JP2000164764A - 高周波用配線基板の実装構造 - Google Patents

高周波用配線基板の実装構造

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JP2000164764A
JP2000164764A JP33636598A JP33636598A JP2000164764A JP 2000164764 A JP2000164764 A JP 2000164764A JP 33636598 A JP33636598 A JP 33636598A JP 33636598 A JP33636598 A JP 33636598A JP 2000164764 A JP2000164764 A JP 2000164764A
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frequency
dielectric substrate
wiring board
conductor
transmission line
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JP33636598A
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Satoru Tomie
覚 冨江
Shinichi Koriyama
慎一 郡山
Kenji Kitazawa
謙治 北澤
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2924/161Cap
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Abstract

(57)【要約】 【課題】中心導体とグランド層を有するマイクロストリ
ップの伝送モードの伝送線路を有する高周波用配線基板
同士を伝送特性を劣化させずに接続する。 【解決手段】誘電体基板2の裏面に形成された中心導体
9と、内部に形成されたグランド層8とを具備する高周
波伝送線路を有するパッケージ1を、誘電体基板の表面
に形成された中心導体15と、基板14の内部に形成さ
れたグランド層16とを具備する高周波伝送線路を有す
る外部回路基板に実装するための構造であって、パッケ
ージ1の中心導体9と外部回路基板14の中心導体とを
導電性接着材21によって接続するとともに、パッケー
ジ1のグランド層8と外部回路基板14のグランド層1
6とを、スルーホール導体18、導電性接着材22、ス
ルーホール導体20等からなり、中心導体9、15a同
士の接続部の両側を経由して設けられた2つの接続導体
路によって接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波用配線基板の
実装構造に関するもので、例えば、マイクロ波帯からミ
リ波帯領域の高周波用の半導体素子を収納あるいは搭載
する高周波用半導体パッケ−ジを外部回路基板に対して
実装する場合等に好適に適用される実装構造に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、マイクロ波やミリ波の信号を取り
扱う高周波用半導体パッケージは、一般には、誘電体基
板および枠体により形成されたキャビティ内に高周波素
子を収納して蓋体によって気密に封止されており、高周
波素子はキャビティ内の誘電体基板表面に形成された高
周波伝送線路と接続されている。また、誘電体基板の裏
面には、外部回路基板との接続部を具備する高周波伝送
線路が設けられている。
【0003】そして、キャビティ内の高周波伝送線路は
枠体を貫通してキャビティ外に引き出され、更に誘電体
基板の端面を経由して裏面に配設された高周波伝送線路
と接続される。また、他の接続方法としては、誘電体基
板内を貫通するスルーホール導体によって接続したり、
さらには、誘電体基板内部にグランド層を設け、そのグ
ランド層内に形成したスロット孔によって電磁結合によ
って接続すること(特願平9−186268号)も提案
されている。
【0004】そして、このような高周波用配線基板は、
誘電体基板の裏面に形成された高周波伝送線路の接続部
を外部回路基板表面に形成された高周波伝送線路と半田
等の接着剤を介して接続することにより、高周波用配線
基板は、外部回路基板と半導体素子とは電気的な信号の
伝達が行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】通常、上記のパッケー
ジおよび外部回路基板においては、高周波信号の伝送特
性に優れていることと接続容易性の点で、パッケージの
高周波伝送線路は、中心導体と、その背面にグランド層
を有するマイクロストリップの伝送モードによって形成
されている。
【0006】また、外部回路基板における高周波伝送線
路も同様な理由から、中心導体と、その背面にグランド
層を有するマイクロストリップの伝送モードで形成され
ている。
【0007】しかしながら、マイクロストリップの伝送
モードの高周波伝送線路を有するパッケージを、マイク
ロストリップの伝送モードの高周波伝送線路を有する外
部回路基板に対して、中心導体同士を半田等によって接
続して実装した場合、その実装部では、中心導体の上下
に誘電体を介してグランド層が形成されたストリップラ
インの伝送モードとなるために、効率のよい接続ができ
なくなってしまうという問題があった。これは、電磁界
分布がパッケージと外部回路基板で逆方向に形成される
ため、接続部でモードが不連続となるためである。
【0008】従って、本発明は前記課題を解消せんとし
て成されたもので、その目的は中心導体とグランド層を
有するマイクロストリップの伝送モードの高周波伝送線
路を具備する2つの高周波用配線基板同士を伝送特性を
劣化させずに接続することができるとともに、接続後の
信頼性が安定した実装構造を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
に対して検討を重ねた結果、第1の誘電体基板の裏面に
形成された第1の中心導体と、該第1の誘電体基板の内
部または表面に形成された第1のグランド層とを具備す
る第1の高周波伝送線路を有する第1の高周波用配線基
板を、第2の誘電体基板の表面に形成された第2の中心
導体と、該第2の誘電体基板の内部または裏面に形成さ
れた第2のグランド層とを具備する第2の高周波伝送線
路を有する第2の高周波用配線基板に実装するにあた
り、前記第1の高周波用配線基板の前記第1の中心導体
と前記第2の高周波用配線基板の前記第2の中心導体と
を導電性接着材によって接続するとともに、前記第1の
高周波用配線基板の第1のグランド層と前記第2の高周
波用配線基板の前記第2のグランド層とを、前記第1お
よび第2の誘電体基板内部あるいは端面に設けられ、前
記中心導体同士の接続部の両側を経由して設けられた2
つの接続導体路によって接続することによって、2つの
配線基板におけるマイクロストリップの伝送モードの高
周波伝送線路間の伝送特性を向上できることを見いだし
た。
【0010】かかる実装構造においては、前記接続導体
路が、前記中心導体と直交するように略直線的に形成さ
れてなることが望ましい。
【0011】また、具体的な接続導体路としては、前記
第1の誘電体基板内部に設けられたビアホール導体と、
前記第1の誘電体基板裏面に被着形成された第1の接続
パッドと、前記第2の誘電体基板表面に被着形成された
第2の接続パッドと、前記第1の誘電体基板内部に設け
られたビアホール導体と、前記第1の接続パッドと前記
第2の接続パッドとを接続する導電性接着材と、によっ
て構成するか、あるいは、前記第1の誘電体基板の端面
に形成された導体帯と、前記第1の誘電体基板裏面に被
着形成された第1の接続パッドと、前記第2の誘電体基
板表面に被着形成された第2の接続パッドと、前記第1
の誘電体基板内部に設けられたビアホール導体と、前記
第1の接続パッドと前記第2の接続パッドとを接続する
導電性接着材と、によって構成することが望ましい。
【0012】また、かかる実装構造の応用例として、第
1の高周波用配線基板の表面に、高周波素子を搭載する
とともに高周波素子と接続された第3の高周波伝送線路
を形成し、前記第1の高周波伝送線路と、前記第3の高
周波伝送線路とを前記第1のグランド層内に設けられた
スロット孔を介して電磁的に接続するか、または前記第
1のグランド層内を貫通するビアホール導体によって電
気的に接続したものを用いることができる。
【0013】本発明によれば、高周波用配線基板の外部
回路基板との接続部において、前記第1の高周波用配線
基板の前記第1の中心導体と前記第2の高周波用配線基
板の前記第2の中心導体とを導電性接着材によって接続
するとともに、前記前記第1の高周波用配線基板の第1
のグランド層と前記第2の高周波用配線基板の前記第2
のグランド層とを、前記第1および第2の誘電体基板内
部あるいは端面に設けられ、前記中心導体同士の接続部
の両側を経由して設けられた2つの接続導体路によって
接続することにより、マイクロストリップの伝送モード
の高周波用伝送線路を有する第1および第2の高周波用
配線基板間の結合性を高めることができ、損失の小さい
伝送特性を確保することができる。
【0014】特に、前記接続導体路を前記中心導体と直
交するように略直線的に形成することにより、第1の配
線基板と第2の配線基板におけるグランド層同士を最短
距離で接続することができる結果、中心導体とグランド
層を移動する電流経路差を最小にすることができ、別の
モードの発生を抑制することができる。また、グランド
層間で生じるインダクタンスを最小にすることができ
る。
【0015】また、前記接続導体路が、前記第1の誘電
体基板内部に設けられたビアホール導体と、前記第1の
誘電体基板裏面に被着形成された第1の接続パッドと、
前記第2の誘電体基板表面に被着形成された第2の接続
パッドと、前記第1の誘電体基板内部に設けられたビア
ホール導体と、前記第1の接続パッドと前記第2の接続
パッドとを接続する導電性接着材と、により構成する
か、または前記第1の誘電体基板の端面に形成された導
体帯と、前記第1の誘電体基板裏面に被着形成された第
1の接続パッドと、前記第2の誘電体基板表面に被着形
成された第2の接続パッドと、前記第1の誘電体基板内
部に設けられたビアホール導体と、前記第1の接続パッ
ドと前記第2の接続パッドとを接続する導電性接着材
と、から構成することにより、第1および第2の配線基
板とを中心導体間のロウ材などの導電性接着材による固
定のみならず、中心導体の両側において、接続導体路に
おける電極パッド同士をロウ材接続することができるた
めに、強固に固定することができる。
【0016】特に、後者の接続導体路においては、第1
の配線基板の端面に形成された導体帯が接続部の位置を
示す作用をなし、第2の配線基板における実装部に対し
て、導体帯を整合させながら表面実装を行うことによ
り、実装時の位置ズレが最小限に抑えられ、実装部にお
ける伝送特性の劣化を抑えることができる。
【0017】また、第1の高周波用配線基板において、
第1の誘電体基板の表面に、高周波素子と接続された第
3の高周波伝送線路が形成され、この第1の高周波用伝
送線路と第3の高周波伝送線路とを、前記第1のグラン
ド層内に設けられたスロット孔を介して電磁的に接続す
ることにより、スルーホール導体やビアホール導体等に
よる接続の場合に比較して、高周波領域において高周波
信号を伝送損失を抑制しつつ、第1の高周波用伝送線路
と第3の高周波用伝送線路間を接続することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の高周波用配線基板を図面
に基づき詳述する。図1は本発明の高周波用配線基板の
実装構造の典型的応用例として、第1の配線基板として
高周波用パッケージを、第2の配線基板としてマザーボ
ードなどの外部回路基板に実装した場合の構造を示す断
面図である。また、図1の構造におけるX−X断面図を
図5に示した。
【0019】図1において、高周波用パッケージ1は、
誘電体材料からなる誘電体基板2と蓋体3によりキャビ
ティ4が形成されており、そのキャビティ4内にはIC
等の高周波素子5が搭載されている。誘電体基板2の高
周波素子5搭載部の周囲にはAu・Si合金等のメタラ
イズシール部6が形成され、蓋体3はこのシール部6に
接合されている。
【0020】誘電体基板2の表面には、図2の誘電体基
板2の高周波素子5搭載面側の配線図に示される通り、
キャビティ4内の領域に、高周波素子5に信号を伝送す
るための中心導体7が被着形成されており、その一端
は、高周波素子5と接続されている。
【0021】尚、高周波素子5は中心導体7上にAu・
Sn合金等によって直接搭載することにより小さな伝送
損失で接続することができるが、中心導体7と高周波素
子5は、その他、金リボンや複数のワイヤボンディング
で接続したり、ポリイミド等の基板にCu等の導体を形
成した導体板等により接続することも可能である。
【0022】また、誘電体基板2内には導体層からなる
グランド層8がほぼ誘電体基板2の全面にわたり形成さ
れ、誘電体基板2表面に形成された中心導体7とともに
第3の高周波伝送線路Cとしてマイクロストリップの伝
送モードであるマイクロストリップ線路を形成してい
る。
【0023】さらに、誘電体基板2の裏面には、図3の
誘電体基板2の裏面の配線図に示される通り、中心導体
9が形成されており、誘電体基板2内のグランド層8と
ともに第1の高周波伝送線路Aとしてマイクロストリッ
プの伝送モードであるマイクロストリップ線路を形成し
ている。
【0024】また、第1の高周波伝送線路Aの端部に
は、外部回路基板との接続部が形成されている。この接
続部は、中心導体9と、その両脇に接続パッド10が設
けられている。
【0025】そして、誘電体基板2内のグランド層8内
には、導体が被着形成されないスロット孔11が形成さ
れており、第1の信号伝送線路Aと第3の信号伝送線路
Cとは、スロット孔11を介して、各線路の中心導体
7、9の端部が対峙するように形成することにより電磁
結合され、両線路A,C間で損失のない信号の伝達が行
われる。
【0026】中心導体7と中心導体9は、グランド層8
に形成されたスロット孔11を介して、それぞれの導体
の端部が伝送信号の波長λの1/2相当の長さで重なる
ような位置に形成されることが望ましい。
【0027】スロット孔11の形状は、長辺と短辺とか
ら成る長方形や楕円形状の細長い孔であり、該形状は使
用周波数と周波数の帯域幅を特定することができる。そ
のため、スロット孔11の長辺は伝送信号の波長λの1
/2相当の長さにするのが望ましく、スロット孔11の
短辺は伝送信号の波長λの1/5相当の長さから1/5
0相当の長さに設定するのが望ましい。
【0028】なお、上記第1の高周波伝送線路Aと第3
の高周波伝送線路Cとの接続は、上記のようにグランド
層8に形成されたスロット孔11を介して電磁的に接続
することが高周波信号の伝送特性の観点から最も望まし
いが、信号周波数が50GHz以下の場合においては、
前記中心導体7と中心導体9とを誘電体基板2内をグラ
ンド層8と接触することなく、貫通するように設けられ
たスルーホール導体(図示せず)によって直接接続する
ことも可能である。
【0029】また、上記パッケージ1に代表される配線
基板における誘電体基板2としては、アルミナ(Al2
3 )、ガラスセラミックス、窒化アルミニウム(Al
N)、窒化珪素(Si3 4 )等のセラミックスや有機
樹脂を構成要素とする有機質絶縁材によって構成される
が、高周波信号の伝送損失を小さくするためには、高周
波伝送線路A,Cを形成する導体としては、Ag、C
u、Au等の低抵抗導体を用いることが望ましく、この
点からは前記絶縁基体は焼成温度が800〜1000℃
で焼成可能なガラスセラミックスなどのセラミック材料
から構成されることが最適であり、この組み合わせによ
り絶縁基体と高周波伝送線路とを同時焼成によって形成
することができる。
【0030】また、蓋体3は、キャビティ4からの電磁
波が外部に漏洩するのを防止できる材料から構成されて
いることが望ましく、セラミックス、セラミックス−金
属複合材料、ガラスセラミックス、ガラス有機樹脂系複
合材料等が使用できる。
【0031】パッケージ1において、接続部の中心導体
9の両側に形成された接続パッド10を、スルーホール
導体18によってパッケージ1内部に形成されたグラン
ド層8と電気的に接続することにより、接続パッド10
は、グランド層8と同電位に保たれ、この接続部はグラ
ンド付きコプレーナ線路によって構成されることとな
る。
【0032】一方、上記パッケージ1を実装するための
第2の配線基板となる外部回路基板14の表面の配線パ
ターン図を図4に示した。
【0033】図4によれば、外部回路基板14の表面に
は、パッケージ1における誘電体基板2の裏面に形成さ
れた接続部と整合するように、第2の高周波伝送線路B
として中心導体15aとその両脇に一対の接続パッド1
5bが形成されており、さらに、外部回路基板14内部
にはグランド層16が形成されている。また、外部回路
基板14における実装部には、パッケージ1の角部と整
合する部分に位置合わせ印17を形成してもよい。
【0034】なお、外部回路基板14は、誘電損失がミ
リ波帯においても小さい材料を用いることが望ましく、
セラミックス、ガラスセラミックス、ガラス有機樹脂系
複合材料、石英等が好適に使用できる。また、基板14
表面に形成される線路は、Ag、Cu、Au等の低抵抗
導体からなることが望ましい。
【0035】また、この接続パッド10とグランド層8
との電気的な接続は、図6の実装部の斜視図に示される
ように、上記スルーホール導体18以外にも、パッケー
ジ1の誘電体基板2の端面に形成された導体帯19、例
えば切り欠き部内にメッキや導電材が充填された導電性
切り欠き部(キャスタレーション)、または端面への導
体の塗布によって接続することもできる。
【0036】また、外部回路基板14において、接続部
の中心導体9の両側に形成された接続パッド15bを、
スルーホール導体20によって外部回路基板14内部に
形成されたグランド層16と電気的に接続することによ
り、接続パッド15bは、グランド層16と同電位に保
たれ、この外部回路基板における接続部もグランド付き
コプレーナ線路によって構成されることとなる。
【0037】そして、上記のパッケージ1を上記外部回
路基板14に実装するにあたっては、パッケージ1の第
1の高周波伝送線路A形成面と、外部回路基板14の第
2の高周波伝送線路B形成面とを対面させて、中心導体
9、15a同士をロウ材などの導電性接着材21によっ
てロウ付け接続すると同士に、パッケージ1側の中心導
体9の両側に形成された接続パッド10と、外部回路基
板14側の中心導体15aの両側に形成された接続パッ
ド15b同士もロウ材などの導電性接着材22によって
ロウ付け接続することにより、強固な接続が可能とな
る。
【0038】この時、前記パッケージ1側のスルーホー
ル導体18、あるいは導体帯19と、外部回路基板14
側のスルーホール導体20とが、上記の接続パッド間の
導電性接着材22を介して略直線的になるように固定す
ることが望ましい。
【0039】その結果、パッケージ1のグランド層8と
外部回路基板14のグランド層16とは、スルーホール
導体18あるいは導体帯19、接続パッド10、導電性
接着材22、接続パッド15b、スルーホール導体20
とからなる接続導体路によって、中心導体と直交するよ
うに略直線的に形成されることになり、グランド層8と
グランド層16とを上記接続導体路によって最短距離で
接続することができる。
【0040】なお、上記接続導体路において、パッケー
ジ1のグランド層8と接続パッド10とを図6に示した
ような導体帯19によって接続する場合、接続部の接続
パッド10の線幅と実質的に同一幅にするか、または接
続パッド10の一方の縁と導体帯19の縁が整合するよ
うに形成することによって、誘電体基板2の裏面の接続
パッド10の位置を基板の端面から容易に確認すること
ができることから、パッケージ1の外部回路基板14へ
の実装箇所を黙視確認することができる。
【0041】また、上記実装構造においては、パッケー
ジ1における第1の高周波用伝送線路Aと第3の高周波
用伝送線路Cとをグランド層8内に設けられたスロット
孔11を介した電磁的接続、あるいはグランド層8内を
貫通するビアホール導体による電気的接続した場合、図
1に示されるように、その接続部の直下に位置する外部
回路基板14の表面に凹部あるいは貫通孔23を形成す
ることにより第1の高周波用伝送線路Aと第3の高周波
用伝送線路Cとの接続性を高めることができる。
【0042】なお、パッケージ1において、誘電体基板
2の表面に形成されたメタライズシール部6は、誘電体
基板2内部に設けられたグランド層8と前記スルーホー
ル導体18あるいは導体帯19を延長して形成すること
により電気的に接続することにより、パッケージ1の磁
気シールド性を高めることができる。
【0043】さらに、本発明によれば、図6に示すよう
に、誘電体基板2の角部においても同様な導体帯24を
形成することにより、さらにパッケージ1の外部回路基
板14への実装時の位置合わせを容易に行うことができ
る。
【0044】なお、上記導体帯19、24は、例えば、
上記パッケージ1の配線基板を作製する過程において、
誘電体基板2の周囲に切断しろ部分を形成した基板を作
製し、その誘電体基板2の端面となる境界線上の導体帯
形成箇所に、孔を明け、その孔内に真空吸引しながら導
体インクを流し込み、適宜焼き付け処理した後、前記境
界線にて切断することにより形成することができる。
【0045】なお、上記の実施態様において、パッケー
ジ1においては、誘電体基板2のキャビティ4領域に
は、高周波用伝送線路のみならず、高周波素子5に電力
を供給するための電源層(図示せず)が形成されてお
り、電源層の一端は、高周波素子5とリボンやワイヤ、
TAB等によってそれぞれ電気的に接続され、他端は、
誘電体基板2を貫通するスルーホール導体によって誘電
体基板2の裏面まで導出され、導出されたスルーホール
導体は、電極パッド等を介して外部回路基板14に設け
られた電源用の端子と半田等により接続されるものであ
る。
【0046】このように、本発明の実装構造によれば、
中心導体およびグランド層を有するマイクロストリップ
の伝送モードの伝送線路を有する高周波用半導体パッケ
ージなどの配線基板を、同様にマイクロストリップの伝
送モードの伝送線路を有する外部回路基板などに実装す
る際、両基板間の伝送線路の接続性を高め、伝送損失を
抑制した実装が可能となる。
【0047】
【実施例】なお、本発明の構成による伝送特性を評価す
るために、以下の評価を行った。評価にあたっては、図
7に示すように、誘電体基板2の表面側の中心導体7を
高周波素子を介さずに直接接続した配線基板を作製し、
これを外部回路基板14に実装した実装構造物に対し
て、外部回路基板14における中心導体15間における
信号の伝送特性をベクトルネットワークアナライザによ
って測定した。
【0048】測定では、外部回路基板側において、ビア
ホール導体20が存在する場合(No.1)と、存在しな
い場合(No.2)における伝送特性を図8に示した。
【0049】図8の結果から明らかなように、30〜4
0GHzにおいて、ビアホール導体20のない場合は、
特性が−4dB〜−6.5dBと劣化しているが、ビア
ホール導体20を形成すると、−1dB〜−dBと良好
な結果が得られた。
【0050】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の高周波用配
線基板の実装構造は、マイクロストリップの伝送モード
の高周波用伝送線路を有する第1および第2の高周波用
配線基板の伝送線路間の接続性を高めることができ、損
失の小さい伝送特性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の高周波用配線基板の実装構造の具体例
として、高周波用パッケージを外部回路基板に実装した
実装構造を示す断面図である。
【図2】図1の高周波用パッケージの誘電体基板の表面
の配線を説明するための図である。
【図3】本発明における高周波用パッケージの誘電体基
板の裏面の配線を説明するための図である。
【図4】図1の具体例における外部回路基板表面の配線
を説明するための図である。
【図5】図1の具体例におけるX−X線断面図である。
【図6】本発明における実装構造の他の具体例を説明す
るための実装部の斜視図である。
【図7】実施例において用いた評価用配線基板の実装構
造を説明するための概略断面図である。
【図8】実施例における評価用配線基板の実装構造の伝
送特性を示す図であり、No.1が本発明品、No.2が比
較品を示す。
【符号の説明】
1 高周波用パッケージ 2 誘電体基板 3 蓋体 4 キャビティ 5 高周波素子 6 メタライズシール部 7,9,10a,15a 中心導体 8,10b グランド層 10 接続パッド 11 スロット孔 12,13 導体帯 14 外部回路基板 15 接続パッド(グランド層) 16 グランド層 17 位置合わせ印 18 スルーホール導体 19、24 導体帯 20 スルーホール導体 21、22 導電性接着材 23 凹部 A 第1の高周波伝送線路 B 第2の高周波伝送線路 C 第3の高周波伝送線路

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の誘電体基板の裏面に形成された第1
    の中心導体と、該第1の誘電体基板の内部または表面に
    形成された第1のグランド層とを具備する第1の高周波
    伝送線路を有する第1の高周波用配線基板を、第2の誘
    電体基板の表面に形成された第2の中心導体と、該第2
    の誘電体基板の内部または裏面に形成された第2のグラ
    ンド層とを具備する第2の高周波伝送線路を有する第2
    の高周波用配線基板に実装するための構造であって、 前記第1の高周波用配線基板の前記第1の中心導体と前
    記第2の高周波用配線基板の前記第2の中心導体とを導
    電性接着材によって接続するとともに、前記第1の高周
    波用配線基板の第1のグランド層と前記第2の高周波用
    配線基板の前記第2のグランド層とを、前記第1および
    第2の誘電体基板内部あるいは端面に設けられ、前記中
    心導体同士の接続部の両側を経由して設けられた2つの
    接続導体路によって接続してなることを特徴とする高周
    波用配線基板の実装構造。
  2. 【請求項2】前記接続導体路が、前記中心導体と直交す
    るように略直線的に形成されてなることを特徴とする請
    求項1記載の高周波用配線基板の実装構造。
  3. 【請求項3】前記接続導体路が、前記第1の誘電体基板
    内部に設けられたビアホール導体と、前記第1の誘電体
    基板裏面に被着形成された第1の接続パッドと、前記第
    2の誘電体基板表面に被着形成された第2の接続パッド
    と、前記第1の誘電体基板内部に設けられたビアホール
    導体と、前記第1の接続パッドと前記第2の接続パッド
    とを接続する導電性接着材と、から構成されることを特
    徴とする請求項1または請求項2記載の高周波用配線基
    板の実装構造。
  4. 【請求項4】前記接続導体路が、前記第1の誘電体基板
    の端面に形成された導体帯と、前記第1の誘電体基板裏
    面に被着形成された第1の接続パッドと、前記第2の誘
    電体基板表面に被着形成された第2の接続パッドと、前
    記第1の誘電体基板内部に設けられたビアホール導体
    と、前記第1の接続パッドと前記第2の接続パッドとを
    接続する導電性接着材と、から構成されることを特徴と
    する請求項1または請求項2記載の高周波用配線基板の
    実装構造。
  5. 【請求項5】前記第1の誘電体基板の表面に、高周波素
    子と接続された第3の高周波伝送線路が形成されてお
    り、前記第1の高周波伝送線路と、前記第3の高周波伝
    送線路とが接続されてなることを特徴とする請求項1記
    載の高周波用配線基板の実装構造。
  6. 【請求項6】前記第1の高周波用伝送線路と前記第3の
    高周波伝送線路とが、前記第1のグランド層内に設けら
    れたスロット孔を介して電磁的に接続されてなることを
    特徴とする請求項1記載の高周波用配線基板の実装構
    造。
  7. 【請求項7】前記第1の高周波用伝送線路と前記第3の
    高周波伝送線路とが、前記第1のグランド層内を貫通す
    るビアホール導体によって電気的に接続されてなること
    を特徴とする請求項2記載の高周波用配線基板の実装構
    造。
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