JP2000167389A - ガスの精製方法 - Google Patents

ガスの精製方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 原料ガスから、一酸化炭素、水素、二酸化炭
素および水を効率的に除去する。 【解決手段】 供給空気を圧縮し、この圧縮熱を用い
て、一酸化炭素をアルミナに担持したＰｄおよび／また
はＰｔ触媒で二酸化炭素に酸化し、ついで最初から存在
する水を除去し、ついで水素を吸着するか、もしくは水
素を酸化して水にし、これを二酸化炭素とともに、吸着
除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガスの精製方法に関
し、さらに詳しくは高純度窒素ガスの製造の際に空気か
ら一酸化炭素、水素、二酸化炭素および水を除去する方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】多くの化学プロセスにおいて、ＣＯおよ
びＨ2 は、その化学反応性のゆえに、望まれていない化
学種である。たとえば、エレクトロニクス産業は、半導
体材料の製造に高純度Ｎ2 （５ｐｐｂｖのＣＯおよびＨ
2 ）を要求する。シリコンウエハーの製造時にＮ2 中に
存在する不純物は、チップ欠陥率を大いに増大させる。
空気を低温分離に供してＮ2 を製造する際には、Ｎ2 と
ＣＯは類似した沸点を有するので、低温カラムへの供給
空気中に存在するＣＯは、本質的に製品Ｎ2 に混入され
たままに終る。蒸留プロセスに格別の処理がなければ、
水素はその濃度を供給空気中に比べて約２．５倍に富化
される。したがって、エレクトロニクス産業への高純度
Ｎ2 （すなわちＣＯとＨ2 のない）の製造では、１）蒸
留塔への供給の前に大気中の空気からＣＯとＨ2 を除
去、もしくは２）製品Ｎ2 の後処理、が要求される。エ
レクトロニクス産業の顧客は、製造システムの確実性を
向上させるために、前処理、後処理の両方を要求するこ
とがしばしばである。
【０００３】微量のＣＯとＨ2 を除去する現在の技術
に、ＣＯをＣＯ2 に、そしてＨ2 を水に接触転化し、つ
づいてＣＯ2 と水不純物を除去（もしくは単にＨ2 吸
着）する方法がある。空気の低温分離でＮ2 とＯ2 を回
収する従来の方法において、供給空気は圧縮され、つい
で低温に冷却され、２段階の蒸留塔に導入される。圧縮
前に空気から水とＣＯ2 が除去されないと、これらの成
分は、蒸留に先立ちガスを冷却するに使用する熱交換器
を妨げる。このような除去の主な方法は、モレキュラー
シーブによる熱スイング吸着（ＴＳＡ）である。ＣＯ2
と水の除去のためのＴＳＡ法において、大気中の空気
は、約１００psig（７９３kPa)に圧縮され、ついで水冷
却し、凝縮水を除去される。そして、約１００°Ｆ（３
８℃）である空気は、さらに冷凍エチレングリコールを
用いて４０°Ｆ（４．５℃）に冷却されうる。大部分の
水は、凝集し、その凝縮物を分離することにより、この
段階で除去される。ついで、ガスはモレキュラーシーブ
吸着床もしくはアルミナ／モレキュラーシーブ混合吸着
床系に送られ、そこで残留する水とＣＯ2 が吸着によっ
て除去される。吸着床は、たとえば４時間（ことによる
と２４時間も）の等間隔で、熱スイング方式で運転さ
れ、吸着と再生をくりかえす。２つの吸着床を用いる
と、一方が吸着のために運転されているとき、他方は再
生されており、それらの役割は運転サイクルにおいて、
定期的に反転される。再生中には、コールドボックスか
らの製品ガスもしくは排ガス流の一部は、ブロワーでわ
ずかに圧縮され、約２６０℃に加熱される。その加熱ガ
スは、多分２時間、再生されている吸着床を通過し、そ
の後、最終の２時間において再生ガスは典型的には４．
５℃に冷却され、吸着床をその温度に冷却する。再生
は、吸着工程の方向と反対方向で実行される。
【０００４】代わりに、圧力スイング吸着（ＰＳＡ）方
式を使用しうる。この場合、サイクル時間は比較的短い
（供給段階は５〜３０分間）が、供給温度、圧力および
再生ガスは同一のままである。ＰＳＡの場合には、再生
ガスは加熱されない。このような方式は、大気中の空気
からＣＯ2 、水およびＣ3+炭化水素を除去するのに有効
である。しかしながら、従来のモレキュラーシーブ吸着
床は、ＣＯもしくはＨ2 の除去には有効でない。ＣＯの
ないＮ2 を製造するのに広く用いられている主要な従来
技術は、モレキュラーシーブ系に供給する前に大気中の
空気に存在するＣＯを酸化してＣＯ2 にすることを含ん
でいる。この付加的接触転化方式は、標準的なＮ2 プラ
ントの投下資金、操業コストを増加させる。代わりに、
このようなＣＯ除去工程を、空気分離プロセスの後に得
られるＮ2 に適用しうる。
【０００５】公知の１つの方法において、ＣＯはアルミ
ナ担持Ｎｉ触媒を用いてＮ2 から除去される。この材料
に伴う主な難点は、高コスト、還元ガス中での活性化の
必要性、ならびに活性化された材料の自燃性である。微
量ＣＯ除去のための良好な吸着剤は、比較的高価でな
く、容易に再生可能であり、そして自燃性でないことが
好ましい。
【０００６】Ｏ2 の存在下でＣＯをＣＯ2 に、そしてＨ
2 をＨ2 Ｏに酸化することは、高温（５００℃を超え
る）で容易に生じる。これらの反応は、パラジウムもし
くは白金を主とする貴金属触媒の存在下では、比較的低
温（約１５０℃）で、実行されうる（Anderson, H. C.
およびGreen, W. J., Ind. Eng. Chem., 53, 645, 196
1）。この技術は、低温空気プラントで、ＣＯ2 および
水の除去のための前処理吸着方式に先立って大気中の空
気を予備処理するのに広く用いられている。この除去技
術の主要な難点は、次の点を含む。１）触媒層に導入す
る前に空気を加熱する必要があること、２）特別の熱交
換と特別のブースター加熱器が必要なので、設置場所が
増大すること、そして３）このように増加した圧力損失
および熱負荷により、該方式の動力所要量が増大するこ
と。
【０００７】不活性ガスから微量不純物を除去するため
の大気温度法(ambient temperatureprocesses) も、こ
の分野で知られている。米国特許第４，５７９，７２３
号明細書には、γ−アルミナに担持したクロムもしくは
白金混合物を含む触媒層を不活性ガス流に通過させ、つ
いで数種の金属混合物で被覆したγ−アルミナより構成
される第２層を通過させることが開示されている。これ
らの層は、ＣＯをＣＯ 2 に、Ｈ2 を水に転化するととも
に、生成する不純物を吸着して高純度製品（１ppm 未
満）を生じさせる。
【０００８】米国特許第４，７１３，２２４号明細書に
は、微量のＣＯ，ＣＯ2 ，Ｏ2 ，Ｈ 2 およびＨ2 Ｏを含
むガスを精製する一段法が教示されており、そこではガ
ス流はＮｉ元素を含み、大きい表面積を有する材料を通
過している。もし酸素が存在すると、ＣＯは酸化されて
ＣＯ2 になり、そうでなけばＣＯは吸着される。この明
細書は、Ｎｉが担持される基質の性質についてはむしろ
あいまいであり、単に“シリカ主体の基質”（silica-b
ased substrate）と言及しているにすぎない。ＣＯをＣ
Ｏ2 に大気温度で酸化する方法は、米国特許第３，６７
２，８２４号明細書および３，７５８，６６６号明細書
に記載されている。米国特許第５，１１０，５６９号明
細書は、供給流（特に空気）からＣＯ，ＣＯ2 ，Ｈ
2 Ｏ、さらに任意にはＨ2 も除去する方法を教示し、
１）最初に水と二酸化炭素を除去し、２）接触酸化によ
りＣＯをＣＯ2 に、Ｈ2 をＨ2 Ｏにし、そして３）酸化
生成物を除去する、ことを含む。そして、得られるガス
流は、低温蒸留によって精製されうる。
【０００９】米国特許第４，９４４，２７３号明細書に
は、Ｃａ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｐｔあるい
はＲｕのような金属をドープされたゼオライトによっ
て、ＣＯが選択的に吸着されうることが提案されてい
る。この性質に基づいて、そこでは、そのようなドープ
したゼオライトを、ＣＯセンサー、たとえば自動車排ガ
ス系を監視するセンサーに使用することが提案されてい
る。しかしながら、その明細書には選択率についての実
証は示されていない。さらに、ＣＯ吸着の実証されてい
る最高能力は、ゼオライトＺＳＭ８のＮａ型に関するも
のであり、ＺＳＭ５のＣｏ型、もしくはＺＳＭ８のＲｕ
型で試験されたときにはＣＯ吸着は示されていない。吸
着が測定された装置は誤って述べられているようにみえ
るので、これらの吸着剤が絶対的な条件でどれだけの吸
着能を有しているとわかったを知るのは不可能である。
しかしながら米国特許第４，９４４，２７３号明細書の
目的については、ゼオライトがＣＯにさらされることに
よる電気的性質の変化を示すことが吸着能よりもむしろ
重要であるようにみえる。
【００１０】米国特許第４，０１９，８７９号明細書
は、ＣＯを選択的に吸着するためにＣｕ+ イオン含有ゼ
オライトの使用を開示する。しかしながら、そのＣＯ
は、高濃度のＣＯを含むガス流から試薬として使用する
ために回収されるのであり、そのような吸着剤がガス流
からppm レベのＣＯを除去するのに有効であろうことは
何の示唆もされていない。
【００１１】米国特許第４，０１９，８８０号明細書
は、銀イオンを含有するゼオライトによるＣＯの吸着に
ついて記述する。ＣＯ濃度は、１０ppm 未満にも減少し
うる。フォースター(Forster）らの「遷移金属でイオン
交換されたゼオライトＡにおける一酸化炭素の吸着と酸
化に関する分光学的研究：Studies on cobalt, nickeda
nd copper forms' Zeolites, 1987, vol. 7, Nov 517-5
21 」は、その表題で言及されているようにゼオライト
によるＣＯの吸着について検討している。低ppmレベル
での吸着能については検討されていない。
【００１２】米国特許第５１１０５６９号明細書は、低
温蒸留の導入部として、空気流から大量の二酸化炭素と
水とともに微量の一酸化炭素と水素を除去する方法を教
示する。この方法は、３つの層の吸着床を用いるＴＳＡ
もしくはＰＳＡによって行なわれている。すなわち、水
を吸着するための第１層（好ましくはアルミナ、シリカ
ゲル、ゼオライトもしくはそれらの組み合わせ）、一酸
化炭素を二酸化炭素に転化するための触媒の第２層（好
ましくは酸化ニッケル、または酸化マンガンおよび酸化
銅の混合物）、ならびに二酸化炭素と水を吸着するため
の第３層（好ましくはゼオライト、活性アルミナもしく
はシリカゲル）である。第２層は、水素を水に転化する
触媒を含有していてもよく、これは担持されたパラジウ
ムでもよい。
【００１３】一酸化炭素を二酸化炭素に酸化し、生成す
る二酸化炭素を吸着するような触媒は何ら開示されてい
ない。担持されたパラジウムを、一酸化炭素を二酸化炭
素に転化するのに用いうることも何ら開示されていな
い。同様に、水素を酸化するのに用いられる担持パラジ
ウムが生成する水を吸着する能力を有することも開示さ
れていない。また、最初に存在する一酸化炭素を、一酸
化炭素の酸化の前に吸着させようとする目的も存在しな
いようである。フランス特許第２７３９３０４号明細書
において、一酸化炭素はまず酸化されて二酸化炭素とな
り、ついで、この生成二酸化炭素は、最初から存在する
二酸化炭素と水とともに、公知の吸着剤を用いて吸着さ
れる。その後、水素はアルミナ上に担持されたパラジウ
ムにより吸着される。パラジウムの代わりに使用されう
る金属は、Ｏｓ，Ｉｒ，Ｒｈ，ＲｕおよびＰｔである。
水素はこれらの条件では酸化されないと述べられてい
る。この記述は、水素は担持されたパラジウムもしくは
他の貴金属により酸化されうる、と述べている点で米国
特許第５，１１０，５６９号明細書の記述が正しいか否
かについて疑問を投げかける。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上述のとおり、空気等
の供給ガス中の、一酸化炭素、水素、二酸化炭素および
水を除去するために種々の有効な方法が提案されてい
る。しかしながら、エレクトロニクス産業をはじめとし
て、益々の高純度ガスが必要とされることが多くなる状
況下で、さらに効率的なガス精製が望まれている。
【００１５】そこで本発明者らは、上記の課題を解決す
るため種々の検討を行なった結果、本発明に到達した。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、酸素を含有す
る供給ガスから一酸化炭素、水素、二酸化炭素および水
を除去する方法を提供するものであり、供給ガスを圧縮
し、それによって供給ガスを圧縮熱で加熱し、加熱され
た供給ガスを触媒と接触させて、該圧縮熱を用いて一酸
化炭素を酸化して二酸化炭素として（そして部分的には
水素を水に転化する）、一酸化炭素減少ガス流を形成
し、その一酸化炭素減少ガス流を固体吸着剤と接触させ
て少くとも水を除去し、そこから一酸化炭素・水減少ガ
ス流を生じさせ、そして、その一酸化炭素・水減少ガス
流を触媒と接触させて水素を酸化して水とし、吸着剤と
接触させて水と一酸化炭素を吸着する、ことを特徴とす
るガスの精製方法である。
【００１７】また、本発明は、供給ガスから一酸化炭
素、水素、二酸化炭素および水を除去する方法であっ
て、供給ガスを圧縮し、それによって供給ガスを圧縮熱
で加熱し、加熱された供給ガスを触媒と接触させて、該
圧縮熱を用いて一酸化炭素を酸化して二酸化炭素とし
て、一酸化炭素減少ガス流を形成し、その一酸化炭素減
少ガス流を固体吸着剤と接触させて水および全量より少
ない該二酸化炭素を除去し、そこから一酸化炭素・水の
減少した二酸化炭素含有ガス流を生じさせ、そしてその
一酸化炭素・水の減少した二酸化炭素含有ガス流を水素
の吸着剤および二酸化炭素の吸着剤と接触させる、こと
を特徴とするガスの精製方法である。
【００１８】さらに本発明は供給ガスから一酸化炭素、
水素、二酸化炭素および水を除去する方法であって、供
給ガスを圧縮し、それによって供給ガスを圧縮熱で加熱
し、加熱された供給ガスを触媒と接触させて、該圧縮熱
を用いて一酸化炭素を酸化して二酸化炭素として、一酸
化炭素減少ガス流を形成し、その一酸化炭素減少ガス流
を、水を除去する固体吸着剤、水素の吸着剤及び二酸化
炭素の吸着剤の混合物と接触させる、ことを特徴とする
ガスの精製方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
上記の３つの態様のいずれにおいても、圧縮後、および
一酸化炭素から二酸化炭素への接触転化前に、熱は、供
給ガスに全く、または実質的に追加されない。したがっ
て、通常用いられるエコノマイザーやブースター加熱器
が不要となる。その結果、この方法は、圧力損失が比較
的小さく、熱を比較的少くしか必要としないので、熱効
率がよくなる。フランス特許第２７３９３０４号明細書
とは異なって、本発明においては、水素は、一酸化炭素
を除去する触媒床で、部分的ではあるが無視できない量
を除去され、そして残留する水素は、ついで酸化されて
水になり、吸着剤がそのように生成した水のために提供
されるか、あるいはその代わりに水素はなお二酸化炭素
を含むガス流から吸着作用で除去される。
【００２０】水は、一酸化炭素の接触的酸化の前に完全
に除去されるわけではない。米国特許第５１１０５６９
号明細書で提案されているように触媒としてホプカライ
ト(Hopcalite）を用いて一酸化炭素を二酸化炭素に転化
するためには、乾燥した供給体でなければならない。微
量の水の存在さえ、触媒を不活性化し、触媒を効果のな
いものにする。また、米国特許第５１１０５６９号明細
書において水素を除去するために使用される層は、一酸
化炭素酸化層のすぐ後に設けられる。未転化の一酸化炭
素と第２層で生成した二酸化炭素は、触媒表面での競合
的吸着により水素の転化に不利に作用しうる。
【００２１】好ましくは、一酸化炭素を二酸化炭素とす
る酸化触媒はＰｔおよびＰｄを含浸したアルミナであ
り、この触媒は、無視できない量の水を含む空気流中
で、一酸化炭素を二酸化炭素とするのと同時に、意外に
も水素の一部を水に酸化する。一酸化炭素の酸化触媒
は、好ましくは、二酸化炭素の除去用の固体吸着剤とは
分離した容器に入れられる。随意に一酸化炭素を二酸化
炭素とする酸化触媒も部分的に水素を水に接触酸化す
る。二酸化炭素および水を吸着する吸着剤は、好ましく
は活性アルミナ、含浸アルミナおよびゼオライトであ
る。水を吸着する固体吸着剤としては、ゼオライト、ア
ルミナ、含浸アルミナもしくはシリカゲルが挙げられ
る。水素を水とする酸化触媒は好ましくはアルミナに担
持した、パラジウムもしくは白金である。水素を水とす
る酸化触媒と水の吸着剤は一緒に混合され、これらはさ
らに二酸化炭素の吸着剤とともに混合されうる。同一の
材料が、二酸化炭素と水の吸着に役立つ。二酸化炭素と
水の該吸着剤は、好ましくはＰＳＡ，ＴＳＡもしくはそ
れらの変形法によって定期的に再生されうる。供給ガス
は、高純度窒素を製造する低温空気分離プロセスの前に
精製するための空気であってもよい。
【００２２】以下、図面により本発明を詳細に説明す
る。図４は、低温分離のために空気を精製する公知の精
製装置を示す。図１〜３は、それぞれ本発明による第１
〜３の実施態様例を示す。図４において、空気はメイン
エアコンプレッサー（ＭＡＣ）１２の入口に供給され、
そこで圧縮され、圧縮熱で加熱され、ついでライン１４
をとおってブースター加熱器１６に導入され、カラム１
８に供給するのに適したレベルの温度に上昇させる。こ
のカラム１８には、空気中の一酸化炭素を二酸化炭素に
酸化する担持されたパラジウム／白金両金属触媒が充填
されている。他に触媒として鉄、コバルト、ニッケル、
ルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウムが使用
できる。ついで空気は、ライン２０を通ってエコノマイ
ザー熱交換器２２に供給され、そこで熱はその一酸化炭
素減少ガス流からうばわれ、ライン１４におけるガス流
に供給される。その後、その一酸化炭素減少ガス流はラ
イン２４をとおってクーラー２６に供給され、ついで二
酸化炭素と水のＴＳＡもしくはＰＳＡ吸着のために２つ
の類似カラム２８，３０の一つに導入される。ついで、
精製された空気は出口３２をとおって低温空気分離プロ
セスに供給される。
【００２３】図１において、本発明の第一の態様による
と、空気は、図４に示されているのと類似する方法でメ
インエアコンプレッサー（図示せず）に供給されるが、
好ましい一酸化炭素酸化触媒を充填したカラム１８に該
メインエアコプレッサーから直接に供給される。触媒は
本質的にすべての一酸化炭素を二酸化炭素に酸化し、同
時に水素の一部を水に転化する。ブースター加熱器やエ
コノマイザーが設けられていないので、酸化はメインエ
アコンプレッサにより生成する圧縮熱に依存して生じ
る。このプロセスで生じる一酸化炭素減少ガス流は、つ
いで図４に示されると類似のＴＳＡもしくはＰＳＡ吸着
システムに供給される。図１に示される態様において、
カラム２８，３０はそれぞれ３層の材料を充てんしてい
る。これらの第１層は水を吸着するための活性アルミナ
吸着剤３４の層である。第２層は、水素を除去するため
の材料層３６であり、残留する水素を水に転化する酸化
触媒（アルミナに担持した、Ｐｄおよび／またはＰｔ）
か、もしくは吸着によって水素を除去する水素吸収剤層
であってもよい。さらに、第３層は、水素の酸化で生じ
る水、ならびに残留二酸化炭素を吸着するゼオライト１
３Ｘ吸着剤の層３８である。
【００２４】図２に示される本発明の第２態様の装置に
おいて、該装置は、カラム２８，３０が２層の材料を充
填するにすぎない点を除けば類似している。第１層は図
１のように、水を除去するための活性アルミナの層３４
ａである。第２層３６ａは、二酸化炭素／水吸着剤ゼオ
ライト１３Ｘと水素酸化触媒との混合物よりなり、その
結果、水素の酸化により生成する水は、生成するのと同
じ層で吸着される。
【００２５】図３に示す変形例において、単一の結合さ
れた吸着／触媒層３４ｂは、カラム２８，３０のそれぞ
れに設けられる。この材料は、二酸化炭素と水の吸着剤
と水素酸化触媒の混合物を含有する。水は、活性アルミ
ナ、モレキュラーシーブゼオライトもしくは類似材料で
吸着され、ゆっくり移動する平衡吸着前線（equilibriu
m adsorption front）をつくりだす。水素はこの前線を
通過し、触媒によって酸素と反応する。残留水は触媒担
体と水吸着剤床に吸着され、もう一つの水平衡吸着前線
をつくりだし、ゆっくりと第一の前線に先立って動く。
本発明を実施例によりさらに説明する。
【００２６】
【実施例】実施例１ 全重量９５９ｇの市販の貴金属を主とする酸化触媒（ア
ルミナに持持した０．１wt％Ｐｄと０．２wt％Ｐｔ）を
反応器に充填した。ついで、反応器に、約５ppm の一酸
化炭素、５ppm の水素ならびに２％の水を含有する空気
を導入した。空気の供給速度は４ＳＣＦＭ（０．１ｍ3
／min -1）であった。反応器を圧力１１０psig（７５８
kPa)、温度２００°Ｆ（９３℃）で運転した。これらの
運転条件は、空気分離装置のメインエアコンプレッサー
からの圧縮空気に典型的なものであった。生成流の一酸
化炭素と水素の濃度は、ガスクロマトグラフによってそ
れぞれ０．０１ppm と１．７５ppm 未満まで測定され
た。以上、本発明についていくつかの好ましい態様につ
いて説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるも
のではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施態様例を示す。
【図２】本発明の第２の実施態様例を示す。
【図３】本発明の第３の実施態様例を示す。
【図４】低温分離のために空気を精製する公知の精製装
置を示す。
【符号の説明】
１２…メインエアコンプレッサー １６…ブースター加熱器 １８…カラム ２６…クーラー ２８，３０…カラム
フロントページの続き (72)発明者 トーマス ヒシャオ−リング ヒシャング アメリカ合衆国，ペンシルバニア 18049, エマース，グレンウッド サークル，4727 (72)発明者 アレクサンダー シュバルツ アメリカ合衆国、ペンシルバニア 18105, ベツレヘム，メイン ストリート 1949 (72)発明者 ティモシー クリストファー ゴールデン アメリカ合衆国，ペンシルバニア 18104, アレンタウン，ハンプシャー コート 4104

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 供給ガスから一酸化炭素、水素、二酸化
    炭素および水を除去する方法であって、供給ガスを圧縮
    し、それによって供給ガスを圧縮熱で加熱し、加熱され
    た供給ガスを触媒と接触させて、該圧縮熱を用いて一酸
    化炭素を酸化して二酸化炭素として、一酸化炭素減少ガ
    ス流を形成し、その一酸化炭素減少ガス流を固体吸着剤
    と接触させてそこから少くとも水を除去し、一酸化炭素
    ・水減少ガス流を生じさせ、そして、その一酸化炭素・
    水減少ガス流を触媒と接触させて水素を酸化して水と
    し、吸着剤と接触させて水と二酸化炭素を吸着する、こ
    とを特徴とするガスの精製方法。
  2. 【請求項２】 一酸化炭素を二酸化炭素とする酸化触媒
    が、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、
    オスミウム、イリジウム、白金、パラジウムおよびそれ
    らの混合物からなる群から選ばれ、触媒担体に担持され
    ている請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 一酸化炭素の酸化触媒が、水を除去する
    ための固体吸着剤とは別の容器に入っている請求項１ま
    たは２記載の方法。
  4. 【請求項４】 一酸化炭素を二酸化炭素とする酸化触媒
    は、また少くとも一部の水素を接触酸化して水とする請
    求項１〜３のいずれかに記載の方法。
  5. 【請求項５】 二酸化炭素と水を吸着する吸着剤が活性
    アルミナ、含浸アルミナもしくはゼオライトである請求
    項１記載の方法。
  6. 【請求項６】 水を吸着するための固体吸着剤がゼオラ
    イト、アルミナ、含浸アルミナもしくはシリカゲルであ
    る請求項１記載の方法。
  7. 【請求項７】 水素を水とする酸化触媒が、白金、パラ
    ジウムもしくはそれらの混合物からなる群から選ばれ、
    アルミナに担持されている請求項１記載の方法。
  8. 【請求項８】 水素を水とする酸化触媒、ならびに水お
    よび二酸化炭素の吸着剤が混合されている請求項１記載
    の方法。
  9. 【請求項９】 該固体吸着剤は、水および少くとも一部
    の二酸化炭素を吸着する請求項１または６記載の方法。
  10. 【請求項１０】 水を除去する該固体吸着剤と水及び二
    酸化炭素を吸着する該吸着剤が定期的に再生される請求
    項１記載の方法。
  11. 【請求項１１】 該再生がＰＳＡ（pressure swing ads
    orption : 圧力スイング吸着）およびＴＳＡ（thermal
    swing adsorption :熱スイング吸着）よりなる群から選
    ばれる請求項１０記載の方法。
  12. 【請求項１２】 該供給ガスが、高純度窒素を製造する
    低温空気分離プロセスに先立って精製される空気である
    請求項１記載の方法。
  13. 【請求項１３】 供給ガスから一酸化炭素、水素、二酸
    化炭素および水を除去する方法であって、供給ガスを圧
    縮し、それによって原料ガスを圧縮熱で加熱し、加熱さ
    れた供給ガスを触媒と接触させて、該圧縮熱を用いて一
    酸化炭素を酸化して二酸化炭素として、一酸化炭素減少
    ガス流を形成し、その一酸化炭素減少ガス流を固体吸着
    剤と接触させてそこから水および全量より少ない該二酸
    化炭素を除去し、一酸化炭素・水の減少した二酸化炭素
    含有ガス流を生じさせ、そしてその一酸化炭素・水の減
    少した二酸化炭素含有ガス流を水素の吸着剤および二酸
    化炭素の吸着剤と接触させる、ことを特徴とするガスの
    精製方法。
  14. 【請求項１４】 供給ガスから一酸化炭素、水素、二酸
    化炭素および水を除去する方法であって、供給ガスを圧
    縮し、それによって供給ガスを圧縮熱で加熱し、加熱さ
    れた供給ガスを触媒と接触させて、該圧縮熱を用いて一
    酸化炭素を酸化して二酸化炭素として、一酸化炭素減少
    ガス流を形成し、その一酸化炭素減少ガス流を、水を除
    去する固体吸着剤、水素の吸着剤及び二酸化炭素の吸着
    剤の混合物と接触させる、ことを特徴とするガスの精製
    方法。
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