JP2000188319A

JP2000188319A - 搬送装置

Info

Publication number: JP2000188319A
Application number: JP36512698A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Kodama; 祥一児玉; Hiromi Yajima; 比呂海矢島
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-12-22
Filing date: 1998-12-22
Publication date: 2000-07-04

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】軌道車が搬送路上を全周する回数を削減し、
ウェハ搬送能力を向上させた搬送装置を提供する。【解決手段】複数の半導体製造装置間に亘って敷設さ
れた環状の搬送路１０と、前記半導体製造装置で用いる
部材の収納が可能な収納容器２１，２２を搭載する機構
を有し前記搬送路を軌道として走行する軌道車１１，１
２と、前記軌道車の走行と共に、搬送先である半導体製
造装置に対する前記収納容器の設置及び回収動作を制御
する制御装置とを備えた搬送装置において、複数台の軌
道車を連結可能にする連結機構１３を前記各軌道車にそ
れぞれ設け、該連結機構により複数台の軌道車を連結し
て連結軌道車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道
車のうちの所定の軌道車を前記収納容器の回収用とし、
残りの軌道車を前記収納容器の設置用として制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品を製造
する半導体製造工程ラインで利用され、半導体製造装置
間において半導体ウェハ等の搬送を行う搬送装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】図１２は、従来の搬送装置を用いた半導
体製造工程ラインのレイアウト図である。

【０００３】この半導体製造工程ラインは、同図に示す
ように、２列に配置された複数の半導体製造装置（以
下、製造装置と記す）１０１と、１個の収納容器収容棚
（以下、ストッカと記す）１０２と、これらの間の上空
天井部に敷設されたトラック状の天井走行搬送路１０３
とから成る。

【０００４】具体的には、半導体製造装置１０１に具備
された収納容器設置部１０４が一列になる様に配列され
て、該収納容器設置部１０４上空を搬送路１０３が通る
ようになっている。この搬送路１０３を軌道として複数
台の軌道車１０５が決まった方向（図中の矢印Ｆ参照）
に走行し、収納容器設置部１０４とストッカ１０２との
間で、ウェハ収納容器１０６のやり取りを行う。

【０００５】図１３は、図１２に示した製造装置１０１
における収納容器設置部１０４付近の詳細を示す斜視図
である。

【０００６】同図に示すように、搬送路１０３を走行す
る軌道車１０５を用い、半導体ウェハ１１０を収納した
ウェハ収納容器１０６が所定の製造装置１０１の収納容
器設置部１０４上空まで搬送される。そして、ウェハ収
納容器１０６は、吊り下げ降動作により収納容器設置部
１０４上に設置され、当該製造装置内に取り込まれて必
要な処理が施される。また、製造装置１０１で処理され
たウェハは、その収納容器設置部１０４から、吊り下げ
昇動作により軌道車１０５へ回収される。

【０００７】次に、上記半導体製造工程ラインにおける
搬送フローを図１４を参照しつつ説明する。すなわち、
従来型の単一軌道車１０５を用いて、製造装置１０１の
収納容器設置部１０４とストッカ１０２間において、ウ
ェハ収納容器１０６の回収、搬送、設置の一連の動作を
実施する場合は次のようになる。

【０００８】例えば収納容器設置部１０４からウェハ収
納容器１０６を回収するときは、目的とする製造装置１
０１の収納容器設置部１０４上へ空の軌道車１０５を移
動し（ステップＳ１０１）、当該収納容器設置部１０４
から、処理済みのウェハが収納されたウェハ収納容器１
０６を軌道車１０５内に回収する（ステップＳ１０
２）。そして、ウェハ収納容器１０６を搭載した軌道車
１０５はストッカ１０２へ移動し（ステップＳ１０
３）、ウェハ収納容器１０６をストッカ１０２内に収納
する（ステップＳ１０４）。

【０００９】その後、空になった軌道車１０５は、再
び、搬送路１０３を１周してストッカ１０２に再到達し
（ステップＳ１０５）、製造装置１０１にて次に処理さ
れる予定の新たなウェハを収納したウェハ収納容器１０
６を回収する（ステップＳ１０６）。そして、再度搬送
路１０３を進んで、処理予定である製造装置１０１上の
ウェハ収納容器設置部１０４に当該ウェハ収納容器１０
６を設置する（ステップＳ１０７，Ｓ１０８）。

【００１０】また、この種の半導体製造工程ラインで使
用される搬送装置において、ウェハ搬送能力の向上を図
る技術が提案されている。例えば特開平９−１６２２６
０号公報に開示されるものは、図１５に示すように、搬
送路２０１上の軌道車２０２を電磁石２０３ａ，２０３
ｂによって複数台連結可能な構成を採っている。

【００１１】すなわち、この提案では、搬送路上におい
て、先行の軌道車が割り当てゾーンから移動するまで後
続の軌道車は進行することができないため、軌道車が縦
列渋滞状態となり、搬送待ち時間が増大する、といった
点を解決する。そのために、制御装置により軌道車２０
２の実車状態（ウェハ収納容器２０４内にウェハが存在
する状態）を監視し、実車率が低下したときには、個別
の軌道車を複数台互いに連結して１台の連結軌道車とし
て搬送を制御する。これによって、搬送ロットの数が低
下して空き軌道車が増加し、ウェハを搬送している実車
軌道車に先行する空き軌道車が存在した場合であって
も、後続の実車軌道車の待機時間を少なくしている。ま
た、実車率が高くなってきたときは連結軌道車を分離し
て複数台の個別軌道車として搬送を制御し、空き軌道車
の減少により発生する搬送ロットの待ち時間を削減する
ようにしている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の搬送装置では、次のような問題点があった。

【００１３】（１）上記図１２乃至図１４で説明した搬
送装置では、半導体製造工程を実行する度、軌道車１０
５がその工程の天井走行搬送路１０３を２回以上全周す
る必要がある。すなわち、図１４に示した搬送フローで
は、ステップＳ１０５の動作で軌道車を全周させ、ステ
ップＳ１０７からステップＳ１０８、ステップＳ１０
１、ステップＳ１０２を経てステップＳ１０３に至る動
作でも全周させている。このように、搬送路１０３上を
軌道車１０５が余分に全周することは搬送時間の増大と
なり、ウェハ搬送能力を十分に得ることができない、と
いう問題があった。

【００１４】また、最近では搬送効率向上の観点から、
同時に２つ以上のウェハ収納容器を搬送し設置または回
収するバッチ搬送方式が注目されているが、上記搬送装
置ではこのバッチ搬送方式に対応することができない。

【００１５】（２）上記図１５で説明した搬送装置で
は、実車率が高くなってきたときは連結軌道車を分離し
て複数台の個別軌道車として搬送を制御するが、これで
は、前記（１）で指摘した「軌道車が余分に全周する」
といった問題点を孕むと共に、前記バッチ搬送方式にも
対応することができない。

【００１６】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、軌道車が搬送
路上を全周する回数を削減して、ウェハ搬送能力を向上
させた搬送装置を提供することである。またその他の目
的は、バッチ搬送方式に対応可能な搬送装置を提供する
ことである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明である搬送装置の特徴は、複数の半導体
製造装置間に亘って敷設された環状の搬送路と、前記半
導体製造装置で用いる部材の収納が可能な収納容器を搭
載する機構を有し前記搬送路を軌道として走行する軌道
車と、前記軌道車の走行と共に、搬送先である半導体製
造装置に対する前記収納容器の設置及び回収動作を制御
する制御装置とを備えた搬送装置において、複数台の軌
道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車にそれぞ
れ設け、該連結機構により複数台の軌道車を連結して連
結軌道車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車の
うちの所定の軌道車を前記収納容器の回収用とし、残り
の軌道車を前記収納容器の設置用として制御することに
ある。

【００１８】第２の発明である搬送装置の特徴は、複数
の半導体製造装置間に亘って敷設された環状の搬送路
と、前記半導体製造装置で用いる部材の収納が可能な収
納容器を搭載する機構を有し前記搬送路を軌道として走
行する軌道車と、前記軌道車の走行と共に、搬送先であ
る半導体製造装置に対する前記収納容器の設置及び回収
動作を制御する制御装置とを備えた搬送装置において、
複数台の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道
車にそれぞれ設け、複数台の軌道車を連結して連結軌道
車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車から前記
半導体製造装置へ同時に２個以上の収納容器を設置する
と共に、前記半導体製造装置から連結軌道車へ同時に２
個以上の収納容器を回収するように制御することを特徴
とする。

【００１９】第３の発明である搬送装置の特徴は、請求
項２記載の搬送装置において、前記連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結距離を可変にする機構を設けたこと
を特徴とする。

【００２０】第４の発明である搬送装置の特徴は、請求
項１乃至請求項３記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間を信号的に接続し、前記制御
装置は、少なくとも１台の軌道車への指示により残りの
軌道車の制御も併せて行うことを特徴とする。

【００２１】第５の発明である搬送装置の特徴は、請求
項１乃至請求項４記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間の連結機構は、連結角度が可
変となる機構を有することを特徴とする。

【００２２】第６の発明である搬送装置の特徴は、請求
項１乃至請求項５記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間の連結機構は、前記搬送路上
にて軌道車の連結及び分離を行える構成したことを特徴
とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係わる搬送装置の
実施形態について説明する。

【００２４】（第１実施形態）図１は、本発明の第１実
施形態に係る搬送装置の外観を示す斜視図であり、図２
は、本実施形態の搬送装置を用いた半導体製造工程ライ
ンのレイアウト図である。

【００２５】図２に示す本実施形態の半導体製造工程ラ
インは、前述の図１２で示したものと同様のレイアウト
構成から成る。この半導体製造工程ラインにおいて、本
実施形態の搬送装置は、ウェハまたはウェハ処理に付随
する治具を収納容器に収めて天井走行搬送路１０上の軌
道車により運搬して、この軌道車により搬送先の製造装
置３１の収納容器設置部３２ａ，３２ｂに前記収納容器
を吊り下げ上下昇降動作により設置しあるいは収納容器
設置部から回収するものであり、天井搬送路１０を走行
する前記軌道車として、連結機構１３により連結された
２台の軌道車１１，１２を備えている。

【００２６】この第１及び第２の軌道車１１，１２は、
それぞれウェハ（またはウェハ処理に付随する治具）２
１ａ，２２ａを収めるための収納容器２１，２２を運搬
することが可能であり、外部の制御装置の制御で吊り下
げ上下昇降動作が可能に構成されている。具体的には、
図３に示すように、連結された第１と第２の軌道車１
１，１２間では信号Ｐ１のやり取りが行われ、連結され
た軌道車１１，１２の内の１台、例えば軌道車１１にホ
ストコンピュータなどの制御装置４０から制御信号Ｐ２
を送り、この制御信号Ｐ２に基づいて、軌道車１１と共
に、他の連結された軌道車１２の吊り下げ上下昇降動作
等も制御するようになっている。なお、この図３に示す
ような制御方法ではなく、制御装置４０により、それぞ
れ軌道車１１，１２に対して個別に制御するようにして
もよい。

【００２７】かかる構成により、収納容器の回収及び設
置に対し図４（ａ），（ｂ）に示すような一連の作業が
実施できる。図４（ａ）に示す場面では、容器を搭載し
ていない空軌道車１１と、これから製造装置３１にて処
理を行おうとするウェハ（または治具）、つまり未処理
ウェハ２２ａが収納された容器２２を搭載した軌道車１
２とが連結されている。この連結軌道車が搬送先へ向け
て搬送路１０上を一定の方向Ｆで走行し、まず、先頭の
空軌道車１１が、搬送先の製造装置３１の収納容器設置
部３２上に到達して、既に製造装置３１により処理を完
了したウェハ（または治具）、つまり処理済みウェハ２
１ａを収納した容器２１を吊り下げ昇動作ＵＰにより回
収する。

【００２８】続く図４（ｂ）の場面では、軌道車１２か
ら吊り下げ降動作ＤＮにより、前記の回収動作によって
空になった収納容器設置部３２上に、未処理ウェハが入
った収納容器２２ａを設置する。

【００２９】次に、上記半導体製造工程ラインにおける
本実施形態の搬送フローを図５を参照しつつ説明する。
すなわち、本発明型の連結軌道車を用いて、製造装置３
１の収納容器設置部３２ａ，３２ｂとストッカ３０間に
おいて、ウェハ収納容器の搬送に関わる一連の動作を実
施する場合は次のようになる。

【００３０】ステップＳ１１及びステップＳ１２の時点
では、第１の軌道車１１は回収してきた収納容器２１を
ストッカ３０へ収納し、同時に空の第２の軌道車１２は
ストッカ３０から収納容器２２を回収する。

【００３１】そして、空になった第１の軌道車１１と、
収納容器２２を搭載した第２の軌道車１２とは、連結状
態で搬送先である製造装置３１ヘ移動する（ステップＳ
１３）。

【００３２】当該連結軌道車の先頭にある第１の軌道車
１１が搬送先である製造装置３１の収納容器設置部３２
ａ上に到達し停止すると、図４（ａ）に示すような場面
になり、処理済みウェハ（または治具）２１ａが収納さ
れた容器２１を吊り下げ昇動作ＵＰにより回収する（ス
テップＳ１４）。この回収動作に続いて図４（ｂ）の場
面になり、未処理ウェハ（または治具）２２ａが収納さ
れた収納容器２２を搭載した第２の軌道車１２から吊り
下げ降動作ＤＮにより、前記回収動作によって空になっ
た収納容器設置部３２ａに当該収納容器２２ａを設置す
る（ステップＳ１５）。

【００３３】前記ステップＳ１４及びステップＳ１５の
処理後の連結軌道車は、第１の軌道車１１が処理済みウ
ェハを搭載し、第２の軌道車１２が空となって、ストッ
カ３０へ移動する（ステップＳ１６）。そして、再び前
記ステップＳ１１及びステップＳ１２以降の処理が繰り
返し行われる。

【００３４】このように、本実施形態において、製造装
置３１の収納容器設置部への収納容器の置き換え作業の
流れは、図５の搬送フローで説明したように、常に連結
された第１と第２の軌道車１１，１２が収納容器を搬送
することになり、従来のように単一軌道車を用いる場合
に比べて、軌道車が搬送路上を全周する回数が削減さ
れ、搬送能力を向上させることができる。

【００３５】また、連結された第１と第２の軌道車１
１，１２間を信号的に接続して、第１の軌道車１１への
指示により連結された第２の軌道車１２の制御も併せて
行うようにしたので、図５で示した一連の動作を簡潔な
制御指示により実施することができる。これにより、連
結された軌道車を個別に制御する場合に比べて、制御ソ
フトを簡略化することができ、外部に持つ記憶容量を軽
減する事が可能になる。

【００３６】（第２実施形態）上記の第１実施形態の搬
送制御では、連結された２台の軌道車の内の１台を収納
容器の回収用とし、他の１台を収納容器の設置用とする
制御方法であった。これに対して、本実施形態では、連
結された２台の軌道車を用いて、１つの製造装置上の２
箇所の収納容器設置部に対して、同時に２個の収納容器
を回収または設置するバッチ搬送方式に対応した制御方
法を可能とする搬送装置の構造を説明する。

【００３７】図６は、本発明の第２実施形態に係る搬送
装置の構造を示す斜視図である。

【００３８】この搬送装置は、上記図１に示した構造に
おいて、２台の軌道車１１，１２の連結機構１３が、伸
縮構造Ｍ０を有する伸縮型連結機構１３Ａに置き代わ
り、さらに第１及び第２の軌道車１１，１２が個々に停
止位置調整機構Ｍ１１，Ｍ１２を持つような構造にして
いる。これによって、第１と第２の軌道車１１，１２間
の距離が調整可能となり、製造装置３１の２つの収納容
器設置部３２ａ，３２ｂの間隔Ｎに連結機構１３Ａの長
さを対応させることができる。

【００３９】通常、１台の製造装置３１に設けられた２
つの収納容器設置部３２ａ，３２ｂの間隔Ｎは、個々の
製造装置３１の種別が異なる等の理由で相違している。
本実施形態では、この点を考慮して、上記図６に示す構
造としたので、第１と第２の軌道車１１，１２の停止位
置を、収納容器設置部３２ａ，３２ｂに対向した位置に
前もって一致させておくことが容易となり、同時に２個
の収納容器を回収または設置するバッチ搬送方式の実現
を可能とする。

【００４０】図７は、このバッチ搬送方式の様子を示す
図である。第１及び第２の軌道車１１，１２の停止位置
調整機構Ｍ１１，Ｍ１２により、軌道車１１，１２の停
止位置が、それぞれ収納容器設置部３２ａ，３３ｂに対
向する位置にくるように前もって位置調整が行われる。
そして、第１及び第２の軌道車１１，１２は同時に収納
容器２１，２２を搬送し、吊り下げ昇降動作ＵＤによっ
て収納容器２１，２２の設置または回収が同時に行われ
る。

【００４１】このように本実施形態では、バッチ搬送方
式を可能にする構造であるので、第１及び第２の軌道車
１１，１２は同時に収納容器２１，２２を搬送すること
ができ、さらにストッカ３０内での収納容器の回収／設
置など２つの動作を同時に実施することができるため、
搬送能力を一層向上させることが可能となる。

【００４２】（第３実施形態）図８は、本発明の第３実
施形態に係る搬送装置の構造を示す斜視図である。

【００４３】本実施形態の搬送装置は、上記図１に示し
た構造において、２台の軌道車１１，１２の連結機構１
３を、その連結角度が自在に変更可能な連結機構１３Ｂ
に置き代えたものである。すなわち、連結機構１３Ｂ
は、軌道車１１側の連結部１３ａと軌道車１２側の連結
部１３ｂにそれぞれ対応した２つの連結部軸心ｑ１，ｑ
２の接続角度Ｑが自在に変わる連結構造を持つ。

【００４４】天井搬送路１０は、往路から復路への折り
返し部分に図２に示すような円形軌道路１０ａを有し、
この円形軌道路１０ａによりストッカ３０への復路を確
保している。接続角度Ｑが自在でない場合には、前記円
形軌道路１０ａの曲率Ｃを図９に示すＣ’のように大き
くする必要があり、その結果、搬送路１０が図９の１
０’に示すように外側に膨らみ、半導体製造工程ライン
内の搬送部分占有幅Ｗ（図２）が大きくなる。

【００４５】そこで、本実施形態では、上述したよう
に、連結部軸心ｑ１，ｑ２の接続角度Ｑが自在に変わる
ように連結機構１３Ｂを構成したので、円形軌道路１０
ａの曲率Ｃを小さくすることができ、その結果、半導体
製造工程ライン内の搬送部分専有幅Ｗが小さくなり、搬
送路占有面積を削減することが可能になる。

【００４６】（第４の実施形態）図１０は、本発明の第
４実施形態に係る搬送装置の構造を示す斜視図である。
本実施形態の搬送装置は、上記図１に示した構造におい
て、第１と第２の軌道車１０，１１の連結部１３を、制
御信号Ｐ３により搬送路１０上で着脱可能な構造の連結
機構１３Ｃに置き換えたものである。

【００４７】この構造により、第１と第２の軌道車１
０，１１は搬送路１０を走行中に連結の解除、再連結が
可能となる。例えば、図１１に示すように、搬送路１０
上の分岐路１０Ａを設置することにより、第１と第２の
軌道車１１，１２からなる連結軌道車の組み替えが、既
存の軌道車１１，１２の組み合わせから新規の軌道車１
１Ａ，１２の組み合わせへと変更することができる。

【００４８】このように本実施形態では、緊急の処理を
要するウェハ（または治具）が存在するようなときに、
収納容器の製造装置３１への設置あるいは回収の優先度
を変更することが可能になり、半導体製造工程の特徴に
合わせた搬送装置の制御が可能となる。

【００４９】なお、上記第１乃至第４の実施形態では、
軌道車を２台連結した連結軌道車を例にして説明した
が、連結軌道車は、軌道車を２台以上連結したものであ
ってもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１の発明
である搬送装置によれば、連結機構により複数台の軌道
車を連結して連結軌道車を構成し、その連結軌道車のう
ちの所定の軌道車を収納容器の回収用とし、残りの軌道
車を収納容器の設置用として制御するので、複数の収納
容器の搬送が可能となり、半導体製造装置に対する収納
容器の回収と設置動作を一連の作業として行うことがで
きる。これにより、軌道車が搬送路上を全周する回数が
削減され、搬送能力の向上が可能になる。

【００５１】第２の発明である搬送装置によれば、連結
軌道車から半導体製造装置へ同時に２個以上の収納容器
を設置すると共に、半導体製造装置から連結軌道車へ同
時に２個以上の収納容器を回収するように制御するの
で、複数の収納容器の搬送が可能となり、半導体製造装
置に対する収納容器の回収と設置動作を一括の作業とし
て行うことができる。これにより、バッチ搬送方式に対
応することが可能になり、搬送能力が大幅に向上する。

【００５２】第３の発明である搬送装置によれば、上記
第２の発明において、連結軌道車を構成する各軌道車間
の連結距離を可変にする機構を設けたので、軌道車間の
連結距離を半導体製造装置の収納容器設置間隔に対応さ
せることが容易にでき、前記バッチ搬送方式を確実に実
施することが可能になる。

【００５３】第４の発明である搬送装置によれば、上記
第１乃至第３の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間を信号的に接続し、前記制御装置は、少な
くとも１台の軌道車への指示により残りの軌道車の制御
も併せて行うようにしたので、連結軌道車に対するの一
連の動作指示を１台の軌道車として行うことが可能にな
り、制御装置からの指示を簡略化することが可能にな
る。

【００５４】第５の発明である搬送装置によれば、上記
第１乃至第３の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結機構は、連結角度が可変となる機構
を有するようにしたので、搬送路の円形軌道部分の曲率
を小さくすることができるため、半導体製造工程ライン
内の搬送路占有面積を削減することが可能になる。

【００５５】第６の発明である搬送装置によれば、上記
第１乃至第５の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結機構は、搬送路上にて軌道車の連結
及び分離を行える構成したので、２台以上の軌道車の分
離、再接続により、半導体製造装置に対する収納容器の
回収及び設置方法の変更が可能となり、半導体製造装置
の特徴に合わせた制御が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送装置の外観を
示す斜視図である。

【図２】第１実施形態の搬送装置を用いた半導体製造工
程ラインのレイアウト図である。

【図３】第１実施形態の搬送装置の制御形態を示す模式
図である。

【図４】第１実施形態の搬送装置の回収及び設置動作を
示す模式図である。

【図５】第１実施形態の搬送フローを示すフローチャー
トである。

【図６】本発明の第２実施形態に係る搬送装置の構造を
示す斜視図である。

【図７】第２実施形態に係る搬送装置のバッチ搬送方式
の様子を示す図である。

【図８】本発明の第３実施形態に係る搬送装置の構造を
示す斜視図である。

【図９】第３実施形態の効果を示す図である。

【図１０】本発明の第４実施形態に係る搬送装置の構造
を示す斜視図である。

【図１１】第４実施形態に係る連結軌道車の組み替え動
作を示す図である。

【図１２】従来の搬送装置を用いた半導体製造工程ライ
ンのレイアウト図である。

【図１３】図１２に示した製造装置におけるウェハ収納
容器設置部付近の詳細を示す斜視図である。

【図１４】従来の搬送フローを示すフローチャートであ
る。

【図１５】従来の他の搬送装置の外観を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１０天井走行搬送路１１，１２第１と第２の軌道車１３連結機構２１，２２収納容器２１ａ，２２ａウェハ（またはウェハ処理に付随する
治具）３１製造装置３２ａ，３２ｂ収納容器設置部４０制御装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の半導体製造装置間に亘って設けら
れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
路を軌道として走行する軌道車と、前記軌道車の走行と
共に、搬送先である半導体製造装置に対する前記収納容
器の設置及び回収動作を制御する制御装置とを備えた搬
送装置において、複数の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車
にそれぞれ設け、該連結機構により複数の軌道車を連結
して連結軌道車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車のうちの第１の軌道車
を前記収納容器の回収用とし、第２の軌道車を前記収納
容器の設置用として制御することを特徴とする搬送装
置。
【請求項２】複数の半導体製造装置間に亘って設けら
れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
路を軌道として走行する軌道車と、前記軌道車の走行と
共に、搬送先である半導体製造装置に対する前記収納容
器の設置及び回収動作を制御する制御装置とを備えた搬
送装置において、複数の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車
にそれぞれ設け、複数台軌道車を連結して連結軌道車を
構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車から前記半導体製造装
置へ同時に２個以上の収納容器を設置すると共に、前記
半導体製造装置から連結軌道車へ同時に２個以上の収納
容器を回収するように制御することを特徴とする搬送装
置。
【請求項３】前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
連結距離を可変にする機構を設けたことを特徴とする請
求項２記載の搬送装置。
【請求項４】前記連結軌道車を構成する各軌道車間を
信号的に接続し、前記制御装置は、少なくとも１台の軌道車への指示によ
り残りの軌道車の制御も併せて行うことを特徴とする請
求項１乃至請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
連結機構は、連結角度が可変となる機構を有することを
特徴とする請求項１乃至請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
連結機構は、前記搬送路上にて軌道車の連結及び分離を
行える構成にしたことを特徴とする請求項１乃至請求項
５記載の搬送装置。
【請求項７】複数の半導体製造装置間に亘って設けら
れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
路を軌道として走行する軌道車とを備えた搬送装置に対
し、複数の軌道車を連結可能にする連結機構を予め前記各軌
道車にそれぞれ設けておき、前記連結機構により複数の軌道車を連結して連結軌道車
を構成し、前記収納容器の搬送先である半導体製造装置に対して、
前記連結軌道車のうちの第１の軌道車を前記収納容器の
回収用として用いると共に、第２の軌道車を前記収納容
器の設置用として用いることを特徴とする搬送装置の制
御方法。