JP2000173524A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
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- JP2000173524A JP2000173524A JP10349494A JP34949498A JP2000173524A JP 2000173524 A JP2000173524 A JP 2000173524A JP 10349494 A JP10349494 A JP 10349494A JP 34949498 A JP34949498 A JP 34949498A JP 2000173524 A JP2000173524 A JP 2000173524A
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- Japan
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部振動による試料ステージと、対物レンズ
との相対変位を防止できると共に、対物レンズを傷つけ
ない走査型電子顕微鏡を提供することを課題とする。 【解決手段】 対物レンズ１２１と、試料ホルダ１０３
を少なくとも前記対物レンズに対して進退させる試料ス
テージとを有する走査型電子顕微鏡であって、対物レン
ズ１２１側に、対物レンズ１２１と別体のフランジ(被
当接手段)１５１を設け、試料ホルダ１０３側に、フラ
ンジ１５１に当接可能なロック用フランジ(当接手段)１
７１を設ける。
との相対変位を防止できると共に、対物レンズを傷つけ
ない走査型電子顕微鏡を提供することを課題とする。 【解決手段】 対物レンズ１２１と、試料ホルダ１０３
を少なくとも前記対物レンズに対して進退させる試料ス
テージとを有する走査型電子顕微鏡であって、対物レン
ズ１２１側に、対物レンズ１２１と別体のフランジ(被
当接手段)１５１を設け、試料ホルダ１０３側に、フラ
ンジ１５１に当接可能なロック用フランジ(当接手段)１
７１を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対物レンズと試料
ステージとを有する走査型電子顕微鏡に関し、更に詳し
くは、外部振動による影響が少ない走査型電子顕微鏡を
提供することにある。
ステージとを有する走査型電子顕微鏡に関し、更に詳し
くは、外部振動による影響が少ない走査型電子顕微鏡を
提供することにある。
【０００２】
【従来の技術】走査型電子顕微鏡の構成を図４を用いて
説明する。図において、真空チャンバ１内には、試料ホ
ルダ３が設けられる試料ステージ５が配設されている。
説明する。図において、真空チャンバ１内には、試料ホ
ルダ３が設けられる試料ステージ５が配設されている。
【０００３】試料ステージ５は、上下方向(矢印Z方向)
に移動するZステージ７と、Zステージ７に対して軸Oを
中心に回転するチルトステージ９と、チルトステージ９
上に設けられ、図４に対して垂直方向(Y方向)に移動す
るYステージ１１と、Yステージ１１上で、矢印X方向へ
移動するXステージ１３と、Xステージ１３上で軸O′を
中心に回転し、試料ホルダ３が設けられるRステージ１
５とからなっている。
に移動するZステージ７と、Zステージ７に対して軸Oを
中心に回転するチルトステージ９と、チルトステージ９
上に設けられ、図４に対して垂直方向(Y方向)に移動す
るYステージ１１と、Yステージ１１上で、矢印X方向へ
移動するXステージ１３と、Xステージ１３上で軸O′を
中心に回転し、試料ホルダ３が設けられるRステージ１
５とからなっている。
【０００４】試料ホルダ３と、Rステージ１５との取り
付けは、Rステージ１５上に形成された鳩尾状の「あ
り」１５ａを設け、試料ホルダ３の下面にRステージ１
５のあり１５ａに係脱可能な「あり溝」３ａを設けるこ
とで行なっている。
付けは、Rステージ１５上に形成された鳩尾状の「あ
り」１５ａを設け、試料ホルダ３の下面にRステージ１
５のあり１５ａに係脱可能な「あり溝」３ａを設けるこ
とで行なっている。
【０００５】真空チャンバ１の上方には、電子線発生部
２０及び電子線を試料ホルダ３内の試料に収束させる対
物レンズ２１が設けられている。真空チャンバ１の側方
には、試料交換棒２３を用いて試料ホルダ３を試料ステ
ージ５へ搬送、又は、試料ステージ５上の試料ホルダ３
と、異なる試料を有した試料ホルダとを交換する試料交
換室２５が設けられている。
２０及び電子線を試料ホルダ３内の試料に収束させる対
物レンズ２１が設けられている。真空チャンバ１の側方
には、試料交換棒２３を用いて試料ホルダ３を試料ステ
ージ５へ搬送、又は、試料ステージ５上の試料ホルダ３
と、異なる試料を有した試料ホルダとを交換する試料交
換室２５が設けられている。
【０００６】そして、上記構成の真空チャンバ１及び電
子線発生部２０は、防振装置上に設けられ、床からの振
動を軽減している。このような構成の走査型電子顕微鏡
は、分解能を保証するため、床からの振動、音響等の外
部環境に対して、設置条件が決められている。
子線発生部２０は、防振装置上に設けられ、床からの振
動を軽減している。このような構成の走査型電子顕微鏡
は、分解能を保証するため、床からの振動、音響等の外
部環境に対して、設置条件が決められている。
【０００７】すなわち、防振装置で軽減できる許容値を
超える床からの振動が作用した場合、又、防振装置の固
有振動数と床からの振動の振動数とが一致した場合、試
料ステージ５と、電子線発生部２０,対物レンズ２１と
が走査型電子顕微鏡の分解能以上の相対変位を起し、像
障害を起す。
超える床からの振動が作用した場合、又、防振装置の固
有振動数と床からの振動の振動数とが一致した場合、試
料ステージ５と、電子線発生部２０,対物レンズ２１と
が走査型電子顕微鏡の分解能以上の相対変位を起し、像
障害を起す。
【０００８】又、音響振動は、直接防振装置上の真空チ
ャンバ１,電子線発生部２０等に伝達されるので、設置
条件以上の音響振動が作用した場合、試料ステージ５
と、電子線発生部２０,対物レンズ２１とが走査型電子
顕微鏡の分解能以上の相対変位を起し、像障害を起す。
ャンバ１,電子線発生部２０等に伝達されるので、設置
条件以上の音響振動が作用した場合、試料ステージ５
と、電子線発生部２０,対物レンズ２１とが走査型電子
顕微鏡の分解能以上の相対変位を起し、像障害を起す。
【０００９】しかし、近年、走査型電子顕微鏡を設置す
る箇所として、工場やクリーンルームやビルの高層階
等、設置条件を満たさない場所に設置せざるを得ないケ
ースも発生している。
る箇所として、工場やクリーンルームやビルの高層階
等、設置条件を満たさない場所に設置せざるを得ないケ
ースも発生している。
【００１０】このような設置条件を満たさない場所に設
置した場合、保証分解能より低い分解能で試料を観察し
なければならない。そこで、外部振動による試料ステー
ジ５と、電子線発生部２０,対物レンズ２１との相対変
位を防止するために、例えば、特開平3-187143号公報で
は、試料ホルダ３を対物レンズ２１に押し付ける構成の
走査型電子顕微鏡が開示されている。
置した場合、保証分解能より低い分解能で試料を観察し
なければならない。そこで、外部振動による試料ステー
ジ５と、電子線発生部２０,対物レンズ２１との相対変
位を防止するために、例えば、特開平3-187143号公報で
は、試料ホルダ３を対物レンズ２１に押し付ける構成の
走査型電子顕微鏡が開示されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】試料ホルダを対物レン
ズに押し付ける構成の走査型電子顕微鏡では、試料ホル
ダが直接対物レンズに当たるので、対物レンズを傷つ
け、性能を害する問題点がある。
ズに押し付ける構成の走査型電子顕微鏡では、試料ホル
ダが直接対物レンズに当たるので、対物レンズを傷つ
け、性能を害する問題点がある。
【００１２】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、外部振動による試料ステージと、対
物レンズとの相対変位を防止できると共に、対物レンズ
を傷つけない走査型電子顕微鏡を提供することにある。
ので、その目的は、外部振動による試料ステージと、対
物レンズとの相対変位を防止できると共に、対物レンズ
を傷つけない走査型電子顕微鏡を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、対物レンズと、試料ホルダを少なく
とも前記対物レンズに対して進退させる試料ステージと
を有する走査型電子顕微鏡であって、前記対物レンズ側
に、前記対物レンズと別体の被当接手段を設け、前記試
料ホルダ側に、前記被当接手段に当接可能な当接手段を
設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡である。
項１記載の発明は、対物レンズと、試料ホルダを少なく
とも前記対物レンズに対して進退させる試料ステージと
を有する走査型電子顕微鏡であって、前記対物レンズ側
に、前記対物レンズと別体の被当接手段を設け、前記試
料ホルダ側に、前記被当接手段に当接可能な当接手段を
設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡である。
【００１４】試料ホルダ側の当接手段を対物レンズ側の
被当接手段に当接させることにより、外部振動による試
料ステージと、対物レンズとの相対変位を防止できる。
又、試料ホルダ側の当接手段が当接する対物レンズ側の
被当接手段は対物レンズと別体であるので、対物レンズ
は傷つかない。
被当接手段に当接させることにより、外部振動による試
料ステージと、対物レンズとの相対変位を防止できる。
又、試料ホルダ側の当接手段が当接する対物レンズ側の
被当接手段は対物レンズと別体であるので、対物レンズ
は傷つかない。
【００１５】ここで、被当接手段は、請求項２記載の発
明のように、前記試料ステージの移動を制限しない形状
であることが望ましい。
明のように、前記試料ステージの移動を制限しない形状
であることが望ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。 (全体構成)最初に、図３を用いて、本実施の形態例の走
査型電子顕微鏡の要部構成を説明する。
形態例を説明する。 (全体構成)最初に、図３を用いて、本実施の形態例の走
査型電子顕微鏡の要部構成を説明する。
【００１７】図において、真空チャンバ１０１内には、
試料ホルダ１０３が設けられる試料ステージ１０５が配
設されている。試料ステージ１０５は、上下方向(矢印Z
方向)に移動するZステージ１０７と、Zステージ１０７
に対して軸Oを中心に回転するチルトステージ１０９
と、チルトステージ１０９上に設けられ、図３に対して
垂直方向(Y方向)に移動するYステージ１１１と、Yステ
ージ１１１上で、矢印X方向へ移動するXステージ１１３
と、Xステージ１１３上で軸O′を中心に回転し、試料ホ
ルダ１０３が設けられるRステージ１１５とからなって
いる。
試料ホルダ１０３が設けられる試料ステージ１０５が配
設されている。試料ステージ１０５は、上下方向(矢印Z
方向)に移動するZステージ１０７と、Zステージ１０７
に対して軸Oを中心に回転するチルトステージ１０９
と、チルトステージ１０９上に設けられ、図３に対して
垂直方向(Y方向)に移動するYステージ１１１と、Yステ
ージ１１１上で、矢印X方向へ移動するXステージ１１３
と、Xステージ１１３上で軸O′を中心に回転し、試料ホ
ルダ１０３が設けられるRステージ１１５とからなって
いる。
【００１８】試料ホルダ１０３と、Rステージ１１５と
の取り付けは、Rステージ１１５上に形成された鳩尾状
の「あり」１１５ａを設け、試料ホルダ１０３の下面に
Rステージ１１５のあり１１５ａに係脱可能な「あり
溝」１０３ａを設けることで行なっている。
の取り付けは、Rステージ１１５上に形成された鳩尾状
の「あり」１１５ａを設け、試料ホルダ１０３の下面に
Rステージ１１５のあり１１５ａに係脱可能な「あり
溝」１０３ａを設けることで行なっている。
【００１９】真空チャンバ１０１の上方には、電子線発
生部１２０及び電子線を試料ホルダ１０３内の試料に収
束させる円錐台状の対物レンズ１２１が設けられてい
る。真空チャンバ１０１の側方には、試料交換棒１２３
を用いて試料ホルダ１０３を試料ステージ１０５へ搬
送、又は、試料ステージ１０５上の試料ホルダ１０３
と、異なる試料を有した試料ホルダとを交換する試料交
換室１２５が設けられている。
生部１２０及び電子線を試料ホルダ１０３内の試料に収
束させる円錐台状の対物レンズ１２１が設けられてい
る。真空チャンバ１０１の側方には、試料交換棒１２３
を用いて試料ホルダ１０３を試料ステージ１０５へ搬
送、又は、試料ステージ１０５上の試料ホルダ１０３
と、異なる試料を有した試料ホルダとを交換する試料交
換室１２５が設けられている。
【００２０】本実施の形態例では、対物レンズ１２１の
一部を覆うように被当接手段としてのフランジ１５１が
設けられている。更に、試料ホルダ１０３には、フラン
ジ１５１に当接可能な当接手段としてのロック用フラン
ジ１７１が設けられている。
一部を覆うように被当接手段としてのフランジ１５１が
設けられている。更に、試料ホルダ１０３には、フラン
ジ１５１に当接可能な当接手段としてのロック用フラン
ジ１７１が設けられている。
【００２１】(フランジ１５１)フランジ１５１を示す図
１を用いて説明する。図１において、(a)図は正面図、
(b)図は(a)図における左側面図、(c)図は(a)図における
下面図である。
１を用いて説明する。図１において、(a)図は正面図、
(b)図は(a)図における左側面図、(c)図は(a)図における
下面図である。
【００２２】図において、フランジ１５１は、ねじ１５
３を用いて真空チャンバ１０１に取り付けられる基部１
５５と、基部１５５の周縁部から試料ステージ１０５方
向へ延出する第１の延出部１５７と、基部１５５の周縁
部から試料ステージ１０５方向へ延出し、第１の延出部
１５７と対向する第２の延出部１５９と、第１及び第２
の延出部１５７,１５９を橋絡し、対物レンズ１２１の
先端面を覆う橋絡部１６１とから構成されている。
３を用いて真空チャンバ１０１に取り付けられる基部１
５５と、基部１５５の周縁部から試料ステージ１０５方
向へ延出する第１の延出部１５７と、基部１５５の周縁
部から試料ステージ１０５方向へ延出し、第１の延出部
１５７と対向する第２の延出部１５９と、第１及び第２
の延出部１５７,１５９を橋絡し、対物レンズ１２１の
先端面を覆う橋絡部１６１とから構成されている。
【００２３】橋絡部１６１の中央部には、対物レンズ１
２1から出射される電子線が通過する穴１６１ａが形成
されている。尚、本実施の形態例では、フランジ１５１
の形状は、試料ホルダ１０３が設けられた試料ステージ
１０５の移動を制限しない形状に設定されている。
２1から出射される電子線が通過する穴１６１ａが形成
されている。尚、本実施の形態例では、フランジ１５１
の形状は、試料ホルダ１０３が設けられた試料ステージ
１０５の移動を制限しない形状に設定されている。
【００２４】(ロック用フランジ１７１)ロック用フラン
ジ１７１を示す図２を用いて説明を行なう。図２におい
て、(a)図は正面図、(b)図は(a)図の切断線AA-Aにおけ
る断面図である。
ジ１７１を示す図２を用いて説明を行なう。図２におい
て、(a)図は正面図、(b)図は(a)図の切断線AA-Aにおけ
る断面図である。
【００２５】図において、ロック用フランジ１７１は試
料ホルダ１０３の開口１０３ｂの周縁部にねじ１７３を
用いて取り付けられる。ロック用フランジ１７１には、
試料ステージ１０５のZステージ１０７が駆動され、試
料ホルダ１０３が対物レンズ１２１に向かって上方向(Z
方向)に直線移動した場合、フランジ１５１の橋絡部１
６１(図１(c)の二点鎖線で囲まれた範囲B)に当接する第
１の突部１７５が設けられている。
料ホルダ１０３の開口１０３ｂの周縁部にねじ１７３を
用いて取り付けられる。ロック用フランジ１７１には、
試料ステージ１０５のZステージ１０７が駆動され、試
料ホルダ１０３が対物レンズ１２１に向かって上方向(Z
方向)に直線移動した場合、フランジ１５１の橋絡部１
６１(図１(c)の二点鎖線で囲まれた範囲B)に当接する第
１の突部１７５が設けられている。
【００２６】更に、ロック用フランジ１７１には、試料
ステージ１０５のチルトステージ１０９が駆動され、試
料ホルダ１０３が対物レンズ１２１に向かって回転移動
した場合、フランジ１５１の橋絡部１６１に形成された
斜面１６１ｂ(図１(a),(c)参照)に当接する第２の突部
１７７が形成されている。
ステージ１０５のチルトステージ１０９が駆動され、試
料ホルダ１０３が対物レンズ１２１に向かって回転移動
した場合、フランジ１５１の橋絡部１６１に形成された
斜面１６１ｂ(図１(a),(c)参照)に当接する第２の突部
１７７が形成されている。
【００２７】このような構成によれば、試料ホルダ１０
３側のロック用フランジ１７１の第１の突部１７５又は
第２の突部１７７を対物レンズ１２１側のフランジ１５
１へ当接させることにより、外部振動による試料ステー
ジ１０５と、対物レンズ１２１との相対変位を防止でき
る。
３側のロック用フランジ１７１の第１の突部１７５又は
第２の突部１７７を対物レンズ１２１側のフランジ１５
１へ当接させることにより、外部振動による試料ステー
ジ１０５と、対物レンズ１２１との相対変位を防止でき
る。
【００２８】又、試料ホルダ１０３側のロック用フラン
ジ１７１が当接する対物レンズ１２１側のフランジ１５
１は対物レンズ１２１と別体であるので、対物レンズ１
２１は傷つかない。
ジ１７１が当接する対物レンズ１２１側のフランジ１５
１は対物レンズ１２１と別体であるので、対物レンズ１
２１は傷つかない。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、試料
ホルダ側の当接手段を対物レンズ側の被当接手段に当接
させることにより、外部振動による試料ステージと、対
物レンズとの相対変位を防止できる。
ホルダ側の当接手段を対物レンズ側の被当接手段に当接
させることにより、外部振動による試料ステージと、対
物レンズとの相対変位を防止できる。
【００３０】又、試料ホルダ側の当接手段が当接する対
物レンズ側の被当接手段は対物レンズと別体であるの
で、対物レンズは傷つかない。
物レンズ側の被当接手段は対物レンズと別体であるの
で、対物レンズは傷つかない。
【図１】本実施の形態例の走査型電子顕微鏡の要部構成
を説明する図３におけるフランジ１５１を説明する図
で、(a)図は正面図、(b)図は(a)図における左側面図、
(c)図は(a)図における下面図である。
を説明する図３におけるフランジ１５１を説明する図
で、(a)図は正面図、(b)図は(a)図における左側面図、
(c)図は(a)図における下面図である。
【図２】図１におけるロック用フランジを説明する図
で、(a)図は正面図、(b)図は(a)図の切断線A-Aにおける
断面図である。
で、(a)図は正面図、(b)図は(a)図の切断線A-Aにおける
断面図である。
【図３】本実施の形態例の走査型電子顕微鏡の要部構成
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】従来の走査型電子顕微鏡の要部構成を説明する
図である。
図である。
１０３ 試料ホルダ １０５ 試料ステージ １２１ 対物レンズ １５１ フランジ(被当接手段) １７１ ロック用フランジ(当接手段)
Claims (2)
- 【請求項１】 対物レンズと、試料ホルダを少なくとも
前記対物レンズに対して進退させる試料ステージとを有
する走査型電子顕微鏡であって、 前記対物レンズ側に、前記対物レンズと別体の被当接手
段を設け、 前記試料ホルダ側に、前記被当接手段に当接可能な当接
手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 【請求項２】 前記被当接手段は、前記試料ステージの
移動を制限しない形状であることを特徴とする請求項１
記載の走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34949498A JP3850154B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34949498A JP3850154B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000173524A true JP2000173524A (ja) | 2000-06-23 |
| JP3850154B2 JP3850154B2 (ja) | 2006-11-29 |
Family
ID=18404133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34949498A Expired - Fee Related JP3850154B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3850154B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516860U (ja) * | 1974-07-01 | 1976-01-19 | ||
| JPS5780064U (ja) * | 1980-11-04 | 1982-05-18 | ||
| JPS59146145A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料移動装置 |
| JPH0727048U (ja) * | 1993-09-27 | 1995-05-19 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
-
1998
- 1998-12-09 JP JP34949498A patent/JP3850154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516860U (ja) * | 1974-07-01 | 1976-01-19 | ||
| JPS5780064U (ja) * | 1980-11-04 | 1982-05-18 | ||
| JPS59146145A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料移動装置 |
| JPH0727048U (ja) * | 1993-09-27 | 1995-05-19 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3850154B2 (ja) | 2006-11-29 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040423 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050315 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050516 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060829 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090908 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100908 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100908 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110908 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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