JP2000180372A - ガラス基板の欠陥検出法 - Google Patents
ガラス基板の欠陥検出法Info
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- JP2000180372A JP2000180372A JP10354362A JP35436298A JP2000180372A JP 2000180372 A JP2000180372 A JP 2000180372A JP 10354362 A JP10354362 A JP 10354362A JP 35436298 A JP35436298 A JP 35436298A JP 2000180372 A JP2000180372 A JP 2000180372A
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- defect
- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板に生じた小さな凹状欠陥を確実に
検出する。 【解決手段】 透明なガラス基板１の表面に対して斜め
に光Ｌを入射させた状態でガラス基板１を相対回転さ
せ、ガラス基板１表面に略正対した方向から見た際の基
板面上の輝部がガラス基板１の相対回転に伴って消失す
ることにより、上記輝部の位置に対応するガラス基板１
の裏面に凹状欠陥があることを検出する。
検出する。 【解決手段】 透明なガラス基板１の表面に対して斜め
に光Ｌを入射させた状態でガラス基板１を相対回転さ
せ、ガラス基板１表面に略正対した方向から見た際の基
板面上の輝部がガラス基板１の相対回転に伴って消失す
ることにより、上記輝部の位置に対応するガラス基板１
の裏面に凹状欠陥があることを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板の欠陥検
出法に関し、特に、光反射でガラス基板上の凹凸欠陥を
検出する欠陥検出法に関する。
出法に関し、特に、光反射でガラス基板上の凹凸欠陥を
検出する欠陥検出法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の
情報記録媒体用基板として従来のアルミ基板に代えて、
平滑性と耐久性に優れたガラス基板が注目されている。
このガラス基板は原基板にコアリング、チャンファリン
グ、ラッピング、ポリッシング等の機械加工を行なって
完成されるが、これら機械加工工程で凹凸の欠陥を生じ
ることがある。凹状欠陥は例えばラッピング工程等にお
ける引掻き傷であり、一方、凸状欠陥は例えば微小砥粒
の付着である。
情報記録媒体用基板として従来のアルミ基板に代えて、
平滑性と耐久性に優れたガラス基板が注目されている。
このガラス基板は原基板にコアリング、チャンファリン
グ、ラッピング、ポリッシング等の機械加工を行なって
完成されるが、これら機械加工工程で凹凸の欠陥を生じ
ることがある。凹状欠陥は例えばラッピング工程等にお
ける引掻き傷であり、一方、凸状欠陥は例えば微小砥粒
の付着である。
【０００３】凹状欠陥と凸状欠陥ではその後の処理が異
なるため、完成品検査ではこれらの欠陥を判別して検出
する必要があり、従来の検査法の一例を以下に説明す
る。図５において、透明な円環状のガラス基板１は図略
の回転ステージに載置されて矢印方向へ回転可能であ
り、ガラス基板１の板面に略正対する上方（紙面手前
側）にはＣＣＤカメラが設けられて図の細線で示す矩形
領域Ｄの画像がモニタ上に得られるようになっている。
これにより、ガラス基板１を適宜回転させることによっ
て、基板表面全体を検査することができる。上記矩形領
域Ｄには照明装置によって基板表面に対して所定角度を
なす斜め光Ｌ１が入射されるとともに、他の照明装置に
よって水平光Ｌ２が入射されている。
なるため、完成品検査ではこれらの欠陥を判別して検出
する必要があり、従来の検査法の一例を以下に説明す
る。図５において、透明な円環状のガラス基板１は図略
の回転ステージに載置されて矢印方向へ回転可能であ
り、ガラス基板１の板面に略正対する上方（紙面手前
側）にはＣＣＤカメラが設けられて図の細線で示す矩形
領域Ｄの画像がモニタ上に得られるようになっている。
これにより、ガラス基板１を適宜回転させることによっ
て、基板表面全体を検査することができる。上記矩形領
域Ｄには照明装置によって基板表面に対して所定角度を
なす斜め光Ｌ１が入射されるとともに、他の照明装置に
よって水平光Ｌ２が入射されている。
【０００４】この際、図６に示すように、凹状欠陥１１
では斜め光Ｌ１のみが散乱されてＣＣＤカメラへ向かう
反射光Ｌ１´を生じる一方、凸状欠陥１２では斜め光Ｌ
１および水平光Ｌ２のいずれもが散乱されてＣＣＤカメ
ラへ向かう反射光Ｌ１´，Ｌ２´が生じる。そこで、こ
の時のモニタ画像では図７に示すように、凸状欠陥１２
と凹状欠陥１１のいずれもが輝部Ｂ１，Ｂ２として視認
される。この状態で斜め光Ｌ１を消して水平光Ｌ２のみ
にすると、ＣＣＤカメラへ向かう反射光は凸状欠陥１２
からの反射光Ｌ２´だけとなり（図６）、凹状欠陥１１
による輝部Ｂ２は図８に示すようにモニタ画像中から消
える。そこで、斜め光Ｌ１および水平光Ｌ２を照射した
際の画像と、水平光Ｌ２だけを照射した際の画像とを比
較することによって、凸状欠陥１２と凹状欠陥１１を判
別することができる。なお、斜め光のみで全ての欠陥を
検出することができるが、水平光を同時に照射するの
は、斜め光を消してから水平光を点灯すると一時的に全
ての欠陥がモニタ画像から消えてしまうため、目視によ
る欠陥の凹凸判別が困難になるからである。
では斜め光Ｌ１のみが散乱されてＣＣＤカメラへ向かう
反射光Ｌ１´を生じる一方、凸状欠陥１２では斜め光Ｌ
１および水平光Ｌ２のいずれもが散乱されてＣＣＤカメ
ラへ向かう反射光Ｌ１´，Ｌ２´が生じる。そこで、こ
の時のモニタ画像では図７に示すように、凸状欠陥１２
と凹状欠陥１１のいずれもが輝部Ｂ１，Ｂ２として視認
される。この状態で斜め光Ｌ１を消して水平光Ｌ２のみ
にすると、ＣＣＤカメラへ向かう反射光は凸状欠陥１２
からの反射光Ｌ２´だけとなり（図６）、凹状欠陥１１
による輝部Ｂ２は図８に示すようにモニタ画像中から消
える。そこで、斜め光Ｌ１および水平光Ｌ２を照射した
際の画像と、水平光Ｌ２だけを照射した際の画像とを比
較することによって、凸状欠陥１２と凹状欠陥１１を判
別することができる。なお、斜め光のみで全ての欠陥を
検出することができるが、水平光を同時に照射するの
は、斜め光を消してから水平光を点灯すると一時的に全
ての欠陥がモニタ画像から消えてしまうため、目視によ
る欠陥の凹凸判別が困難になるからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法では、欠陥が小さいと、水平光Ｌ２のみを照射した際
に、凹状欠陥１１による輝部のみならず図９に示すよう
に凸状欠陥１２による輝部Ｂ１も消失してしまい、凸状
欠陥１２と凹状欠陥１１の判別が不可能になるという問
題があった。
法では、欠陥が小さいと、水平光Ｌ２のみを照射した際
に、凹状欠陥１１による輝部のみならず図９に示すよう
に凸状欠陥１２による輝部Ｂ１も消失してしまい、凸状
欠陥１２と凹状欠陥１１の判別が不可能になるという問
題があった。
【０００６】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るもので、ガラス基板に生じた小さな凹状欠陥を確実に
検出して欠陥の凹凸の判別を可能にしたガラス基板の欠
陥検出法を提供することを目的とする。
るもので、ガラス基板に生じた小さな凹状欠陥を確実に
検出して欠陥の凹凸の判別を可能にしたガラス基板の欠
陥検出法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、透明なガラス基板（１）の表面に対し
て斜めに光（Ｌ）を入射させた状態でガラス基板（１）
を相対回転させ、ガラス基板（１）表面に略正対した方
向から見た際の基板面上の輝部（Ｂ）がガラス基板
（１）の相対回転に伴って消失し、ないし基板面に輝部
（Ｂ）が現出することにより、輝部（Ｂ）の位置に対応
するガラス基板（１）の裏面に凹状欠陥（１１）がある
ことを検出する。ここで、ガラス基板（１）の表面に対
する光（Ｌ）の入射角（θ）を４５°〜７０°の範囲に
設定すると良い。
め、本発明では、透明なガラス基板（１）の表面に対し
て斜めに光（Ｌ）を入射させた状態でガラス基板（１）
を相対回転させ、ガラス基板（１）表面に略正対した方
向から見た際の基板面上の輝部（Ｂ）がガラス基板
（１）の相対回転に伴って消失し、ないし基板面に輝部
（Ｂ）が現出することにより、輝部（Ｂ）の位置に対応
するガラス基板（１）の裏面に凹状欠陥（１１）がある
ことを検出する。ここで、ガラス基板（１）の表面に対
する光（Ｌ）の入射角（θ）を４５°〜７０°の範囲に
設定すると良い。
【０００８】本発明を実施するのに先だち、ガラス基板
の表面の全ての欠陥を斜め光を使用する既述の従来法で
検出した後、ガラス基板を裏返して本発明を実施する。
すなわち、裏返した後のガラス基板表面に斜めの光を入
射させてガラス基板を相対回転させ、基板面上に生じて
いる輝部がガラス基板の相対回転に伴って消失し、ある
いは基板面に輝部が現出した場合には、当該輝部の位置
に対応するガラス基板の裏面（すなわち裏返す前の表
面）にある欠陥は凹状欠陥であるということになる。し
たがって、残る欠陥は凸状欠陥ということになり、両者
が確実に判別される。本発明の方法によれば、ガラス基
板裏面の十分小さな凹状欠陥も確実に検出することがで
きるから、予め検出された全ての欠陥から凹状欠陥を除
けば残りが凸状欠陥ということになり、小さな欠陥の凹
凸判別が可能となる。
の表面の全ての欠陥を斜め光を使用する既述の従来法で
検出した後、ガラス基板を裏返して本発明を実施する。
すなわち、裏返した後のガラス基板表面に斜めの光を入
射させてガラス基板を相対回転させ、基板面上に生じて
いる輝部がガラス基板の相対回転に伴って消失し、ある
いは基板面に輝部が現出した場合には、当該輝部の位置
に対応するガラス基板の裏面（すなわち裏返す前の表
面）にある欠陥は凹状欠陥であるということになる。し
たがって、残る欠陥は凸状欠陥ということになり、両者
が確実に判別される。本発明の方法によれば、ガラス基
板裏面の十分小さな凹状欠陥も確実に検出することがで
きるから、予め検出された全ての欠陥から凹状欠陥を除
けば残りが凸状欠陥ということになり、小さな欠陥の凹
凸判別が可能となる。
【０００９】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１において、円環状の透明なガ
ラス基板１は図略の回転ステージに載置されて矢印方向
へ回転可能である。ガラス基板１の板面に略正対する上
方（紙面手前側）にはＣＣＤカメラが設けられて図の細
線で示す矩形領域Ｄの画像がモニタ上に得られるように
なっており、ガラス基板１を適宜回転させることによっ
て、基板表面全体を検査することができる。上記矩形領
域Ｄには照明装置によって基板表面に対して所定角度を
なす斜め光Ｌが入射されている。
ラス基板１は図略の回転ステージに載置されて矢印方向
へ回転可能である。ガラス基板１の板面に略正対する上
方（紙面手前側）にはＣＣＤカメラが設けられて図の細
線で示す矩形領域Ｄの画像がモニタ上に得られるように
なっており、ガラス基板１を適宜回転させることによっ
て、基板表面全体を検査することができる。上記矩形領
域Ｄには照明装置によって基板表面に対して所定角度を
なす斜め光Ｌが入射されている。
【００１１】図２は上記矩形領域Ｄ内のガラス基板１の
部分断面を示し、従来例を示す図６に対応するものであ
る。本実施形態では、矩形領域Ｄ内の、ガラス基板１の
表面に対して所定角度θの斜め光Ｌが照射されており、
この時の光の入射角θは４５°〜７０°の範囲内とする
のが良い。
部分断面を示し、従来例を示す図６に対応するものであ
る。本実施形態では、矩形領域Ｄ内の、ガラス基板１の
表面に対して所定角度θの斜め光Ｌが照射されており、
この時の光の入射角θは４５°〜７０°の範囲内とする
のが良い。
【００１２】この場合、ガラス基板１の裏面（図２の下
面）に図に示すような凹状欠陥１１があると、入射光Ｌ
はこれのガラス−空気境界面たる側面で反射されてＣＣ
Ｄカメラへ向かう反射光Ｌ´を生じる。このため、図３
に示すように、モニタ画面にはガラス基板１裏面の凹状
欠陥１１が輝部Ｂとして視認される。ところで、この輝
部Ｂはガラス基板１を適当に回転させると図４に示すよ
うに消失する。その理由は、ガラス基板１の回転に伴っ
て反射光の方向が変化してＣＣＤカメラの方向へ向かわ
なくなるためである。
面）に図に示すような凹状欠陥１１があると、入射光Ｌ
はこれのガラス−空気境界面たる側面で反射されてＣＣ
Ｄカメラへ向かう反射光Ｌ´を生じる。このため、図３
に示すように、モニタ画面にはガラス基板１裏面の凹状
欠陥１１が輝部Ｂとして視認される。ところで、この輝
部Ｂはガラス基板１を適当に回転させると図４に示すよ
うに消失する。その理由は、ガラス基板１の回転に伴っ
て反射光の方向が変化してＣＣＤカメラの方向へ向かわ
なくなるためである。
【００１３】そこで、従来の斜め光を使用する方法によ
ってガラス基板１の表面側の欠陥を全て検出した後に、
ガラス基板１を裏返して本実施形態の方法によって斜め
光Ｌを照射しつつガラス基板１を回転させ、回転途中で
輝部Ｂが消えたものについてこれに対応する裏面（すな
わち先に全ての欠陥を検出した反転前の表面）にある欠
陥を凹状欠陥と判定する。これにより、凹状欠陥と残る
凸状欠陥とを確実に判別して検出することができる。
ってガラス基板１の表面側の欠陥を全て検出した後に、
ガラス基板１を裏返して本実施形態の方法によって斜め
光Ｌを照射しつつガラス基板１を回転させ、回転途中で
輝部Ｂが消えたものについてこれに対応する裏面（すな
わち先に全ての欠陥を検出した反転前の表面）にある欠
陥を凹状欠陥と判定する。これにより、凹状欠陥と残る
凸状欠陥とを確実に判別して検出することができる。
【００１４】本実施形態の方法によれば十分に小さな凹
状欠陥まで確実に検出できるから、斜め光によって予め
検出された欠陥から本実施形態の方法で検出された凹状
欠陥を除くことによって十分小さな凸状欠陥との判別が
可能となる。
状欠陥まで確実に検出できるから、斜め光によって予め
検出された欠陥から本実施形態の方法で検出された凹状
欠陥を除くことによって十分小さな凸状欠陥との判別が
可能となる。
【００１５】上記実施形態においては、輝部が消失した
ことによって凹状欠陥を検出したが、輝部が新たに現出
したことによって凹状欠陥を検出するようにしても良
い。また、ガラス基板を回転させたが、照明装置を回転
させる構成としても良い。
ことによって凹状欠陥を検出したが、輝部が新たに現出
したことによって凹状欠陥を検出するようにしても良
い。また、ガラス基板を回転させたが、照明装置を回転
させる構成としても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明のガラス基板の欠
陥検出法によれば、従来法では判別できなかった小さな
欠陥についても凹状ないし凸状の判別を確実に行なうこ
とができる。
陥検出法によれば、従来法では判別できなかった小さな
欠陥についても凹状ないし凸状の判別を確実に行なうこ
とができる。
【図１】本発明の一実施形態における、ガラス基板の概
略平面図である。
略平面図である。
【図２】ガラス基板の部分断面図である。
【図３】ＣＣＤカメラで得られる画像の正面図である。
【図４】ＣＣＤカメラで得られる画像の正面図である。
【図５】従来例における、ガラス基板の概略平面図であ
る。
る。
【図６】ガラス基板の部分断面図である。
【図７】ＣＣＤカメラで得られる画像の正面図である。
【図８】ＣＣＤカメラで得られる画像の正面図である。
【図９】ＣＣＤカメラで得られる画像の正面図である。
１…ガラス基板、１１…凹状欠陥、Ｂ…輝部、Ｌ…斜め
光、θ…傾斜角。
光、θ…傾斜角。
Claims (2)
- 【請求項１】 透明なガラス基板の表面に対して斜めに
光を入射させた状態で前記ガラス基板を相対回転させ、
前記ガラス基板の表面に略正対した方向から見た際の基
板面上の輝部が前記ガラス基板の相対回転に伴って消失
し、ないし基板面に輝部が新たに現出することにより、
前記輝部の位置に対応するガラス基板の裏面に凹状欠陥
があることを検出することを特徴とするガラス基板の欠
陥検出法。 - 【請求項２】 前記ガラス基板の表面に対する前記光の
入射角を４５°〜７０°の範囲に設定した請求項１に記
載のガラス基板の欠陥検出法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354362A JP2000180372A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | ガラス基板の欠陥検出法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354362A JP2000180372A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | ガラス基板の欠陥検出法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000180372A true JP2000180372A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18437052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10354362A Pending JP2000180372A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | ガラス基板の欠陥検出法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000180372A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076138A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | 基板の検査装置及び検査方法 |
| CN116678895A (zh) * | 2023-06-13 | 2023-09-01 | 深圳市圆周检测技术有限公司 | 一种屏幕划痕检测方法、系统及存储介质 |
-
1998
- 1998-12-14 JP JP10354362A patent/JP2000180372A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076138A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | 基板の検査装置及び検査方法 |
| CN116678895A (zh) * | 2023-06-13 | 2023-09-01 | 深圳市圆周检测技术有限公司 | 一种屏幕划痕检测方法、系统及存储介质 |
| CN116678895B (zh) * | 2023-06-13 | 2024-03-08 | 深圳市圆周检测技术有限公司 | 一种屏幕划痕检测方法、系统及存储介质 |
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