JP2001165053A - ダイヤフラム式ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 移送流体の変質を極力防止しつつ、かつトラ
ブルを生じることなく移送流体を移送できるダイヤフラ
ム式ポンプを提供する。 【解決手段】 両端にそれぞれ送液室８ａ、９ａを設
け、センターロッド３の両端に設けたダイヤフラム４、
５によってこれら送液室と画成する駆動室を設け、当セ
ンターロッドを往復動させて、それぞれの駆動室への駆
動流体の供給、排出に応じて、その対応する側の送流室
の移送流体を吐出させ、他方側の駆動室の駆動流体を排
出させつゝその他方側の送液室に移送流体を吸入させ、
移送流体を連続的に移送するダイヤフラム式ポンプにお
いて、センターロッド３の可動方向を切り換える切り換
え弁２を有し、駆動室に供給される駆動流体Ｐ１の圧力
が切り換え弁２を駆動する切り換え弁駆動用流体Ｐ２、
Ｐ３の圧力よりも低く設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移送流体の変質を
防止するのに好適なダイヤフラム式ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ダイヤフラム式ポンプには、
両端にそれぞれ送液室と駆動室とを画成するダイヤフラ
ムが設けられたセンターロッドを備え、センターロッド
を一方側に駆動するときにはその一方側の駆動室に駆動
流体を供給してその一方の側の送液室の移送流体を吐出
させると共に、センターロッドの他方側の駆動室の駆動
流体を排出させつつその他方側の送液室に移送流体を吸
入させ、センターロッドを他方側に駆動するときにはセ
ンターロッドの他方側の駆動室に駆動流体を供給してそ
の他方側の移送流体を吐出させると共に、センターロッ
ドの一方側の駆動流体を排出させつつその一方側の送液
室に移送流体を吸入させ、そのセンターロッドの往復動
により移送流体を連続的に移送する構成のものが知られ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、移送流体に
は、研磨性の粒子成分（研磨剤を含む）、気泡を含んだ
ものがあり、この研磨性の粒子、気泡を含んだ移送流体
を移送することとすると、ダイヤフラム式ポンプ本体内
で研磨性の粒子同士が衝突を繰り返し、移送流体の粒子
成分が変質（変質という意味は変形又は破壊を含む概念
として用いる）するという不具合がある。

【０００４】とくに、研磨剤を含んだ移送流体の移送に
際して、研磨剤に変質が生じると研磨性能が低下し、ひ
いては、研磨剤の使用量の増加、研磨作業時間の増大に
つながり、コスト上昇を招く。

【０００５】このような理由から、研磨性の粒子、気泡
を含んだ移送流体の移送には、格別の注意が要求され、
従来のダイヤフラム式ポンプでは、移送流体の移送にト
ラブルが生じない範囲内でこのダイヤフラム式ポンプを
駆動するために、駆動流体としてのエアー圧力を極力低
め、例えば、０．２ＭＰａに設定し、研磨性の粒子、気
泡を含んだ移送流体の変質を防止する対策を講じてい
る。

【０００６】ところが、それでも、研磨性の粒子、気泡
を含んだ移送流体のなかには移送の際に変質を起こすも
のがあり、従来のダイヤフラム式ポンプでは、エアーの
圧力を０．２ＭＰａよりも低く設定すると、移送流体の
移送にトラブルを生じるおそれがあり、移送流体の移送
に極力トラブルが生じないようにエアーの圧力を高めに
設定すると移送流体が変質し易くなり、移送流体の変質
が極力生じないようにエアーの圧力を低めに設定する
と、移送流体の移送にトラブルが生じ易くなるという問
題点がある。

【０００７】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、その目的とするところは、移送流体の変質を極力
防止しつつかつ移送流体の移送にトラブルを生じること
なく移送流体を移送することのできるダイヤフラム式ポ
ンプを提供する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のダイヤ
フラム式ポンプは、両端にそれぞれ送液室と駆動室とを
画成するダイヤフラムが設けられたセンターロッドを備
え、センターロッドを一方側に駆動するときにはその一
方側の駆動室に駆動流体を供給してその一方の側の送液
室の移送流体を吐出させると共に、センターロッドの他
方側の駆動室の駆動流体を排出させつつその他方側の送
液室に移送流体を吸入させ、センターロッドを他方側に
駆動するときにはセンターロッドの他方側の駆動室に駆
動流体を供給してその他方側の移送流体を吐出させると
共に、センターロッドの一方側の駆動流体を排出させつ
つその一方側の送液室に移送流体を吸入させ、そのセン
ターロッドの往復動により移送流体を連続的に移送する
ものにおいて、前記センターロッドの可動方向を切り換
える切り換え弁を有し、前記駆動室に供給される駆動流
体の圧力が前記切り換え弁を駆動する切り換え弁駆動用
流体の圧力よりも低く設定されていることを特徴とす
る。

【０００９】請求項２に記載のダイヤフラム式ポンプ
は、前記切り換え弁がスプール弁であり、前記スプール
の可動方向両側に前記切り換え弁駆動用流体が供給され
る一対の圧力室が設けられ、前記センターロッドの可動
終端で前記一対の圧力室に差圧を生じさせて前記スプー
ル弁の位置を切り換えることを特徴とする。

【００１０】請求項３に記載のダイヤフラム式ポンプ
は、前記切り換え弁駆動用流体が一対の圧力室を経由し
て駆動室に供給可能とされ、前記センターロッドの可動
方向を切り換えるために、前記センターロッドの可動終
端で容積が減少されつつある方の駆動室に前記切り換え
弁駆動用流体を当該駆動室に放出することにより前記一
対の圧力室の一方を減圧して前記スプール弁の位置を切
り換えることを特徴とする。

【００１１】請求項４に記載のダイヤフラム式ポンプ
は、前記切り換え弁駆動用流体が前記センターロッドの
往復動空間を経由して前記一対の圧力室に供給可能とさ
れ、前記センターロッドの可動方向を切り換えるため
に、前記センターロッドの可動終端で前記切り換え弁駆
動用流体を前記往復動空間を経由して前記一対の圧力室
に供給することにより該一対の圧力室の一方を増圧して
前記スプール弁の位置を切り換えることを特徴とする。

【００１２】請求項５に記載のダイヤフラム式ポンプ
は、前記切り換え弁駆動用流体がエアーであることを特
徴とする。請求項６に記載のダイヤフラム式ポンプは、
前記駆動流体がエアーであることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】（発明の実施の形態１）図１ない
し図４は本発明に係わるダイヤフラム式ポンプの発明の
実施の形態１を説明するための図であって、図１〜図４
において、１はダイヤフラム式ポンプの本体、２は切り
換え弁である。

【００１４】その本体１の中央にはセンターロッド３が
水平方向に往復動可能に設けられている。このセンター
ロッド３の一端にはダイヤフラム４が設けられ、その他
端にはダイヤフラム５が設けられている。

【００１５】このダイヤフラム４、５はその中央部が取
り付け部材としてのセンターディスク６、６’によりセ
ンターロッド３の端部に固定され、その周辺部が取り付
け部材７、７’により本体１に固定されている。

【００１６】そのセンターロッド３の可動方向両側には
センターロッド３の可動を許容する空間８、９が存在
し、空間８はダイヤフラム４によって送液室８ａと駆動
室８ｂとに画成され、空間９はダイヤフラム５によって
送液室９ａと駆動室９ｂとに画成されている。

【００１７】その本体１の下部には、送液室８ａ、９ａ
に移送流体を供給する供給通路１０が設けられ、その本
体１の上部には送液室８ａ、９ａ内の移送流体を外部に
向けて吐出する吐出通路１１が設けられている。

【００１８】その送液室８ａ、９ａの下部には供給通路
１０に連通する吸入ポート１２、１２’がそれぞれ設け
られ、その送液室８ａ、９ａの上部には吐出通路１１に
連通する吐出ポート１３、１３’がそれぞれ設けられ、
各ポートにはこのポート開閉用のチェック弁として機能
するボール弁１４ａ〜１４ｄがそれぞれ設けられてい
る。

【００１９】その本体１には駆動室８ａ、８ｂにそれぞ
れ臨むパイロットバルブ１５、１６が設けられていると
共に、駆動室８ｂ、９ｂに連通する連通路１７、１８、
大気に連通する連通路１９が設けられている。

【００２０】切り換え弁２はセンターロッド３の可動方
向を切り換える機能を有し、ここでは、スプール弁が用
いられている。この切り換え弁２はケーシング部２０と
スプール２１とを有する。ケーシング部２０にはそのス
プール２１の水平方向への往復動を許容する許容空間２
１Ａが設けられている。そのスプール２１はその中央部
に拡径部２２を有し、許容空間２１Ａはその拡径部２２
によって左室２１Ｂと右室２１Ｃとに画成されている。

【００２１】そのスプール２１の両端部には拡径部２
３、２４が形成され、拡径部２２と拡径部２３との間は
縮径部２５となっており、拡径部２２と拡径部２４との
間は縮径部２６となっている。

【００２２】そのケーシング２０の上部には、ダイヤフ
ラム駆動用の駆動流体としてのエアーＰ１を供給するた
めのエアー供給口２７が設けられ、そのケーシング２０
の水平方向両端部にはエアー供給口２８、２９が設けら
れている。このエアー供給口２８、２９には切り換え弁
駆動用流体としてのエアーＰ２、Ｐ３が供給される。

【００２３】そのエアー供給口２７に供給されるエアー
Ｐ１の圧力は０．０５ＭＰａ程度であり、そのエアー供
給口２８、２９に供給されるエアーＰ２、Ｐ３の圧力は
０．２ＭＰａ以上である。

【００２４】エアー供給口２８、２９は圧力室３０、３
１に連通され、圧力室３０には拡径部２３の背面が臨
み、圧力室３１には拡径部２４の背面が臨んでいる。左
室２１Ｂにはポート３２が設けられ、右室２１Ｃにはポ
ート３３が設けられている。

【００２５】エアー供給口２７はポート３２、３３に連
通され、ポート３２はスプール２１が左側に位置すると
き拡径部２３によって閉じられる箇所に形成され、ポー
ト３３はスプール２１が右側に位置するとき拡径部２４
によって閉じられる箇所に形成されている。

【００２６】圧力室３０、３１にはポート３４、３５が
設けられている。そのポート３４はパイロットバルブ１
５のサージタンク１５ａに連通され、ポート３５はパイ
ロットバルブ１６のサージタンク１６ａに連通されてい
る。サージタンク１５ａ、１６ａは圧力室３０、３１に
供給されたエアーをチャージする役割を果たす。そのパ
イロットバルブ１５、１６はノーマルクローズド弁体１
５ｂ、１６ｂを有し、そのノーマルクローズド弁体１５
ｂ、１６ｂの先端はセンターディスク６、６’に当接可
能に臨まされている。

【００２７】許容空間２１Ａの左室２１Ｂにはポート３
６が設けられ、許容空間２１Ｂの右室２１Ｃにはポート
３７が設けられ、ポート３６とポート３７との間にはポ
ート３８が設けられている。ポート３６は連通路１７に
連通され、ポート３７は連通路１８に連通され、ポート
３８は連通路１９に連通されている。

【００２８】拡径部２２はそのポート３８を跨いで往復
動され、そのポート３８はスプール２１が左側に位置す
るときには右室２１Ｃを介してポート３７に連通され、
スプール２１が右側に位置するときには左室２１Ｂを介
してポート３６に連通される。

【００２９】次に、このダイヤフラム式ポンプの作用を
説明する。図１はスプール２１が左側に位置して、ポー
ト３２が開かれると同時にポート３７とポート３８とが
連通した直後の状態が示されている。この状態で、エア
ー供給口２７からエアーＰ１が連通路１７を介して駆動
室８ｂに供給される。これにより、ダイヤフラム４が膨
張する。

【００３０】と同時に、エアーＰ２、Ｐ３（Ｐ２＝Ｐ
３）がエアー供給口２８、２９からポート３４、３５を
介してサージタンク１５ａ、１６ａに供給される。その
ダイヤフラム４の膨張に基づく駆動室８ｂの容積の増大
によって送液室８ａの容積が減少し、送液室８ａの移送
流体が吐出される。

【００３１】また、センターロッド３が左方向Ａ１に駆
動されて、駆動室９ｂ内のエアーＰ４が連通路１８、右
室２１Ｃ、連通路１９を経由して大気へ放出され、駆動
室９ｂ内の容積が減少することに基づく送液室９ａの容
積の増大によって送液室９ａの内部が負圧となり、送液
室９ａに移送流体が吸入される。

【００３２】図２に示すように、駆動室９ｂの容積が更
に減少してセンターディスク６’がノーマルクロズード
弁体１６ｂの先端に当接し、センターロッド３が可動終
端に達すると、サージタンク１６ａ内のエアーが駆動室
９ｂに放出される。

【００３３】これによって、圧力室３１内の圧力が減圧
され、圧力室３０内のエアーＰ２の圧力と圧力室３１内
のエアーＰ３の圧力とに差が生じ、その差圧によってス
プール２１が図２に符号Ｂ１で示すように右方向に瞬時
に可動される。これにより、センターロッド３の駆動方
向が切り換えられる。

【００３４】スプール２１が図３に示すように右側に位
置すると、ポート３２が閉じられ、ポート３３が開かれ
る。これと共に、連通路１７が左室２１Ｂを介して連通
路１９に連通される。この状態で、エアー供給口２７か
らエアーＰ１が連通路１８を介して駆動室９ｂに供給さ
れる。これによりダイヤフラム５が膨張する。

【００３５】と同時に、エアーＰ２、Ｐ３（Ｐ２＝Ｐ３
が）エアー供給口２８、２９からポート３４、３５を介
してサージタンク１５ａ、１６ａに供給される。ダイヤ
フラム５の膨張に基づく駆動室９ｂの容積の増大によっ
て送液室９ａの容積が減少し、送液室９ａの移送流体が
吐出される。

【００３６】また、センターロッド３が右方向Ａ２に駆
動されて、駆動室８ｂ内のエアーＰ４が連通路１７、左
室２１Ｂ、連通路１９を経由して大気へ放出され、駆動
室８ｂ内の容積が減少することに基づく送液室８ａの容
積の増大によって送液室８ａの内部が負圧となり、送液
室８ａに移送流体が吸入される。

【００３７】図４に示すように、駆動室８ｂの容積が減
少して、センターディスク６がノーマルクローズド弁体
１５ｂの先端に当接し、センターロッド３が可動終端に
達すると、サージタンク１５ａ内のエアーが駆動室８ｂ
に放出される。

【００３８】これによって、圧力室３０内のエアーＰ２
の圧力が減圧され、圧力室３０内のエアーＰ２の圧力と
圧力室３１内のエアーＰ３の圧力とに差が生じ、その差
圧によって、スプール２１が図４に示すように、左方向
Ｂ２に瞬時に可動され、センターロッド３の駆動方向が
切り換えられる。

【００３９】この発明の実施の形態によれば、センター
ロッド３の可動方向を切り換えるための切り換え弁駆動
用流体の圧力が高めに設定されているので、切り換え弁
の切り換え駆動は迅速かつ確実であり、一方、ダイヤフ
ラム４、５を膨張させるための駆動流体の圧力は低めに
設定され、センターロッド３の移動速度は緩慢であるの
で、移送流体の変質が防止される。 （実施例２）図５〜図８は本発明に係わるダイヤフラム
式ポンプの発明の実施の形態２の説明図であって、この
図５〜図８において、発明の実施の形態１に係わるダイ
ヤフラム式ポンプの構成要素と同一構成要素については
同一符号を付してその詳細な説明を省略し、異なる部分
についてのみ説明する。

【００４０】この発明の実施の形態２に係わるダイヤフ
ラム式ポンプでは、本体１にはセンターロッド３の往復
動空間４０が設けられ、センターロッド３にはパイロッ
トバルブ３ａ、３ｂが設けられ、往復動空間４０はその
パイロットバルブ３ａ、３ｂによってパイロットバルブ
室４１、４２と大気連通空間４３とに画成されている。

【００４１】大気連通空間４３は連通路４４を介して常
時大気に連通されている。パイロットバルブ室４１はエ
アー通路４５を介してエアー供給口２８に連通され、パ
イロットバルブ室４２はエアー通路４６を介してエアー
供給口２９に連通されている。

【００４２】スプール２１は縮径部４７とその両端に形
成された拡径部４８、４９から構成され、拡径部４８は
その背面が圧力室３０に臨まされ、拡径部４９はその背
面が圧力室３１に臨まされている。その拡径部４８、４
９の間はエアー供給口２７からエアーが供給されるエア
ー室５０となっている。

【００４３】ケーシング２０にはポート５１〜５４が形
成され、本体１には連通路５５〜５８が形成され、ポー
ト５１は管路５９を介して連通路５６に連通され、ポー
ト５２は管路６０を介して連通路５８に連通され、ポー
ト５３は管路６１を介して連通路５５に連通され、ポー
ト５４は管路６２を介して連通路５７に連通されてい
る。

【００４４】スプール２１が右側に位置するときには、
管路５９、６０がポート５１、５２、圧力室３０を介し
て連通されると共に、管路６１がポート５３、エアー室
５０を介してエアー供給口２７に連通される。

【００４５】スプール２１が左側に位置するときには、
管路６１、６２がポート５３、５４、圧力室３１を介し
て連通されると共に、管路６０がポート５２、エアー室
５０を介してエアー供給口２７に連通される。

【００４６】センターロッド３が左端に位置するときに
はエアー通路４６と連通路５７とがパイロットバルブ室
４２を介して連通され、センターロッド３が右端に位置
するときにはエアー通路４５と連通路５６とがパイロッ
トバルブ室４１を介して連通される。

【００４７】次に、このダイヤフラム式ポンプの作用を
説明する。図５に示すように、スプール２１が右端に位
置し、エアー室５０がポート５３、管路６１、連通路５
５を介して駆動室８ｂに連通され、駆動室９ｂが連通路
５８、管路６０、ポート５２を介して圧力室３０に連通
されていると、エアーＰ１がエアー室５０、管路６１、
連通路５５を介して駆動室８ｂに供給され、これにより
ダイヤフラム４が膨張されて、送液室８ａ内の移送流体
が吐出される。

【００４８】また、駆動室９ｂ内のエアーＰ４は連通路
５８、管路６０、ポート５２、圧力室３０、ポート５
１、管路５９、連通路５６、大気連通空間４３、連通路
４４を経由して大気に放出される。

【００４９】エアーＰ１の供給と同時に、エアーＰ２、
Ｐ３（Ｐ２＝Ｐ３）がエアー通路４５、４６を介してそ
れぞれパイロットバルブ室４１、４２に供給されるが、
パイロットバルブ室４１、４２内のエアーＰ２、Ｐ３の
圧力は釣り合っており、センターロッド３は駆動室８ｂ
内のエアーの圧力と駆動室９ｂ内のエアーの圧力との差
圧によって左方向Ａ１に切り換え駆動される。

【００５０】センターロッド３が可動終端に達すると、
図６に示すように、エアー通路４６と圧力室３１とがパ
イロットバルブ室４２、連通路５７、管路６２、ポート
５４を介して連通され、エアーＰ３が圧力室３１に供給
され、圧力室３１が増圧されてスプール２１が矢印Ｂ２
方向に瞬時に可動される。

【００５１】図７に示すように、スプール２１が左端に
位置して、エアー室５０がポート５２、管路６０、連通
路５８を介して駆動室９ｂに連通され、駆動室８ｂが連
通路５５、管路６１、ポート５３を介して圧力室３１に
連通されると、エアーＰ１がエアー室５０、管路６０、
連通路５８を介して駆動室９ｂに供給され、これにより
ダイヤフラム５が膨張されて、送液室９ａ内の移送流体
が吐出される。

【００５２】また、駆動室８ｂ内のエアーＰ４は連通路
５５、管路６１、ポート５３、圧力室３１、ポート５
４、管路６２、連通路５７、大気連通空間４３、連通路
４４を経由して大気に放出される。

【００５３】エアーＰ１の供給と同時に、エアーＰ２、
Ｐ３（Ｐ２＝Ｐ３）がエアー通路４５、４６を介してそ
れぞれパイロットバルブ室４１、４２に供給されるが、
パイロットバルブ室４１、４２のエアーＰ２、Ｐ３の圧
力は釣り合っており、センターロッド３は駆動室８ｂ内
のエアーの圧力と駆動室９ｂ内のエアーの圧力との差圧
によって右方向Ａ２に切り換え駆動される。

【００５４】センターロッド３が可動終端達すると、図
８に示すように、エアー通路４５と圧力室３０とがパイ
ロットバルブ室４１、連通路５６、管路５９、ポート５
１を介して連通され、エアーＰ２が圧力室３０に供給さ
れ、圧力室３０が増圧されてスプール２１が矢印Ｂ１方
向に瞬時に可動される。

【００５５】以上、発明の実施の形態について説明した
が、連通路１９、４４の大気開放部に絞りを設けてエア
ーＰ１の排気速度を減速させる、センターロッド３に機
械的ブレーキ抵抗を与えることによって、センターロッ
ド３の往復動速度を緩慢とする構成とすることもでき
る。

【００５６】

【発明の効果】本発明によれば、移送流体の変質を極力
防止しつつかつ移送流体の移送にトラブルを生じること
なく移送流体を移送できる。例えば、圧力により変質を
受け易い気泡、物質を含んだ血液等の移送流体であって
も変質を生じることなく移送が可能である。

【００５７】また、本発明によれば、移送流体の移送用
の圧力を低めに設定できるので、脈動が減少し、研磨剤
等の衝突による本体の摩耗、ダイヤフラム等の部品に作
用する応力が減少し、ダイヤフラム式ポンプの寿命を延
ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１に係わるダイヤフラム
式ポンプの説明図であって、スプールが左端に位置して
センターロッドが左方向に可動されている状態を示す図
である。

【図２】 図１に示すセンターロッドが可動終端に達し
てスプールが右方向に可動される直前の状態を示す図で
ある。

【図３】 図１に示すスプールが右端に位置してセンタ
ーロッドが右方向に可動されている状態を示す図であ
る。

【図４】 図３に示すセンターロッドが可動終端に達し
てスプールが左方向に可動される直前の状態を示す図で
ある。

【図５】 本発明の実施の形態２に係わるダイヤフラム
式ポンプの説明図であって、スプールが右端に位置して
センターロッドが左方向に可動されている状態を示す図
である。

【図６】 図１に示すセンターロッドが可動終端に達し
てスプールが左方向に可動される直前の状態を示す図で
ある。

【図７】 図１に示すスプールが左端に位置してセンタ
ーロッドが左方向に可動されている状態を示す図であ
る。

【図８】 図７に示すセンターロッドが可動終端に達し
てスプールが右方向に可動される直前の状態を示す図で
ある。

【符号の説明】

２ 切り換え弁 ３ センターロッド ４、５ ダイヤフラム ８ａ、９ａ 送液室 ８ｂ、９ｂ 駆動室 Ｐ１ エアー（駆動流体） Ｐ２、Ｐ３ エアー（切り換え弁駆動用流体）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 両端にそれぞれ送液室と駆動室とを画成
   するダイヤフラムが設けられたセンターロッドを備え、
   センターロッドを一方側に駆動するときにはその一方側
   の駆動室に駆動流体を供給してその一方の側の送液室の
   移送流体を吐出させると共に、センターロッドの他方側
   の駆動室の駆動流体を排出させつつその他方側の送液室
   に移送流体を吸入させ、センターロッドを他方側に駆動
   するときにはセンターロッドの他方側の駆動室に駆動流
   体を供給してその他方側の移送流体を吐出させると共
   に、センターロッドの一方側の駆動流体を排出させつつ
   その一方側の送液室に移送流体を吸入させ、そのセンタ
   ーロッドの往復動により移送流体を連続的に移送するダ
   イヤフラム式ポンプにおいて、 前記センターロッドの可動方向を切り換える切り換え弁
   を有し、前記駆動室に供給される駆動流体の圧力が前記
   切り換え弁を駆動する切り換え弁駆動用流体の圧力より
   も低く設定されていることを特徴とするダイヤフラム式
   ポンプ。
2. 【請求項２】 前記切り換え弁がスプール弁であり、前
   記スプールの可動方向両側に前記切り換え弁駆動用流体
   が供給される一対の圧力室が設けられ、前記センターロ
   ッドの可動終端で前記一対の圧力室に差圧を生じさせて
   前記スプール弁の位置を切り換えることを特徴とする請
   求項１に記載のダイヤフラム式ポンプ。
3. 【請求項３】 前記切り換え弁駆動用流体が一対の圧力
   室を経由して駆動室に供給可能とされ、前記センターロ
   ッドの可動方向を切り換えるために、前記センターロッ
   ドの可動終端で容積が減少されつつある方の駆動室に前
   記切り換え弁駆動用流体を当該駆動室に放出することに
   より前記一対の圧力室の一方を減圧して前記スプール弁
   の位置を切り換えることを特徴とする請求項２に記載の
   ダイヤフラム式ポンプ。
4. 【請求項４】 前記切り換え弁駆動用流体が前記センタ
   ーロッドの往復動空間を経由して前記一対の圧力室に供
   給可能とされ、前記センターロッドの可動方向を切り換
   えるために、前記センターロッドの可動終端で前記切り
   換え弁駆動用流体を前記往復動空間を経由して前記一対
   の圧力室に供給することにより該一対の圧力室の一方を
   増圧して前記スプール弁の位置を切り換えることを特徴
   とする請求項２に記載のダイヤフラム式ポンプ。
5. 【請求項５】 前記切り換え弁駆動用流体がエアーであ
   ることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のダイ
   ヤフラム式ポンプ。
6. 【請求項６】 前記駆動流体がエアーであることを特徴
   とする請求項５に記載のダイヤフラム式ポンプ。