JP2000206217A - 高周波キャリア型磁気センサ - Google Patents
高周波キャリア型磁気センサInfo
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- JP2000206217A JP2000206217A JP11003098A JP309899A JP2000206217A JP 2000206217 A JP2000206217 A JP 2000206217A JP 11003098 A JP11003098 A JP 11003098A JP 309899 A JP309899 A JP 309899A JP 2000206217 A JP2000206217 A JP 2000206217A
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- magnetic core
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波キャリア型磁気センサよりも高感度で
あり、小型で消費電流が小さく、磁場の発生効率が高い
高周波キャリア型磁気センサを提供する。 【解決手段】 およそ１００ｋＨｚ以上の高周波電圧を
印加したときにインピーダンスが外部磁場に応じて変化
する磁性コア１４０を有する高周波キャリア型磁気セン
サである。磁性コア１４０は、つづら折り形状を呈して
いる。
あり、小型で消費電流が小さく、磁場の発生効率が高い
高周波キャリア型磁気センサを提供する。 【解決手段】 およそ１００ｋＨｚ以上の高周波電圧を
印加したときにインピーダンスが外部磁場に応じて変化
する磁性コア１４０を有する高周波キャリア型磁気セン
サである。磁性コア１４０は、つづら折り形状を呈して
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気を高感度かつ
高精度に検出する必要のある地磁気検出、微弱電流検
出、あるいは磁気信号検出等に使用するのに適した磁気
センサに関し、特に、高周波キャリア型磁気センサに関
する。
高精度に検出する必要のある地磁気検出、微弱電流検
出、あるいは磁気信号検出等に使用するのに適した磁気
センサに関し、特に、高周波キャリア型磁気センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】磁性体に数ＭＨｚ以上の高周波電圧を印
加した場合に生ずる表皮効果の表皮深さがこの磁性体の
透磁率の平方根の逆数に比例することと、この透磁率が
外部磁場に応じて大きく変動することとにより、磁性体
のインピーダンスは、外部磁場によって変動する性質が
ある。高周波キャリア型磁気センサは、磁性体のインピ
ーダンスが外部磁場によって変動する性質を利用した磁
気センサである。
加した場合に生ずる表皮効果の表皮深さがこの磁性体の
透磁率の平方根の逆数に比例することと、この透磁率が
外部磁場に応じて大きく変動することとにより、磁性体
のインピーダンスは、外部磁場によって変動する性質が
ある。高周波キャリア型磁気センサは、磁性体のインピ
ーダンスが外部磁場によって変動する性質を利用した磁
気センサである。
【０００３】従来の高周波キャリア型磁気センサは、図
６に示すように、磁性片３４０と非磁性片３４２とを組
み合わせてなる磁性コア（磁気センサ磁性コア）３４０
を有している。この磁性コア３４０は、インピーダンス
ブリッジ構造を成している。そして、図７に示すよう
に、非磁性片３４２のインピーダンスの大きさを、零磁
場での磁性片３４１のインピーダンスの大きさと同程度
に設定することで、外部磁場が印加されて磁性片３４１
のインピーダンスが変動した際には、インピーダンスブ
リッジによりオフセットがうち消された磁気センサ出力
が出力される。この磁気センサ出力により、外部磁場を
計測できる。このような従来の高周波キャリア型磁気セ
ンサは、磁気感度が数１００Ｖ／Ｔ以上である。ここ
で、磁気感度は磁性片３４１にかかる電圧に応じて変動
し、磁気感度が最大となる電圧が存在する。
６に示すように、磁性片３４０と非磁性片３４２とを組
み合わせてなる磁性コア（磁気センサ磁性コア）３４０
を有している。この磁性コア３４０は、インピーダンス
ブリッジ構造を成している。そして、図７に示すよう
に、非磁性片３４２のインピーダンスの大きさを、零磁
場での磁性片３４１のインピーダンスの大きさと同程度
に設定することで、外部磁場が印加されて磁性片３４１
のインピーダンスが変動した際には、インピーダンスブ
リッジによりオフセットがうち消された磁気センサ出力
が出力される。この磁気センサ出力により、外部磁場を
計測できる。このような従来の高周波キャリア型磁気セ
ンサは、磁気感度が数１００Ｖ／Ｔ以上である。ここ
で、磁気感度は磁性片３４１にかかる電圧に応じて変動
し、磁気感度が最大となる電圧が存在する。
【０００４】高周波キャリア型磁気センサは、その磁気
感度が数１００μＴで最大となるため、固定された磁気
バイアスを印加して使用される。磁気バイアスとして
は、図７に示した例の他にも、出力の直線性を向上させ
るための負帰還磁場や、センサの感度上昇を目的とした
正帰還磁場等が必要な場合がある。このような場合に
は、磁気センサヘの可変磁気バイアス方式が必要であ
る。
感度が数１００μＴで最大となるため、固定された磁気
バイアスを印加して使用される。磁気バイアスとして
は、図７に示した例の他にも、出力の直線性を向上させ
るための負帰還磁場や、センサの感度上昇を目的とした
正帰還磁場等が必要な場合がある。このような場合に
は、磁気センサヘの可変磁気バイアス方式が必要であ
る。
【０００５】従来の高周波キャリア型磁気センサにおい
ては、図６に示したように、固定磁気バイアスおよび可
変磁気バイアスを、センサ外周部に取り付けたボビン巻
きコイル３７０により印加している。コイル３７０ヘの
電流は、磁気センサモジュールの電源から定電流回路に
より供給されており、巻き数が例えば２００Ｔの場合に
は２０ｍＡ程度必要であった。
ては、図６に示したように、固定磁気バイアスおよび可
変磁気バイアスを、センサ外周部に取り付けたボビン巻
きコイル３７０により印加している。コイル３７０ヘの
電流は、磁気センサモジュールの電源から定電流回路に
より供給されており、巻き数が例えば２００Ｔの場合に
は２０ｍＡ程度必要であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】高周波キャリア型磁気
センサ全般は１μＴ以上の比較的高い磁気感度を持って
はいるが、より高感度で、さらなる応用分野に適用でき
る高周波キャリア型磁気センサが要求されている。
センサ全般は１μＴ以上の比較的高い磁気感度を持って
はいるが、より高感度で、さらなる応用分野に適用でき
る高周波キャリア型磁気センサが要求されている。
【０００７】また、従来の高周波キャリア型磁気センサ
においては、磁気バイアス印加用のボビン巻きコイルの
サイズが大きい（例えば直径１０ｍｍ以上）く、また、
消費電流が大きい（例えば２０ｍＡもの電流か消費され
る）。このため、小型で消費電流の小さい固定磁気バイ
アス印加手段が要求されている。
においては、磁気バイアス印加用のボビン巻きコイルの
サイズが大きい（例えば直径１０ｍｍ以上）く、また、
消費電流が大きい（例えば２０ｍＡもの電流か消費され
る）。このため、小型で消費電流の小さい固定磁気バイ
アス印加手段が要求されている。
【０００８】さらに、従来の高周波キャリア型磁気セン
サには、負帰還磁場や正帰還磁場等の可変磁気バイアス
を印加する必要がある場合にも対応できるように、コイ
ルに流す電流あたりの磁場の発生効率が高い可変磁気バ
イアス方式が要求されている。
サには、負帰還磁場や正帰還磁場等の可変磁気バイアス
を印加する必要がある場合にも対応できるように、コイ
ルに流す電流あたりの磁場の発生効率が高い可変磁気バ
イアス方式が要求されている。
【０００９】本発明の課題は、以上の要求をかなえ得る
高周波キャリア型磁気センサを提供することである。
高周波キャリア型磁気センサを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、およそ
１００ｋＨｚ以上の高周波電圧を印加したときにインピ
ーダンスが外部磁場に応じて変化する磁性コアを有する
高周波キャリア型磁気センサにおいて、前記磁性コア
は、つづら折り形状を呈することを特徴とする高周波キ
ャリア型磁気センサが得られる。
１００ｋＨｚ以上の高周波電圧を印加したときにインピ
ーダンスが外部磁場に応じて変化する磁性コアを有する
高周波キャリア型磁気センサにおいて、前記磁性コア
は、つづら折り形状を呈することを特徴とする高周波キ
ャリア型磁気センサが得られる。
【００１１】本発明によればまた、前記磁性コアは、つ
づら折りの複数の辺部をなす磁性部と、つづら折りの折
曲がり部をなす非磁性部とを備え、前記磁性部および前
記非磁性部は、インピーダンス的にはインピーダンスブ
リッジを構成し、外部磁場によるインピーダンス変動を
前記インピーダンスブリッジを介して電圧変動に変換し
て出力するものである前記高周波キャリア型磁気センサ
が得られる。
づら折りの複数の辺部をなす磁性部と、つづら折りの折
曲がり部をなす非磁性部とを備え、前記磁性部および前
記非磁性部は、インピーダンス的にはインピーダンスブ
リッジを構成し、外部磁場によるインピーダンス変動を
前記インピーダンスブリッジを介して電圧変動に変換し
て出力するものである前記高周波キャリア型磁気センサ
が得られる。
【００１２】本発明によればさらに、前記磁性コアの上
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された永
久磁石層を有し、該永久磁石層により磁気バイアスを印
加する前記高周波キャリア型磁気センサが得られる。
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された永
久磁石層を有し、該永久磁石層により磁気バイアスを印
加する前記高周波キャリア型磁気センサが得られる。
【００１３】本発明によればまた、前記磁性コアの上
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された渦
巻き状のコイル層を有し、該コイル層により磁気バイア
スを可変に印加する前記高周波キャリア型磁気センサが
得られる。
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された渦
巻き状のコイル層を有し、該コイル層により磁気バイア
スを可変に印加する前記高周波キャリア型磁気センサが
得られる。
【００１４】本発明によればまた、前記磁性コアの上
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された導
体層を有し、該導体層により磁気バイアスを可変に印加
する前記高周波キャリア型磁気センサが得られる。
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された導
体層を有し、該導体層により磁気バイアスを可変に印加
する前記高周波キャリア型磁気センサが得られる。
【００１５】本発明によればまた、前記磁性コアの上
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された高
透磁率磁性体層を有する前記高周波キャリア型磁気セン
サが得られる。
部、下部、および側部の少くとも１箇所に形成された高
透磁率磁性体層を有する前記高周波キャリア型磁気セン
サが得られる。
【００１６】本発明によればまた、外部との電気的接続
用の電極パッドを有し、該電極パッドは、実質的に厚い
厚さを有する前記高周波キャリア型磁気センサが得られ
る。
用の電極パッドを有し、該電極パッドは、実質的に厚い
厚さを有する前記高周波キャリア型磁気センサが得られ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態による高周波キャリア型磁気センサおよびそ
の使用方法を説明する。
実施の形態による高周波キャリア型磁気センサおよびそ
の使用方法を説明する。
【００１８】［実施の形態１］図１を参照して、実施の
形態１による高周波キャリア型磁気センサは、ガラス基
板１１０と、ガラス基板１１０の上に形成された固定磁
気バイアスを印加するためのハード磁性膜１２０と、層
間絶縁膜１３０と、複数本（本例では６本）の磁性片１
４１ならびに非磁性片１４２と、層間絶縁膜１６０と、
渦巻きコイル層１７０と、層間絶縁膜１８０と、磁場収
束用磁性コア１９０と、電極パッド盛り上げ部２００
と、保護膜２１０とを有している。尚、本図は概念図で
あり、各層が均一な厚さを呈しているように示している
が、実際には、各層内の部分毎に厚さが異なっている場
合がある。したがって、例えば、渦巻きコイル層１７０
は、図示では層間絶縁膜１６０および１８０間に全体が
挟まれているように示しているが、実際には一部が磁場
収束用磁性コア１９０の下に形成されている一方、他部
が磁性片１４１の上に形成されている。このことは、後
述の説明に用いる図３等からも明らかである。
形態１による高周波キャリア型磁気センサは、ガラス基
板１１０と、ガラス基板１１０の上に形成された固定磁
気バイアスを印加するためのハード磁性膜１２０と、層
間絶縁膜１３０と、複数本（本例では６本）の磁性片１
４１ならびに非磁性片１４２と、層間絶縁膜１６０と、
渦巻きコイル層１７０と、層間絶縁膜１８０と、磁場収
束用磁性コア１９０と、電極パッド盛り上げ部２００
と、保護膜２１０とを有している。尚、本図は概念図で
あり、各層が均一な厚さを呈しているように示している
が、実際には、各層内の部分毎に厚さが異なっている場
合がある。したがって、例えば、渦巻きコイル層１７０
は、図示では層間絶縁膜１６０および１８０間に全体が
挟まれているように示しているが、実際には一部が磁場
収束用磁性コア１９０の下に形成されている一方、他部
が磁性片１４１の上に形成されている。このことは、後
述の説明に用いる図３等からも明らかである。
【００１９】電極パッド盛り上げ部２００を形成したこ
とにより、外部接続用に超音波方式や熱圧着方式等のワ
イヤーボンディング時の衝撃から下層構造を保護するこ
とができる。電極パッド盛り上げ部２００は、１μｍ以
上の厚さであることが十分な保護作用を奏する上で好ま
しい。
とにより、外部接続用に超音波方式や熱圧着方式等のワ
イヤーボンディング時の衝撃から下層構造を保護するこ
とができる。電極パッド盛り上げ部２００は、１μｍ以
上の厚さであることが十分な保護作用を奏する上で好ま
しい。
【００２０】ここで、磁性片１４１および非磁性片１４
２は、同一面上（層間絶縁膜１３０上）に形成されてお
り、図２に示すように、磁性片１４１がその端部が非磁
性片１４２によって接続されることによりつづら折り形
状の磁性コア（磁気センサ磁性コア）１４０を構成す
る。そして、この磁性コア１４０により、インピーダン
スブリッジが構成される。図２において、非磁性片１４
２のうちの４つの四角い部分は、電極パッドである。
２は、同一面上（層間絶縁膜１３０上）に形成されてお
り、図２に示すように、磁性片１４１がその端部が非磁
性片１４２によって接続されることによりつづら折り形
状の磁性コア（磁気センサ磁性コア）１４０を構成す
る。そして、この磁性コア１４０により、インピーダン
スブリッジが構成される。図２において、非磁性片１４
２のうちの４つの四角い部分は、電極パッドである。
【００２１】磁性コア１４０がつづら折りであるため、
インピーダンスが高く、磁気感度が最大になる駆動電圧
が高まり、消費電流は一定のまま磁気感度を増大させる
ことができる。
インピーダンスが高く、磁気感度が最大になる駆動電圧
が高まり、消費電流は一定のまま磁気感度を増大させる
ことができる。
【００２２】尚、磁性コア１４０のつづら折りの回数を
増やすことで、入カインピーダンスをさらに高めること
ができる。
増やすことで、入カインピーダンスをさらに高めること
ができる。
【００２３】尚、磁性コアを非磁性片を用いずにつづら
折り形状の磁性体のみにより構成する構造も可能ではあ
るが、つづらの辺部が延びる方向に対して傾いた方向か
ら外部磁場が印加され場合には磁性片１４１のうちつづ
らの折れ曲がり部分によって磁束が曲げられて磁性片１
４１全体に均一な磁場が印加されなくなるため、本例の
ごとく、つづらの折れ曲がり部分を非磁性体により形成
することが好ましい。
折り形状の磁性体のみにより構成する構造も可能ではあ
るが、つづらの辺部が延びる方向に対して傾いた方向か
ら外部磁場が印加され場合には磁性片１４１のうちつづ
らの折れ曲がり部分によって磁束が曲げられて磁性片１
４１全体に均一な磁場が印加されなくなるため、本例の
ごとく、つづらの折れ曲がり部分を非磁性体により形成
することが好ましい。
【００２４】図３を参照して、本高周波キャリア型磁気
センサにおいては、ハード磁性膜１２０、渦巻きコイル
層１７０、磁場収束用磁性コア１９０により発生する磁
束は、図中矢印で示すような各ループを形成する。図中
紙面に垂直な矢印は、電流の流れを示している。ハード
磁性膜１２０により発生する磁束ならびに渦巻きコイル
層１７０の導体における電流により発生する磁束は磁場
収束用磁性コア１９０により磁場を収束され、磁性コア
１４０に収束された磁場が印加される。磁性コア１４０
の上層に位置する渦巻きコイル層１７０の電流により発
生した磁場は、磁性コア１４０に直接印加される。
センサにおいては、ハード磁性膜１２０、渦巻きコイル
層１７０、磁場収束用磁性コア１９０により発生する磁
束は、図中矢印で示すような各ループを形成する。図中
紙面に垂直な矢印は、電流の流れを示している。ハード
磁性膜１２０により発生する磁束ならびに渦巻きコイル
層１７０の導体における電流により発生する磁束は磁場
収束用磁性コア１９０により磁場を収束され、磁性コア
１４０に収束された磁場が印加される。磁性コア１４０
の上層に位置する渦巻きコイル層１７０の電流により発
生した磁場は、磁性コア１４０に直接印加される。
【００２５】本高周波キャリア型磁気センサでは、固定
磁気バイアスはハード磁性膜１２０により、可変磁気バ
イアスは渦巻きコイル層１７０および磁場収束用磁性コ
ア１９０により印加することができる。
磁気バイアスはハード磁性膜１２０により、可変磁気バ
イアスは渦巻きコイル層１７０および磁場収束用磁性コ
ア１９０により印加することができる。
【００２６】ハード磁性膜１２０により固定磁気バイア
スを印加するため、固定磁気バイアス印加のための消費
電流がゼロであるし、定電流回路も勿論不要である。
スを印加するため、固定磁気バイアス印加のための消費
電流がゼロであるし、定電流回路も勿論不要である。
【００２７】一方、負帰還、正帰還、磁場の微調整等に
用いるための可変バイアスコイルとして、渦巻きコイル
層１７０を用いているため、高周波キャリア型磁気セン
サとして小型である。渦巻きコイル層１７０は、一方の
渦巻き部分と他方の渦巻き部分とが外側の端点で接続さ
れている形状をしており、両部分の渦巻き中心間に磁性
コア１４０が投影的に配置されている。
用いるための可変バイアスコイルとして、渦巻きコイル
層１７０を用いているため、高周波キャリア型磁気セン
サとして小型である。渦巻きコイル層１７０は、一方の
渦巻き部分と他方の渦巻き部分とが外側の端点で接続さ
れている形状をしており、両部分の渦巻き中心間に磁性
コア１４０が投影的に配置されている。
【００２８】また、磁性コア１４０の磁気検出方向の両
端に高透磁率な磁場収束用磁性コア１９０を形成するこ
とにより、外部磁場を集中させて磁気コア１４０に検出
させることができ、磁気感度がさらに向上している。ま
た、渦巻きコイル層と併用することで、より効率的な磁
気バイアスを印加できる。
端に高透磁率な磁場収束用磁性コア１９０を形成するこ
とにより、外部磁場を集中させて磁気コア１４０に検出
させることができ、磁気感度がさらに向上している。ま
た、渦巻きコイル層と併用することで、より効率的な磁
気バイアスを印加できる。
【００２９】［実施の形態２］微少な可変磁気バイアス
で十分な場合には、図４に示すように、磁性コア１４０
の上層、下層、および側部の少くとも１箇所（本例で
は、上層および下層）に導体層１７０′を配置し、電流
を流す（図中、紙面に垂直な矢印で示す）ことで、可変
磁気バイアスを印加できる。
で十分な場合には、図４に示すように、磁性コア１４０
の上層、下層、および側部の少くとも１箇所（本例で
は、上層および下層）に導体層１７０′を配置し、電流
を流す（図中、紙面に垂直な矢印で示す）ことで、可変
磁気バイアスを印加できる。
【００３０】以下の表１に、本発明の実施の形態１およ
び２ならびに比較例としての従来例による高周波キャリ
ア型磁気センサの各特性を示す。
び２ならびに比較例としての従来例による高周波キャリ
ア型磁気センサの各特性を示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】［実施の形態３］図５に示す渦巻きコイル
層１７０″のように、渦巻きコイルの巻回数を増やすこ
とで、磁気バイアス効率をさらに上げることができる。
層１７０″のように、渦巻きコイルの巻回数を増やすこ
とで、磁気バイアス効率をさらに上げることができる。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
による高周波キャリア型磁気センサは、次のような作用
効果を奏する。
による高周波キャリア型磁気センサは、次のような作用
効果を奏する。
【００３４】従来の高周波キャリア型磁気センサよりも
高感度である。
高感度である。
【００３５】また、固定磁気バイアス印加手段が小型で
消費電流が小さく（ゼロ）、磁気センサ全体としても小
型で消費電流が小さい。
消費電流が小さく（ゼロ）、磁気センサ全体としても小
型で消費電流が小さい。
【００３６】さらに、負帰還磁場や正帰還磁場等の可変
磁気バイアスを印加することができ、しかも、コイルに
流す電流あたりの磁場の発生効率が高い。
磁気バイアスを印加することができ、しかも、コイルに
流す電流あたりの磁場の発生効率が高い。
【図１】本発明の実施の形態１による高周波キャリア型
磁気センサを各部を仮想的に分解して示す概念的な斜視
図である。
磁気センサを各部を仮想的に分解して示す概念的な斜視
図である。
【図２】本発明の実施の形態１による高周波キャリア型
磁気センサの磁性コアを説明するための図である。
磁気センサの磁性コアを説明するための図である。
【図３】本発明の実施の形態１による高周波キャリア型
磁気センサの縦断面図である。
磁気センサの縦断面図である。
【図４】本発明の実施の形態２による高周波キャリア型
磁気センサの縦断面図である。
磁気センサの縦断面図である。
【図５】本発明の実施の形態３による高周波キャリア型
磁気センサの渦巻きコイル層を示す図である。
磁気センサの渦巻きコイル層を示す図である。
【図６】従来の高周波キャリア型磁気センサを示す概念
図である。
図である。
【図７】図6に示す高周波キャリア型磁気センサの動作
原理図である。
原理図である。
１１０ ガラス基板 １２０ ハード磁性膜 １３０、１６０、１８０ 層間絶縁膜 １４０、３４０ 磁性コア １４１、３４１ 磁性片 １４２、３４２ 非磁性片 １７０、１７０″ 渦巻きコイル層 １７０′ 導体層 １８０ 層間絶縁膜 １９０ 磁場収束用磁性コア ２００ 電極パッド盛り上げ部 ２１０ 保護膜 ３７０ コイル
フロントページの続き (72)発明者 若生 直樹 宮城県仙台市太白区郡山六丁目７番１号 株式会社トーキン内 (72)発明者 山口 正洋 宮城県仙台市青葉区大手町10−15−303 (72)発明者 荒井 賢一 宮城県仙台市泉区山の寺二丁目28−９ Ｆターム(参考） 2G017 AA08 AA16 AC09 AD54 AD59 AD62 AD63 BA09 5G046 AA01 AA02 AB01 AC05 AC10 AE13
Claims (7)
- 【請求項１】 およそ１００ｋＨｚ以上の高周波電圧を
印加したときにインピーダンスが外部磁場に応じて変化
する磁性コアを有する高周波キャリア型磁気センサにお
いて、前記磁性コアは、つづら折り形状を呈することを
特徴とする高周波キャリア型磁気センサ。 - 【請求項２】 前記磁性コアは、つづら折りの複数の辺
部をなす磁性部と、つづら折りの折曲がり部をなす非磁
性部とを備え、前記磁性部および前記非磁性部は、イン
ピーダンス的にはインピーダンスブリッジを構成し、外
部磁場によるインピーダンス変動を前記インピーダンス
ブリッジを介して電圧変動に変換して出力するものであ
る請求項１に記載の高周波キャリア型磁気センサ。 - 【請求項３】 前記磁性コアの上部、下部、および側部
の少くとも１箇所に形成された永久磁石層を有し、該永
久磁石層により磁気バイアスを印加する請求項１または
２に記載の高周波キャリア型磁気センサ。 - 【請求項４】 前記磁性コアの上部、下部、および側部
の少くとも１箇所に形成された渦巻き状のコイル層を有
し、該コイル層により磁気バイアスを可変に印加する請
求項１乃至３のいずれかに記載の高周波キャリア型磁気
センサ。 - 【請求項５】 前記磁性コアの上部、下部、および側部
の少くとも１箇所に形成された導体層を有し、該導体層
により磁気バイアスを可変に印加する請求項１乃至３の
いずれかに記載の高周波キャリア型磁気センサ。 - 【請求項６】 前記磁性コアの上部、下部、および側部
の少くとも１箇所に形成された高透磁率磁性体層を有す
る請求項１乃至５のいずれかに記載の高周波キャリア型
磁気センサ。 - 【請求項７】 外部との電気的接続用の電極パッドを有
し、該電極パッドは、実質的に厚い厚さを有する請求項
１乃至６のいずれかに記載の高周波キャリア型磁気セン
サ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11003098A JP2000206217A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 高周波キャリア型磁気センサ |
| US09/479,157 US6366084B1 (en) | 1999-01-08 | 2000-01-07 | Magnetic sensor having soft magnetic metallic element formed in zigzag shape |
| DE60000420T DE60000420T2 (de) | 1999-01-08 | 2000-01-07 | Magnetischer Fühler mit weichmagnetisch metallischem Element in Zickzack-Form |
| EP00100378A EP1018653B1 (en) | 1999-01-08 | 2000-01-07 | Magnetic sensor having soft magnetic metallic element formed in zigzag shape |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11003098A JP2000206217A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 高周波キャリア型磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000206217A true JP2000206217A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11547881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11003098A Pending JP2000206217A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 高周波キャリア型磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000206217A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1498744A2 (en) | 2003-07-18 | 2005-01-19 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
| JP2014089088A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子 |
-
1999
- 1999-01-08 JP JP11003098A patent/JP2000206217A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1498744A2 (en) | 2003-07-18 | 2005-01-19 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| US7394086B2 (en) | 2003-07-18 | 2008-07-01 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| US7633132B2 (en) | 2003-07-18 | 2009-12-15 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
| JP2014089088A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子 |
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