JP2000190193A - 端面研磨装置 - Google Patents
端面研磨装置Info
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- JP2000190193A JP2000190193A JP11294227A JP29422799A JP2000190193A JP 2000190193 A JP2000190193 A JP 2000190193A JP 11294227 A JP11294227 A JP 11294227A JP 29422799 A JP29422799 A JP 29422799A JP 2000190193 A JP2000190193 A JP 2000190193A
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Abstract
力の制御を可能にし、特に研磨開始時はフェルール端面
への押し付け圧力を低く設定することにより、フェルー
ル端面の傷の発生を防止することができる微小工作物の
端面研磨用加圧装置を提供する。 【解決手段】 フェルール5を固定する治具盤50が設
置されるレバー10と、レバー10を下降させ、治具盤
50に固定されたフェルール5の端面を弾性変形する研
磨シート70上に所定圧力で押し付ける加圧部20と、
加圧部20によるフェルール5の端面の研磨シート70
への押し付け圧力を制御する加圧制御部40とが具備さ
れてなる。
Description
を研磨するための微小工作物の端面研磨用加圧装置に関
し、特に、光ファイバのコネクタ構成部品であるフェル
ールの端面を球面形状に研磨するための端面研磨装置に
関する。
のために次世代の通信技術として期待され、光ファイバ
が徐々に我々の身近に導入されている。そしてフェルー
ルは、ジルコニア系セラミック材が射出成形法、押出成
形法またはプレス成形法により円筒形に成形され、光フ
ァイバの主要な光コネクタ部品として用いられる。ここ
で、フェルールの中空部はファイバ挿入孔と称され、光
ファイバが挿入され、フェルール同士の端面を突き合わ
せることにより、光ファイバが接続される。光ファイバ
を接続する際、フェルールの端面突き合わせ面で光の反
射減衰を防ぎ、光ファイバの光学特性を良好に保つため
にフェルールの端面を極めて高い表面粗さ精度で球面形
状に研磨する必要がある。
フェルールを治具盤に固定した後、フェルールの端面を
一定の圧力(荷重、バネ力)で弾性変形する研磨シート
に押し付けると共に、研磨シートを回転させ、フェルー
ル端面の押し付けによって生じる研磨シートの球面状の
くぼみ面を利用することにより、フェルールの端面を粗
仕上げ、中仕上げおよび密仕上げの3つの段階に分けて
球面形状に研磨していた。
ては、フェルールの端面を研磨する際、フェルール端面
の押し付け圧力を制御する手段がなく、その結果フェル
ールの端面は、球面形状に研磨するため高圧力で研磨シ
ートに押し付けられるため、研磨開始時の高い加圧力が
フェルール端面には負担となり、フェルールの端面に深
い傷が付くという問題点がある。
されたものであって、その目的とするところは、フェル
ール端面の研磨シートへの押し付け圧力の制御を可能に
し、特に研磨開始時はフェルール端面への押し付け圧力
を低く設定することにより、フェルール端面の傷の発生
を防止することができる端面研磨装置を提供することに
ある。本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
本発明に係る端面研磨装置は、微小工作物を固定する治
具盤が接続されるレバーと、上記レバーを下降させ、上
記治具盤に固定された上記微小工作物の端面を弾性変形
する研磨シート上に所定圧力で押し付ける加圧部と、上
記加圧部による上記微小工作物の端面の上記研磨シート
への押し付け圧力を制御する加圧制御部と、を具備した
ことを特徴としている。
するモータと、上記モータの回転により上記レバーを下
降させるネジと、上記微小工作物の端面の上記研磨シー
トへの押し付け圧力を検出し、検出された上記押し付け
圧力を上記加圧制御部にフィードバックするための圧力
センサとを具備し、上記加圧制御部は、フィードバック
された上記押し付け圧力を基に上記微小工作物の端面の
上記研磨シートへの押し付け圧力を制御することを特徴
としている。
物の端面の上記研磨シートへの押し付け設定圧力信号を
出力する記憶装置と、上記記憶装置からの押し付け設定
圧力信号と上記圧力センサからの押し付け圧力の検出信
号とを比較し、上記押し付け設定圧力信号と上記押し付
け圧力検出信号との差を演算する比較器と、上記押し付
け設定圧力信号と上記押し付け圧力検出信号との差に応
じて、上記微小工作物の端面の上記研磨シートへの押し
付け圧力を補正する圧力補正器と、上記微小工作物の端
面の上記研磨シートへの押し付け圧力が上記補正器で補
正された押し付け圧力になるように上記モータを駆動す
る加圧ドライバとを具備したことを特徴としている。
コネクタ構成部品であるフェルールであることを特徴と
している。従って、本発明では、治具盤に微小工作物、
例えばフェルールが固定された後、治具盤はレバーに設
置され、モータの回転によりレバーを下降させ、微小工
作物の端面が研磨シート上に所定圧力で押し付けられ
る。
面の研磨シートへの押し付け圧力が検出され、比較器に
より設定圧力記憶装置に記憶された押し付け設定圧力信
号と圧力センサからの押し付け圧力検出信号とが比較さ
れ、押し付け設定圧力信号と押し付け圧力検出信号との
差が演算される。そして、補正器において、押し付け設
定圧力信号と押し付け圧力検出信号との差に応じて、微
小工作物の端面の研磨シートへの押し付け圧力が補正さ
れ、ドライバにより微小工作物の端面の研磨シートへの
押し付け圧力が補正器で補正された押し付け圧力になる
ようにモータが駆動され、研磨シートを回転させること
により微小工作物の端面が球面形状に研磨される。
の端面の研磨シートへの押し付け圧力の制御が可能とな
り、特に研磨開始時の微小工作物の端面への押し付け圧
力を低く設定すれば、微小工作物の端面の傷の発生が防
止される。
固定する治具盤に接続するレバーと、上記レバーを下降
させ前記微小工作物の端面を研磨シート上に押し付ける
加圧部と、前記加圧部による前記微小工作物の前記研磨
シートへの押し付け圧力を制御する加圧制御部とを具備
した端面研磨装置を構成した。これにより、一定圧力に
制御し、研磨状態を一定にし、仕上がり状態のバラツキ
の少ない研磨が可能となった。
る下部バネと、前記レバーを押圧する加圧ヘッドと、前
記加圧ヘッドを加圧する上部バネと、前記加圧ヘッドと
前記レバー間の圧力を測定する圧力センサを付加した。
そして、前記下部バネと前記上部バネにより前記レバー
の重さをキャンセルするようにした。これにより、微少
工作物の端部に加わる研磨圧力のみを検出することがで
き、例えばフェルールや治具の重さに左右されない研磨
圧力の制御が可能となった。
の値を記憶する記憶装置と、前記記憶装置に記憶された
圧力の値と圧力センサからの出力値を比較する比較器
と、前記比較器の出力信号により前記押し付け圧力を補
正する補正器と、前記補正器の出力信号から前記レバー
を駆動するモータに駆動電力を印加するドライバを付加
した。これにより、予め設定された研磨圧力の最適値と
なるように、圧力制御が可能となった。
複数の圧力設定値を記憶することにより、粗仕上げ、中
仕上げ、密仕上げの各段階に適する圧力をそれぞれ設定
できる。そして、前記記憶装置に接続され、研磨剤の種
類、研磨剤の粒径、フェルールの材質、フェルールの先
端形状、フェルールの径の何れか1種または2種以上の
値を入力する入力手段と、入力され値から目的の圧力を
演算し前記記憶装置に記憶する演算部を設けることによ
り、種々の研磨条件に対応する最適条件を容易に設定で
きる。
リニアガイドを有するので、レバーの軸周りのぶれがな
くなり、正しく垂直荷重を加えることができ、例えばフ
ェルール端面の偏心がなくなる。さらに、フェルール端
部から光ファイバの端部が露出した状態で研磨し、前記
光ファイバの端部と前記フェルールの端部が略同一平面
となった時、研磨の荷重を増加するフェルールの研磨方
法を用いることにり、光ファイバ端部のわれ、かけを防
止することができる。
端面を、第1の圧力で研磨した後、一定時間経過後、前
記第1の圧力より高い第2の圧力で研磨することによ
り、高速でかつ光ファイバのわれ、やかけの発生しない
研磨が可能となる。最後に、フェルールの端面をモータ
の駆動により研磨シートに押圧し、前記モータの電流ま
たは電圧から前記フェルールの研磨の状態を検出するよ
うにした。これにより、研磨時の異常を装置を停止し
て、端面を観察することなしに判断することができ、異
状時には研磨圧力を下げ研磨速度を低下し、状態の回復
を待つことも可能である。
るが、各実施の形態を組み合わせることにより、さらに
効果が高まる。
に説明する。図1は、本発明の一実施の形態に係る端面
研磨装置の正面図、図2は、本発明の一実施の形態に係
る端面研磨装置の側面図、図3は、本発明の一実施の形
態に係る端面研磨装置の治具盤にフェルールが固定され
た状態を示す平面図、図4は、本発明の一実施の形態に
係る端面研磨装置の加圧制御部のブロック図である。
の1種または、組合わせにより運動する研磨定盤60の
上面に、弾性変形する研磨シート70を配置する。次
に、研磨シート70の上部に両端にフェルールWを着脱
可能に固定する治具盤50を配置し、フェルールWの端
面が研磨シート70の表面に接するようにする。ここ
で、治具盤50はレバー10の一端に接続され、下方に
加圧され、フェルール5の端面が研磨シートに加圧され
る。
端部と反対の端部近傍に、レバー10を下方から押し上
げる下部バネ24を配置する。そして、レバー10の下
部バネ24と向かい合う位置の上部に治具盤50を加圧
する圧力を検出するための圧力センサー23を配置す
る。ここでは、圧力センサーとして、ロードセルを使用
する。
ッドの下端部が接するように配置し、加圧ヘッド21の
上部に加圧ヘッド21を押圧する上部バネ22を配置す
る。本願発明においては、レバー10の上面と下面をそ
れぞれ下部バネ24と上部バネ22で圧縮するようにし
たので、下部バネ24によりレバー10またはレバー1
0および治具盤50を合わせた荷重をキャンセルして、
ゼロバランスを取ることができる。その結果、レバー1
0の上部から加圧する荷重のみを圧力センサ23によ
り、検出することができる。従って、レバー10や治具
盤50の種類やフェルール5の種類や本数を変えても、
研磨荷重を正確に検出することができる。
ッド21、圧力センサ23、下部バネは、加圧部20の
一部を構成している。次に図2に加圧部20を示す。加
圧部20は、レバー10を上下するための機構を有し、
レバー10は、圧力を検出するための圧力センサ23を
介して、加圧ヘッド24に接続され、ネジ26の回転に
より加圧ヘッド21とレバー10が上下方向に移動す
る。そして、レバー10を加圧する力を治具盤50に伝
える働きをする。
るようにガイド28を設ける。ガイド28は、上部バネ
22や下部バネ24の軸と平行に配置したリニアガイド
を使用する。これにより、レバー10の横方向のぶれに
よる圧力を検出することが無くなり、S/N比を向上す
ることができる。ネジ26は、モータ25の回転をシャ
フト25aと、プーリ27aとベルト29とプーリ27
bを介して、伝達し、回転する。そして、レバー10を
上下に移動する。モータ25の回転により付加される荷
重は圧力センサ23により検出され、加圧制御部40に
よりモータ25を駆動する電力の供給し、加圧制御回路
を構成する。
力センサ23の検出出力を入力し、圧力の値を記憶する
記憶装置42に記憶された値と比較器41により比較す
る。そして目的とする圧力との差により圧力を補正する
データを補正器43により作成し、その出力をドライバ
44に入力し、モータ25を駆動する電力を出力する。
どの構成を示したが、圧力センサ23の出力をA/Dコ
ンバーターにより変換し、制御プログラムや設定圧力を
記憶する記憶装置や、これらの検出値と予め設定された
圧力値を比較演算しモータ25を駆動するための出力デ
ーターを求めるためのCPUと、CPUの出力をD/A
コンバータにより変換するシステムを使用することは可
能である。
る圧力を所定の設定値になるように制御することがで
き、その結果研磨中のフェルール端部に加わる荷重を一
定にすることができる。さらに、フェルールの研磨初期
状態において、フェルール端部から光ファイバの端部が
露出した状態では、荷重を小さくし、光ファイバの端面
とフェルールの端面がほぼ同一平面となり、光ファイバ
端部の割れや欠けが生じなくなった所で、研磨の荷重を
増加し、高速に研磨することができる。ここで、荷重の
切替は、加圧制御部40の内部のタイマーで指定する方
法や、リアルタイムクロックの値を演算する方法も可能
である。さらに、モータ25の電流や、研磨定盤60を
駆動するモータの電流を検出し、モータの駆動負荷から
フェルール端部の研磨開始、ずなわち光ファイバ端部の
初期的な研磨が終了しフェルールと同一面となった状
態、を検出することも可能である。
ータ25の駆動と圧力センサ23の出力の関係から、ネ
ジ26の送り量と圧力変化の関係からフェルール端部の
研磨シート70への接触状態を判断することができる。
この方法によって、前述の光ファイバの端面とフェルー
ル端面が一致した点の検出や、光ファイバの割れや欠け
の発生を検出し、指定の数値以上の圧力値が検出された
場合、異常と判断し研磨装置の運転を停止し、不良品の
研磨によるむだな時間を減少することができる。
を、粗仕上げ時には大きく、中仕上げ、密仕上げと工程
が進むに従って、下げて研磨速度の向上と、研磨傷の発
生を防止することができる。この他に、研磨剤の種類、
研磨剤の粒径、フェルールの材質、フェルールの先端形
状、フェルールの径の違いにより、設定する圧力を変え
ることも可能であり、目的とする最適な研磨条件を選択
することができる。
で、六角形の各辺にそれぞれ2本づつのフェルール5を
固定ブロック51により挟み、固定している。このよう
に、本実施の形態の端面研磨装置によれば、フェルール
Wの端面の研磨シート70への押し付け圧力の制御が可
能となり、研磨開始時のフェルールWの端面への押し付
け圧力を低く設定すれば、フェルールWの端面の傷の発
生を防止することができる。
明の端面研磨装置は、微小工作物の端面の研磨シートへ
の押し付け圧力を制御する加圧制御部を設けたことによ
り、微小工作物の端面の研磨シートへの押し付け圧力の
制御が可能となり、特に研磨開始時の微小工作物の端面
への押し付け圧力を低く設定することが可能となるの
で、微小工作物の端面の傷の発生を防止することができ
ると共に、微小工作物の材質強度や粗仕上げ、中仕上げ
および密仕上げの研磨段階に応じて微小工作物の端面へ
の押し付け圧力を変更することにより、端面研磨の精度
を向上することができる。
面図。
面図。
圧制御部のブロック図。
具盤にフェルールが固定された状態を示す平面図。
Claims (11)
- 【請求項1】 微小工作物を固定する治具盤に接続する
レバーと、 上記レバーを下降させ前記微小工作物の端面を研磨シー
ト上に押し付ける加圧部と、 前記加圧部による前記微小工作物の前記研磨シートへの
押し付け圧力を制御する加圧制御部とを具備したことを
特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項2】 前記加圧部が前記レバーを支持する下部
バネと、前記レバーを押圧する加圧ヘッドと、前記加圧
ヘッドを加圧する上部バネと、 前記加圧ヘッドと前記レバー間の圧力を測定する圧力セ
ンサからなる請求項1記載の端面研磨装置。 - 【請求項3】 前記下部バネと前記上部バネにより前記
レバーの重さをキャンセルする請求項2記載の端面研磨
装置。 - 【請求項4】 前記加圧制御部が、加圧する圧力の値を
記憶する記憶装置と、 前記記憶装置に記憶された圧力の値と圧力センサからの
出力値を比較する比較器と、 前記比較器の出力信号により前記押し付け圧力を補正す
る補正器と、 前記補正器の出力信号から前記レバーを駆動するモータ
に駆動電力を印加するドライバからなる請求項1記載の
端面研磨装置。 - 【請求項5】 前記記憶装置が、研磨条件により複数の
圧力設定値を記憶する請求項4記載の端面研磨装置。 - 【請求項6】 前記記憶装置に接続され、研磨剤の種
類、研磨剤の粒径、フェルールの材質、フェルールの先
端形状、フェルールの径の何れか1種または2種以上の
値を入力する入力手段と、前記入力手段により入力され
た値から目的の圧力を演算し前記記憶装置に記憶する演
算部を有する請求項4または5記載の端面研磨装置。 - 【請求項7】 前記レバーを下降するガイドとしてリニ
アガイドを有する請求項1記載の端面研磨装置。 - 【請求項8】 フェルール端部から光ファイバの端部が
露出した状態で研磨し、前記光ファイバの端部と前記フ
ェルールの端部が略同一平面となった時、研磨の荷重を
増加するフェルールの研磨方法。 - 【請求項9】 光ファイバを挿入したフェルールの端面
を、第1の圧力で研磨した後、一定時間経過後、前記第
1の圧力より高い第2の圧力で研磨するフェルールの研
磨方法。 - 【請求項10】 フェルールの端面をモータの駆動によ
り研磨シートに押圧し、 前記モータの電流または電圧から前記フェルールの研磨
の状態を検出する研磨状態の検出方法。 - 【請求項11】フェルールの端面をモーターの駆動によ
り研磨シートに押し圧し、 前記モータの電流または電圧から前記フェルールの研磨
の状態を検出し、異常と判断した場合、 前記押し圧する圧力を減少するフェルールの研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29422799A JP3929659B2 (ja) | 1998-10-15 | 1999-10-15 | 端面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29373698 | 1998-10-15 | ||
JP10-293736 | 1998-10-15 | ||
JP29422799A JP3929659B2 (ja) | 1998-10-15 | 1999-10-15 | 端面研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000190193A true JP2000190193A (ja) | 2000-07-11 |
JP3929659B2 JP3929659B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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JP (1) | JP3929659B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100365250B1 (ko) * | 2000-12-15 | 2002-12-18 | 티디케이가부시기가이샤 | 자기 헤드용 연마 장치 및 연마 방법 |
CN113635164A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-12 | 上海致领半导体科技发展有限公司 | 一种抛光机的高精度的加压装置 |
-
1999
- 1999-10-15 JP JP29422799A patent/JP3929659B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100365250B1 (ko) * | 2000-12-15 | 2002-12-18 | 티디케이가부시기가이샤 | 자기 헤드용 연마 장치 및 연마 방법 |
CN113635164A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-12 | 上海致领半导体科技发展有限公司 | 一种抛光机的高精度的加压装置 |
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