JP2000188319A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JP2000188319A
JP2000188319A JP36512698A JP36512698A JP2000188319A JP 2000188319 A JP2000188319 A JP 2000188319A JP 36512698 A JP36512698 A JP 36512698A JP 36512698 A JP36512698 A JP 36512698A JP 2000188319 A JP2000188319 A JP 2000188319A
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semiconductor manufacturing
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rail cars
cars
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JP36512698A
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English (en)
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Shoichi Kodama
祥一 児玉
Hiromi Yajima
比呂海 矢島
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 軌道車が搬送路上を全周する回数を削減し、
ウェハ搬送能力を向上させた搬送装置を提供する。 【解決手段】 複数の半導体製造装置間に亘って敷設さ
れた環状の搬送路10と、前記半導体製造装置で用いる
部材の収納が可能な収納容器21,22を搭載する機構
を有し前記搬送路を軌道として走行する軌道車11,1
2と、前記軌道車の走行と共に、搬送先である半導体製
造装置に対する前記収納容器の設置及び回収動作を制御
する制御装置とを備えた搬送装置において、複数台の軌
道車を連結可能にする連結機構13を前記各軌道車にそ
れぞれ設け、該連結機構により複数台の軌道車を連結し
て連結軌道車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道
車のうちの所定の軌道車を前記収納容器の回収用とし、
残りの軌道車を前記収納容器の設置用として制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品を製造
する半導体製造工程ラインで利用され、半導体製造装置
間において半導体ウェハ等の搬送を行う搬送装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図12は、従来の搬送装置を用いた半導
体製造工程ラインのレイアウト図である。
【0003】この半導体製造工程ラインは、同図に示す
ように、2列に配置された複数の半導体製造装置(以
下、製造装置と記す)101と、1個の収納容器収容棚
(以下、ストッカと記す)102と、これらの間の上空
天井部に敷設されたトラック状の天井走行搬送路103
とから成る。
【0004】具体的には、半導体製造装置101に具備
された収納容器設置部104が一列になる様に配列され
て、該収納容器設置部104上空を搬送路103が通る
ようになっている。この搬送路103を軌道として複数
台の軌道車105が決まった方向(図中の矢印F参照)
に走行し、収納容器設置部104とストッカ102との
間で、ウェハ収納容器106のやり取りを行う。
【0005】図13は、図12に示した製造装置101
における収納容器設置部104付近の詳細を示す斜視図
である。
【0006】同図に示すように、搬送路103を走行す
る軌道車105を用い、半導体ウェハ110を収納した
ウェハ収納容器106が所定の製造装置101の収納容
器設置部104上空まで搬送される。そして、ウェハ収
納容器106は、吊り下げ降動作により収納容器設置部
104上に設置され、当該製造装置内に取り込まれて必
要な処理が施される。また、製造装置101で処理され
たウェハは、その収納容器設置部104から、吊り下げ
昇動作により軌道車105へ回収される。
【0007】次に、上記半導体製造工程ラインにおける
搬送フローを図14を参照しつつ説明する。すなわち、
従来型の単一軌道車105を用いて、製造装置101の
収納容器設置部104とストッカ102間において、ウ
ェハ収納容器106の回収、搬送、設置の一連の動作を
実施する場合は次のようになる。
【0008】例えば収納容器設置部104からウェハ収
納容器106を回収するときは、目的とする製造装置1
01の収納容器設置部104上へ空の軌道車105を移
動し(ステップS101)、当該収納容器設置部104
から、処理済みのウェハが収納されたウェハ収納容器1
06を軌道車105内に回収する(ステップS10
2)。そして、ウェハ収納容器106を搭載した軌道車
105はストッカ102へ移動し(ステップS10
3)、ウェハ収納容器106をストッカ102内に収納
する(ステップS104)。
【0009】その後、空になった軌道車105は、再
び、搬送路103を1周してストッカ102に再到達し
(ステップS105)、製造装置101にて次に処理さ
れる予定の新たなウェハを収納したウェハ収納容器10
6を回収する(ステップS106)。そして、再度搬送
路103を進んで、処理予定である製造装置101上の
ウェハ収納容器設置部104に当該ウェハ収納容器10
6を設置する(ステップS107,S108)。
【0010】また、この種の半導体製造工程ラインで使
用される搬送装置において、ウェハ搬送能力の向上を図
る技術が提案されている。例えば特開平9−16226
0号公報に開示されるものは、図15に示すように、搬
送路201上の軌道車202を電磁石203a,203
bによって複数台連結可能な構成を採っている。
【0011】すなわち、この提案では、搬送路上におい
て、先行の軌道車が割り当てゾーンから移動するまで後
続の軌道車は進行することができないため、軌道車が縦
列渋滞状態となり、搬送待ち時間が増大する、といった
点を解決する。そのために、制御装置により軌道車20
2の実車状態(ウェハ収納容器204内にウェハが存在
する状態)を監視し、実車率が低下したときには、個別
の軌道車を複数台互いに連結して1台の連結軌道車とし
て搬送を制御する。これによって、搬送ロットの数が低
下して空き軌道車が増加し、ウェハを搬送している実車
軌道車に先行する空き軌道車が存在した場合であって
も、後続の実車軌道車の待機時間を少なくしている。ま
た、実車率が高くなってきたときは連結軌道車を分離し
て複数台の個別軌道車として搬送を制御し、空き軌道車
の減少により発生する搬送ロットの待ち時間を削減する
ようにしている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の搬送装置では、次のような問題点があった。
【0013】(1)上記図12乃至図14で説明した搬
送装置では、半導体製造工程を実行する度、軌道車10
5がその工程の天井走行搬送路103を2回以上全周す
る必要がある。すなわち、図14に示した搬送フローで
は、ステップS105の動作で軌道車を全周させ、ステ
ップS107からステップS108、ステップS10
1、ステップS102を経てステップS103に至る動
作でも全周させている。このように、搬送路103上を
軌道車105が余分に全周することは搬送時間の増大と
なり、ウェハ搬送能力を十分に得ることができない、と
いう問題があった。
【0014】また、最近では搬送効率向上の観点から、
同時に2つ以上のウェハ収納容器を搬送し設置または回
収するバッチ搬送方式が注目されているが、上記搬送装
置ではこのバッチ搬送方式に対応することができない。
【0015】(2)上記図15で説明した搬送装置で
は、実車率が高くなってきたときは連結軌道車を分離し
て複数台の個別軌道車として搬送を制御するが、これで
は、前記(1)で指摘した「軌道車が余分に全周する」
といった問題点を孕むと共に、前記バッチ搬送方式にも
対応することができない。
【0016】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、軌道車が搬送
路上を全周する回数を削減して、ウェハ搬送能力を向上
させた搬送装置を提供することである。またその他の目
的は、バッチ搬送方式に対応可能な搬送装置を提供する
ことである。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の発明である搬送装置の特徴は、複数の半導体
製造装置間に亘って敷設された環状の搬送路と、前記半
導体製造装置で用いる部材の収納が可能な収納容器を搭
載する機構を有し前記搬送路を軌道として走行する軌道
車と、前記軌道車の走行と共に、搬送先である半導体製
造装置に対する前記収納容器の設置及び回収動作を制御
する制御装置とを備えた搬送装置において、複数台の軌
道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車にそれぞ
れ設け、該連結機構により複数台の軌道車を連結して連
結軌道車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車の
うちの所定の軌道車を前記収納容器の回収用とし、残り
の軌道車を前記収納容器の設置用として制御することに
ある。
【0018】第2の発明である搬送装置の特徴は、複数
の半導体製造装置間に亘って敷設された環状の搬送路
と、前記半導体製造装置で用いる部材の収納が可能な収
納容器を搭載する機構を有し前記搬送路を軌道として走
行する軌道車と、前記軌道車の走行と共に、搬送先であ
る半導体製造装置に対する前記収納容器の設置及び回収
動作を制御する制御装置とを備えた搬送装置において、
複数台の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道
車にそれぞれ設け、複数台の軌道車を連結して連結軌道
車を構成し、前記制御装置は、前記連結軌道車から前記
半導体製造装置へ同時に2個以上の収納容器を設置する
と共に、前記半導体製造装置から連結軌道車へ同時に2
個以上の収納容器を回収するように制御することを特徴
とする。
【0019】第3の発明である搬送装置の特徴は、請求
項2記載の搬送装置において、前記連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結距離を可変にする機構を設けたこと
を特徴とする。
【0020】第4の発明である搬送装置の特徴は、請求
項1乃至請求項3記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間を信号的に接続し、前記制御
装置は、少なくとも1台の軌道車への指示により残りの
軌道車の制御も併せて行うことを特徴とする。
【0021】第5の発明である搬送装置の特徴は、請求
項1乃至請求項4記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間の連結機構は、連結角度が可
変となる機構を有することを特徴とする。
【0022】第6の発明である搬送装置の特徴は、請求
項1乃至請求項5記載の搬送装置において、前記連結軌
道車を構成する各軌道車間の連結機構は、前記搬送路上
にて軌道車の連結及び分離を行える構成したことを特徴
とする。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わる搬送装置の
実施形態について説明する。
【0024】(第1実施形態)図1は、本発明の第1実
施形態に係る搬送装置の外観を示す斜視図であり、図2
は、本実施形態の搬送装置を用いた半導体製造工程ライ
ンのレイアウト図である。
【0025】図2に示す本実施形態の半導体製造工程ラ
インは、前述の図12で示したものと同様のレイアウト
構成から成る。この半導体製造工程ラインにおいて、本
実施形態の搬送装置は、ウェハまたはウェハ処理に付随
する治具を収納容器に収めて天井走行搬送路10上の軌
道車により運搬して、この軌道車により搬送先の製造装
置31の収納容器設置部32a,32bに前記収納容器
を吊り下げ上下昇降動作により設置しあるいは収納容器
設置部から回収するものであり、天井搬送路10を走行
する前記軌道車として、連結機構13により連結された
2台の軌道車11,12を備えている。
【0026】この第1及び第2の軌道車11,12は、
それぞれウェハ(またはウェハ処理に付随する治具)2
1a,22aを収めるための収納容器21,22を運搬
することが可能であり、外部の制御装置の制御で吊り下
げ上下昇降動作が可能に構成されている。具体的には、
図3に示すように、連結された第1と第2の軌道車1
1,12間では信号P1のやり取りが行われ、連結され
た軌道車11,12の内の1台、例えば軌道車11にホ
ストコンピュータなどの制御装置40から制御信号P2
を送り、この制御信号P2に基づいて、軌道車11と共
に、他の連結された軌道車12の吊り下げ上下昇降動作
等も制御するようになっている。なお、この図3に示す
ような制御方法ではなく、制御装置40により、それぞ
れ軌道車11,12に対して個別に制御するようにして
もよい。
【0027】かかる構成により、収納容器の回収及び設
置に対し図4(a),(b)に示すような一連の作業が
実施できる。図4(a)に示す場面では、容器を搭載し
ていない空軌道車11と、これから製造装置31にて処
理を行おうとするウェハ(または治具)、つまり未処理
ウェハ22aが収納された容器22を搭載した軌道車1
2とが連結されている。この連結軌道車が搬送先へ向け
て搬送路10上を一定の方向Fで走行し、まず、先頭の
空軌道車11が、搬送先の製造装置31の収納容器設置
部32上に到達して、既に製造装置31により処理を完
了したウェハ(または治具)、つまり処理済みウェハ2
1aを収納した容器21を吊り下げ昇動作UPにより回
収する。
【0028】続く図4(b)の場面では、軌道車12か
ら吊り下げ降動作DNにより、前記の回収動作によって
空になった収納容器設置部32上に、未処理ウェハが入
った収納容器22aを設置する。
【0029】次に、上記半導体製造工程ラインにおける
本実施形態の搬送フローを図5を参照しつつ説明する。
すなわち、本発明型の連結軌道車を用いて、製造装置3
1の収納容器設置部32a,32bとストッカ30間に
おいて、ウェハ収納容器の搬送に関わる一連の動作を実
施する場合は次のようになる。
【0030】ステップS11及びステップS12の時点
では、第1の軌道車11は回収してきた収納容器21を
ストッカ30へ収納し、同時に空の第2の軌道車12は
ストッカ30から収納容器22を回収する。
【0031】そして、空になった第1の軌道車11と、
収納容器22を搭載した第2の軌道車12とは、連結状
態で搬送先である製造装置31ヘ移動する(ステップS
13)。
【0032】当該連結軌道車の先頭にある第1の軌道車
11が搬送先である製造装置31の収納容器設置部32
a上に到達し停止すると、図4(a)に示すような場面
になり、処理済みウェハ(または治具)21aが収納さ
れた容器21を吊り下げ昇動作UPにより回収する(ス
テップS14)。この回収動作に続いて図4(b)の場
面になり、未処理ウェハ(または治具)22aが収納さ
れた収納容器22を搭載した第2の軌道車12から吊り
下げ降動作DNにより、前記回収動作によって空になっ
た収納容器設置部32aに当該収納容器22aを設置す
る(ステップS15)。
【0033】前記ステップS14及びステップS15の
処理後の連結軌道車は、第1の軌道車11が処理済みウ
ェハを搭載し、第2の軌道車12が空となって、ストッ
カ30へ移動する(ステップS16)。そして、再び前
記ステップS11及びステップS12以降の処理が繰り
返し行われる。
【0034】このように、本実施形態において、製造装
置31の収納容器設置部への収納容器の置き換え作業の
流れは、図5の搬送フローで説明したように、常に連結
された第1と第2の軌道車11,12が収納容器を搬送
することになり、従来のように単一軌道車を用いる場合
に比べて、軌道車が搬送路上を全周する回数が削減さ
れ、搬送能力を向上させることができる。
【0035】また、連結された第1と第2の軌道車1
1,12間を信号的に接続して、第1の軌道車11への
指示により連結された第2の軌道車12の制御も併せて
行うようにしたので、図5で示した一連の動作を簡潔な
制御指示により実施することができる。これにより、連
結された軌道車を個別に制御する場合に比べて、制御ソ
フトを簡略化することができ、外部に持つ記憶容量を軽
減する事が可能になる。
【0036】(第2実施形態)上記の第1実施形態の搬
送制御では、連結された2台の軌道車の内の1台を収納
容器の回収用とし、他の1台を収納容器の設置用とする
制御方法であった。これに対して、本実施形態では、連
結された2台の軌道車を用いて、1つの製造装置上の2
箇所の収納容器設置部に対して、同時に2個の収納容器
を回収または設置するバッチ搬送方式に対応した制御方
法を可能とする搬送装置の構造を説明する。
【0037】図6は、本発明の第2実施形態に係る搬送
装置の構造を示す斜視図である。
【0038】この搬送装置は、上記図1に示した構造に
おいて、2台の軌道車11,12の連結機構13が、伸
縮構造M0を有する伸縮型連結機構13Aに置き代わ
り、さらに第1及び第2の軌道車11,12が個々に停
止位置調整機構M11,M12を持つような構造にして
いる。これによって、第1と第2の軌道車11,12間
の距離が調整可能となり、製造装置31の2つの収納容
器設置部32a,32bの間隔Nに連結機構13Aの長
さを対応させることができる。
【0039】通常、1台の製造装置31に設けられた2
つの収納容器設置部32a,32bの間隔Nは、個々の
製造装置31の種別が異なる等の理由で相違している。
本実施形態では、この点を考慮して、上記図6に示す構
造としたので、第1と第2の軌道車11,12の停止位
置を、収納容器設置部32a,32bに対向した位置に
前もって一致させておくことが容易となり、同時に2個
の収納容器を回収または設置するバッチ搬送方式の実現
を可能とする。
【0040】図7は、このバッチ搬送方式の様子を示す
図である。第1及び第2の軌道車11,12の停止位置
調整機構M11,M12により、軌道車11,12の停
止位置が、それぞれ収納容器設置部32a,33bに対
向する位置にくるように前もって位置調整が行われる。
そして、第1及び第2の軌道車11,12は同時に収納
容器21,22を搬送し、吊り下げ昇降動作UDによっ
て収納容器21,22の設置または回収が同時に行われ
る。
【0041】このように本実施形態では、バッチ搬送方
式を可能にする構造であるので、第1及び第2の軌道車
11,12は同時に収納容器21,22を搬送すること
ができ、さらにストッカ30内での収納容器の回収/設
置など2つの動作を同時に実施することができるため、
搬送能力を一層向上させることが可能となる。
【0042】(第3実施形態)図8は、本発明の第3実
施形態に係る搬送装置の構造を示す斜視図である。
【0043】本実施形態の搬送装置は、上記図1に示し
た構造において、2台の軌道車11,12の連結機構1
3を、その連結角度が自在に変更可能な連結機構13B
に置き代えたものである。すなわち、連結機構13B
は、軌道車11側の連結部13aと軌道車12側の連結
部13bにそれぞれ対応した2つの連結部軸心q1,q
2の接続角度Qが自在に変わる連結構造を持つ。
【0044】天井搬送路10は、往路から復路への折り
返し部分に図2に示すような円形軌道路10aを有し、
この円形軌道路10aによりストッカ30への復路を確
保している。接続角度Qが自在でない場合には、前記円
形軌道路10aの曲率Cを図9に示すC’のように大き
くする必要があり、その結果、搬送路10が図9の1
0’に示すように外側に膨らみ、半導体製造工程ライン
内の搬送部分占有幅W(図2)が大きくなる。
【0045】そこで、本実施形態では、上述したよう
に、連結部軸心q1,q2の接続角度Qが自在に変わる
ように連結機構13Bを構成したので、円形軌道路10
aの曲率Cを小さくすることができ、その結果、半導体
製造工程ライン内の搬送部分専有幅Wが小さくなり、搬
送路占有面積を削減することが可能になる。
【0046】(第4の実施形態)図10は、本発明の第
4実施形態に係る搬送装置の構造を示す斜視図である。
本実施形態の搬送装置は、上記図1に示した構造におい
て、第1と第2の軌道車10,11の連結部13を、制
御信号P3により搬送路10上で着脱可能な構造の連結
機構13Cに置き換えたものである。
【0047】この構造により、第1と第2の軌道車1
0,11は搬送路10を走行中に連結の解除、再連結が
可能となる。例えば、図11に示すように、搬送路10
上の分岐路10Aを設置することにより、第1と第2の
軌道車11,12からなる連結軌道車の組み替えが、既
存の軌道車11,12の組み合わせから新規の軌道車1
1A,12の組み合わせへと変更することができる。
【0048】このように本実施形態では、緊急の処理を
要するウェハ(または治具)が存在するようなときに、
収納容器の製造装置31への設置あるいは回収の優先度
を変更することが可能になり、半導体製造工程の特徴に
合わせた搬送装置の制御が可能となる。
【0049】なお、上記第1乃至第4の実施形態では、
軌道車を2台連結した連結軌道車を例にして説明した
が、連結軌道車は、軌道車を2台以上連結したものであ
ってもよい。
【0050】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
である搬送装置によれば、連結機構により複数台の軌道
車を連結して連結軌道車を構成し、その連結軌道車のう
ちの所定の軌道車を収納容器の回収用とし、残りの軌道
車を収納容器の設置用として制御するので、複数の収納
容器の搬送が可能となり、半導体製造装置に対する収納
容器の回収と設置動作を一連の作業として行うことがで
きる。これにより、軌道車が搬送路上を全周する回数が
削減され、搬送能力の向上が可能になる。
【0051】第2の発明である搬送装置によれば、連結
軌道車から半導体製造装置へ同時に2個以上の収納容器
を設置すると共に、半導体製造装置から連結軌道車へ同
時に2個以上の収納容器を回収するように制御するの
で、複数の収納容器の搬送が可能となり、半導体製造装
置に対する収納容器の回収と設置動作を一括の作業とし
て行うことができる。これにより、バッチ搬送方式に対
応することが可能になり、搬送能力が大幅に向上する。
【0052】第3の発明である搬送装置によれば、上記
第2の発明において、連結軌道車を構成する各軌道車間
の連結距離を可変にする機構を設けたので、軌道車間の
連結距離を半導体製造装置の収納容器設置間隔に対応さ
せることが容易にでき、前記バッチ搬送方式を確実に実
施することが可能になる。
【0053】第4の発明である搬送装置によれば、上記
第1乃至第3の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間を信号的に接続し、前記制御装置は、少な
くとも1台の軌道車への指示により残りの軌道車の制御
も併せて行うようにしたので、連結軌道車に対するの一
連の動作指示を1台の軌道車として行うことが可能にな
り、制御装置からの指示を簡略化することが可能にな
る。
【0054】第5の発明である搬送装置によれば、上記
第1乃至第3の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結機構は、連結角度が可変となる機構
を有するようにしたので、搬送路の円形軌道部分の曲率
を小さくすることができるため、半導体製造工程ライン
内の搬送路占有面積を削減することが可能になる。
【0055】第6の発明である搬送装置によれば、上記
第1乃至第5の搬送装置において、連結軌道車を構成す
る各軌道車間の連結機構は、搬送路上にて軌道車の連結
及び分離を行える構成したので、2台以上の軌道車の分
離、再接続により、半導体製造装置に対する収納容器の
回収及び設置方法の変更が可能となり、半導体製造装置
の特徴に合わせた制御が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る搬送装置の外観を
示す斜視図である。
【図2】第1実施形態の搬送装置を用いた半導体製造工
程ラインのレイアウト図である。
【図3】第1実施形態の搬送装置の制御形態を示す模式
図である。
【図4】第1実施形態の搬送装置の回収及び設置動作を
示す模式図である。
【図5】第1実施形態の搬送フローを示すフローチャー
トである。
【図6】本発明の第2実施形態に係る搬送装置の構造を
示す斜視図である。
【図7】第2実施形態に係る搬送装置のバッチ搬送方式
の様子を示す図である。
【図8】本発明の第3実施形態に係る搬送装置の構造を
示す斜視図である。
【図9】第3実施形態の効果を示す図である。
【図10】本発明の第4実施形態に係る搬送装置の構造
を示す斜視図である。
【図11】第4実施形態に係る連結軌道車の組み替え動
作を示す図である。
【図12】従来の搬送装置を用いた半導体製造工程ライ
ンのレイアウト図である。
【図13】図12に示した製造装置におけるウェハ収納
容器設置部付近の詳細を示す斜視図である。
【図14】従来の搬送フローを示すフローチャートであ
る。
【図15】従来の他の搬送装置の外観を示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
10 天井走行搬送路 11,12 第1と第2の軌道車 13 連結機構 21,22 収納容器 21a,22a ウェハ(またはウェハ処理に付随する
治具) 31 製造装置 32a,32b 収納容器設置部 40 制御装置

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の半導体製造装置間に亘って設けら
    れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
    の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
    路を軌道として走行する軌道車と、前記軌道車の走行と
    共に、搬送先である半導体製造装置に対する前記収納容
    器の設置及び回収動作を制御する制御装置とを備えた搬
    送装置において、 複数の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車
    にそれぞれ設け、該連結機構により複数の軌道車を連結
    して連結軌道車を構成し、 前記制御装置は、前記連結軌道車のうちの第1の軌道車
    を前記収納容器の回収用とし、第2の軌道車を前記収納
    容器の設置用として制御することを特徴とする搬送装
    置。
  2. 【請求項2】 複数の半導体製造装置間に亘って設けら
    れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
    の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
    路を軌道として走行する軌道車と、前記軌道車の走行と
    共に、搬送先である半導体製造装置に対する前記収納容
    器の設置及び回収動作を制御する制御装置とを備えた搬
    送装置において、 複数の軌道車を連結可能にする連結機構を前記各軌道車
    にそれぞれ設け、複数台軌道車を連結して連結軌道車を
    構成し、 前記制御装置は、前記連結軌道車から前記半導体製造装
    置へ同時に2個以上の収納容器を設置すると共に、前記
    半導体製造装置から連結軌道車へ同時に2個以上の収納
    容器を回収するように制御することを特徴とする搬送装
    置。
  3. 【請求項3】 前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
    連結距離を可変にする機構を設けたことを特徴とする請
    求項2記載の搬送装置。
  4. 【請求項4】 前記連結軌道車を構成する各軌道車間を
    信号的に接続し、 前記制御装置は、少なくとも1台の軌道車への指示によ
    り残りの軌道車の制御も併せて行うことを特徴とする請
    求項1乃至請求項3記載の搬送装置。
  5. 【請求項5】 前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
    連結機構は、連結角度が可変となる機構を有することを
    特徴とする請求項1乃至請求項4記載の搬送装置。
  6. 【請求項6】 前記連結軌道車を構成する各軌道車間の
    連結機構は、前記搬送路上にて軌道車の連結及び分離を
    行える構成にしたことを特徴とする請求項1乃至請求項
    5記載の搬送装置。
  7. 【請求項7】 複数の半導体製造装置間に亘って設けら
    れた環状の搬送路と、前記半導体製造装置で用いる部材
    の収納が可能な収納容器を搭載する機構を有し前記搬送
    路を軌道として走行する軌道車とを備えた搬送装置に対
    し、 複数の軌道車を連結可能にする連結機構を予め前記各軌
    道車にそれぞれ設けておき、 前記連結機構により複数の軌道車を連結して連結軌道車
    を構成し、 前記収納容器の搬送先である半導体製造装置に対して、
    前記連結軌道車のうちの第1の軌道車を前記収納容器の
    回収用として用いると共に、第2の軌道車を前記収納容
    器の設置用として用いることを特徴とする搬送装置の制
    御方法。
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