JP2000218473A - プロセス制御装置およびプロセス制御方法 - Google Patents
プロセス制御装置およびプロセス制御方法Info
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- JP2000218473A JP2000218473A JP2732699A JP2732699A JP2000218473A JP 2000218473 A JP2000218473 A JP 2000218473A JP 2732699 A JP2732699 A JP 2732699A JP 2732699 A JP2732699 A JP 2732699A JP 2000218473 A JP2000218473 A JP 2000218473A
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31456—Product progress, taking into account products on vehicle
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
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- G05B2219/32—Operator till task planning
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製品が各工程に仕掛かっている場合であって
も加工順序や加工条件等の変更が行えるプロセス制御装
置を提供することである。 【解決手段】 プロセス制御装置は、進捗ファイルに対
応する変更テーブルの有無を判定する変更テーブル有無
判定部３４と、変更テーブル有無判定部３４によって変
更テーブルがあると判定された場合に、変更テーブルに
基づいて進捗ファイルの内容を変更する進捗ファイル変
更部３５と、進捗ファイル変更部３５によって変更され
た進捗ファイルに基づいて製品の搬送装置を制御する搬
送装置制御部４３と、進捗ファイル変更部３５によって
変更された進捗ファイルに基づいて製品の製造装置を制
御する製造装置制御部３７とを含む。
も加工順序や加工条件等の変更が行えるプロセス制御装
置を提供することである。 【解決手段】 プロセス制御装置は、進捗ファイルに対
応する変更テーブルの有無を判定する変更テーブル有無
判定部３４と、変更テーブル有無判定部３４によって変
更テーブルがあると判定された場合に、変更テーブルに
基づいて進捗ファイルの内容を変更する進捗ファイル変
更部３５と、進捗ファイル変更部３５によって変更され
た進捗ファイルに基づいて製品の搬送装置を制御する搬
送装置制御部４３と、進捗ファイル変更部３５によって
変更された進捗ファイルに基づいて製品の製造装置を制
御する製造装置制御部３７とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスや
液晶基板等の生産管理に用いられるプロセス制御技術に
関し、特に、製造工程における加工順序や加工条件等の
変更を行えるプロセス制御装置およびプロセス制御方法
に関する。
液晶基板等の生産管理に用いられるプロセス制御技術に
関し、特に、製造工程における加工順序や加工条件等の
変更を行えるプロセス制御装置およびプロセス制御方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスや液晶基板等の生
産の自動化が広く実施されており、プロセスを制御する
プロセス制御装置の機能が生産効率に与える影響は大き
い。一般に、生産ラインにおける生産管理は、プロセス
制御装置に製品の加工順序や加工条件等の基準情報を品
種毎に記憶させ、この基準情報に基づいて加工順序や加
工条件を制御させることによって行なわれる。
産の自動化が広く実施されており、プロセスを制御する
プロセス制御装置の機能が生産効率に与える影響は大き
い。一般に、生産ラインにおける生産管理は、プロセス
制御装置に製品の加工順序や加工条件等の基準情報を品
種毎に記憶させ、この基準情報に基づいて加工順序や加
工条件を制御させることによって行なわれる。
【０００３】従来のプロセス制御装置においては、たと
えば、ある製品の加工順序や加工条件が追加または変更
になった場合に、その製品の基準情報を変更する必要が
生じる。しかし、その製品を製造している最中に基準情
報を変更する場合には、基準情報によって規定された各
工程に製造中の製品が仕掛かっているため、すべての製
品の処理を停止させてから基準情報を変更しなければな
らない。しかも、製造途中の製品に対しては、作業者が
基準情報の変更を適用できるか否かを判断し、適用でき
る場合には手作業によって変更の作業を実施する必要が
あった。
えば、ある製品の加工順序や加工条件が追加または変更
になった場合に、その製品の基準情報を変更する必要が
生じる。しかし、その製品を製造している最中に基準情
報を変更する場合には、基準情報によって規定された各
工程に製造中の製品が仕掛かっているため、すべての製
品の処理を停止させてから基準情報を変更しなければな
らない。しかも、製造途中の製品に対しては、作業者が
基準情報の変更を適用できるか否かを判断し、適用でき
る場合には手作業によって変更の作業を実施する必要が
あった。
【０００４】このように、従来のプロセス制御装置にお
ける基準情報の変更は、作業効率の低下をもたらし、最
悪の場合には変更後の基準情報が適用されない製品が紛
れ込むことも考えられる。このような問題に関連する技
術として、特開平６−２９００８５号公報および特開平
９−３２０９１８号公報に開示された発明がある。
ける基準情報の変更は、作業効率の低下をもたらし、最
悪の場合には変更後の基準情報が適用されない製品が紛
れ込むことも考えられる。このような問題に関連する技
術として、特開平６−２９００８５号公報および特開平
９−３２０９１８号公報に開示された発明がある。
【０００５】特開平６−２９００８５号公報に開示され
た発明は、データベースに記憶されている作業データを
読み出して、各製造ロットの各作業についての作業条件
を指示するロット管理方法に関するものである。作業デ
ータのファイルレイアウト内に、その作業データが有効
となる日時と、その作業データが無効となる日時とが記
憶され、有効日時と無効日時との間の期間のみその作業
を履行するものである。
た発明は、データベースに記憶されている作業データを
読み出して、各製造ロットの各作業についての作業条件
を指示するロット管理方法に関するものである。作業デ
ータのファイルレイアウト内に、その作業データが有効
となる日時と、その作業データが無効となる日時とが記
憶され、有効日時と無効日時との間の期間のみその作業
を履行するものである。
【０００６】また、特開平９−３２０９１８号公報に開
示された発明は、製造条件を設定する際の複数品種の工
程製造条件を一括変更する場合に、品種と工程と製造条
件との組合せパターンで一括自動変更を可能とした生産
制御システムに関するものである。
示された発明は、製造条件を設定する際の複数品種の工
程製造条件を一括変更する場合に、品種と工程と製造条
件との組合せパターンで一括自動変更を可能とした生産
制御システムに関するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平６−２
９００８５号公報に開示された発明は、有効日時と無効
日時とを予め設定する必要があるため、加工条件の不具
合が発生した場合等の突発的な事態には対処することが
できない。また、有効日時から無効日時に切り換わった
場合に、上述した各工程に仕掛かった製品が製造途中に
なるという問題は解決されない。
９００８５号公報に開示された発明は、有効日時と無効
日時とを予め設定する必要があるため、加工条件の不具
合が発生した場合等の突発的な事態には対処することが
できない。また、有効日時から無効日時に切り換わった
場合に、上述した各工程に仕掛かった製品が製造途中に
なるという問題は解決されない。
【０００８】また、特開平９−３２０９１８号公報に開
示された発明は、品種と工程と製造条件との組合せパタ
ーンで各工程手順毎の共通箇所データを一括して変更す
ることができるが、やはり加工条件の不具合が発生した
場合等の突発的な事態には対処することができない。ま
た、上述した各工程に仕掛かった製品が製造途中になる
という問題も解決されない。
示された発明は、品種と工程と製造条件との組合せパタ
ーンで各工程手順毎の共通箇所データを一括して変更す
ることができるが、やはり加工条件の不具合が発生した
場合等の突発的な事態には対処することができない。ま
た、上述した各工程に仕掛かった製品が製造途中になる
という問題も解決されない。
【０００９】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、第１の目的は、製品が各工程に仕掛
かっている場合であっても加工順序や加工条件等の変更
が行えるプロセス制御装置を提供することである。
されたものであり、第１の目的は、製品が各工程に仕掛
かっている場合であっても加工順序や加工条件等の変更
が行えるプロセス制御装置を提供することである。
【００１０】第２の目的は、製品が各工程に仕掛かって
いる場合であっても加工順序や加工条件等の変更が行え
るプロセス制御方法を提供することである。
いる場合であっても加工順序や加工条件等の変更が行え
るプロセス制御方法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のプロセ
ス制御装置は、製造状況を表す進捗ファイルに対応し
て、進捗ファイルの変更内容を表す変更テーブルの有無
を判定するための変更テーブル有無判定手段と、変更テ
ーブル有無判定手段によって変更テーブルがあると判定
された場合に、変更テーブルに基づいて進捗ファイルの
内容を変更するための進捗ファイル変更手段と、進捗フ
ァイル変更手段によって変更された進捗ファイルに基づ
いて、製品の搬送装置を制御するための搬送装置制御手
段と、進捗ファイル変更手段によって変更された進捗フ
ァイルに基づいて、製品の製造装置を制御するための製
造装置制御手段とを含む。
ス制御装置は、製造状況を表す進捗ファイルに対応し
て、進捗ファイルの変更内容を表す変更テーブルの有無
を判定するための変更テーブル有無判定手段と、変更テ
ーブル有無判定手段によって変更テーブルがあると判定
された場合に、変更テーブルに基づいて進捗ファイルの
内容を変更するための進捗ファイル変更手段と、進捗フ
ァイル変更手段によって変更された進捗ファイルに基づ
いて、製品の搬送装置を制御するための搬送装置制御手
段と、進捗ファイル変更手段によって変更された進捗フ
ァイルに基づいて、製品の製造装置を制御するための製
造装置制御手段とを含む。
【００１２】製造装置制御手段は、進捗ファイル変更手
段によって変更された進捗ファイルに基づいて製造装置
を制御するので、製品が各工程に仕掛かっている場合で
あっても加工順序や加工条件等の変更が行えるようにな
る。
段によって変更された進捗ファイルに基づいて製造装置
を制御するので、製品が各工程に仕掛かっている場合で
あっても加工順序や加工条件等の変更が行えるようにな
る。
【００１３】請求項２に記載のプロセス制御装置は、請
求項１記載のプロセス制御装置であって、プロセス制御
装置はさらに、製品毎の製造の指示を表す製造指示情報
と品種毎の工程順序を表す基準情報とから進捗ファイル
を作成するための進捗ファイル作成手段を含む。
求項１記載のプロセス制御装置であって、プロセス制御
装置はさらに、製品毎の製造の指示を表す製造指示情報
と品種毎の工程順序を表す基準情報とから進捗ファイル
を作成するための進捗ファイル作成手段を含む。
【００１４】進捗ファイル作成手段は、製造指示情報と
基準情報とから進捗ファイルを自動的に作成するので、
進捗ファイルの作成を容易に行えるようになる。
基準情報とから進捗ファイルを自動的に作成するので、
進捗ファイルの作成を容易に行えるようになる。
【００１５】請求項３に記載のプロセス制御装置は、請
求項１または２記載のプロセス制御装置であって、変更
テーブル有無判定手段は、進捗ファイル内の品種名と工
程名とが一致する変更テーブルを検索することにより対
応する変更テーブルの有無を判定する。
求項１または２記載のプロセス制御装置であって、変更
テーブル有無判定手段は、進捗ファイル内の品種名と工
程名とが一致する変更テーブルを検索することにより対
応する変更テーブルの有無を判定する。
【００１６】変更テーブル有無判定手段は、進捗ファイ
ル内の品種名と工程名とが一致する変更テーブルを検索
することにより有無を判定するので、品種単位で加工順
序や加工条件等を変更することができるようになる。
ル内の品種名と工程名とが一致する変更テーブルを検索
することにより有無を判定するので、品種単位で加工順
序や加工条件等を変更することができるようになる。
【００１７】請求項４に記載のプロセス制御装置は、請
求項１または２記載のプロセス制御装置であって、変更
テーブル有無判定手段は、進捗ファイル内の品種名と工
程名とロット番号とが一致する変更テーブルを検索する
ことにより対応する変更テーブルの有無を判定する。
求項１または２記載のプロセス制御装置であって、変更
テーブル有無判定手段は、進捗ファイル内の品種名と工
程名とロット番号とが一致する変更テーブルを検索する
ことにより対応する変更テーブルの有無を判定する。
【００１８】変更テーブル有無判定手段は、進捗ファイ
ル内の品種名と工程名とロット番号とが一致する変更テ
ーブルを検索することにより有無を判定するので、ロッ
ト単位で加工順序や加工条件等を変更することができる
ようになる。
ル内の品種名と工程名とロット番号とが一致する変更テ
ーブルを検索することにより有無を判定するので、ロッ
ト単位で加工順序や加工条件等を変更することができる
ようになる。
【００１９】請求項５に記載のプロセス制御装置は、請
求項１〜４のいずれかに記載のプロセス制御装置であっ
て、進捗ファイル変更手段は変更テーブルに基づいて製
造装置の製造条件に対応する制御条件番号を変更する。
求項１〜４のいずれかに記載のプロセス制御装置であっ
て、進捗ファイル変更手段は変更テーブルに基づいて製
造装置の製造条件に対応する制御条件番号を変更する。
【００２０】進捗ファイル変更手段は、変更テーブルに
基づいて制御条件番号を変更するので、工程における製
造装置および加工条件等を変更することができるように
なる。
基づいて制御条件番号を変更するので、工程における製
造装置および加工条件等を変更することができるように
なる。
【００２１】請求項６に記載のプロセス制御装置は、請
求項１〜４のいずれかに記載のプロセス制御装置であっ
て、進捗ファイル変更手段は変更テーブルに基づいて製
品の品種名を変更する。
求項１〜４のいずれかに記載のプロセス制御装置であっ
て、進捗ファイル変更手段は変更テーブルに基づいて製
品の品種名を変更する。
【００２２】進捗ファイル変更手段は、変更テーブルに
基づいて品種名を変更するので、加工順序を変更するこ
とができるようになる。
基づいて品種名を変更するので、加工順序を変更するこ
とができるようになる。
【００２３】請求項７に記載のプロセス制御方法は、製
造状況を表す進捗ファイルに対応して、進捗ファイルの
変更内容を表す変更テーブルの有無を判定するステップ
と、変更テーブルがあると判定された場合に、変更テー
ブルに基づいて進捗ファイルの内容を変更するステップ
と、変更された進捗ファイルに基づいて製品の搬送装置
を制御するステップと、変更された進捗ファイルに基づ
いて製品の製造装置を制御するステップとを含む。
造状況を表す進捗ファイルに対応して、進捗ファイルの
変更内容を表す変更テーブルの有無を判定するステップ
と、変更テーブルがあると判定された場合に、変更テー
ブルに基づいて進捗ファイルの内容を変更するステップ
と、変更された進捗ファイルに基づいて製品の搬送装置
を制御するステップと、変更された進捗ファイルに基づ
いて製品の製造装置を制御するステップとを含む。
【００２４】変更された進捗ファイルに基づいて製造装
置を制御するので、製品が各工程に仕掛かっている場合
であっても加工順序や加工条件等の変更が行えるように
なる。
置を制御するので、製品が各工程に仕掛かっている場合
であっても加工順序や加工条件等の変更が行えるように
なる。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態にお
けるプロセス制御装置を含んだ生産管理システムの概略
構成を示すブロック図である。この生産管理システム
は、生産管理システム全体の制御を行う工場管理ホスト
コンピュータ１と、プロセスの制御を行うプロセス制御
装置２ａおよび２ｂと、各工程に対応する製造装置３ａ
〜３ｄと、搬送装置４ａおよび４ｂとを含む。工場管理
ホストコンピュータ１とプロセス制御装置２ａまたは２
ｂとの間のデータ通信は、ＬＡＮ（Local Area Netwo
rk）によって行われる。また、プロセス制御装置２ａま
たは２ｂは、製造装置３ａ〜３ｄとシリアルインタフェ
ース等で接続され、任意の通信プロトコルによって製造
装置３ａ〜３ｄと搬送装置４ａおよび４ｂとを制御す
る。
けるプロセス制御装置を含んだ生産管理システムの概略
構成を示すブロック図である。この生産管理システム
は、生産管理システム全体の制御を行う工場管理ホスト
コンピュータ１と、プロセスの制御を行うプロセス制御
装置２ａおよび２ｂと、各工程に対応する製造装置３ａ
〜３ｄと、搬送装置４ａおよび４ｂとを含む。工場管理
ホストコンピュータ１とプロセス制御装置２ａまたは２
ｂとの間のデータ通信は、ＬＡＮ（Local Area Netwo
rk）によって行われる。また、プロセス制御装置２ａま
たは２ｂは、製造装置３ａ〜３ｄとシリアルインタフェ
ース等で接続され、任意の通信プロトコルによって製造
装置３ａ〜３ｄと搬送装置４ａおよび４ｂとを制御す
る。
【００２６】図２は、本発明のプロセス制御装置の外観
例を示す図である。プロセス制御装置は、コンピュータ
本体１１、グラフィックディスプレイ装置１２、磁気テ
ープ１４が装着される磁気テープ装置１３、キーボード
１５、マウス１６、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read
Only Memory）１８が装着されるＣＤ−ＲＯＭ装置１
７、およびＬＡＮインタフェース１９を含む。プロセス
制御プログラムは、磁気テープ１４またはＣＤ―ＲＯＭ
１８等の記憶媒体によって供給される。プロセス制御プ
ログラムはコンピュータ本体１１によって実行されて、
製造装置の制御が行われる。また、プロセス制御プログ
ラムは他のコンピュータより通信回線を経由し、コンピ
ュータ本体１１に供給されてもよい。
例を示す図である。プロセス制御装置は、コンピュータ
本体１１、グラフィックディスプレイ装置１２、磁気テ
ープ１４が装着される磁気テープ装置１３、キーボード
１５、マウス１６、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read
Only Memory）１８が装着されるＣＤ−ＲＯＭ装置１
７、およびＬＡＮインタフェース１９を含む。プロセス
制御プログラムは、磁気テープ１４またはＣＤ―ＲＯＭ
１８等の記憶媒体によって供給される。プロセス制御プ
ログラムはコンピュータ本体１１によって実行されて、
製造装置の制御が行われる。また、プロセス制御プログ
ラムは他のコンピュータより通信回線を経由し、コンピ
ュータ本体１１に供給されてもよい。
【００２７】図３は、本発明のプロセス制御装置の構成
例を示すブロック図である。図２に示すコンピュータ本
体１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２
０、ＲＯＭ(Read Only Memory)２１、ＲＡＭ（Random
Access Memory）２２およびハードディスク２３を含
む。ＣＰＵ２０は、グラフィックディスプレイ装置１
２、磁気テープ装置１３、キーボード１５、マウス１
６、ＣＤ−ＲＯＭ装置１７、ＬＡＮインタフェース１
９、ＲＯＭ２１、ＲＡＭ２２またはハードディスク２３
との間でデータを入出力しながら処理を行う。磁気テー
プ１４またはＣＤ−ＲＯＭ１８に記録されたプロセス制
御プログラムは、ＣＰＵ２０により磁気テープ装置１３
またはＣＤ−ＲＯＭ装置１７を介して一旦ハードディス
ク２３に格納される。ＣＰＵ２０は、ハードディスク２
３から適宜プロセス制御プログラムをＲＡＭ２２にロー
ドして実行することによってプロセスの制御を行う。
例を示すブロック図である。図２に示すコンピュータ本
体１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２
０、ＲＯＭ(Read Only Memory)２１、ＲＡＭ（Random
Access Memory）２２およびハードディスク２３を含
む。ＣＰＵ２０は、グラフィックディスプレイ装置１
２、磁気テープ装置１３、キーボード１５、マウス１
６、ＣＤ−ＲＯＭ装置１７、ＬＡＮインタフェース１
９、ＲＯＭ２１、ＲＡＭ２２またはハードディスク２３
との間でデータを入出力しながら処理を行う。磁気テー
プ１４またはＣＤ−ＲＯＭ１８に記録されたプロセス制
御プログラムは、ＣＰＵ２０により磁気テープ装置１３
またはＣＤ−ＲＯＭ装置１７を介して一旦ハードディス
ク２３に格納される。ＣＰＵ２０は、ハードディスク２
３から適宜プロセス制御プログラムをＲＡＭ２２にロー
ドして実行することによってプロセスの制御を行う。
【００２８】以下、本発明の各実施の形態におけるプロ
セス制御装置について説明するが、図２に示すプロセス
制御装置の外観および図３に示すプロセス制御装置の概
略構成は各実施の形態において共通である。 （実施の形態１）図４は、本実施の形態におけるプロセ
ス制御装置の概略構成を示すブロック図である。このプ
ロセス制御装置は、工場管理ホストコンピュータ１から
製造指示を受信する製造指示受信部３１と、製造指示受
信部３１によって受信された製造指示から各製品の製造
情報の形成（ロット形成）を行うロット形成部３２と、
ロット形成部３２によって作成された各製品の製造情報
から進捗ファイルを作成して進捗ファイル格納部４２に
登録する進捗ファイル作成部３３と、変更テーブル格納
部４０内に対応する変更テーブルがあるか否かを判定す
る変更テーブル有無判定部３４と、対応する変更テーブ
ルがある場合に進捗ファイルの内容を変更する進捗ファ
イル変更部３５と、基準情報格納部４１に格納された基
準情報を検索して処理工程の制御条件を抽出する基準情
報検索部３６と、基準情報検索部３６によって抽出され
た製造装置への搬送の制御を行う搬送装置制御部４３
と、基準情報検索部３６によって抽出された処理工程の
制御条件に基づいて製造装置３ａ〜３ｄの制御を行う製
造装置制御部３７と、製造装置３ａ〜３ｄからの報告デ
ータによってＱＣ(Quality Control)判定を行うＱＣ判
定部３８と、進捗ファイル内の工程名を次工程に更新す
る進捗ファイル更新部３９とを含む。
セス制御装置について説明するが、図２に示すプロセス
制御装置の外観および図３に示すプロセス制御装置の概
略構成は各実施の形態において共通である。 （実施の形態１）図４は、本実施の形態におけるプロセ
ス制御装置の概略構成を示すブロック図である。このプ
ロセス制御装置は、工場管理ホストコンピュータ１から
製造指示を受信する製造指示受信部３１と、製造指示受
信部３１によって受信された製造指示から各製品の製造
情報の形成（ロット形成）を行うロット形成部３２と、
ロット形成部３２によって作成された各製品の製造情報
から進捗ファイルを作成して進捗ファイル格納部４２に
登録する進捗ファイル作成部３３と、変更テーブル格納
部４０内に対応する変更テーブルがあるか否かを判定す
る変更テーブル有無判定部３４と、対応する変更テーブ
ルがある場合に進捗ファイルの内容を変更する進捗ファ
イル変更部３５と、基準情報格納部４１に格納された基
準情報を検索して処理工程の制御条件を抽出する基準情
報検索部３６と、基準情報検索部３６によって抽出され
た製造装置への搬送の制御を行う搬送装置制御部４３
と、基準情報検索部３６によって抽出された処理工程の
制御条件に基づいて製造装置３ａ〜３ｄの制御を行う製
造装置制御部３７と、製造装置３ａ〜３ｄからの報告デ
ータによってＱＣ(Quality Control)判定を行うＱＣ判
定部３８と、進捗ファイル内の工程名を次工程に更新す
る進捗ファイル更新部３９とを含む。
【００２９】図５は、基準情報の構成の一例を示す図で
ある。基準情報５０は、品種名５１ａ〜５１ｃと、工程
名５２ａ〜５２ｃと、制御条件番号５３ａ〜５３ｃとを
含む。基準情報は、製品の品種名５１ａ〜５１ｃ毎に規
定されており、図５においては３種類の製品の品種が規
定されている。また、工程名５２ａ〜５２ｃには、各製
品の加工順序に従ってその工程名が設定されている。ま
た、制御条件番号５３ａ〜５３ｃには、後述する制御条
件表に対応するように番号が設定されている。
ある。基準情報５０は、品種名５１ａ〜５１ｃと、工程
名５２ａ〜５２ｃと、制御条件番号５３ａ〜５３ｃとを
含む。基準情報は、製品の品種名５１ａ〜５１ｃ毎に規
定されており、図５においては３種類の製品の品種が規
定されている。また、工程名５２ａ〜５２ｃには、各製
品の加工順序に従ってその工程名が設定されている。ま
た、制御条件番号５３ａ〜５３ｃには、後述する制御条
件表に対応するように番号が設定されている。
【００３０】この基準情報は、プロセスエンジニアが工
場管理ホストコンピュータ１を用いて作成し、ＬＡＮに
よってプロセス制御装置に転送されて基準情報格納部４
１に格納される。
場管理ホストコンピュータ１を用いて作成し、ＬＡＮに
よってプロセス制御装置に転送されて基準情報格納部４
１に格納される。
【００３１】図６は、制御条件表の一例を示す図であ
り、基準情報内で設定されている各制御条件番号５３ａ
〜５３ｃに対応する制御条件が規定されている。この制
御条件表は、制御条件番号６１（制御条件番号５３ａ〜
５３ｃに対応する）と、その工程に使用可能な製造装置
名（以下、「使用可能装置名」と呼ぶ。）６２（図１の
製造装置３ａ〜３ｄに対応する）と、その製造装置に与
えられる制御条件６３と、その製造装置からの報告デー
タをＱＣ判定する際に使用される判定条件６４とを含
む。
り、基準情報内で設定されている各制御条件番号５３ａ
〜５３ｃに対応する制御条件が規定されている。この制
御条件表は、制御条件番号６１（制御条件番号５３ａ〜
５３ｃに対応する）と、その工程に使用可能な製造装置
名（以下、「使用可能装置名」と呼ぶ。）６２（図１の
製造装置３ａ〜３ｄに対応する）と、その製造装置に与
えられる制御条件６３と、その製造装置からの報告デー
タをＱＣ判定する際に使用される判定条件６４とを含
む。
【００３２】図７は、本実施の形態におけるプロセス制
御装置の処理手順を説明するためのフローチャートであ
る。まず、工場管理ホストコンピュータ１からプロセス
制御装置２ａまたは２ｂへ、製造指示受信部３１を介し
て製造指示情報が転送される（Ｓ１）。この製造指示情
報には、製造する製品の数量に応じた情報が含まれる。
また、各製品毎の製造指示情報には、ユニークな製品番
号（以下、ロット番号と呼ぶ）と、その製品の品種が含
まれている。
御装置の処理手順を説明するためのフローチャートであ
る。まず、工場管理ホストコンピュータ１からプロセス
制御装置２ａまたは２ｂへ、製造指示受信部３１を介し
て製造指示情報が転送される（Ｓ１）。この製造指示情
報には、製造する製品の数量に応じた情報が含まれる。
また、各製品毎の製造指示情報には、ユニークな製品番
号（以下、ロット番号と呼ぶ）と、その製品の品種が含
まれている。
【００３３】ロット形成部３２は、製造指示受信部３１
が受信した製造指示情報をグラフィックディスプレイ装
置１２に表示する（Ｓ２）。この表示画面は、所定のフ
ォーマットで表示され、作業者との対話形式で処理が進
められる。以下、この表示画面をロット形成画面と呼
ぶ。作業者は、このロット形成画面に表示された製造指
示情報に応じて、必要な材料を準備し、必要な項目を入
力する（Ｓ３）。
が受信した製造指示情報をグラフィックディスプレイ装
置１２に表示する（Ｓ２）。この表示画面は、所定のフ
ォーマットで表示され、作業者との対話形式で処理が進
められる。以下、この表示画面をロット形成画面と呼
ぶ。作業者は、このロット形成画面に表示された製造指
示情報に応じて、必要な材料を準備し、必要な項目を入
力する（Ｓ３）。
【００３４】次に、進捗ファイル作成部３３は、製造指
示情報と基準情報とから進捗ファイルをロット番号毎に
作成する（Ｓ４）。図８は、その進捗ファイルの一例を
示している。進捗ファイル７０は、ロット番号と、品種
と、現進捗と、変更テーブルデータとを含む。このロッ
トは最初の工程にあるので、現進捗が最初の工程である
“工程１１”となっている。また、変更テーブルデータ
は現在空白となっている。
示情報と基準情報とから進捗ファイルをロット番号毎に
作成する（Ｓ４）。図８は、その進捗ファイルの一例を
示している。進捗ファイル７０は、ロット番号と、品種
と、現進捗と、変更テーブルデータとを含む。このロッ
トは最初の工程にあるので、現進捗が最初の工程である
“工程１１”となっている。また、変更テーブルデータ
は現在空白となっている。
【００３５】次に、変更テーブル有無判定部３４は、進
捗ファイルに対応する変更テーブルが、変更テーブル格
納部４０内にあるか否かを判定する（Ｓ５）。現在、変
更テーブルがないと判定され（Ｓ５，Ｎｏ）、変更テー
ブルデータが空白となっており、ステップＳ７へ進む。
捗ファイルに対応する変更テーブルが、変更テーブル格
納部４０内にあるか否かを判定する（Ｓ５）。現在、変
更テーブルがないと判定され（Ｓ５，Ｎｏ）、変更テー
ブルデータが空白となっており、ステップＳ７へ進む。
【００３６】基準情報検索部３６は、進捗ファイル７０
を参照してロット番号“１２３４５”の製品の品種“Ａ
Ａ−Ａ”と現進捗“工程１１”を抽出し、基準情報格納
部４１に格納される基準情報（図５参照）を検索して製
造条件番号が“制御１１−Ａ”であることを検出する。
そして、基準情報検索部３６は、図６に示す制御条件表
を参照することによって、使用可能装置名６２、制御条
件６３および判定条件６４を抽出する（Ｓ７）。
を参照してロット番号“１２３４５”の製品の品種“Ａ
Ａ−Ａ”と現進捗“工程１１”を抽出し、基準情報格納
部４１に格納される基準情報（図５参照）を検索して製
造条件番号が“制御１１−Ａ”であることを検出する。
そして、基準情報検索部３６は、図６に示す制御条件表
を参照することによって、使用可能装置名６２、制御条
件６３および判定条件６４を抽出する（Ｓ７）。
【００３７】次に、製造装置制御部３７は、基準情報検
索部３６によって抽出された使用可能装置名６２の中か
ら使用する製造装置を選択し、その製造装置へロット番
号“１２３４５”の製品の搬送を行う（Ｓ８）。
索部３６によって抽出された使用可能装置名６２の中か
ら使用する製造装置を選択し、その製造装置へロット番
号“１２３４５”の製品の搬送を行う（Ｓ８）。
【００３８】製造装置制御部３７は、基準情報検索部３
６によって抽出された制御条件６３を製造装置に転送
し、所定の加工を行うよう指示する（Ｓ１１）。製造装
置による加工が終了すると、製造装置制御部３７は製造
装置からの加工完了報告と報告データとを受信する。Ｑ
Ｃ判定部３８は、報告データと基準情報検索部３６によ
って抽出された判定条件６４とからＱＣ判定を行う（Ｓ
１２）。
６によって抽出された制御条件６３を製造装置に転送
し、所定の加工を行うよう指示する（Ｓ１１）。製造装
置による加工が終了すると、製造装置制御部３７は製造
装置からの加工完了報告と報告データとを受信する。Ｑ
Ｃ判定部３８は、報告データと基準情報検索部３６によ
って抽出された判定条件６４とからＱＣ判定を行う（Ｓ
１２）。
【００３９】ＱＣ判定部３８によって問題がないと判定
されると、進捗ファイル更新部３９は進捗ファイルの現
進捗を次工程“工程１２”に更新して進捗ファイル格納
部４２に格納する（Ｓ１３）。そして、ステップＳ１４
へ進む。
されると、進捗ファイル更新部３９は進捗ファイルの現
進捗を次工程“工程１２”に更新して進捗ファイル格納
部４２に格納する（Ｓ１３）。そして、ステップＳ１４
へ進む。
【００４０】基準情報検索部３６は、全ての工程を完了
したロットを検索する。対象ロットがあれば（Ｓ１４，
Ｙｅｓ）、進捗ファイル変更部３５はその対象ロットの
進捗ファイルを基準情報検索部３６による検索の対象外
にする処理を行い、対象ロットの処理を終了する。ま
た、工程を完了していないロットがあれば（Ｓ１４，Ｎ
ｏ）、ステップＳ５へ戻り以降の処理を繰り返す。な
お、上述したロットの場合には、次工程“工程１２”以
降の処理を繰り返すことになる。
したロットを検索する。対象ロットがあれば（Ｓ１４，
Ｙｅｓ）、進捗ファイル変更部３５はその対象ロットの
進捗ファイルを基準情報検索部３６による検索の対象外
にする処理を行い、対象ロットの処理を終了する。ま
た、工程を完了していないロットがあれば（Ｓ１４，Ｎ
ｏ）、ステップＳ５へ戻り以降の処理を繰り返す。な
お、上述したロットの場合には、次工程“工程１２”以
降の処理を繰り返すことになる。
【００４１】次に、変更テーブルが変更テーブル格納部
４０内にある場合の処理を説明する。図９は、変更テー
ブルの一例を示す図である。この変更テーブル８０は、
品種と、品種副番と、ロット番号と、工程名と、変更後
の制御条件番号とを含む。なお、ロット番号には空白が
記録されており、ロット番号に関係なしに変更テーブル
の検索が行われる。すなわち、図８に示す進捗ファイル
の“品種”と“工程名”とが一致する変更テーブルがあ
るか否かによって、変更テーブルの検索が行われる。
４０内にある場合の処理を説明する。図９は、変更テー
ブルの一例を示す図である。この変更テーブル８０は、
品種と、品種副番と、ロット番号と、工程名と、変更後
の制御条件番号とを含む。なお、ロット番号には空白が
記録されており、ロット番号に関係なしに変更テーブル
の検索が行われる。すなわち、図８に示す進捗ファイル
の“品種”と“工程名”とが一致する変更テーブルがあ
るか否かによって、変更テーブルの検索が行われる。
【００４２】図７に示す本実施の形態におけるプロセス
制御装置のフローチャートにおいて、変更テーブル有無
判定部３４は、変更テーブル格納部４０内に対応する変
更テーブルがあると判定すると（Ｓ５，Ｙｅｓ）、その
変更テーブル（図９参照）内の情報を進捗ファイル内の
“変更テーブルデータ”に書き込むことによって進捗フ
ァイルを更新し（Ｓ６）、ステップＳ７へ進む。
制御装置のフローチャートにおいて、変更テーブル有無
判定部３４は、変更テーブル格納部４０内に対応する変
更テーブルがあると判定すると（Ｓ５，Ｙｅｓ）、その
変更テーブル（図９参照）内の情報を進捗ファイル内の
“変更テーブルデータ”に書き込むことによって進捗フ
ァイルを更新し（Ｓ６）、ステップＳ７へ進む。
【００４３】ステップＳ７において、基準情報検索部３
６は、進捗ファイル７０内の変更テーブルデータにデー
タが書き込まれているので、現進捗“工程１２”に対応
する製造条件番号“制御１２−Ａ”を変更テーブルデー
タに書き込まれた“制御１２−Ｂ”に変更する。そし
て、基準情報検索部３６は、図６に示す制御条件表を参
照することによって、“制御１２−Ｂ”に対応する使用
可能装置名６２、制御条件６３および判定条件６４を抽
出する（Ｓ７）。
６は、進捗ファイル７０内の変更テーブルデータにデー
タが書き込まれているので、現進捗“工程１２”に対応
する製造条件番号“制御１２−Ａ”を変更テーブルデー
タに書き込まれた“制御１２−Ｂ”に変更する。そし
て、基準情報検索部３６は、図６に示す制御条件表を参
照することによって、“制御１２−Ｂ”に対応する使用
可能装置名６２、制御条件６３および判定条件６４を抽
出する（Ｓ７）。
【００４４】次に、製造装置制御部３７は、基準情報検
索部３６によって抽出された使用可能装置名６２の中か
ら使用する製造装置を選択し、その製造装置へロット番
号“１２３４５”の製品の搬送を行う（Ｓ８）。そし
て、上述したステップＳ１１以降の処理を行う。
索部３６によって抽出された使用可能装置名６２の中か
ら使用する製造装置を選択し、その製造装置へロット番
号“１２３４５”の製品の搬送を行う（Ｓ８）。そし
て、上述したステップＳ１１以降の処理を行う。
【００４５】変更テーブルは、工場管理ホストコンピュ
ータ１からＬＡＮを介してプロセス制御装置内の変更テ
ーブル格納部４０に格納されても良いし、作業者がプロ
セス制御装置を操作して変更テーブル格納部４０に格納
しても良い。また、変更後の制御条件（たとえば、上述
した“制御１２−Ｂ”）は、変更テーブルと同時に図６
に示す制御条件表に格納されても良いし、変更テーブル
が格納される前に制御条件表に格納されても良い。
ータ１からＬＡＮを介してプロセス制御装置内の変更テ
ーブル格納部４０に格納されても良いし、作業者がプロ
セス制御装置を操作して変更テーブル格納部４０に格納
しても良い。また、変更後の制御条件（たとえば、上述
した“制御１２−Ｂ”）は、変更テーブルと同時に図６
に示す制御条件表に格納されても良いし、変更テーブル
が格納される前に制御条件表に格納されても良い。
【００４６】なお、図８に示す進捗ファイルの“品種”
と“工程名”とが一致する変更テーブルがあるか否かに
よって、変更テーブルの検索を行ったが、さらに“ロッ
ト番号”も加えて変更テーブルの検索を行うようにして
も良い。たとえば、図９に示す変更テーブル８０のロッ
ト番号に“１２３４５”を書き込んでおけば、ロット番
号“１２３４５”の製品のみ製造工程の制御条件が変更
されることになる。
と“工程名”とが一致する変更テーブルがあるか否かに
よって、変更テーブルの検索を行ったが、さらに“ロッ
ト番号”も加えて変更テーブルの検索を行うようにして
も良い。たとえば、図９に示す変更テーブル８０のロッ
ト番号に“１２３４５”を書き込んでおけば、ロット番
号“１２３４５”の製品のみ製造工程の制御条件が変更
されることになる。
【００４７】以上説明したように、本実施の形態におけ
るプロセス制御装置によれば、変更テーブルを検索して
製造工程の制御条件を変更するようにしたので、製品が
各工程に仕掛かっている場合であっても加工条件の変更
が行えるようになった。 （実施の形態２）本実施の形態におけるプロセス制御装
置の構成および処理手順は、図４および図７に示す実施
の形態１におけるプロセス制御装置の構成および処理手
順と同様である。ただし、図７のフローチャートにおけ
るステップＳ７の処理のみが異なる。したがって、その
処理をステップＳ７'として説明し、重複する構成およ
び機能の説明は繰り返さない。なお、実施の形態１のプ
ロセス制御装置においては図９に示す変更テーブルの
“変更”に制御条件番号“制御１２−Ｂ”が書き込まれ
ていたが、本実施の形態のプロセス制御装置においては
図１０に示すように変更テーブルの“変更”に品種名
“品種ＡＡ−Ｂ”が書き込まれているものとする。
るプロセス制御装置によれば、変更テーブルを検索して
製造工程の制御条件を変更するようにしたので、製品が
各工程に仕掛かっている場合であっても加工条件の変更
が行えるようになった。 （実施の形態２）本実施の形態におけるプロセス制御装
置の構成および処理手順は、図４および図７に示す実施
の形態１におけるプロセス制御装置の構成および処理手
順と同様である。ただし、図７のフローチャートにおけ
るステップＳ７の処理のみが異なる。したがって、その
処理をステップＳ７'として説明し、重複する構成およ
び機能の説明は繰り返さない。なお、実施の形態１のプ
ロセス制御装置においては図９に示す変更テーブルの
“変更”に制御条件番号“制御１２−Ｂ”が書き込まれ
ていたが、本実施の形態のプロセス制御装置においては
図１０に示すように変更テーブルの“変更”に品種名
“品種ＡＡ−Ｂ”が書き込まれているものとする。
【００４８】ステップＳ７'において、基準情報検索部
３６は、進捗ファイル７０内の変更テーブルデータにデ
ータが書き込まれているので、品種“ＡＡ−Ａ”を変更
テーブルデータに書き込まれた“ＡＡ−Ｂ”に変更す
る。そして、基準情報検索部３６は、図５に示す基準情
報を参照することによって、品種名“ＡＡ−Ｂ”に対応
する基準情報を抽出する（Ｓ７'）。そして、その品種
名“ＡＡ−Ｂ”に対応する基準情報に基づいてステップ
Ｓ８以降の処理を行うことにより、加工手順を変更す
る。
３６は、進捗ファイル７０内の変更テーブルデータにデ
ータが書き込まれているので、品種“ＡＡ−Ａ”を変更
テーブルデータに書き込まれた“ＡＡ−Ｂ”に変更す
る。そして、基準情報検索部３６は、図５に示す基準情
報を参照することによって、品種名“ＡＡ−Ｂ”に対応
する基準情報を抽出する（Ｓ７'）。そして、その品種
名“ＡＡ−Ｂ”に対応する基準情報に基づいてステップ
Ｓ８以降の処理を行うことにより、加工手順を変更す
る。
【００４９】以上説明したように、本実施の形態におけ
るプロセス制御装置によれば、変更テーブルを検索して
品種名を変更するようにしたので、製品が各工程に仕掛
かっている場合であっても加工順序の変更が行えるよう
になった。
るプロセス制御装置によれば、変更テーブルを検索して
品種名を変更するようにしたので、製品が各工程に仕掛
かっている場合であっても加工順序の変更が行えるよう
になった。
【００５０】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【００５１】
【発明の効果】請求項１に記載のプロセス制御装置によ
れば、製造装置制御手段が進捗ファイル変更手段によっ
て変更された進捗ファイルに基づいて製造装置を制御す
るので、製品が各工程に仕掛かっている場合であっても
加工順序や加工条件等の変更が行えるようになった。
れば、製造装置制御手段が進捗ファイル変更手段によっ
て変更された進捗ファイルに基づいて製造装置を制御す
るので、製品が各工程に仕掛かっている場合であっても
加工順序や加工条件等の変更が行えるようになった。
【００５２】請求項２に記載のプロセス制御装置によれ
ば、進捗ファイル作成手段が製造指示情報と基準情報と
から進捗ファイルを自動的に作成するので、進捗ファイ
ルの作成を容易に行えるようになった。
ば、進捗ファイル作成手段が製造指示情報と基準情報と
から進捗ファイルを自動的に作成するので、進捗ファイ
ルの作成を容易に行えるようになった。
【００５３】請求項３に記載のプロセス制御装置によれ
ば、変更テーブル有無判定手段が進捗ファイル内の品種
名と工程名とが一致する変更テーブルを検索することに
より有無を判定するので、品種単位で加工順序や加工条
件等を変更することができるようになった。
ば、変更テーブル有無判定手段が進捗ファイル内の品種
名と工程名とが一致する変更テーブルを検索することに
より有無を判定するので、品種単位で加工順序や加工条
件等を変更することができるようになった。
【００５４】請求項４に記載のプロセス制御装置によれ
ば、変更テーブル有無判定手段が進捗ファイル内の品種
名と工程名とロット番号とが一致する変更テーブルを検
索することにより有無を判定するので、ロット単位で加
工順序や加工条件等を変更することができるようになっ
た。
ば、変更テーブル有無判定手段が進捗ファイル内の品種
名と工程名とロット番号とが一致する変更テーブルを検
索することにより有無を判定するので、ロット単位で加
工順序や加工条件等を変更することができるようになっ
た。
【００５５】請求項５に記載のプロセス制御装置によれ
ば、進捗ファイル変更手段が変更テーブルに基づいて制
御条件番号を変更するので、工程における製造装置およ
び加工条件等を変更することができるようになった。
ば、進捗ファイル変更手段が変更テーブルに基づいて制
御条件番号を変更するので、工程における製造装置およ
び加工条件等を変更することができるようになった。
【００５６】請求項６に記載のプロセス制御装置によれ
ば、進捗ファイル変更手段が変更テーブルに基づいて品
種名を変更するので、加工順序を変更することができる
ようになった。
ば、進捗ファイル変更手段が変更テーブルに基づいて品
種名を変更するので、加工順序を変更することができる
ようになった。
【００５７】請求項７に記載のプロセス制御方法によれ
ば、変更された進捗ファイルに基づいて製造装置を制御
するので、製品が各工程に仕掛かっている場合であって
も加工順序や加工条件等の変更が行えるようになった。
ば、変更された進捗ファイルに基づいて製造装置を制御
するので、製品が各工程に仕掛かっている場合であって
も加工順序や加工条件等の変更が行えるようになった。
【図１】 本発明のプロセス制御装置を含んだ生産管理
システムの概略構成を示すブロック図である。
システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】 本発明のプロセス制御装置の外観例を示す図
である。
である。
【図３】 本発明のプロセス制御装置の構成例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】 本発明の実施の形態１におけるプロセス制御
装置の概略構成を示すブロック図である。
装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】 基準情報の一例を示す図である。
【図６】 制御条件表の一例を示す図である。
【図７】 本発明の実施の形態１におけるプロセス制御
装置の処理手順を説明するためのフローチャートであ
る。
装置の処理手順を説明するためのフローチャートであ
る。
【図８】 進捗ファイルの一例を示す図である。
【図９】 本発明の実施の形態１におけるプロセス制御
装置によって使用される変更テーブルの一例を示す図で
ある。
装置によって使用される変更テーブルの一例を示す図で
ある。
【図１０】 本発明の実施の形態２におけるプロセス制
御装置によって使用される変更テーブルの一例を示す図
である。
御装置によって使用される変更テーブルの一例を示す図
である。
１ 工場管理ホストコンピュータ、２ａ〜２ｂ プロセ
ス制御装置、３ａ〜３ｄ 製造装置、４ａ，４ｂ 搬送
装置、１１ コンピュータ本体、１２ グラフィックデ
ィスプレイ装置、１３ 磁気テープ装置、１４ 磁気テ
ープ、１５ キーボード、１６ マウス、１７ ＣＤ−
ＲＯＭ装置、１８ ＣＤ−ＲＯＭ、１９ＬＡＮインタフ
ェース、２０ ＣＰＵ、２１ ＲＯＭ、２２ ＲＡＭ、
２３ハードディスク、３１ 製造指示受信部、３２ ロ
ット形成部、３３ 進捗ファイル作成部、３４ 変更テ
ーブル有無判定部、３５ 進捗ファイル変更部、３６基
準情報検索部、３７ 製造装置制御部、３８ ＱＣ判定
部、３９ 進捗ファイル更新部、４０ 変更テーブル格
納部、４１ 基準情報格納部、４２ 進捗ファイル格納
部、４３ 搬送装置制御部。
ス制御装置、３ａ〜３ｄ 製造装置、４ａ，４ｂ 搬送
装置、１１ コンピュータ本体、１２ グラフィックデ
ィスプレイ装置、１３ 磁気テープ装置、１４ 磁気テ
ープ、１５ キーボード、１６ マウス、１７ ＣＤ−
ＲＯＭ装置、１８ ＣＤ−ＲＯＭ、１９ＬＡＮインタフ
ェース、２０ ＣＰＵ、２１ ＲＯＭ、２２ ＲＡＭ、
２３ハードディスク、３１ 製造指示受信部、３２ ロ
ット形成部、３３ 進捗ファイル作成部、３４ 変更テ
ーブル有無判定部、３５ 進捗ファイル変更部、３６基
準情報検索部、３７ 製造装置制御部、３８ ＱＣ判定
部、３９ 進捗ファイル更新部、４０ 変更テーブル格
納部、４１ 基準情報格納部、４２ 進捗ファイル格納
部、４３ 搬送装置制御部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武智 隆次 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 丸目 康博 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 伊野部 隆昌 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 太田 勝也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 佐藤 康弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C042 RJ07 RJ11 RL11 5B049 BB07 CC21 DD01 DD05 EE05 FF03 FF04 FF09 GG04 GG07 5H215 AA01 AA06 BB09 CC05 CX01 KK04
Claims (7)
- 【請求項１】 製造状況を表す進捗ファイルに対応し
て、進捗ファイルの変更内容を表す変更テーブルの有無
を判定するための変更テーブル有無判定手段と、 前記変更テーブル有無判定手段によって変更テーブルが
あると判定された場合に、該変更テーブルに基づいて前
記進捗ファイルの内容を変更するための進捗ファイル変
更手段と、 前記進捗ファイル変更手段によって変更された進捗ファ
イルに基づいて、製品の搬送装置を制御するための搬送
装置制御手段と、 前記進捗ファイル変更手段によって変更された進捗ファ
イルに基づいて、製品の製造装置を制御するための製造
装置制御手段とを含むプロセス制御装置。 - 【請求項２】 前記プロセス制御装置はさらに、製品毎
の製造の指示を表す製造指示情報と品種毎の工程順序を
表す基準情報とから前記進捗ファイルを作成するための
進捗ファイル作成手段を含む、請求項１記載のプロセス
制御装置。 - 【請求項３】 前記変更テーブル有無判定手段は、進捗
ファイル内の品種名と工程名とが一致する変更テーブル
を検索することにより対応する変更テーブルの有無を判
定する、請求項１または２記載のプロセス制御装置。 - 【請求項４】 前記変更テーブル有無判定手段は、進捗
ファイル内の品種名と工程名とロット番号とが一致する
変更テーブルを検索することにより対応する変更テーブ
ルの有無を判定する、請求項１または２記載のプロセス
制御装置。 - 【請求項５】 前記進捗ファイル変更手段は、前記変更
テーブルに基づいて、前記製造装置の製造条件に対応す
る制御条件番号を変更する、請求項１〜４のいずれかに
記載のプロセス制御装置。 - 【請求項６】 前記進捗ファイル変更手段は、前記変更
テーブルに基づいて、製品の品種名を変更する、請求項
１〜４のいずれかに記載のプロセス制御装置。 - 【請求項７】 製造状況を表す進捗ファイルに対応し
て、進捗ファイルの変更内容を表す変更テーブルの有無
を判定するステップと、 変更テーブルがあると判定された場合に、該変更テーブ
ルに基づいて前記進捗ファイルの内容を変更するステッ
プと、 前記変更された進捗ファイルに基づいて、製品の搬送装
置を制御するステップと、 前記変更された進捗ファイルに基づいて、製品の製造装
置を制御するステップとを含むプロセス制御方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2732699A JP2000218473A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | プロセス制御装置およびプロセス制御方法 |
| US09/357,917 US6480755B1 (en) | 1999-02-04 | 1999-07-21 | Process control device and process control method permitting processing order and processing condition to be changed while manufacturing process continues |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2732699A JP2000218473A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | プロセス制御装置およびプロセス制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000218473A true JP2000218473A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12217962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2732699A Withdrawn JP2000218473A (ja) | 1999-02-04 | 1999-02-04 | プロセス制御装置およびプロセス制御方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6480755B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000218473A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002236511A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 工程管理システムおよび工程管理方法 |
| JPWO2016203632A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2018-04-05 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム及び製造システムの制御方法 |
| JP2020047299A (ja) * | 2019-12-11 | 2020-03-26 | 株式会社Ｆｕｊｉ | ライン管理装置 |
| JP7418973B2 (ja) | 2019-06-06 | 2024-01-22 | 株式会社東芝 | 制御システム及び制御方法 |
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|---|---|---|---|---|
| WO2001075541A1 (fr) * | 2000-04-04 | 2001-10-11 | Fujitsu Limited | Systeme de reseau de commande de production, procede de commande de production et support sur lequel un programme de commande de production est enregistre |
| US6856848B2 (en) * | 2000-04-24 | 2005-02-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for controlling progress of product processing |
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