JP2000213465A - 横型ベロ―ズポンプ - Google Patents

横型ベロ―ズポンプ

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JP2000213465A
JP2000213465A JP11011377A JP1137799A JP2000213465A JP 2000213465 A JP2000213465 A JP 2000213465A JP 11011377 A JP11011377 A JP 11011377A JP 1137799 A JP1137799 A JP 1137799A JP 2000213465 A JP2000213465 A JP 2000213465A
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JP
Japan
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valve
bellows
hole
check
pump
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Pending
Application number
JP11011377A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsugi Ichiki
貢 一木
Katsuhiro Kurusu
勝裕 来栖
Takao Nakazawa
孝夫 中澤
Kazuya Wakabayashi
一也 若林
Kenichiro Takemoto
憲一郎 竹本
Naomichi Takahashi
尚道 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MI TECHNO KK
Nisso Engineering Co Ltd
Original Assignee
MI TECHNO KK
Nisso Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 性能をより向上し、小型化及び低コスト化を
図る。 【解決手段】 吸入通路20及び吐出通路21を持つポ
ンプヘッド10、ポンプヘッド10の両側に設けられた
シリンダケース11,12、各シリンダケース11,1
2に配設されて、吸排気される駆動流体により伸縮作動
するベローズ17,18、ポンプヘッド10に設けられ
て各ベローズ17,18内を連通し、かつ吸入通路20
及び吐出通路21の一方にそれぞれ連通している一対の
貫通孔22,23、並びに貫通孔22,23にそれぞれ
装着された逆止弁を備え、各ベローズ17,18が交互
に伸長・収縮されることにより、対応する逆止弁を介
し、液体を吸入通路20から吸引し、吐出通路21から
吐出し一方向へ移送する横型ベローズポンプにおいて、
吸収通路20側の貫通孔22に設けられる逆止弁24
が、両端の弁部に対応して貫通孔22に弁座44を内設
した、ばね部材を有しないフローチャッキからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体移送用ベロー
ズポンプ、特にポンプヘッドの両側にシリンダケースを
設けた横型ベローズポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】ベローズポンプは、往復ポンプの中でも
軽量・簡明な機構で能力と性能が確保でき、ベローズが
耐熱・耐蝕性に優れたフッ素樹脂等のプラスチックを用
いることができるため高純度液体に限らず、強酸や強ア
ルカリなど腐蝕性薬液の移送にも多用されている。ポン
プ型式には米国特許第4,902,206号等に記載の
如く縦型及び横型がある。横型は縦型に対し一般に駆動
機構を簡易化でき、安価に提供できる。図5はベローズ
ポンプのうち、従来の横型ベローズポンプを中間縦方向
に断面した図である。同図の横型ベローズポンプ50
は、主要部材が略中間部に位置するポンプヘッド60が
主体となり、ポンプヘッド60の両側にシリンダケース
61,62や接液部となるベローズ67,68等を備え
ている。
【0003】シリンダケース61,62は、ポンプヘッ
ド60の対応側面に接合されたケース本体63a,65
aと、この後方開口を閉じる部材63b,65bからな
り、カバー64,66が必要に応じて付設される。各シ
リンダケース61,62は対応するベローズ67,68
を伸縮自在に収納している。ポンプヘッド60は、吸入
通路70及び吐出通路71と、これらの一方にそれぞれ
連通している一対の貫通孔72,73とを形成し、その
各貫通孔の両側に逆止弁74,75(逆止弁74a,7
4bは吸込用、逆止弁75a,75bは吐出用)を装着
している。各対の逆止弁74,75は、対応するベロー
ズ67,68内に突出配置された状態となっている。そ
して、吸入通路70はポンプヘッド60の前又は後面に
貫通され、液体貯蔵部との間に不図示のパイプを介して
接続される。吐出通路69はポンプヘッド60の上側に
貫通され、液体移送部との間にパイプ76を介して接続
される。シリンダケース62,63には不図示の出入口
が設けられ、これら出入口から交互に駆動流体が導入さ
れる。すると、各ベローズ67,68は、交互に伸長・
収縮され、対応する吸込用逆止弁74a又は74bと、
吐出用逆止弁75a又は75bの作動を介し、液体をベ
ローズ67又は68内に吸入通路70から吸引し、ベロ
ーズ68又は67内から吐出通路71を通じ一方向へ移
送する。なお、符合77はポンプヘッド60とシリンダ
ケース62,63とを結合している複数の連結ボルト、
符合78はベローズ67,68端面に軸部材79を介し
保持された連結板である。両連結板78はシャフト80
を介し連結され、一方のベローズが収縮すると、他方の
ベローズがシャフト80を介しそれに連動して伸長す
る。
【0004】ところで、前記した従来の各逆止弁74,
75は、何れもが弁ケースの取付状態で弁部材をばね部
材であるスプリングにより付勢したスプリングチャッキ
構造であり、開閉作動が対応する弁座にそれぞれ異方向
に開閉作動する。これら逆止弁74,75のうち、吐出
用逆止弁75としては、例えば、実開平4−57680
号に記載の如く、吐出用貫通孔内に一対の弁部材(案内
脚付きの弁体)を配置し、間に介装されるスプリングに
より両弁部材同士を離間する方向に付勢するスプリング
チャッキも知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上のような、従来の
横型ベローズポンプ50は、吸込と吐出し用の各逆止弁
として、スプリングチャッキ構造を採用しているため次
のような問題を内在し未だ充分に満足できないものにな
っている。第1に、各ベローズ67,68は、シリンダ
ケース61,62内に交互に供給される駆動流体圧によ
り伸長・収縮され、一方から液体を吸入し、他方から液
体を吐出す。逆止弁74,75の作動は、図5の状態に
おいて、吐出用のうち左側逆止弁74aが開、右側逆止
弁74bがスプリング圧を受けて閉、吸込用のうち右側
逆止弁75bが開、左側逆止弁75aがスプリング圧を
受け閉となる。ベローズ67の内圧は、液体を吸入した
後、供給される駆動流体の圧力により収縮されて液体を
吐出す過程で最大となる。このときの駆動流体は、例え
ば、吐出側のベローズの内圧V0に加え、対応する逆止
弁のスプリング圧Vsに比例した圧が必要(通常、駆動
流体圧が4Kg/cm2程度、)となり、駆動流体圧を
より小さくして省エネを図ることが難しい。第2に、各
逆止弁74,75を構成しているスプリングは、継続使
用により次第に減衰し、初期スプリング圧を長期に維持
できない。これは、例えば、高温薬液仕様や耐薬品性に
より材質的に制約される場合に顕著となり、逆止弁の交
換頻度が多くなって経費増と稼働率の低下の要因となっ
ている。第3に、スプリングチャッキ構造は、左右寸法
が大きく必要となりポンプの小型化が図り難い。また、
スプリングが弁ケース内で繰り返して伸び縮みする過程
でスプリングの接触部からダストが発生し易く、高純度
液体移送用としてはそのようなダスト発生要因を多少な
りともなくしたい。
【0006】本発明は以上のような背景から開発された
ものであり、その目的は上記した駆動流体圧を小さくし
て低圧駆動(例えば、駆動流体圧が1Kg/cm2)を
可能にすると共に、従来スプリングに起因する短寿命や
ダスト発生要因を多少なりともなくしてポンプ性能をよ
り向上し、しかも小型化及び低コスト化も可能にした横
型ベローズポンプを実現することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め本発明は、図1から図4に例示される如く、吸入通路
及び吐出通路を形成しているポンプヘッドと、前記ポン
プヘッドの両側に設けられたシリンダケースと、前記各
シリンダケースに配設されて、各シリンダケースに吸排
気される駆動流体により伸縮作動するベローズと、前記
ポンプヘッドに設けられて前記各ベローズ内を連通し、
かつ前記吸入通路及び吐出通路の一方にそれぞれ連通し
ている一対の貫通孔と、前記各貫通孔にそれぞれ装着さ
れた逆止弁とを備え、前記各ベローズが交互に伸長・収
縮されることにより前記対応する逆止弁を介し、液体を
前記吸入通路から吸引し、前記吐出通路から吐出し一方
向へ移送する横型ベローズポンプにおいて、前記逆止弁
のうち、少なくとも、前記吸収通路側の貫通孔に設けら
れる逆止弁が、軸の両端に弁部を形成している弁部材を
有し、当該弁部材を貫通孔に直接あるいは弁ケースを介
して配置し、かつ前記両端の弁部に対応して貫通孔に弁
座を内設した、ばね部材を有しないフローチャッキから
なるものである。
【0008】以上のベローズポンプ構造は、逆止弁が軸
の両側に弁部を形成している弁部材を主体とし、それに
当該貫通孔に内装される弁ケースや両弁部に対応して設
けられる弁座とにより構成したものである。すなわち、
本発明は、ポンプヘッドの貫通孔が一般的にポンプ設置
状態で水平となること、両側のベローズが吸入側(ベロ
ーズ内圧が低い)と吐出側(ベローズ内圧が高い)とに
交互に切り換わること、逆止弁として例えば吐出側のベ
ローズ内圧と吸込通路や吐出通路との間に生じる微小差
圧を利用してばね部材を有しないフローチャッキで開閉
可能なこと等に着目し、試験を重ねて完成されたもので
ある。ここで、本発明の弁ケースは、対応する貫通孔に
専用のケース部材を配置する構成に限られず、貫通孔自
身を弁ケースとして利用することも可能である。
【0009】そして、以上の横型ベローズポンプでは、
少なくとも、前記吸収通路側の貫通孔に設けられること
により、従来ポンプに対し小型化とスプリングに起因す
るダスト発生を半減できる。また、請求項2の如く吐出
通路側の貫通孔にも設けると、次のような利点がより構
造的に得られる。、両シリンダケース内に交互に供給
される駆動流体は、従来のスプリングチャッキに対しス
プリング圧に相当する分だけ低くすることが可能とな
り、この低圧駆動(駆動流体圧が1Kg/cm2
度、)の実現により省エネ等が図られる。、逆止弁が
フローチャッキのため従来品の如くスプリングの寿命と
いう問題がなくなる。これにより、特に、高温薬液移送
用としては、逆止弁の交換頻度が改善され、交換に伴う
経費節減及び稼働率を向上できる。、フローチャッキ
構造では、従来のスプリングチャッキ構造に対しポンプ
の小型化が図られると同時に、スプリングの接触部から
発生するダストの問題も一掃されるため高純度液体移送
用として理想的なものとなる。
【0010】また、以上の本発明は次のように具体化さ
れることがより好ましい。第1に、前記逆止弁のうち、
一方(例えば、吐出通路に連通する側)が弁部材の各弁
部を対応する弁座に内側から当接して閉状態となり、他
方(例えば、吸入通路に連通する側)が弁部材の各弁部
を対応する弁座の外側から当接して閉状態となる構成で
ある。これは、ばね部材を有しないフローチャッキの構
造として、何れもが簡易であり、貫通孔への組込み性も
容易となる。第2に、前記吐出通路側の配管部に異常時
用の重力式逆止弁を介在している構成である。この構造
は、例えば、ポンプ異常停止時等において、液体が吐出
通路側へ逆流する虞を重力式逆止弁により無くしたもの
である。なお、この種の横型ベローズポンプでは、吐出
通路が各ベローズ内からガス(液体に含まれていたガス
や液体から発生するガス)を追い出し易くするためポン
プヘッドに対し垂直上向きに設けられている。そこで、
上記した異常時用の逆止弁として重力式の簡易なものを
用いるだけで、フローチャッキによるトラブル発生要因
を容易に解消し、信頼性を向上できる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図1から図3を参照して説明する。この形態説明は、技
術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の
範囲を制約するものではない。
【0012】図1は本発明を適用したベローズポンプの
縦断面を模式的に示し、図2は図1の要部を拡大した
図、図3は図2の状態から弁作動が切り換えられたとき
の弁作動を示す図である。このベローズポンプ1は、基
本部材として、ポンプヘッド10と、左右のシリンダケ
ース11,12と、シリンダケース11,12内に配置
されたプラスチック製のベローズ17,18と、ポンプ
ヘッド10に設けられている一対の貫通孔22,23に
配設された吸込用逆止弁24及び吐出用逆止弁25等を
備えている。
【0013】シリンダケース11,12は、略筒状のケ
ース本体13,15と、ケース本体13,15の後方開
口を閉じるカバー14,16とからなる。ケース本体1
3,15は、前側開口がポンプヘッド10の対応端面側
にそれぞれ接合配置され、後側開口がカバー14,16
で閉じられている。カバー14,16には、エアー等の
駆動流体をシリンダケース11,12内に導入する出入
口11a,12aと、脚部14a,16aとが一体に形
成されている。この後端面側には、ベローズ17,18
の後端面に対向配置された近接センサ19a,19b
と、内低部に沿って配置されたリークセンサ29a,2
9bとを有している。近接センサ19a,19bは、ベ
ローズ17,18の伸長状態を検出し、その検出信号を
特許第2798664号に記載の如く駆動流体用の2位
置方向切換弁の制御用として用い、駆動流体が出入口1
4aと出入口16aとから交互に導入可能にする。リー
クセンサ29a,29bは、ベローズ17,18内から
の液漏れを検出して、異常自体の発生を教示可能にす
る。
【0014】各シリンダケース11,12内のベローズ
17,18は、水平方向に伸縮自在の円筒状をなし、一
端側が開口され、他端側が閉じられている。各ベローズ
17,18の一端側は、ポンプヘッド10の対応側面に
設けられた取付溝に装着されると共に、一部がケース本
体13,15の対応部分で押え込まれる。各ベローズ1
7,18の他端側には、外側中央部に金具30が埋設さ
れており、その金具30に対し連結板31がボルト32
によりそれぞれ取り付けられている。両ベローズ17,
18の連結板31同士は図1に現れないが、ベローズの
外側前後位置に配置されたシャフトで連結されて、一方
のベローズが収縮すると、他方のベローズがシャフトを
介しそれに連動して伸長するようになっている。
【0015】ポンプヘッド10は、ケース本体13,1
5と同径の略円盤状をなし、吸入通路20及び吐出通路
21、これらの一方にそれぞれ連通している一対の貫通
孔22,23を形成している。貫通孔22,23は、ポ
ンプヘッド10の上下にあって、吸入通路20と連通す
る貫通孔22が下側に、吐出通路21と連通する貫通孔
23が上側に位置している。貫通孔22は液体をベロー
ズ17,18内に吸入通路20から導入する孔、貫通孔
23はベローズ17,18内の液体を吐出通路21へ送
り出す孔である。そして、吸入通路20は、ポンプヘッ
ド10の前側又は後側から貫通孔22に連通しており、
不図示のジョイント用パイプが装着されて、液体移送部
から液体を導入する。吐出通路21は、ポンプヘッド1
0の上側から貫通孔23に連通しており、上開口部に重
力式逆止弁26が装着されて不図示の配管用パイプによ
り目的の液体移送部まで液体を供給する。逆止弁26
は、弁ケース内にボールを収納し、該ボールが吐出通路
21から移送される液体により開状態となり、ポンプ駆
動が停止したときに閉状態に切り換わって液体の吐出通
路21方向への逆流を阻止するもので、この弁構造自体
は公知のものである。
【0016】なお、符号27は以上のポンプヘッド10
とシリンダケース11,12とを結合している複数(こ
の例では4本)の連結ボルトである。符号34はポンプ
ヘッド10とケース本体13,15との間に介在された
シール部材、符号35はケース本体13,15とカバー
14,16との間に介在されたシール部材である。
【0017】貫通孔22には吸込用の逆止弁24が配設
されると共に、貫通孔23には吐出用の逆止弁25が配
設されている。これらの逆止弁24,25は、本発明の
主要部であり、何れもがばね部材を有しないフローチャ
ッキからなる。ここで、逆止弁24は、図2に拡大して
示す如く、貫通孔22内に配置される2個の弁ケース4
0と、両弁ケース40の内径をガイドとして摺動自在に
配置される弁部材41と、貫通孔22内にあって弁ケー
ス40の両側に設けられる弁座44,44との4点から
構成されている。但し、この逆止弁24は、両弁ケース
40,40を一体に形成して3点部品にすることも可能
である。これに対し、逆止弁25は、全体が貫通孔23
内に配置される弁ケース45と、弁ケース45の内径を
ガイドとして摺動自在に配置される弁部材46と、貫通
孔23内にあって弁ケース45の両側に設けられる弁座
49,49との4部品から構成されている。
【0018】すなわち、逆止弁24は次のような構成で
ある。弁ケース40は、貫通孔22に嵌合する径大筒部
40aと、径大筒部40aの片側端面に一体に突出形成
された径小筒部40bとからなり、段差となった端面に
複数の切欠孔40cを形成している。弁部材41は、シ
ャフトないしは軸42の両端に弁部43a,43bをそ
れぞれ装着しており、軸42が弁ケース40の径小筒部
40b内に貫通配置されている。弁部43a,43b
は、貫通孔22に出没可能な略円錐台形の弁体であり、
軸42の両端に対し螺合等により着脱される。両弁座4
4は、外側内径部が対応する弁部43a又は43bと当
接して貫通孔22を閉じるものであり、貫通孔22の内
径に対し螺合等の適宜な手段により装着される。以上の
各部材を貫通孔22に組込む場合は、先ず、2個の弁ケ
ース40が各径大筒部40aを貫通孔22内に位置する
ように、各径小筒部40bを貫通孔22の対応入口から
圧入し、各径小筒部40bの端面同士を付き当てた状態
にされる。次に、各弁座44が貫通孔22の対応側から
入れられて固定される。各弁ケース40は、両側の弁座
44により位置決めされ、両側から挟み込まれた状態で
位置規制される。その後、弁部材41は、軸42の一方
端に弁部23a又は23bを装着した状態から、軸42
の他方端を両弁ケース40の径小筒部40b内を貫通さ
れる。そして、軸42の他方端に対しもう一方の弁部2
3b又は23aが装着されると、弁部材41は径小筒部
40bに摺動自在に軸支される。各弁部23a,23b
は、弁部材41の摺動方向により対応する弁座44に対
し一方が外側から開又は閉に、他方が外側から閉又は開
というように切り換えられる。
【0019】これに対し、逆止弁25は次のような構成
である。弁ケース45は、ポンプヘッド10の幅寸法に
余裕を持って収まる筒形からなり、貫通孔23内に嵌合
して位置決めされた状態で吐出通路21に連通する開口
45aを有している。弁部材46は、シャフトないしは
軸47の両端に弁部48a,48bが設けられている。
弁部48a,48bは、弁ケース45内に摺動自在に配
置される略円錐台形の弁体であり、軸47の両端に対し
螺合等により装着ないしは一体に形成されている。両弁
座49は、内側内径部が対応する弁部48a又は48b
と当接して貫通孔23を閉じるものであり、貫通孔23
の内径に対し螺合等の適宜な手段により装着される。以
上の各部材を貫通孔23に組込む場合は、例えば、弁部
材46を弁ケース40内に挿入配置した状態から、弁ケ
ース45が貫通孔23内に圧入されると共に開口45a
を吐出通路21に連通するよう位置決めされる。その
後、各弁座49が貫通孔23の対応側から入れられて固
定される。弁ケース45は、各弁座49により両側から
挟み込まれた状態で位置規制される。したがって、この
逆止弁25は、弁ケース45の内径に対し弁部材46が
各弁部48a,48bを介して摺動される。各弁部48
a,48bは、弁部材46の摺動方向により対応する弁
座49に対し一方が内側から開又は閉に、他方が内側か
ら閉又は開というように切り換えられる。
【0019】以上の構成からなるベローズポンプ1は、
駆動流体が出入口11a,12aに交互に導入される
と、その駆動流体圧により各ベローズ17,18が交互
に伸長・収縮される。これを図2,図3を含めて概説す
る。図1の状態は、シリンダケース12内に駆動流体が
出入口12aから導入され、シリンダケース11内の駆
動流体が排気されている。ベローズ18は収縮し、ベロ
ーズ17は上記した連結用シャフトを介して連動して伸
長する。吸入用逆止弁24は、図2の如く弁部材41が
ベローズ18の内圧と吸込通路20の圧との圧力差によ
り左側へ摺動される。この結果、弁部43bは対応する
弁座44に当たって閉、弁部43aは対応する弁座44
から離れて開となる。逆に、吐出用逆止弁25は、弁部
材46がベローズ18の内圧と吐出通路21の圧との圧
力差により左側へ摺動される。この結果、弁部48aは
対応する弁座49に当たって閉、弁部48bは対応する
弁座49から離れて開となる。そして、ベローズ18内
の液体は吐出用の逆止弁25の弁ケース45、開口45
a、吐出通路21、重力式逆止弁26、不図示の配管用
パイプを通じて液体移送部(例えば、循環式洗浄槽)へ
移送される。同時に、ベローズ17内には、液体貯蔵部
(例えば、循環式洗浄槽)の液体が外部配管用パイプ、
吸入通路20、貫通孔22と径小筒部40bとの隙間、
切欠孔40c、径大筒部40a内を通って導入される。
【0020】以上の各ベローズ17,18の液体吸入と
吐出は、ベローズ17が設計値まで伸長されたことを近
接センサ19aで検出し、該検出信号に基づいて駆動流
体の供給経路が切り換えられるまで継続される。切り換
えられると、今度は駆動流体が出入口11bからシリン
ダケース11内に導入され、シリンダケース12内の駆
動流体が排気される。すると、ベローズ17は収縮しつ
つその内圧が高くなり、ベローズ18は連動して伸長す
る。吸入用逆止弁24は、図3の如く弁部材41がベロ
ーズ17の内圧と吸込通路20の圧との圧力差により右
側へ摺動される。この結果、弁部43aは対応する弁座
44に当たって閉、弁部43bは対応する弁座44から
離れて開となる。逆に、吐出用逆止弁25は、弁部材4
6がベローズ17の内圧と吐出通路21の圧との圧力差
により右側へ摺動され、弁部48aが対応する弁座49
から離れて開、弁部48bが対応する弁座49に当たっ
て閉となる。そして、ベローズ17が収縮しつつ内部の
液体を弁ケース45、開口45a、吐出通路21及び重
力式逆止弁26を通じて液体移送部へ移送する。ベロー
ズ18は伸長しつつ、内部には液体貯蔵部の液体が外部
配管用パイプ、吸入通路20、貫通孔22と径小筒部4
0bとの隙間、切欠孔40c、径大筒部40a内を通っ
て導入される。このように、ベローズポンプ1は、ベロ
ーズ17,18が交互に伸縮作動され、液体を吸入通路
20からベローズ17又は18内、対応する逆止弁2
4,25を介し吐出通路21を通じて移送することにな
る。
【0021】図4は以上の形態例を変形した例を図1と
同様な状態で示している。なお、同図には上記した形態
と同一部位又は対応する部位に同じ符合を付し、重複し
た説明を省略する。この変形例のベローズポンプ2で
は、上記した吐出通路21に連通した貫通孔23に設け
られる逆止弁25に代えて、従来と同じ逆止弁28a,
28bを用いたものであり、それ以外は前記形態例とほ
ぼ同じくなっている。この構造では、上記形態に比較し
て異常時用の重力式逆止弁26が不要になり、吐出通路
21にジョイント用パイプPだけを接続すればよく、ま
た、逆止弁28a,28bが従来と同じく弁ケース内の
弁部材に対しばね部材によりスプリング圧を与えてお
り、これによるばね部材の寿命やダスト発生の問題が残
るが、吸入通路20と連通する貫通孔22に設けられる
逆止弁24の存在により従来よりも改善される。このよ
うに、本発明は、請求項1の構成を基本として技術的に
種々変形したり、更に展開することができるものであ
る。
【0022】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る横型
ベローズポンプにあっては、ポンプヘッドの貫通孔に設
けられる逆止弁がフローチャッキ構造からなり、しかも
構造的により簡易なものとなることから、従来品に対し
弁配置スペースを大幅に減少することができ、この結
果、ポンプヘッドの幅寸法を抑えたり、逆止弁をベロー
ズ内に突出配置することなく、同一移送容量のポンプ設
計において高比率で小型化することができる。また、ば
ね部材であるスプリングをより少なくしたことから、使
用時には逆止弁の寿命が長く稼働率を向上でき、スプリ
ングに起因するダスト発生も半減又は一掃することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したベローズポンプの縦断面図で
ある。
【図2】図1の要部を拡大した断面図である。
【図3】図2と異なる態様を示す要部拡大断面図であ
る。
【図4】上記ベローズポンプの変形例を図1と同様な態
様で示す図である。
【図5】従来ベーズポンプの縦断面図である。
【符号の説明】
1,2はベローズポンプ、10はポンプヘッド、11,
12はシリンダケース、17,18はベローズ、20は
吸入通路、21は吐出通路、22,23は貫通孔、2
4,25は逆止弁(フローチャッキ)、26は重力式逆
止弁、40,45は弁ケース、41,46は弁部材、4
3a,43b,48a,48bは弁部、42,47は
軸、44,49は弁座。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一木 貢 茨城県勝田市東石川2336 有限会社エム・ アイテクノ内 (72)発明者 来栖 勝裕 茨城県勝田市東石川2336 有限会社エム・ アイテクノ内 (72)発明者 中澤 孝夫 東京都杉並区善福寺1丁目29−28 (72)発明者 若林 一也 東京都千代田区神田神保町1丁目6番1号 日曹エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 竹本 憲一郎 東京都千代田区神田神保町1丁目6番1号 日曹エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 高橋 尚道 東京都千代田区神田神保町1丁目6番1号 日曹エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 3H058 AA05 AA11 BB22 BB24 BB33 CA06 CA13 CA14 CC05 EE01 EE11 EE14 3H077 AA08 CC03 CC07 CC17 DD09 DD13 EE21 EE23 EE36 EE37 FF12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸入通路及び吐出通路を形成しているポ
    ンプヘッドと、前記ポンプヘッドの両側に設けられたシ
    リンダケースと、前記各シリンダケースに配設されて、
    各シリンダケースに吸排気される駆動流体により伸縮作
    動するベローズと、前記ポンプヘッドに設けられて前記
    各ベローズ内を連通し、かつ前記吸入通路及び吐出通路
    の一方にそれぞれ連通している一対の貫通孔と、前記各
    貫通孔にそれぞれ装着された逆止弁とを備え、前記各ベ
    ローズが交互に伸長・収縮されることにより前記対応す
    る逆止弁を介し、液体を前記吸入通路から吸引し、前記
    吐出通路から吐出し一方向へ移送する横型ベローズポン
    プにおいて、 前記逆止弁のうち、少なくとも、前記吸収通路側の貫通
    孔に設けられる逆止弁が、軸の両端に弁部を形成してい
    る弁部材を有し、当該弁部材を貫通孔に直接あるいは弁
    ケースを介して配置し、かつ前記両端の弁部に対応して
    貫通孔に弁座を内設した、ばね部材を有しないフローチ
    ャッキからなることを特徴とする横型ベローズポンプ。
  2. 【請求項2】 前記吐出通路の貫通孔に設けられる逆止
    弁が、前記吸収通路の貫通孔に設けられる逆止弁と同様
    なばね部材を有しないフローチャッキからなる請求項1
    に記載の横型ベローズポンプ。
  3. 【請求項3】 前記吸込及び吐出通路の各貫通孔に設け
    られる逆止弁のうち、一方が弁部材の各弁部を対応する
    弁座に内側から当接して閉状態となり、他方が弁部材の
    各弁部を対応する弁座の外側から当接して閉状態となる
    請求項2に記載の横型ベローズポンプ。
  4. 【請求項4】 前記吐出通路側の配管部に重力式逆止弁
    を介在している請求項2又は3に記載の横型ベローズポ
    ンプ。
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