JP2000208589A5 - - Google Patents
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- 230000032258 transport Effects 0.000 description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31233699A JP2000208589A (ja) | 1998-11-09 | 1999-11-02 | 処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33497498 | 1998-11-09 | ||
| JP10-334974 | 1998-11-09 | ||
| JP31233699A JP2000208589A (ja) | 1998-11-09 | 1999-11-02 | 処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000208589A JP2000208589A (ja) | 2000-07-28 |
| JP2000208589A5 true JP2000208589A5 (enExample) | 2006-12-14 |
Family
ID=26567119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31233699A Pending JP2000208589A (ja) | 1998-11-09 | 1999-11-02 | 処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000208589A (enExample) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002324829A (ja) * | 2001-07-13 | 2002-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
| JP4821074B2 (ja) | 2001-08-31 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
| US7351291B2 (en) | 2002-02-20 | 2008-04-01 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor processing system |
| JP4195227B2 (ja) * | 2002-02-22 | 2008-12-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の導入ポート構造 |
| JP4244555B2 (ja) | 2002-02-25 | 2009-03-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の支持機構 |
| JP4239572B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2009-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送システムの搬送位置合わせ方法及び処理システム |
| US7246985B2 (en) * | 2004-04-16 | 2007-07-24 | Axcelis Technologies, Inc. | Work-piece processing system |
| KR100749755B1 (ko) | 2006-02-10 | 2007-08-16 | 주식회사 싸이맥스 | 웨이퍼 처리장치 |
| KR100749546B1 (ko) | 2006-07-04 | 2007-08-14 | 세메스 주식회사 | 반도체 기판의 이송 장치, 기판 처리 장치, 그리고 이를이용한 기판의 온도 제어 방법 |
| JP5084420B2 (ja) * | 2007-09-21 | 2012-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック装置および真空処理システム |
| JP5184284B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-04-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送機構の制御方法、基板処理装置、及び記憶媒体 |
| JP5552265B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置の制御方法及び記憶媒体 |
| US9228685B2 (en) | 2010-12-09 | 2016-01-05 | Tokyo Electron Limited | Load lock device |
| KR101184596B1 (ko) | 2010-12-22 | 2012-09-21 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 그 동작 방법 |
| JP6040757B2 (ja) | 2012-10-15 | 2016-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送機構の位置決め方法、被処理体の位置ずれ量算出方法及び搬送機構のティーチングデータの修正方法 |
| JP2014236193A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | Sppテクノロジーズ株式会社 | 基板搬送装置、及びこれを用いた基板搬送方法 |
| WO2016038656A1 (ja) | 2014-09-08 | 2016-03-17 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよび搬送方法 |
| KR20160141244A (ko) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
| JP6554387B2 (ja) | 2015-10-26 | 2019-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック装置における基板冷却方法、基板搬送方法、およびロードロック装置 |
| CN111095517B (zh) * | 2018-03-01 | 2024-07-09 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法和存储介质 |
| JP7126466B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2022-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、搬送方法、および搬送プログラム |
-
1999
- 1999-11-02 JP JP31233699A patent/JP2000208589A/ja active Pending
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