JP2000176792A - 直線移動装置およびxy移動装置 - Google Patents

直線移動装置およびxy移動装置

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JP2000176792A
JP2000176792A JP36093498A JP36093498A JP2000176792A JP 2000176792 A JP2000176792 A JP 2000176792A JP 36093498 A JP36093498 A JP 36093498A JP 36093498 A JP36093498 A JP 36093498A JP 2000176792 A JP2000176792 A JP 2000176792A
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driven
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driven portion
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JP36093498A
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Masatoshi Yamaya
正俊 山家
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Hitachi Via Mechanics Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 XテーブルやYテーブルが外力により変位し
た場合でも、精度の優れる位置決めを行うことができる
直線移動装置およびXY移動装置を提供する。 【解決手段】 Xテーブル3に関して、ナット6のボー
ルねじ5に対するバックラッシュの大きさの1/2に相
当する誤差量αxと、第1の許容値Mxと、第2の許容
値Nxを、判定器30に記憶させておく。Xテーブル3
の移動時、スケール7bとエンコーダ4aが検出するX
テーブル3の位置の差Δを求め、Δの大きさが第1の許
容値Mx以下の場合は、エンコーダ4aの出力をXテー
ブル3の位置とみなし、第1の許容値Mxより大きく第
2の許容値Nx以下の場合は、移動方向を参照し、ナッ
ト6の中心Oに対するXテーブル3の回転角度θを求め
る。そして、回転角度θと差Δの符号に従い、Xテーブ
ル3およびYテーブル11の位置を補正する。Yテーブ
ル11に関しても同様の処理を行い、Xテーブル3およ
びYテーブル11の位置を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定器や工作機等
に使用される直線移動装置および2組の直線移動装置を
互いに直交する方向に配置したXY移動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】XY移動装置は、2組の直線移動装置を
互いに直交する方向に配置した装置である。このような
XY移動装置を図5により説明する。図5は従来の工作
機の駆動部を示す平面図である。図で、1はベースであ
る。2は1対のリニアガイドで、ベース1にX方向に固
定されたガイド2aと、Xテーブル3の下面に固定され
たベアリング2bとから構成されている。4はモータ
で、ベース1の側面に固定されている。モータ4にはエ
ンコーダ4aが設けられている。5はボールねじで、モ
ータ4の出力軸に接続され、Xテーブル3の下面中央に
固定されたナット6に螺合している。7はリニアスケー
ルで、ヘッド7aとスケール7bとから構成されてい
る。そして、ヘッド7aはナット6の中心に合わせてX
テーブル3の側面に固定されている。スケール7bはヘ
ッド7aと対向するようにしてガイド2aと平行に配置
されている。
【0003】10は1対のリニアガイドで、ベース1に
Y方向に固定されたガイド10aと、Yテーブル11の
下面に固定されたベアリング10bとから構成されてい
る。12はモータで、ベース1の側面に固定されてい
る。モータ12にはエンコーダ12aが設けられてい
る。13はボールねじで、モータ12の出力軸に接続さ
れ、Yテーブル11の下面に固定されたナット14に螺
合している。15はリニアスケールで、ヘッド15aと
スケール15bとから構成されている。そして、ヘッド
15aはナット14の中心に合わせてYテーブル11の
側面に固定されている。スケール15bはヘッド15a
と対向するようにしてガイド10aと平行に配置されて
いる。
【0004】20はNC制御装置で、モータ4、12の
回転を制御する。21は演算装置である。
【0005】次に、上記従来のXY移動装置の動作を説
明する。なお、Xテーブル3にはワークが固定されてお
り、Yテーブル11には工具を回転自在に支持する主軸
頭が固定されている。NC制御装置20は、予め入力さ
れたプログラムに従い、スケール7b、15bから出力
されるXテーブル3とYテーブル11の位置から、モー
タ4、12の回転角度を制御する。ボールねじ5とナッ
ト6およびボールねじ13とナット14との間にはそれ
ぞれ隙間(バックラッシュ)があるが、このように、ス
ケール7b、15bで測定したXテーブル3とYテーブ
ル11の位置を基準にしてXテーブル3とYテーブル1
1の位置制御および移動量の制御を行うと、バックラッ
シュの影響を受けることがない。この結果、Xテーブル
3およびYテーブル11を正確に位置決めすることがで
き、精度の優れる加工をで行うことができた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、Xテーブル
3あるいはYテーブル11には、移動方向と直角の外力
が付加されることがある。例えば、Xテーブルに外力が
付加されたとする。リニアガイド2のガイド2aとベア
リング2bとの間には移動方向と直角方向の方向に隙間
があるから、外力が付加されたXテーブル3は、ナット
6の中心(以下、中心Oという。)を中心として回転す
る。Xテーブル3が回転することによる影響を図6によ
り説明する。なお、Xテーブル3のX方向の原点は中心
Oに一致している。
【0007】図6は、Xテーブル3とベース1との関係
を模式的に示す平面図である。今、Xテーブル3を移動
させ、Y軸上の点P1(原点すなわち中心Oからの距離
L)に代えて点P2(中心Oからの距離K)をY軸上位
置決めするとする。Xテーブル3を+X方向(図の上
方)にL−Kだけ移動させ、点P2がY軸上に到達する
と同時に、2点鎖線で示すように、Xテーブル3が外力
Fにより中心Oの回りに左に回転し、矢印で示すよう
に、点P2が点P3に移動したとする。この時の回転角
度はγであり、ヘッド7aのY軸と平行な中心Oを通る
y軸からのずれ量はδである。なお、理解を容易にする
ため、図には変位を誇張して示してある。また縦軸をX
方向、横軸をY方向としている。
【0008】この場合、エンコーダ4aは点P2がY軸
上に位置決めされた(X=K)ことを示す。一方、ヘッ
ド7aは、図から明らかなように、現在の位置がX=K
−δであると判定する。この結果、NC装置20はモー
タ4を回転させ、Xテーブル3をδだけプラス方向に移
動させる。点P3のX、Y座標は(Kcosγ,Ksi
nγ)であるから、図示の場合、X方向の加工誤差が大
きくなる。また、Y方向の誤差については補正できな
い。Yテーブル11が回転した場合にも上記と同様の問
題が発生する。なお、発生する誤差の大きさはテーブル
上の各位置により異なる。
【0009】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、XテーブルやYテーブルが外力により変位
した場合でも、精度の優れる位置決めを行うことができ
る直線移動装置およびXY移動装置を提供するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1の発明は、被駆動部に保持されたナットに
係合するねじ軸を回転させる駆動モータに接続され、ね
じ軸の回転角度を検出する第1の位置検出器と、前記被
駆動部に載置される被測定部と、前記被測定部の移動方
向に沿わせて固定側に配置される測定部とから成り、前
記被測定部の位置を前記測定部で測定することにより前
記被駆動部の位置を検出する第2の位置検出器とを備
え、前記被駆動部の現在位置を検出しながら前記被駆動
部を移動させるようにした直線移動装置において、予め
定める値を設定した判定器を設け、前記判定器は、前記
第1の位置検出器の位置データと前記第2の位置検出器
の位置データとの差が予め設定された値を超えたときに
は、警告信号を発生するように構成したことを特徴とす
る。
【0011】また、請求項2の発明は、被駆動部に保持
されたナットに係合するねじ軸を回転させる駆動モータ
に接続され、ねじ軸の回転角度を検出する第1の位置検
出器と、前記被駆動部に載置される被測定部と、前記被
測定部の移動方向に沿わせて固定側に配置される測定部
とから成り、前記被測定部の位置を前記測定部で測定す
ることにより前記被駆動部の位置を検出する第2の位置
検出器とを備え、前記被駆動部の現在位置を検出しなが
ら前記被駆動部を移動させるようにした直線移動装置を
互いに直交する方向に配置したXY移動装置において、
前記直線移動装置のそれぞれに対して予め定める値を設
定した判定器と、前記被駆動部の直前の位置から現在位
置への移動方向を常時記憶する方向判定器とを設け、前
記直線移動装置の一方における前記第1の位置検出器の
位置データと前記第2の位置検出器の位置データの差が
前記判定器に設定された前記値を超えたときには、その
差と前記移動方向とから、当該直線移動装置および他方
の直線移動装置における前記被駆動部の位置をそれぞれ
補正することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。図1は本発明におけるNC制御装
置の接続図であり、図5と同じものまたは同一機能のも
のは同一符号を付して説明を省略する。図で、30、3
1は判定器で、それぞれスケール7b、15bおよびエ
ンコーダ4a、12aに接続されている。そして、判定
器30には、外力が付加されていないときのスケール7
bとエンコーダ4aの誤差量αx(ナット6のボールね
じ5に対するバックラッシュの大きさの1/2に相当す
る)と第1の許容値Mx(誤差量αxの2倍)と、第2
の許容値Nx(誤差量αxの5倍)が記憶されている。
また、判定器31には、外力が付加されていないときの
スケール15bとエンコーダ12aの誤差量αy(ナッ
ト6のボールねじ5に対するバックラッシュの大きさの
1/2に相当する)と第1の許容値My(誤差量αyの
2倍)と、第2の許容値Ny(誤差量αyの5倍)が記
憶されている。32、33は方向判定器で、それぞれエ
ンコーダ4a、12aに接続され、直前に指令された位
置から現在位置への移動方向を常時記憶する。
【0013】次に、本実施の形態の動作を説明する。図
2は、本発明におけるXテーブル3の制御手順を示すフ
ローチャートである。図示しない起動ボタンがオンされ
ると、NC制御装置は単位時間ごとにスケール7bの値
からエンコーダ4aの値を減算した値Δの絶対値とMx
とを比較し(手順S100)、Δの絶対値がMx以下の
場合は、エンコーダ4aが示す位置をXテーブル3の現
在位置としてから(手順S110)、手順S100の処
理を行う。また、Δの絶対値がMxより大きい場合は、
Δの絶対値と第2の許容値Nxの値とを比較し(手順S
120)、Δの絶対値がNxより大きい場合は、アラー
ムを表示して(手順S130)、処理を終了する。ま
た、Δの絶対値がNx以下の場合は、移動方向が正であ
るかどうかを確認し(手順S140)、移動方向が正で
ある場合は、回転角度θ(中心Oを回転の中心とし、Y
軸と平行なy軸に対する角度で、反時計回りを正とす
る。従って、θを正の値とすると、Δが正の時は負、Δ
が負の時は正である。)を(Δ−αx)/Wの絶対値と
して求めてから(手順S150)、手順S100の処理
を行う。なお、WはXテーブル3の幅の1/2である。
また、移動方向が正でない場合は、0であるかどうかを
確認し(手順S160)、0である場合は、θをΔ/W
の絶対値として求めてから(手順S170)、そうでな
い場合(負である場合)は、θを(Δ+αx)/Wの絶
対値として求めてから(手順S180)、手順S100
の処理を行う。NC装置20は、上記で求められた回転
角度θの絶対値に正負の符号(上記したように、Δと逆
の記号)を付し、その結果に基づいてモータ4、12の
回転角度を補正する。
【0014】なお、手順S150において回転角度θを
求める際に、αxを減算するのは、ナット6とボールね
じ5との接触点が進行側であり、ヘッド7aに対してエ
ンコーダ4aがαxだけ進んでいると推定されるからで
ある。また、手順S180においてαxを加算するの
は、ヘッド7aに対してエンコーダ4aがαxだけ遅れ
ていると推定されるからである。
【0015】次に、座標の補正例を説明する。図3は、
Xテーブル3が回転することによるワークの座標の変化
を示す図である。図で、35は2辺の長さが2A、2B
のワークであり、2点鎖線で示すように、中心は中心O
に一致し、それぞれの頂点S1〜S4は、それぞれ中心O
を原点とするXy座標軸の第1〜第4象限に位置してい
る。また、移動方向は矢印で示すように負である。今、
外力によりXテーブル3が中心Oの回りに角度θ1(t
anθ1=Δ/W)だけ回転したとする。図示の場合、
Δは負であり、移動方向は負であるから、手順S180
によりθ=(Δ+αx)/Wとする。そして、ワーク3
5が実線の位置に移動したと推定する。この場合、頂点
1(A,B)はS11(Acosθ−Bsinθ,As
inθ+Bcosθ)に、S2(−A,B)はS21(−
Acosθ−Bsinθ,Bcosθ−Asinθ)
に、S3(−A,−B)はS31(Bsinθ−Acos
θ,−Bcosθ−Asinθ)に、S4(A,−B)
はS41(Acosθ+Bsinθ,Asinθ−Bco
sθ)にそれぞれ移動する。そこで、例えば、頂点S1
をY軸上に位置決めする場合には、Xテーブル3をA−
(Acosθ−Bsinθ)だけ移動させる。また、Y
テーブル11をB−(Asinθ+Bcosθ)だけ移
動させる。また、Yテーブル11についても、上記と同
様にナット14の中心に関する回転角度を求め、Yテー
ブル11とXテーブル3の位置を補正する。
【0016】以上説明したように、上記では、エンコー
ダ4aの出力とスケール7bの出力およびエンコーダ1
2aの出力とスケール15bの出力をそれぞれ並列処理
するから、Xテーブル3あるいはYテーブル11が外力
により回転した場合も、精度の良い加工を行うことがで
きる。
【0017】また、スケール7bの値からエンコーダ4
aの値を減算した値の絶対値が第2の許容値を超えた場
合には作業を中止するから、加工不良の発生を予防でき
る。さらに、本実施の形態では、ボールねじとナットと
の間のバックラッシュを考慮したから、バックラッシュ
による位置決め誤差を小さくできる。
【0018】図4は本発明の効果を説明するための図
で、円柱を加工した場合を示す図である。実線で示す真
円に対し、従来技術では点線で示すように真円度が5〜
10μm程度(外力による変位量により異なるが)であ
るのに対し、本発明では2μm程度にすることができ
た。
【0019】なお、上記では、第1の許容値Mxをαx
の2倍程度、第2の許容値Nxをαxの5倍程度とした
が、これに限られることはない。
【0020】また、上記ではエンコーダの出力を位置決
めに用いたが、スケールを基準にしても良いし、ヘッド
7a、14aをテーブルの端部に配置してテーブルの回
転角度を拡大するようにしてもよい。
【0021】さらに、上記ではXY移動装置について説
明したが、直線移動装置に適用できることは明らかであ
る。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
XY移動装置を構成する直線移動装置のそれぞれに対し
て予め定める値を設定した判定器と、被駆動部の直前の
位置から現在位置への移動方向を常時記憶する方向判定
器とを設け、直線移動装置の一方における第1の位置検
出器の位置データと第2の位置検出器の位置データの差
が判定器に設定された値を超えたときには、その差と現
位置への移動方向とから当該直線移動装置および他方の
直線移動装置の被駆動部の位置をそれぞれ補正するか
ら、被駆動部が外力により変位した場合でも、精度の優
れる位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るNC制御装置の接続
図である。
【図2】本発明におけるXテーブル3の制御手順を示す
フローチャートである。
【図3】Xテーブル3が回転することによるワークの座
標の変化を示す図である。
【図4】本発明の効果を説明するための図である。
【図5】従来の工作機の駆動部を示す平面図である。
【図6】Xテーブル3とベース1との関係を模式的に示
す平面図である。
【符号の説明】
3 Xテーブル 4a エンコーダ 5 ボールねじ 6 ナット 7b スケール 11 Yテーブル 30,31 判定器 O ナット6の中心

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被駆動部に保持されたナットに係合する
    ねじ軸を回転させる駆動モータに接続され、ねじ軸の回
    転角度を検出する第1の位置検出器と、前記被駆動部に
    載置される被測定部と、前記被測定部の移動方向に沿わ
    せて固定側に配置される測定部とから成り、前記被測定
    部の位置を前記測定部で測定することにより前記被駆動
    部の位置を検出する第2の位置検出器とを備え、前記被
    駆動部の現在位置を検出しながら前記被駆動部を移動さ
    せるようにした直線移動装置において、予め定める値を
    設定した判定器を設け、前記判定器は、前記第1の位置
    検出器の位置データと前記第2の位置検出器の位置デー
    タとの差が予め設定された値を超えたときには、警告信
    号を発生するように構成したことを特徴とする直線移動
    装置。
  2. 【請求項2】 被駆動部に保持されたナットに係合する
    ねじ軸を回転させる駆動モータに接続され、ねじ軸の回
    転角度を検出する第1の位置検出器と、前記被駆動部に
    載置される被測定部と、前記被測定部の移動方向に沿わ
    せて固定側に配置される測定部とから成り、前記被測定
    部の位置を前記測定部で測定することにより前記被駆動
    部の位置を検出する第2の位置検出器とを備え、前記被
    駆動部の現在位置を検出しながら前記被駆動部を移動さ
    せるようにした直線移動装置を互いに直交する方向に配
    置したXY移動装置において、前記直線移動装置のそれ
    ぞれに対して予め定める値を設定した判定器と、前記被
    駆動部の直前の位置から現在位置への移動方向を常時記
    憶する方向判定器とを設け、前記直線移動装置の一方に
    おける前記第1の位置検出器の位置データと前記第2の
    位置検出器の位置データの差が前記判定器に設定された
    前記値を超えたときには、その差と前記移動方向とか
    ら、当該直線移動装置および他方の直線移動装置におけ
    る前記被駆動部の位置をそれぞれ補正することを特徴と
    するXY移動装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011107961A (ja) * 2009-11-17 2011-06-02 Fuji Electric Systems Co Ltd 位置制御装置
WO2015041084A1 (ja) * 2013-09-18 2015-03-26 シチズンホールディングス株式会社 棒材供給装置および棒材供給装置付きの数値制御工作機械

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