JPH05264699A - 磁場測定装置 - Google Patents
磁場測定装置Info
- Publication number
- JPH05264699A JPH05264699A JP4101493A JP10149392A JPH05264699A JP H05264699 A JPH05264699 A JP H05264699A JP 4101493 A JP4101493 A JP 4101493A JP 10149392 A JP10149392 A JP 10149392A JP H05264699 A JPH05264699 A JP H05264699A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- sensor
- coil
- core
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/04—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using the flux-gate principle
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
- G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
- G07D7/04—Testing magnetic properties of the materials thereof, e.g. by detection of magnetic imprint
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Inspection Of Paper Currency And Valuable Securities (AREA)
Abstract
微弱な磁束の磁場を測定する磁場測定装置において、前
記センサを安価に高精度に製造できるようにする。 【構成】 エアギャップ2内の紙幣11の磁化された磁
性インクから微弱な磁束の磁場が発生する。その磁場を
測定する磁場測定装置は、コア動作原理に従って動作す
るセンサ1を有する。センサ1は、それぞれ1層からな
る励磁コイル4、測定コイル5及び薄膜として形成され
た強磁性コア3を有する。コイル4、5とコア3は電気
的に絶縁されて担体12の外表面上の分離された平行な
層内に配置される。センサ1は平坦なプレーナセンサで
あり、非常に安価に高精度に製造でき、実質的に同一の
センサを安価に製造できる。
Description
する磁場測定装置に関し、特にコア飽和原理に従って動
作するセンサを備えた磁場測定装置に関するものであ
る。
た磁性インクにより発生される磁場H0 がある。磁場測
定装置は、例えば自動紙幣認識装置内に設けられ、磁性
インクにより例えば米国、日本、あるいはドイツの紙幣
上に施された文字像を検知ないし読み取るのに用いられ
る。このために、紙幣は検知ないし読み取り前に強い永
久磁石により磁化しなければならない。紙幣の磁化され
た磁性インクによる極めて弱い磁場の値は10のマイナ
ス3乗ガウスであり、その場合、常に存在する地磁気の
強さでも0.5ガウスであり、約3乗大きい。
の磁場測定装置が知られており、同装置はコア飽和原理
に従って動作する極めて敏感なセンサを有し、これによ
り紙幣の磁化された磁性インクによる極めて弱い磁場を
測定し、その場合、センサの後段の検出装置においてセ
ンサ出力電圧の第2高調波が取り出される。センサは3
次元のコイルを有し、その製造ないし組立ては比較的高
価につき、同一のものを再現できるようにすることは殆
ど不可能である。これにより、同一のセンサを2個必要
とする装置は、莫大な数製造したセンサから選択して捜
し出さねばならず、不可能、あるいは少なくとも非常に
高価になってしまう。
は、従来の磁場測定装置を改良し、安価に製造でき、実
質的に同一のセンサを高精度に製造できるようにし、さ
らに、少なくとも好ましい実施例では、センサの後段の
検出装置においてフィルタを用いずにセンサ出力電圧か
ら高調波を取り出せるようにすることにある。
め、本発明によれば、コア飽和原理に従って動作する少
なくとも一つのセンサを有し微弱な磁束の磁場を測定す
る磁場測定装置であって、前記センサが励磁コイルと、
1層からなる測定コイルと、薄膜として形成された強磁
性コアを有し、前記測定コイルと強磁性コアが電気的に
絶縁されて担体の外表面上の2つの分離された平行な層
に配置されている磁場測定装置において、センサが平坦
なプレーナセンサとなるように励磁コイルが形成されて
いる構成を採用した。
ンサとして構成されるので、バッチ工程、フォトリソグ
ラフィ法などにより非常に安価に高精度に製造でき、実
質的に同一のセンサを製造できる。
明する。なお図面の全ての図において同一の参照番号は
同一部分を示している。
1を有し、このセンサには、少なくとも1つのエアギャ
ップ2と強磁性コア3とを有する磁気回路2、3、並び
に少なくとも1つの励磁コイル4と1つの測定コイル5
が設けられている。両コイル4、5は互いに誘導的に結
合されており、図中でコア3の下側で同じ側に配置され
ている。
して周期Tで周期的に変化する励磁電流i[t]が励磁
コイル4に供給される。時間的に変化する励磁電流i
[t]は、好ましくは時間tの関数で鋸歯状の励磁電流
であるが、例えばサイン形状の励磁電流であってもよ
い。鋸歯状の励磁電流i[t]、従ってコア3の鋸歯状
の励磁は、変調が同じ場合サイン形状の励磁電流i
[t]よりも損失が少ない。測定コイル5の両端はセン
サ1の2極の出力となっており、駆動中センサには出力
電圧u[t]が発生する。
出力電圧u[t]の高調波の値を検出する検出装置8が
設けられている。センサ1の出力は、例えば図示の順序
で増幅器9と電圧計10のカスケード接続からなる装置
8の入力に導かれている。この場合、増幅器9は第1の
実施例ではバンドパス増幅器であり、出力電圧u[t]
の周波数スペクトルから該当する検出すべき高調波を取
り出して増幅する。電圧計10は交流電圧計であって、
例えば増幅器9の出力電圧の実効値、すなわちフィルタ
リングされ増幅された高調波の実効値を測定する。
幣11は、検出の際に少なくともある時間エアギャップ
2内でコア3の近傍、しかもコア3の両コイル4、5と
は反対側に位置する。コア3は平坦なコアであり、紙幣
11は検出時コア3に対して約1mmの距離隔てて平行
に配置される。
る。この原理は公知であって、特に上述の従来技術の資
料に記載されているので、本発明を理解しやすくするた
めだけに以下に簡単に説明する。
密度Bの理想的な特性曲線B[H]が励磁電流i[t]
によって発生される励磁磁場H[t]の関数として図示
されている。その場合、強磁性コア3のヒステリシスは
無視でき、飽和外領域の特性曲線は線形であるものと仮
定する。励磁コイル4には、駆動時に強磁性コア3を少
なくともある時間磁気的に飽和させるのに充分強い周期
的な電流i[t]が印加される。時間的に変化する周期
的な励磁電流i[t]の周波数は好ましくは20〜20
0kHzであり、測定コイル5の巻き数は例えば100
回とする。
る飽和磁束密度を示す。図2の左下には磁気回路2、3
を励磁する励磁磁場H[t]が時間tの関数で示されて
いる。この磁場H[t]はコイル4により励磁電流i
[t]に比例して発生される。
による励磁磁場H[t]も時間tの関数で鋸歯状である
ものと仮定する。鋸歯状の励磁磁場H[t]の振幅Hma
xの大きさは、強磁性コア3が周期的に飽和するように
設定される。それによって磁気回路2、3内に存在する
磁束密度B[t]は時間tの関数で周期的に台形状のカ
ーブを取り、それが図2の右上に示されている。台形状
カーブの傾斜部によりコイル5内に電磁誘導による周期
Tの周期的な電圧u[t]が発生する。この電圧の時間
的な波形は、順次交替する一連の正と負の矩形の電圧パ
ルスからなる。
ば紙幣の磁化された磁性インクの磁場の作用によって、
図2に一点鎖線で示す特性曲線が生じる。特に、出力電
圧u[t]の矩形の電圧パルスは時間軸方向に非対称に
なり、その値を外部磁場H0の値の測定に利用すること
ができる。いかなる場合でも周期的な出力電圧u[t]
は、フーリエ解析によれば、連続番号1を有する基本波
と2から始まる多数の連番の高調波からなる。基本波と
高調波の連続番号は以下においてはnで示す。
紙幣の磁化された磁性インクがあると、センサ1の出力
電圧u[t]の高調波の全スペクトルが現れる。
次式に等しい。
2、3の実効相対透磁率(「見かけ透磁率」)、すなわ
ち飽和領域外のセンサ特性曲線B[H]の傾斜tgα
(図2参照)、n2は測定コイル5の巻数、f1は励磁電
流i[t]の基本波、すなわち出力電圧u[t]の基本
波の周波数、Fはコア3の断面積、Hmaxは励磁磁場H
[t]の振幅である。
ブリッジ部からなるH形状の強磁性コア3である場合
(図4参照)には、Fは長手軸に対して垂直に延びるブ
リッジ部の断面積である。磁気回路2、3の実効相対透
磁率μr’はよく知られているように1/[N+(1/
μr)]に等しい。但し、Nはいわゆる減磁率、μrはコ
ア3の強磁性材料の相対透磁率(比透磁率)である。
増幅された偶数高調波、即ち第2高調波がセンサ出力電
圧u[t]からフィルタリングして取り出される。この
場合、n=2として式(1)により、振幅としてフィリ
タリングして取り出される第2高調波は、H0がHmaxよ
りかなり小さいので、次のようになる。
コイル5は1層に構成されており、測定コイル5と強磁
性コア3は、担体12の外表面上に分離された平行な2
層に電気的に絶縁されて配置されている。励磁コイル4
は、好ましくはセンサ1が平坦なプレーナセンサとなり
図3と図4に示す構造を有するものとなるように形成さ
れる。励磁コイル4は、この場合、同様に1層からな
り、担体12の外表面上に強磁性コア3と測定コイル5
の層に対して平行な分離した層に電気的に絶縁されて配
置されている。
側に付された黒い矩形の形態で模式的に示されている。
両コイル4、5はそれぞれ1層コイルであって、第1の
絶縁層13によって互いに電気的に絶縁されて担体1
2、例えば基板上の分離された平行な2つの層内に配置
されている。担体12は例えばセラミックスあるいは他
の適当な絶縁材料から形成される。測定コイル5が矩形
螺旋形状である場合には、励磁コイル4も同様に矩形螺
旋形状とするのがよい。そして励磁コイル4と測定コイ
ル5は、それぞれの層内において、励磁コイル4と測定
コイル5の直線状で平行な導体からなる4分の1部分が
少なくとも一部重なるように配置される。
有する。図3において、強磁性コアは第2の絶縁層14
によって電気的に絶縁されて、2つの層のうち測定コイ
ル5を有する層上の平行な第3の層に配置されている。
強磁性コア3は、この場合、少なくとも一部が励磁コイ
ル4と測定コイル5の重なり合う部分に重なるように配
置されている。図3において励磁コイル4は、担体12
上の第1の絶縁層13内に形成され、一方、測定コイル
5は絶縁層13上の第2の絶縁層14内に形成されてい
る。コア3は第2の絶縁層14上の第3の層内に形成さ
れている。磁気回路2、3のエアギャップ2は、強磁性
コア3の外側でコア3の上方と下方の平行な平面間に横
たわる空間を通って形成される。
強磁性コア3はその層内で、即ち上から見てH状の形状
を有する。
コア3は矩形の8の形状を有し、その上部と下部にはそ
れぞれ更に互いに平行なエアギャップ15ないし16が
形成されている。紙幣がエアギャップ15、16に沿っ
て通過すると、両者はそれぞれ動作エアギャップとな
り、紙幣上に設けられた磁性材の2トラックのそれぞれ
から情報内容を読み取るのに用いることができる。
束を集中させる作用がある。コア3の中央をできるだけ
強く絞ること、すなわちH字あるいは8の字状のコア3
の中央のブリッジ部をできるだけ細くすることにより、
減磁率Nをできるだけ小さくするようにしている。中央
のブリッジ部の幅は例えば0.5mmであって、その長
さは例えば4mmである。前記と同じ理由から、コア厚
tをできるだけ小さくすることも必要であり、これは、
センサをプレーナマイクロ技術で形成する場合に、特に
良好に達成できる。コア3は、好ましくは最小コア厚t
として、ハイブリッド技術によりほぼ0.025mm、
ないしはプレーナ技術により0.5μmを有する。強磁
性コア3の材料は、好ましくは英語圏では磁気ガラスと
呼ばれるアモルファス磁性金属からなる。H字状のコア
3の主辺部の幅は例えばそれぞれ5mm、その長さは例
えばそれぞれ40〜60mmである。
性物質の存在を検出するだけでなく、その形状を読み取
ることも可能である。というのは、8の字状のコア3の
外側の2つの横断部分によって紙幣の2トラックを読み
取ることができるので、紙幣の値をより確実に検出でき
るからである。
コア3はその層内で図5に示された矩形の8の半分の形
状を有している。即ち、その形状は図5に示された矩形
の8の上半分に対応している。この場合、強磁性コア3
はその層内で1つのエアギャップ15を有する矩形のリ
ング形状をしている。
すべき微弱な磁束の磁場H0の方向はエアギャップ1
5、16ないしエアギャップ15のギャップ長に対し平
行である(図5及び図6参照)。
よび第3実施例においては、2つの同じセンサ1、1a
が設けられ、これらは一緒にダブルセンサ1、1aを構
成し、それぞれ分離された強磁性コア3ないし3aを有
する。センサ1aは励磁コイル4aと測定コイル5aを
有する。両センサ1、1aの励磁コイル4、4aは同方
向に直列に接続されており、これに対し両センサ1、1
aの測定コイル5、5aは、駆動時にそれぞれの出力電
圧u1[t]、u1a[t]の差がダブルセンサ1、1a
の出力の電圧u[t]として発生するように互いに接続
されている。第2実施例(図7参照)では、このために
両センサ1、1aの測定コイル5、5aは逆方向に接続
されている。これに対し第3実施例(図8参照)では、
両センサ1、1aの測定コイル5、5aは同方向に直列
に接続され、共通の極が基準電位、例えばフレームない
しグランドに接続されている。そして、両センサ1、1
aの両測定コイル5、5aの両極はそれぞれ増幅器9の
反転入力と非反転入力に接続されている。
からコア3、3aを同時にある時間飽和させる周期的に
変化する電流i[t]が直列抵抗7を介して励磁コイル
4、4aの直列回路4、4aに供給される。それにより
測定コイル5、5aの直列回路5、5aに生じる電圧が
ダブルセンサ1、1aの出力電圧u[t]となる。出力
電圧u[t]=u1[t]−u1a[t]は信号検出装置
8の入力に印加される。装置8は第1実施例とほぼ同様
に構成されるが、増幅器9がバンドパス増幅器ではなく
て広帯域増幅器であることが相違する。
deが自動的に除去されるという利点がある。というの
は、すべての高調波に対して次の式が当てはまるからで
ある。
1aの具体的な構造が示してあり、この場合、コア3に
は上記第2の例のそれと同じ形状が採用されている。両
センサ1、1aは担体12上に設けられ、担体12上で
ほぼ平行に配置されている。紙幣11はダブルセンサ
1、1a上を、エアギャップ15、16のギャップ長に
対し平行に一定速度vで通過するように移動される。
サ1上を移動し、同時に紙幣11の第2の半分の磁性イ
ンクがセンサ1a上を移動する。この場合、紙幣11の
両半分により、紙幣11の移動方向に対して平行に延び
る2つのトラックが形成される。磁性インクは移動方向
に平行に磁化されている。紙幣11の両半分が同方向に
磁化されていると、ダブルセンサ1、1aにより磁場の
差が測定される。その差は、希ではあるが紙幣11の数
カ所の測定部位によって見られるように紙幣の両半分の
磁場が同じ強さの時は、地磁気の磁場HErdeを測定する
場合と同様にゼロになる。しかし通常は、センサ1、1
aにより直接測定される紙幣11の2部位は異なる強さ
で磁化されている。というのは、そこでは異なる量の磁
性インクが存在するからであり、その結果、測定される
磁場の差も通常ではゼロと異なるようになる。
分の磁性インクは正の移動方向に磁化され、一方、紙幣
11の第2の半分の磁性インクは負の移動方向に磁化さ
れている。言い換えれば、センサ1は磁場H0,1、セン
サ1aは磁場H0,2を測定し、その場合両磁場は方向が
逆になっている。
変換できる。
の最後のサインの項は、以下のようになる。
ので、ダブルセンサ1、1aの出力電圧u[t」の偶数
高調波の振幅は、sin(−α)=−sinαであり、
H0,1並びにH0,2はHmaxよりかなり小さいことから、
密に同一であることを前提として、両センサ1、1aの
偶数高調波の測定出力は加算される。
(1)の最後のサインの項は、
u[t」の奇数高調波の振幅は、cos(−α)=co
sαであり、H0,1並びにH0,2はHmaxよりかなり小さ
いことから、
密に同一であることを前提として、両センサ1、1aの
奇数高調波の測定出力は減算される。
電圧u[t]の全ての奇数高調波の振幅はゼロになり、
後段にフィルタを接続しなくても自動的に除去される。
従って増幅器9はフィルタ作用が不要であり、広帯域増
幅器でなければならない。
により、専らバッチ工程により、フォトリソグライフィ
法で製作したマスクを用いて、多数のコアとコイルを1
個のチップ上に形成できるので、センサ1、1aの製造
は非常に安価に高精度にでき、センサ1、1aを実質的
に同一に製造できる。というのは、コイルとコアの幾何
学的寸法は非常に厳密に守れるとともに、その3次元的
な組立ては要求されないからである。
ては、両センサ1、1aの強磁性コア3、3aが同一の
保磁的な磁場強(保持力)を有することが重要である。
これは、強磁性コア3、3aに磁気ガラスを用いること
により達成される。というのは、磁気ガラスは実質的に
無視できる4mA/cmの保磁的な磁場強さしか有して
いないからである。
によれば、コア飽和原理に従って動作する少なくとも一
つのセンサを有し微弱な磁束の磁場を測定する磁場測定
装置であって、前記センサが励磁コイルと、1層からな
る測定コイルと、薄膜として形成された強磁性コアを有
し、前記測定コイルと強磁性コアが電気的に絶縁されて
担体の外表面上の2つの分離された平行な層に配置され
ている磁場測定装置において、センサが平坦なプレーナ
センサとなるように励磁コイルが形成されている構成を
採用したので、センサはプレーナセンサとしてバッチ工
程、フォトリソグラフィ法などにより非常に安価に高精
度に製造でき、実質的に同一のセンサを製造できるとい
う優れた効果が得られる。
電気回路図である。
る。
断面図である。
の第1実施例を備えたセンサを紙幣なしで示す上面図で
ある。
図である。
図である。
模式的な断面図である。
の第2実施例を備えたセンサの上面図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 コア飽和原理に従って動作する少なくと
も一つのセンサ(1)を有し微弱な磁束の磁場を測定す
る磁場測定装置であって、 前記センサが励磁コイル(4)と、1層からなる測定コ
イル(5)と、薄膜として形成された強磁性コア(3)
を有し、 前記測定コイル(5)と強磁性コア(3)が電気的に絶
縁されて担体(12)の外表面上の2つの分離された平
行な層に配置されている磁場測定装置において、 センサ(1)が平坦なプレーナセンサとなるように励磁
コイル(4)が形成されていることを特徴とする磁場測
定装置。 - 【請求項2】 励磁コイル(4)が1層からなるように
形成され、また励磁コイル(4)が担体(12)の外表
面上の強磁性コア(3)と測定コイル(5)に対し平行
な分離した層に電気的に絶縁して配置されていることを
特徴とする請求項1に記載の磁場測定装置。 - 【請求項3】 測定コイル(5)は矩形螺旋形状であっ
て、励磁コイル(4)も同様に矩形螺旋形状であり、励
磁コイル(4)並びに測定コイル(5)は、それぞれの
層内で、励磁コイル(4)と測定コイル(5)の直線状
で平行な導体からなる4分の1部分が少なくとも一部重
なるように配置されていることを特徴とする請求項2に
記載の磁場測定装置。 - 【請求項4】 強磁性コア(3)は、その層内で、少な
くとも一部が励磁コイル(4)と測定コイル(5)の重
なり合う部分に重なるように配置されていることを特徴
とする請求項3に記載の磁場測定装置。 - 【請求項5】 強磁性コア(3)は、その層内で、H状
の形状を有することを特徴とする請求項1から4までの
いずれか1項に記載の磁場測定装置。 - 【請求項6】 強磁性コア(3)は、その層内で、矩形
の8状の形状を有し、上部と下部にそれぞれエアギャッ
プ(15ないし16)を有することを特徴とする請求項
1から4までのいずれか1項に記載の磁場測定装置。 - 【請求項7】 強磁性コア(3)は、その層内で、エア
ギャップ(15)を有する矩形のリング状の形状を有す
ることを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項
に記載の磁場測定装置。 - 【請求項8】 強磁性コア(3)の材料が磁気ガラスで
あることを特徴とする請求項1から7までのいずれか1
項に記載の磁場測定装置。 - 【請求項9】 ダブルセンサを構成するほぼ平行に配置
された2つの同一のセンサ(1、1a)が設けられ、両
センサ(1、1a)の励磁コイル(4、4a)は同方向
に直列に接続されており、両センサ(1、1a)の測定
コイル(5、5a)は、駆動時にそれぞれの電圧(u1
[t]、u1a[t])の差がダブルセンサ(1、1a)
の出力に発生するように接続されていることを特徴とす
る請求項1から8までのいずれか1項に記載の磁場測定
装置。 - 【請求項10】 両センサ(1、1a)の測定コイル
(5、5a)が逆方向に直列に接続されていることを特
徴とする請求項9に記載の磁場測定装置。 - 【請求項11】 両センサ(1、1a)の測定コイル
(5、5a)は同方向に直列に接続されており、それぞ
れの共通の極が基準電位に接続され、測定コイル(5、
5a)の直列回路の両極はそれぞれ増幅器(9)の反転
入力と非反転入力に接続されていることを特徴とする請
求項9に記載の磁場測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH01262/91A CH689466A5 (de) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Anordnung zum Messen eines Magnetfeldes. |
CH01262/91-5 | 1991-04-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05264699A true JPH05264699A (ja) | 1993-10-12 |
JP3161623B2 JP3161623B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=4206285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10149392A Expired - Fee Related JP3161623B2 (ja) | 1991-04-26 | 1992-04-22 | 磁場測定装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5278500A (ja) |
EP (1) | EP0511434B1 (ja) |
JP (1) | JP3161623B2 (ja) |
CH (1) | CH689466A5 (ja) |
DE (1) | DE59109165D1 (ja) |
DK (1) | DK0511434T3 (ja) |
ES (1) | ES2137155T3 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100427628B1 (ko) * | 1995-11-10 | 2004-07-12 | 신코스모스덴끼 가부시끼가이샤 | 자성분농도측정방법및그장치 |
US5712564A (en) * | 1995-12-29 | 1998-01-27 | Unisys Corporation | Magnetic ink recorder calibration apparatus and method |
GB2315352B (en) * | 1996-07-12 | 2000-10-11 | Ronald Clifford Davies | Bank-note tester |
US6614211B1 (en) | 1999-04-01 | 2003-09-02 | Santronics, Inc. | Non-contact detector for sensing a periodically varying magnetic field |
ES2164525B2 (es) * | 1999-04-20 | 2002-10-16 | Univ Madrid Politecnica | Procedimiento de fabricacion de un sensor magnetico hibrido piezoelectrico-ferromagnetico. |
US6605939B1 (en) * | 1999-09-08 | 2003-08-12 | Siemens Vdo Automotive Corporation | Inductive magnetic saturation displacement sensor |
US6433541B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-08-13 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film |
US6707540B1 (en) | 1999-12-23 | 2004-03-16 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements |
JP3523608B2 (ja) * | 2001-04-03 | 2004-04-26 | 本田技研工業株式会社 | 磁束検出装置および方法 |
US6960911B2 (en) * | 2002-01-29 | 2005-11-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensor |
ATE474230T1 (de) * | 2002-03-04 | 2010-07-15 | Sicpa Holding Sa | Messprobe und damit ausgestattete authentifikationsvorrichtung |
CA2414724C (en) * | 2002-12-18 | 2011-02-22 | Cashcode Company Inc. | Induction sensor using printed circuit |
DE10326698A1 (de) * | 2003-06-13 | 2004-12-30 | Giesecke & Devrient Gmbh | Prüfung elektrischer Leitfähigkeit und/oder magnetischer Eigenschaften von Sicherheitselementen in Sicherheitsdokumenten |
JP2005181173A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Toshiba Corp | 磁性体量検出装置 |
US7068030B2 (en) * | 2004-04-28 | 2006-06-27 | Imation Corp. | Magnetic field strength detector |
JP4483497B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2010-06-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 磁性体検知装置 |
DE102014219009A1 (de) * | 2014-09-22 | 2016-03-24 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Positionssensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3040247A (en) * | 1958-01-21 | 1962-06-19 | Roland L Van Allen | Magnetic field detector |
US3643155A (en) * | 1966-07-25 | 1972-02-15 | Micro Magnetic Ind Inc | Flux gate magnetometer including backing plate |
US3833872A (en) * | 1972-06-13 | 1974-09-03 | I Marcus | Microminiature monolithic ferroceramic transformer |
US3848210A (en) * | 1972-12-11 | 1974-11-12 | Vanguard Electronics | Miniature inductor |
DE3637801A1 (de) * | 1986-11-06 | 1988-05-19 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung eines zeitlich konstanten oder sich aendernden magnetfeldes |
US4764725A (en) * | 1986-09-12 | 1988-08-16 | Brandt, Inc. | Apparatus for detecting counterfeit currency using two coils to produce a saturating magnetic field |
DE3738455A1 (de) * | 1986-11-25 | 1988-06-01 | Landis & Gyr Ag | Anordnung zum messen eines flussarmen magnetfeldes |
GB2201786B (en) * | 1987-03-06 | 1990-11-28 | Gen Electric Plc | Magnetometers |
-
1991
- 1991-04-26 CH CH01262/91A patent/CH689466A5/de not_active IP Right Cessation
- 1991-12-07 DE DE59109165T patent/DE59109165D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-07 DK DK91121010T patent/DK0511434T3/da active
- 1991-12-07 EP EP91121010A patent/EP0511434B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-07 ES ES91121010T patent/ES2137155T3/es not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-03-16 US US07/851,443 patent/US5278500A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-22 JP JP10149392A patent/JP3161623B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3161623B2 (ja) | 2001-04-25 |
CH689466A5 (de) | 1999-04-30 |
EP0511434B1 (de) | 1999-10-27 |
ES2137155T3 (es) | 1999-12-16 |
US5278500A (en) | 1994-01-11 |
DK0511434T3 (da) | 1999-12-27 |
DE59109165D1 (de) | 1999-12-02 |
EP0511434A1 (de) | 1992-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4967156A (en) | Thin film high permeability magnetic core flux gate device for measuring a weak magnetic field | |
JP3161623B2 (ja) | 磁場測定装置 | |
JP3457102B2 (ja) | 磁気式位置センサ | |
KR100993928B1 (ko) | 자기브리지형 전류센서, 자기브리지형 전류검출방법, 및상기 센서와 검출방법에 사용하는 자기브리지 | |
EP0157470A2 (en) | Magnetic field sensor | |
JPH11513797A (ja) | 位置検出エンコーダー | |
JPS618670A (ja) | 軸の回転速度および/または回転角を検出する装置 | |
JP3487452B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
US4963827A (en) | Intermittently activated magnetic shield arrangement for reducing noise and offsets in solid state magnetic field sensors | |
JP3161617B2 (ja) | 磁性物質検出装置 | |
US5831424A (en) | Isolated current sensor | |
JPH0784021A (ja) | 微弱磁気測定装置及びそれを用いた非破壊検査方法 | |
JPH1196430A (ja) | 磁気検出装置 | |
Robertson | Miniature magnetic sensor with a high sensitivity and wide bandwidth | |
JP3645093B2 (ja) | 磁気インピーダンス効果形渦電流センサ | |
JP4805631B2 (ja) | 磁性体分析装置及び磁性体分析方法 | |
JPS63205514A (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
SU926521A1 (ru) | Преобразователь линейных перемещений | |
SU546024A1 (ru) | Устройство дл измерени тока электронного пучка | |
SU489969A1 (ru) | Устройство дл измерени механических напр жений | |
JPH03131717A (ja) | 直線位置検出装置 | |
SU900230A1 (ru) | Коэрцитиметр | |
JPH07104043A (ja) | 磁気センサ | |
SU907482A1 (ru) | Устройство дл сортировки сердечников по магнитной проницаемости | |
SU629516A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров магнитного пол |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010117 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080223 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090223 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |