｏｓｅｉｄｏｎといった市販パッケージシステム
でも同様である）。半導体製品は、工程管理機能１０１
に保持されたプロセスフロー情報を参照しながら工程を
進度し、さらに各工程における処理条件を知る。従来、
プロセスフローに変更が生じた場合には、この工程管理
機能１０１に保持されたプロセスフロー情報（一般にデ
ータベース化されている）を、フロー変更機能１０２を
用いて直接変更するようにしてる。

【０００６】しかし、この様な方法では、次のような問
題点がある。例えば、プロセスフロー情報の記述におい
て、以下の２つの形式があったとする。

【０００７】（１）Ｄ０１ＤＤ９０００２２０（２）０Ｘ，０ＢＪＥＣＴ＝ＢＵＦＦＥＲ，ＴＥＭＰ＝
９００，ＴＨＩＣＫ＝３０００，ＧＡＳ＝０２前記（１）のタイプの「Ｄ０１」を「Ｄ０５」に変更す
る場合において、「Ｄ０５」のスペルが正しいか、また
その工程で変更して良いかが不明であった。また、前記
（２）のタイプの記述においても同様であり、スペルミ
スや工程変更可否などを検査することが困難であった。

【０００８】さらに、プロセスフロー情報は工程管理機
能が存在するホストコンピュータに一元管理されている
ため、複数のユーザが同時に変更する場合には、変更速
度が遅いことや、ホストコンピュータへのユーザアクセ
ス数などに制限があるなど、使い勝手の面でも問題が生
ずる。

【０００９】このような点を解決する技術として、プロ
セスフロー情報を変更する機能、及び変更したプロセス
フロー情報の内容をチェックする機能等を有する変更用
コンピュータをホストコンピュータに独立して設けた特
開平８−２７２４０４号公報に開示されるようなシステ
ムが提案されている。

【００１０】図８は、特開平８−２７２４０４号公報に
開示された従来の半導体製造システムのハード構成を示
すブロック図である。

【００１１】この半導体製造システムは、半導体製品を
製造する半導体製造装置２０１を有し、半導体製造装置
２０１が装置制御用コントローラ２０２を介して装置管
理用コンピュータ２０３に接続されている。装置制御用
コントローラ２０２及び装置管理用コンピュータ２０３
は、プロセスフロー情報に従って製造装置２０１を制御
し処理を実行する。

【００１２】装置管理用コンピュータ２０３は、ＬＡＮ
２１０を介してホストコンピュータ２２０に接続され、
ホストコンピュータ２２０には記憶装置２３０が接続さ
れている。記憶装置２３０には、プロセスフロー情報や
フロー変更プログラムの他に、製品の進渉状況を管理す
るプログラム等が格納され、ホストコンピュータ２２０
は、前記記憶装置２３０に格納されている情報を用い
て、製品の進度管理を行う工程管理機能を実現する。

【００１３】さらに、ＬＡＮ２１０には、搬送機用コン
トローラ２４０と、ディスプレイ２７０を備えた変更用
コンピュータ２５０と、ワークステーション２８０とが
接続されている。

【００１４】搬送機用コントローラ２４０には搬送機器
２４１が接続され、搬送機器２４１は、前記プロセスフ
ロー情報に基づく搬送機器用コントローラ２４０の制御
によって、半導体製品を搬送する。変更用コンピュータ
２５０は、記憶装置２６０に記憶されたフロー変更プロ
グラムに従ってプロセスフロー情報を変更する機能や、
変更した内容をチェックする機能を有している。

【００１５】図９は、図８に示した半導体製造システム
におけるフロー変更処理に関わる機能を示すブロック図
である。

【００１６】まず、ユーザＰＣ２５０では、フロー選択
部２５１が、記憶装置２３０に記憶された各プロセスフ
ロー情報のファイル名をディスプレイ装置２７０の画面
にリストアップして表示する。ユーザが、表示された複
数のファイル名の中から所要のファイル名を指示する
と、フロー選択部２５１は指示されたファイル名を第１
の転送取り込み部２５２に送る。そして、第１の転送取
り込み部２５２は、ファイル名をネットワーク２１０を
介して、ホストコンピュータ２２０のフロー制御部２２
２に転送する。

【００１７】ホストコンピュータ２２０では、フロー制
御部２２２により、前記選択されたファイル名に対応す
るプロセスフロー情報を記憶装置２３０から読み出し、
第２の転送取り込み部２２３は、読み出されたプロセス
フロー情報をユーザＰＣ２５０の第１の転送取り込み部
２５２へ転送する。このとき、前記プロセスフロー情報
がユーザＰＣ２５０のフロー編集部２５３で扱う情報の
形式と一致していない場合には、フロー変換加工部２２
４が情報の形式を変更し、第１の転送取り込み部２５２
へ転送することになる。

【００１８】再びユーザＰＣ２５０では、第１の転送取
り込み部２５１を介して転送されてきたプロセスフロー
情報をディスプレイ装置２７０に表示する。表示された
プロセスフロー情報は、ユーザによってフロー編集部２
５３を用いて編集される。この編集作業により変更され
たプロセスフロー情報は、フローチェック部２５４によ
って内容が正しいか否かがチェックされる。

【００１９】そして、上記チェックが終了したプロセス
フロー情報は、第１の転送取り込み部２５２によって、
ホストコンピュータ２２０側の記憶装置２３０に転送さ
れる。このとき、フロー変換加工部２２４によって情報
の形式を変えている場合は、フロー変換加工部２２４に
よって元の形式に変換した後、ホストコンピュータ２２
０へ転送する。フロー制御部２２２は、記憶装置２３０
に記憶されたプロセスフロー情報をホストコンピュータ
２２０に転送されたプロセスフロー情報によって書き替
える。

【００２０】このように本従来例では、プロセスフロー
情報をホストコンピュータ２２０からユーザＰＣ２５０
へ転送し、このユーザＰＣ２５０で編集している。すな
わち、プロセスフロー情報の変更処理を各所で分散して
行うことになるので、ホストコンピュータ２２０の負荷
を軽減することができ、よってフロー変更処理の作業効
率が向上する。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報の従来例では次のような問題点があった。

【００２２】（１）プロセスフロー情報のどの部分が修
正（追加、変更、削除）されたかを示す情報がないた
め、記憶装置２３０に記憶されたプロセスフロー情報を
修正後のプロセスフロー情報によって書き換えるに際
し、ホストコンピュータ２２０内において、旧プロセス
フロー情報と比較を行い、追加、変更、削除の書き換え
を行う必要がある。その結果、フロー変更処理の大幅な
速度低下を招く恐れがあった。

【００２３】（２）プロセスフロー情報の変更当事者以
外も、対象とするプロセスフロー情報の修正が可能であ
り、また、修正対象であるプロセスフロー情報が、現
在、他のユーザＰＣ等によって修正中の状態にあるかど
うかをチェックすることができないため、１つのプロセ
スフロー情報について変更当事者が修正中に、当事者以
外のユーザもそのプロセスフロー情報を修正する可能性
があった。その結果、修正内容が曖昧になり、信頼性に
欠けていた。

【００２４】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、フロー変更処
理の大幅な速度向上を可能にしたプロセスフロー変更シ
ステム及びプロセスフロー変更方法を提供することであ
る。またその他の目的は、修正内容の信頼性向上を可能
にしたプロセスフロー変更システム及びプロセスフロー
変更方法を提供することである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明の特徴は、半導体装置の製造条
件を表すプロセスフロー情報が記憶された記憶装置と、
前記プロセスフロー情報に従って半導体装置の製造管理
を行う第１の演算装置と、前記記憶装置中のプロセスフ
ロー情報から所定のプロセスフロー情報を選択して読み
出すフロー選択手段及び該フロー選択手段により読み出
されたプロセスフロー情報を編集するフロー編集手段を
有し、該フロー編集手段によって編集されたプロセスフ
ロー情報を前記記憶装置に記憶させる第２の演算装置と
を備えたプロセスフロー変更システムにおいて、前記第
２の演算装置は、前記フロー編集手段による前記プロセ
スフロー情報の編集処理の態様に応じて、該プロセスフ
ロー情報に識別子を付加する識別子付加手段を備え、前
記第１の演算装置は、前記フロー編集手段によって編集
されたプロセスフロー情報を、該プロセスフロー情報に
付加された前記識別子を参照して前記記憶装置に記憶す
るための制御手段を備えたことにある。

【００２６】請求項２に係る発明の特徴は、請求項１記
載のプロセスフロー変更システムにおいて、前記プロセ
スフロー情報の編集処理の態様を、追加、変更、または
削除としたことにある。

【００２７】請求項３に係る発明の特徴としては、請求
項１又は請求項２記載のプロセスフロー変更システムに
おいて、前記フロー選択手段は、前記第１の演算装置に
対して、前記記憶装置中の所定のプロセスフロー情報が
既に選択中の状態にあるか否かの情報を含む製造管理に
関する情報を問い合わせる問い合わせ手段と、前記記憶
装置中の所定のプロセスフロー情報が既に選択中の状態
にあるときは、前記所定のプロセスフロー情報の選択動
作を禁止する選択禁止手段とを有することにある。

【００２８】請求項４に係る発明の特徴としては、請求
項１乃至請求項３記載のプロセスフロー変更システムに
おいて、前記第２の演算装置は、前記フロー編集手段で
編集したプロセスフロー情報の内容をチェックするチェ
ック手段を有することにある。

【００２９】請求項５に係る発明の特徴としては、請求
項１乃至請求項４記載のプロセスフロー変更システムに
おいて、前記第１の演算装置は、前記記憶装置から読み
出されたプロセスフロー情報にストップ工程を設定する
ストップ工程設定手段と、前記ストップ工程以降に位置
するプロセスフロー情報の実行を停止するフロー実行停
止手段とを有することを特徴とする。

【００３０】請求項６に係る発明の特徴は、請求項１乃
至請求項５記載のプロセスフロー変更システムにおい
て、前記第１と第２の演算装置で扱うプロセスフロー情
報の形式が相違する場合は、これらの形式を互いに一致
するように変更する形式変更手段を有することを特徴と
する。

【００３１】請求項７に係る発明の特徴は、半導体装置
の製造条件を表すプロセスフロー情報が記憶された記憶
装置と、前記プロセスフロー情報に従って半導体装置の
製造管理を行う第１の演算装置と、前記記憶装置中のプ
ロセスフロー情報から所定のプロセスフロー情報を選択
して読み出すフロー選択手段及び該フロー選択手段によ
り読み出されたプロセスフロー情報を編集するフロー編
集手段を有する第２の演算装置とを備えたプロセスフロ
ー変更システムを用い、前記フロー編集手段による前記
プロセスフロー情報の編集処理の態様に応じて、該プロ
セスフロー情報に識別子を付加し、前記フロー編集手段
によって編集されたプロセスフロー情報を、該プロセス
フロー情報に付加された前記識別子を参照して前記記憶
装置に記憶することにある。

【００３２】請求項８に係る発明の特徴は、請求項７記
載のプロセスフロー変更方法において、前記プロセスフ
ロー情報の編集処理の態様は、追加、変更、または削除
としたことにある。

【００３３】請求項９に係る発明の特徴は、請求項７又
は請求項８記載のプロセスフロー変更方法において、前
記第１の演算装置に対して、前記記憶装置中の所定のプ
ロセスフロー情報が既に選択中の状態であるか否かを問
い合わせ、前記記憶装置中の所定のプロセスフロー情報
が既に選択中であるときは、前記フロー選択手段による
前記所定のプロセスフロー情報の選択動作を禁止するこ
とにある。

【００３４】請求項１０に係る発明の特徴は、請求項７
乃至請求項９記載のプロセスフロー変更方法において、
前記フロー編集手段で編集したプロセスフロー情報の内
容をチェックすることにある。

【００３５】請求項１１に係る発明の特徴は、請求項７
乃至請求項１０記載のプロセスフロー変更方法におい
て、前記記憶装置から読み出されたプロセスフロー情報
にストップ工程を設定し、該ストップ工程以降に位置す
るプロセスフロー情報の実行を停止することにある。

【００３６】請求項１２に係る発明の特徴は、請求項７
乃至請求項１１記載のプロセスフロー変更方法におい
て、前記第１と第２の演算装置で扱うプロセスフロー情
報の形式が相違する場合は、これらの形式を互いに一致
するように変更することにある。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係わるプロセスフ
ロー変更システム及びプロセスフロー変更方法の実施形
態について図面を参照して説明する。

【００３８】本実施形態に係るプロセスフロー変更シス
テムのハード構成は、先の図８に示すものと同じであ
り、システムに搭載される機能のみが異なる。

【００３９】図１は、本発明の実施形態に係るプロセス
フロー変更システムの機能構成を示すブロック図であ
り、先の図９に示した従来の機能構成に代えて図８のシ
ステムに用いられる。

【００４０】本実施形態のプロセスフロー変更システム
おいて、半導体製品の製造管理を行うホストコンピュー
タ２２０は、ステータス制御部２１と、フロー制御部２
２と、第１の転送取り込み部２３と、第１の形式変換部
２４と、ホスト転送部２５とを備えている。

【００４１】ステータス制御部２１は、装置管理用コン
ピュータ２０３や、装置制御用コントローラ２０２、搬
送機器用コントローラ２４０から、工程の進捗状況に関
する時間や各種のステータス情報を受け、これをフロー
制御部２２へ送る。さらに、現在まで進渉している工程
（現工程）の設定と、指定された工程以上に工程が進渉
しないようにするためのストップ工程の設定を行う機能
を有する。

【００４２】フロー制御部２２は、記憶装置２３０に記
憶されたプロセスフロー情報を管理、制御する工程管理
機能を有している。第１の転送取り込み部２３は、ユー
ザＰＣ２５０から転送されたプロセスフロー情報を一時
保管するほか、ホストコンピュータ２２０の記憶装置２
３０に書き込む機能も有する。

【００４３】また、第１の形式変更部２４は、ホストコ
ンピユータ２２０で管理されているプロセスフロー情報
がユーザＰＣ２５０で使用する形式と異なる場合に、第
１の転送取り込み部２３に保持されているプロセスフロ
ー情報の形式（データベース形式）をユーザＰＣ２５０
で使用する形式（例えばテキスト形式）に変換する。さ
らに、ユーザＰＣ２５０のＰＣ転送部５６から転送され
た編集後のプロセスフロー情報（例えばテキスト形式）
をデータベース形式に逆変換する機能を有する。そし
て、ホスト転送部２５は、形式変換後のプロセスフロー
情報をユーザＰＣ２５０へ転送する機能を有する。

【００４４】一方、ユーザＰＣ２５０は、フロー選択部
５０と、第２の転送取り込み部５１と、第２の形式変換
部５２と、フロー編集部５３と、フローチェック部５４
と、第３の形式変換部５５と、ＰＣ転送部５６とを備え
ている。

【００４５】フロー選択部５０は、記憶装置２３０に記
憶されている複数のプロセスフローー情報の中から、編
集対象としてのプロセスフロー情報を指定する。さら
に、ホストコンピュータ２２０に対して、記憶装置２３
０中の所望のプロセスフロー情報が既に選択中であるか
否か等の情報を問い合わせる機能と、所望のプロセスフ
ロー情報が既に選択中であるときは、前記所定のプロセ
スフロー情報の選択動作を禁止する機能とを有してい
る。第２の転送取り込み部５１は、ホスト転送部２５か
ら送られてきたプロセスフロー情報を保持する機能を有
している。

【００４６】また、第２の形式変換部５２は、第２の転
送取り込み部５１に保持されているプロセスフロー情報
のデータ形式がフロー編集部５３で使用するデータ形式
と異なる場合に、そのデータ形式（例えばテキスト形
式）をフロー編集部５２で使用する形式（ＰＦＤ形式）
に変換する機能を有する。フロー編集部５３は、エディ
タ等で構成され、選択されたプロセスフロー情報に含ま
れる工程の変更や、工程中のパラメータ（処理条件）、
工程の位置及び組み合わせ等を編集（変更、削除、追
加）する機能を有している。さらに、編集のあったプロ
セスフロー情報に対してフラグを付加する。すなわち、
変更の場合は変更フラグ、削除の場合は削除フラグ、追
加の場合は追加フラグをプロセスフロー情報の例えば先
頭位置にセットする。

【００４７】さらに、フローチェック部５４は、前記フ
ロー編集部５２によって編集されたプロセスフロー情報
が正しいか否かをチェックする。例えばプロセスフロー
情報を記述するコードや言語のスペルチェック、フロー
の組み合わせ、及び工程の条件が許容範囲以内か否か等
をチェックする。第３の形式変換部５５では、前記第２
の形式変換部５２での形式変換の逆変換を行い、例えば
テキスト形式に戻す。なお、本実施形態では、修正のあ
ったプロセスフロー情報に対してフラグを付加する処理
をフロー編集部５３で行うようになっているが、この第
３の形式変換部５５で行ってもよい。そして、ＰＣ転送
部５６は、修正されたプロセスフロー情報をホストコン
ピュータ２２０の第１の転送取り込み部２３へ転送す
る。

【００４８】次に、以上のように構成される本実施形態
のプロセスフロー変更システムの動作を、図２〜図６を
参照しつつ説明する。

【００４９】なお、図２は、本実施形態におけるプロセ
スフロー変更の運用手順の概要を示すフローチャートで
ある。図３及び図４は、本実施形態のフロー変更処理の
詳細例を示すフローチャートである。また、図５は、本
実施形態のフロー変更時のデータの流れを示す図であ
り、図６は、本実施形態のフロー再登録時のデータの流
れを示す図である。

【００５０】ユーザＰＣ２５０上で行われる本実施形態
のプロセスフロー変更の運用手順の概要は次のようにな
る。すなわち、図２に示すように、まず、変更を行いた
いプロセスフロー情報を指定し（ステップＳ１）、この
指定されたプロセスフロー情報を、記憶装置２３０が接
続されたホストコンピュータ２２０からユーザＰＣ２５
０上に呼び戻す（ステップＳ２）。そして、呼び戻した
プロセスフロー情報に対して変更を加えた後（ステップ
Ｓ３）、再び、ホストコンピュータ２２０側の記憶装置
２３０に再登録する（ステップＳ４）。

【００５１】以下、具体的に説明する。

【００５２】フロー変更時においては、まずユーザＰＣ
２５０上のフロー選択部５０を用いて、変更を行いたい
プロセスフロー情報（例えばフロー名α）を、ホストコ
ンピュータ２２０の工程管理機能に対し指定する（図３
のステップＳ１１，図５のＴ１）。このとき、フロー選
択部５０は、ホストコンピュータ２２０に対して、記憶
装置２３０中の所望のプロセスフロー情報が既に他者に
よって選択中であるか否かを問い合わせる。当該プロセ
スフロー情報が現在選択中でないときのみ、このプロセ
スフロー情報の指定を行うことができる。これにより、
既に指定中のプロセスフロー情報を変更当事者以外が指
定したり、現在、実行中のプロセスフロー情報の編集作
業を変更当事者以外が中断したりすることを防ぐことが
できる。

【００５３】次いで、ユーザＰＣ２５０では、指定した
プロセスフロー情報（ＰＦＤ）を読み出すようにホスト
コンピュータ２２０に指示する。この指示を受けて、ス
テータス制御部２１は、上記の現工程及びストップ工程
を設定し、フロー制御部２２は、記憶装置２３０から、
前記フロー選択部５０で指定されたフロー名αのプロセ
スフロー情報（ＤＢ形式：データベース形式）を記憶装
置２３０から呼び出す（図３のステップＳ１３、図５の
Ｔ２）。

【００５４】呼び出されたプロセスフロー情報αは、第
１の転送取り込み部２３に取り込まれる（ステップＳ１
４）。そして、第１の形式変換部２４によってデータベ
ース形式からからテキスト形式へ変換され（図３のステ
ップＳ１５、図５のＴ３）、変換されたプロセスフロー
情報α（テキスト形式）は、ホスト転送部２５によっ
て、ホストコンピュータ２２０からＬＡＮなどのネット
ワーク２１０を介してユーザＰＣ２５０に転送される
（図３のステップＳ１６、図５のＴ４）。

【００５５】ユーザＰＣ２５０に転送されたプロセスフ
ロー情報αは、第２の転送取り込み部５１に取り込まれ
（ステップＳ１７）、第２の形式変換部５２によってテ
キスト形式からＰＦＤ形式に変換される（図４のステッ
プＳ１８、図５のＴ５）。

【００５６】そして、ＰＦＤ形式に変換されたプロセス
フロー情報αは、ユーザＰＣ２５０のディスプレイ装置
２７０の画面に表示され（ステップＳ１９）、フロー編
集部５３によって追加、変更及び削除の編集が成される
（図４のステップＳ２０、図５のＴ６））。このとき、
追加、変更及び削除された各々のプロセスフロー情報の
例えば先頭位置には、それぞれ追加フラグ、変更フラグ
及び削除フラグが付加される。

【００５７】その後、編集されたプロセスフロー情報の
内容がフローチェック部５４によりチェックされる（図
４のステップＳ２１、図５のＴ７）。このチェックは、
前記ステップＳ１２のプロセスフロー情報読み出し時に
設定されたストップ工程以降の内容についてのみチェッ
クが行われる。これにより、既に過ぎ去った工程のチェ
ックは無視して、フロー編集部５３で編集した工程のみ
のチェックを行うことになるので、チェック効率を上げ
ることができる。

【００５８】次に、フロー再登録時の動作について説明
する。フロー再登録時においては、図６に示すように、
ユーザＰＣ２５０のフロー編集部５３上でフロー再登録
機能を起動し（図６のＴ１１）、編集を終了したプロセ
スフロー情報αを、第３の形式変換部５５によってＰＦ
Ｄ形式からテキスト形式へ変換する（図４のステップＳ
２２、図６のＴ１２）。

【００５９】そして、テキスト形式に変換されたプロセ
スフロー情報αは、ＰＣ転送部５６によってＬＡＮ２１
０を介してホストコンピュータ２２０に転送され（ステ
ップＳ２３）、第１の転送取り込み部２３に取り込まれ
る（ステップＳ２４）。さらに、第１の形式変換部２４
によって、テキスト形式からデータベース形式へ変換さ
れる（図４のステップＳ２５、図６のＴ１３）。

【００６０】データベース形式に変換されたプロセスフ
ロー情報αは、フロー制御部２２によって、再度、記憶
装置２３０に書き込まれる（図４のステップＳ２６、図
６のＴ１４）。このとき、フロー制御部２２は、前述の
追加フラグ、変更フラグ、削除フラグの付加された工程
に対してのみ記憶装置２３０の記憶内容を修正すること
になる。

【００６１】上記一連の作業により、プロセスフロー情
報を変更することができる。

【００６２】本実施形態では、次のような利点を有して
いる。

【００６３】（１）ユーザＰＣ２５０上に工程管理機能
に保持されているプロセスフロー情報を呼び出すことが
でき、プロセスフロー情報をユーザが自在に変更し、か
つ変更の可否などをチェックすることができるため、フ
ロー変更ミスなどの大幅な低減となる。また、プロセス
フロー情報をユーザＰＣ２５０に呼び出すため、複数の
ユーザが同時にフロー変更を行っても、変更によるコン
ピュータパフォーマンス、負荷を低減することができ
る。

【００６４】（２）フロー選択部５３よりホストコンピ
ュータ２２０に問い合わせを行うことにより、修正対象
のプロセスフロー情報が他者によって既に修正中である
か否かを即座にチェックすることができるだけでなく、
リアルタイムなプロセスフロー情報（進渉等）を取得す
ることができる。

【００６５】（３）修正対象のプロセスフロー情報の指
定は、当該プロセスフロー情報が現在指定されていない
ときのみ行えるようにしたので、既に指定中のプロセス
フロー情報を変更当事者以外が指定したり、現在、実行
中のプロセスフロー情報の編集作業を変更当事者以外が
中断したりすることを防ぐことができ、修正を正確に行
うことができる。

【００６６】（４）編集されたプロセスフロー情報の内
容のチェックは、プロセスフロー情報の読み出し時に設
定されたストップ工程以降の内容についてのみ行われる
ため、編集した工程のみをチェックすることができ、チ
ェックの効率を上げることができる。

【００６７】（５）フロー編集部５３（もしくは第３の
形式変換部５５）において、編集したプロセスフロー情
報に追加、変更、削除の印（フラグ）を付加するため、
再登録時には、記憶装置２３０に対して印の付加されて
いるプロセスフロー情報のみの修正を行えばよくなり、
大幅な速度向上が見込まれる。

【００６８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１、
請求項２、請求項７、及び請求項８に係る発明によれ
ば、編集したプロセスフロー情報に例えば追加、変更、
削除の識別子を付加するため、再登録時には、記憶装置
に対して前記識別子の付加されているプロセスフロー情
報のみの修正を行えばよく、フロー変更速度の大幅な向
上が可能になる。

【００６９】請求項３及び請求項９に係る発明によれ
ば、第２の演算装置のフロー選択手段より第１の演算装
置に問い合わせを行うことにより、修正対象のプロセス
フロー情報が他者によって既に修正中であるか否かを即
座にチェックすることができるだけでなく、リアルタイ
ムなプロセスフロー情報（進渉等）を取得することが可
能になる。さらに、修正対象のプロセスフロー情報の指
定は、当該プロセスフロー情報が現在指定されていない
ときのみ行えるようにしたので、既に指定中のプロセス
フロー情報を変更当事者以外が指定したり、現在、実行
中のプロセスフロー情報の編集作業を変更当事者以外が
中断したりすることを防ぐことができ、修正を正確に行
うことが可能になる。

【００７０】請求項４、請求項５、請求項１０及び請求
項１１に係る発明によれば、編集されたプロセスフロー
情報の内容のチェックは、プロセスフロー情報の読み出
し時に設定されたストップ工程以降の内容についてのみ
行われるため、編集した工程のみをチェックすることが
でき、チェックの効率を上げることが可能になる。

【００７１】請求項６及び請求項１２に係る発明によれ
ば、データ形式が異なっても第２の演算装置上に第１の
演算装置に保持されているプロセスフロー情報を呼び出
すことが可能になる。これにより、プロセスフロー情報
をユーザが自在に変更し、かつ変更の可否などをチェッ
クすることができるため、フロー変更ミスなどの大幅な
低減となる。また、プロセスフロー情報を第２の演算装
置に呼び出すため、複数のユーザが同時にフロー変更を
行っても、変更によるコンピュータパフォーマンス、負
荷を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るプロセスフロー変更シ
ステムの機能構成を示すブロック図である。

【図２】実施形態におけるプロセスフロー変更の運用手
順の概要を示すフローチャートである。

【図３】実施形態のフロー変更処理の詳細例を示すフロ
ーチャートである。

【図４】図３の続きのフローチャートである。

【図５】実施形態のフロー変更時のデータの流れを示す
図である。

【図６】実施形態のフロー再登録時のデータの流れを示
す図である。

【図７】従来のフロー変更システムのフロー変更形態を
示す概念図である。

【図８】公報に開示された従来の半導体製造システムの
ハード構成を示すブロック図である。

【図９】図８に示した半導体製造システムにおけるフロ
ー変更処理に関わる機能を示すブロック図である。

【符号の説明】

２１ステータス制御部２２フロー制御部２３第１の転送取り込み部２４第１の形式変換部２５ホスト転送部５０フロー選択部５１第２の転送取り込み部５２第２の形式変換部５３フロー編集部５４フローチェック部５５第３の形式変換部５６ＰＣ転送部２２０ホストコンピュータ２５０ユーザＰＣ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体装置の製造条件を表すプロセスフ
ロー情報が記憶された記憶装置と、前記プロセスフロー
情報に従って半導体装置の製造管理を行う第１の演算装
置と、前記記憶装置中のプロセスフロー情報から所定の
プロセスフロー情報を選択して読み出すフロー選択手段
及び該フロー選択手段により読み出されたプロセスフロ
ー情報を編集するフロー編集手段を有し、該フロー編集
手段によって編集されたプロセスフロー情報を前記記憶
装置に記憶させる第２の演算装置とを備え、前記第２の演算装置は、前記フロー編集手段による前記
プロセスフロー情報の編集処理の態様に応じて、該プロ
セスフロー情報に識別子を付加する識別子付加手段を備
え、前記第１の演算装置は、前記フロー編集手段によって編
集されたプロセスフロー情報を、該プロセスフロー情報
に付加された前記識別子を参照して前記記憶装置に記憶
するための制御手段を備えたことを特徴とするプロセス
フロー変更システム。
【請求項２】前記プロセスフロー情報の編集処理の態
様は、追加、変更、または削除とし、これらの態様は各
工程単位、及び、その工程上含まれるパラメータ単位に
付加する事を特徴とする請求項１記載のプロセスフロー
変更システム。
【請求項３】前記フロー選択手段は、前記第１の演算装置に対して、前記記憶装置中の所定の
プロセスフロー情報が既に選択中の状態にあるか否かの
情報を含む製造管理に関する情報を問い合わせる問い合
わせ手段と、前記記憶装置中の所定のプロセスフロー情報が既に選択
中の状態にあるときは、前記所定のプロセスフロー情報
の選択動作を禁止する選択禁止手段とを有することを特
徴とする請求項１又は請求項２記載のプロセスフロー変
更システム。
【請求項４】前記第２の演算装置は、前記フロー編集
手段で編集したプロセスフロー情報の内容をチェックす
るチェック手段を有することを特徴とする請求項１乃至
請求項３記載のプロセスフロー変更システム。
【請求項５】前記第１の演算装置は、前記記憶装置から読み出されたプロセスフロー情報にス
トップ工程を設定するストップ工程設定手段と、前記ストップ工程以降に位置するプロセスフロー情報の
実行を停止するフロー実行停止手段とを有することを特
徴とする請求項１乃至請求項４記載のプロセスフロー変
更システム。
【請求項６】前記第１と第２の演算装置で扱うプロセ
スフロー情報の形式が相違する場合は、これらの形式を
互いに一致するように変更する形式変更手段を有するこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項５記載のプロセスフ
ロー変更システム。
【請求項７】半導体装置の製造条件を表すプロセスフ
ロー情報が記憶された記憶装置と、前記プロセスフロー
情報に従って半導体装置の製造管理を行う第１の演算装
置と、前記記憶装置中のプロセスフロー情報から所定の
プロセスフロー情報を選択して読み出すフロー選択手段
及び該フロー選択手段により読み出されたプロセスフロ
ー情報を編集するフロー編集手段を有する第２の演算装
置とを備えたプロセスフロー変更システムを用い、前記フロー編集手段による前記プロセスフロー情報の編
集処理の態様に応じて、該プロセスフロー情報に識別子
を付加し、前記フロー編集手段によって編集されたプロセスフロー
情報を、該プロセスフロー情報に付加された前記識別子
を参照して前記記憶装置に記憶することを特徴とするプ
ロセスフロー変更方法。
【請求項８】前記プロセスフロー情報の編集処理の態
様は、追加、変更、または削除とし、これらの態様は各
工程単位、及び、その工程上含まれるパラメータ単位に
付加する事を特徴とする請求項７記載のプロセスフロー
変更方法。
【請求項９】前記第１の演算装置に対して、前記記憶
装置中の所定のプロセスフロー情報が既に選択中の状態
であるか否かを問い合わせ、前記記憶装置中の所定のプロセスフロー情報が既に選択
中であるときは、前記フロー選択手段による前記所定の
プロセスフロー情報の選択動作を禁止することを特徴と
する請求項７又は請求項８記載のプロセスフロー変更方
法。
【請求項１０】前記フロー編集手段で編集したプロセ
スフロー情報の内容をチェックすることを特徴とする請
求項７乃至請求項９記載のプロセスフロー変更方法。
【請求項１１】前記記憶装置から読み出されたプロセ
スフロー情報にストップ工程を設定し、該ストップ工程
以降に位置するプロセスフロー情報の実行を停止するこ
とを特徴とする請求項７乃至請求項１０記載のプロセス
フロー変更方法。
【請求項１２】前記第１と第２の演算装置で扱うプロ
セスフロー情報の形式が相違する場合は、これらの形式
を互いに一致するように変更することを特徴とする請求
項７乃至請求項１１記載のプロセスフロー変更方法。