JP2000161392A - チューブ加圧式ブレーキ - Google Patents
チューブ加圧式ブレーキInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D65/00—Parts or details
- F16D65/14—Actuating mechanisms for brakes; Means for initiating operation at a predetermined position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D49/00—Brakes with a braking member co-operating with the periphery of a drum, wheel-rim, or the like
- F16D49/14—Brakes with a braking member co-operating with the periphery of a drum, wheel-rim, or the like shaped as a fluid-filled flexible member actuated by variation of the fluid pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D2125/00—Components of actuators
- F16D2125/02—Fluid-pressure mechanisms
- F16D2125/14—Fluid-filled flexible members, e.g. enclosed air bladders
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D2250/00—Manufacturing; Assembly
- F16D2250/0038—Surface treatment
- F16D2250/0046—Coating
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】解放時にチューブの弛みによる引き摺りトルク
の発生が防止され、圧力流体注入時に圧力流体の漏れが
なく、又摩擦特性も調節できるチューブ加圧式ブレーキ
を得る。 【解決手段】チューブに流体を注入して圧力を発生させ
相対回転する一対の部材間にトルクを伝達するチューブ
加圧式ブレーキのチューブ１の外面又は側面等任意の個
所に必要なコーティングを施す。図において１はチュー
ブ、２は外枠であって、チューブの折り返し部３が押え
板によって、スペーサー８を介してリベット５で外枠２
に固定されている。図示の例ではコーティング９がチュ
ーブ１の外面に施されているが、コーティングは全面で
なく、必要個所に任意の態様で施されることができる。
の発生が防止され、圧力流体注入時に圧力流体の漏れが
なく、又摩擦特性も調節できるチューブ加圧式ブレーキ
を得る。 【解決手段】チューブに流体を注入して圧力を発生させ
相対回転する一対の部材間にトルクを伝達するチューブ
加圧式ブレーキのチューブ１の外面又は側面等任意の個
所に必要なコーティングを施す。図において１はチュー
ブ、２は外枠であって、チューブの折り返し部３が押え
板によって、スペーサー８を介してリベット５で外枠２
に固定されている。図示の例ではコーティング９がチュ
ーブ１の外面に施されているが、コーティングは全面で
なく、必要個所に任意の態様で施されることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は自動変速機、建
機、農機等のクラッチやブレーキに用いられるチューブ
加圧式ブレーキに関する。
機、農機等のクラッチやブレーキに用いられるチューブ
加圧式ブレーキに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は、この発明を施す前のチューブ加
圧式ブレーキの構成を正面から見た断面図であって、チ
ューブ１が外枠２の内周に設けられ、チューブ１の両端
は折り返され、その折り返し部３は押え板４とリベット
５によって、外枠２に固定されている。６はチューブに
加圧流体を注入するために外枠２に設けられた加圧流体
供給孔である。７はチューブが折り返されている外枠２
の窓を示す。なお、図示はされていないが、チューブ１
の内方に締め付けられるべき相手部材が存在する。この
チューブ加圧式ブレーキのチューブの材質としては主に
ゴムなどが、従来はそのまま用いられていた。
圧式ブレーキの構成を正面から見た断面図であって、チ
ューブ１が外枠２の内周に設けられ、チューブ１の両端
は折り返され、その折り返し部３は押え板４とリベット
５によって、外枠２に固定されている。６はチューブに
加圧流体を注入するために外枠２に設けられた加圧流体
供給孔である。７はチューブが折り返されている外枠２
の窓を示す。なお、図示はされていないが、チューブ１
の内方に締め付けられるべき相手部材が存在する。この
チューブ加圧式ブレーキのチューブの材質としては主に
ゴムなどが、従来はそのまま用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】チューブ加圧式ブレー
キに用いられるチューブは耐熱性、強度、摩擦特性の向
上と、引き摺りトルク発生の防止とか、加圧流体の漏れ
の防止などのチューブの基本性能を向上させる必要があ
るが、従来のゴムなどをそのまま用いていたチューブで
は、これらの必要性能の向上が十分ではなかった。
キに用いられるチューブは耐熱性、強度、摩擦特性の向
上と、引き摺りトルク発生の防止とか、加圧流体の漏れ
の防止などのチューブの基本性能を向上させる必要があ
るが、従来のゴムなどをそのまま用いていたチューブで
は、これらの必要性能の向上が十分ではなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するために、加圧式ブレーキのチューブにコーティ
ングが施されていることを特徴とするチューブ加圧式ブ
レーキを得たものである。
解決するために、加圧式ブレーキのチューブにコーティ
ングが施されていることを特徴とするチューブ加圧式ブ
レーキを得たものである。
【０００５】
【作用】コーティングがチューブの外面もしくは内面の
全体に施されていると、加圧流体の漏れを防止し、チュ
ーブから加圧流体を抜いたブレーキの不作動時にチュー
ブの弛みを防止して引き摺りトルクの発生を防止する。
また、チューブ外面の摩擦係合面にコーティングが施さ
れていると摩擦特性を調整することができる。さらに、
耐熱性に優れた樹脂などで摩擦面をコーティングした
り、あるいは逆に耐熱性が要求される個所のみコーティ
ングを行わずにその個所に潤滑油を通過させたりして耐
熱性を向上させることができる。その上、コーティング
により弱い個所を補強することにより、強度を向上させ
ることができ、また、外枠の窓部のところのチューブ折
り返し部にコーティングを施し、強度を増すこともでき
る。この発明の目的を達成するのに適したコーティング
材には、フッ素樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂等
がよい。
全体に施されていると、加圧流体の漏れを防止し、チュ
ーブから加圧流体を抜いたブレーキの不作動時にチュー
ブの弛みを防止して引き摺りトルクの発生を防止する。
また、チューブ外面の摩擦係合面にコーティングが施さ
れていると摩擦特性を調整することができる。さらに、
耐熱性に優れた樹脂などで摩擦面をコーティングした
り、あるいは逆に耐熱性が要求される個所のみコーティ
ングを行わずにその個所に潤滑油を通過させたりして耐
熱性を向上させることができる。その上、コーティング
により弱い個所を補強することにより、強度を向上させ
ることができ、また、外枠の窓部のところのチューブ折
り返し部にコーティングを施し、強度を増すこともでき
る。この発明の目的を達成するのに適したコーティング
材には、フッ素樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂等
がよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】図２、図３はこの発明の第１実施
例を示し、図２は図１の円Ｄの内部の拡大図、図３は図
１のＡ-Ｏ断面図に相当する。また、図１と同じ符号
は、同じ部分を表している。図３で８は外枠１と押え板
４の間のスペーサを表わしている。この第１実施例では
チューブ１の内面にコーティング９が施されている。
例を示し、図２は図１の円Ｄの内部の拡大図、図３は図
１のＡ-Ｏ断面図に相当する。また、図１と同じ符号
は、同じ部分を表している。図３で８は外枠１と押え板
４の間のスペーサを表わしている。この第１実施例では
チューブ１の内面にコーティング９が施されている。
【０００７】それにより、ブレーキ作動時内方の相手部
材（図示されていない）のトルクを受けたとき、荷重が
集中する折り返し部３の補強を行い、また、不作動時に
チューブから加圧流体を抜いたとき、チューブの型崩れ
を防止し、空転時にチューブと相手部材との接触を防止
して引き摺りトルクの発生を防ぎ、また、作動時の加圧
流体の漏れを防止することができる。
材（図示されていない）のトルクを受けたとき、荷重が
集中する折り返し部３の補強を行い、また、不作動時に
チューブから加圧流体を抜いたとき、チューブの型崩れ
を防止し、空転時にチューブと相手部材との接触を防止
して引き摺りトルクの発生を防ぎ、また、作動時の加圧
流体の漏れを防止することができる。
【０００８】図４、図５は第２実施例を示し、図４は図
１の円Ｄの内部の拡大図、図５は図１のＡ-Ｏ断面図に
相当する。図１と同じ符号は同じ部分を示している。第
２実施例では、チューブ１の外面にコーティングが施さ
れている。こうすれば第１実施例において説明した効果
に加え、コーティング材の摩擦特性をそのまま生かすこ
とができる。
１の円Ｄの内部の拡大図、図５は図１のＡ-Ｏ断面図に
相当する。図１と同じ符号は同じ部分を示している。第
２実施例では、チューブ１の外面にコーティングが施さ
れている。こうすれば第１実施例において説明した効果
に加え、コーティング材の摩擦特性をそのまま生かすこ
とができる。
【０００９】図６ないし図２４は図３または図５のＢ−
Ｃ断面図に相当するもので、チューブ１の内面または外
面に実際にコーティングした状態を展開して示したもの
である。網目状に表した部分９がチューブ１の内面また
は外面にコーティングした部分を示す。図６は全面にコ
ーティングした場合を示し、図７以下は部分的にコーテ
ィングした場合の種々の状態を示している。このように
コーティングを部分的に行うことで摩擦特性の調節、冷
却オイルの潤滑性、あるいは強度または耐熱性を部分的
に向上させることができる。
Ｃ断面図に相当するもので、チューブ１の内面または外
面に実際にコーティングした状態を展開して示したもの
である。網目状に表した部分９がチューブ１の内面また
は外面にコーティングした部分を示す。図６は全面にコ
ーティングした場合を示し、図７以下は部分的にコーテ
ィングした場合の種々の状態を示している。このように
コーティングを部分的に行うことで摩擦特性の調節、冷
却オイルの潤滑性、あるいは強度または耐熱性を部分的
に向上させることができる。
【００１０】摩擦特性の調整という観点から部分コーテ
ィングのあり方を考えた場合、図１７や図１８が優れた
効果を奏する。第１、第２実施例で述べたチューブ加圧
式ブレーキではセルフエンゲージ力が働くので、回転方
向によってチューブ各端部で受け持つトルクがそれぞれ
異なってくる。ここでは受け持つトルク容量が大きい方
をアンカー側、小さい側をアプライ側と称している。例
えば、チューブの摩擦係合面でアンカー側が減りやすい
ので、アンカー側の摩擦係数を若干少なくしたいと考え
た場合、コーティングした部分の摩擦係数が、コーティ
ングをしていない部分に比べて低くなる場合は、図１８
のようにコーティングすることが効果的である一方、摩
擦係数がコーティングした部分の摩擦係数のほうが高く
なる場合は逆に図１７のようにすることが効果的であ
る。
ィングのあり方を考えた場合、図１７や図１８が優れた
効果を奏する。第１、第２実施例で述べたチューブ加圧
式ブレーキではセルフエンゲージ力が働くので、回転方
向によってチューブ各端部で受け持つトルクがそれぞれ
異なってくる。ここでは受け持つトルク容量が大きい方
をアンカー側、小さい側をアプライ側と称している。例
えば、チューブの摩擦係合面でアンカー側が減りやすい
ので、アンカー側の摩擦係数を若干少なくしたいと考え
た場合、コーティングした部分の摩擦係数が、コーティ
ングをしていない部分に比べて低くなる場合は、図１８
のようにコーティングすることが効果的である一方、摩
擦係数がコーティングした部分の摩擦係数のほうが高く
なる場合は逆に図１７のようにすることが効果的であ
る。
【００１１】強度または耐熱性を考えた場合やはり上記
と同様にアンカー側の強度や耐熱性が求められる場合が
多い。このような場合には、図８、図２１のようにアン
カー側にコーティングを施したものが効果的になる。
と同様にアンカー側の強度や耐熱性が求められる場合が
多い。このような場合には、図８、図２１のようにアン
カー側にコーティングを施したものが効果的になる。
【００１２】冷却オイルの潤滑性による耐熱性の向上を
考えた場合、図１５のように相手部材の回転方向に対し
て角度を付けたコーティングを施してチューブ全体へ油
が行き渡りやすくするのが効果的である。なお図６ない
し図２４では図の上方をアプライ側、下方をアンカー側
として描かれている。
考えた場合、図１５のように相手部材の回転方向に対し
て角度を付けたコーティングを施してチューブ全体へ油
が行き渡りやすくするのが効果的である。なお図６ない
し図２４では図の上方をアプライ側、下方をアンカー側
として描かれている。
【００１３】図２５、図２６は第３実施例を示し、図１
と同じ符号は同じ部分を示している。図２５は図１の円
Ｄの内部の拡大図、図２６は図１のＡ−Ｏ断面図に相当
する。
と同じ符号は同じ部分を示している。図２５は図１の円
Ｄの内部の拡大図、図２６は図１のＡ−Ｏ断面図に相当
する。
【００１４】チューブ１は膨張、収縮の動作を繰り返す
ことで側部に疲労がたまり、もろくなるのは避けられな
い。またチューブ側部の編み目の部分は加圧流体が漏れ
易い。そこでこの実施例のようにチューブ側部にコーテ
ィングを施すことによってこれらの問題を解決すること
ができる。
ことで側部に疲労がたまり、もろくなるのは避けられな
い。またチューブ側部の編み目の部分は加圧流体が漏れ
易い。そこでこの実施例のようにチューブ側部にコーテ
ィングを施すことによってこれらの問題を解決すること
ができる。
【００１５】図２７、図２８は第４実施例を示し、図２
７は図１の円Ｄの内部の拡大図、図２８は図１のＡ−Ｏ
断面図に相当し、図１と同じ符号は同じ部分を示してい
る。
７は図１の円Ｄの内部の拡大図、図２８は図１のＡ−Ｏ
断面図に相当し、図１と同じ符号は同じ部分を示してい
る。
【００１６】チューブ１自体の摩擦特性が良く、また磨
耗にも強い場合に摩擦係合面にコーティングを施すとか
えって摩擦特性が悪くなる場合がある。それでこの発明
では摩擦係合面以外の個所にコーティングを施すことに
よって解放時の形状を維持し、又チューブ側部の油漏れ
防止や補強を図ると共にチューブ１自体の摩擦性能を生
かすこともできるようにしたものである。
耗にも強い場合に摩擦係合面にコーティングを施すとか
えって摩擦特性が悪くなる場合がある。それでこの発明
では摩擦係合面以外の個所にコーティングを施すことに
よって解放時の形状を維持し、又チューブ側部の油漏れ
防止や補強を図ると共にチューブ１自体の摩擦性能を生
かすこともできるようにしたものである。
【００１７】なおコーティング剤の種類や図２７に示す
ようなコーティングでは第１実施例や第２実施例の解放
時のようにチューブから圧を抜いたときにはチューブ形
状の型くずれを防止することができないので、図２７、
図２８に示す第４実施例ではチューブ内部にばね１０を
設け、チューブを内側から外側へ押し拡げるように付勢
してチューブの型くずれの防止を図っている。
ようなコーティングでは第１実施例や第２実施例の解放
時のようにチューブから圧を抜いたときにはチューブ形
状の型くずれを防止することができないので、図２７、
図２８に示す第４実施例ではチューブ内部にばね１０を
設け、チューブを内側から外側へ押し拡げるように付勢
してチューブの型くずれの防止を図っている。
【００１８】
【効果】この発明のチューブ加圧式ブレーキは前記の如
き構成であって、解放時のチューブの弛みによる型くず
れのための相手部材との接触を防止することによって引
き摺りトルクの発生を防ぎ、又加圧流体のもれを防止
し、さらにチューブの摩擦特性を調整することができ、
耐熱性ならびに強度も向上させたチューブ加圧式ブレー
キを得たものである。
き構成であって、解放時のチューブの弛みによる型くず
れのための相手部材との接触を防止することによって引
き摺りトルクの発生を防ぎ、又加圧流体のもれを防止
し、さらにチューブの摩擦特性を調整することができ、
耐熱性ならびに強度も向上させたチューブ加圧式ブレー
キを得たものである。
【図１】 この発明を施すことのできるチューブ加圧
式ブレーキを正面から見た断面図
式ブレーキを正面から見た断面図
【図２】 第１実施例を示す図１の円Ｄ内の拡大図に
相当する図
相当する図
【図３】 第１実施例を示す図１のＡ-Ｏ断面図に相
当する図
当する図
【図４】 第２実施例を示す図１の円Ｄ内の拡大図に
相当する図
相当する図
【図５】 第２実施例を示す図１のＡ-Ｏ断面図に相
当する図
当する図
【図６】 コーティング状態を示すチューブの展開図
【図７】 コーティング状態を示すチューブの展開図
【図８】 コーティング状態を示すチューブの展開図
【図９】 コーティング状態を示すチューブの展開図
【図１０】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１１】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１２】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１３】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１４】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１５】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１６】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１７】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１８】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図１９】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２０】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２１】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２２】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２３】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２４】 コーティング状態を示すチューブの展開
図
図
【図２５】 第３実施例を示す図１の円Ｄ内の拡大図
に相当する図
に相当する図
【図２６】 第３実施例を示す図１のＡ-Ｏ断面図に
相当する図
相当する図
【図２７】 第４実施例を示す図１の円Ｄ内の拡大図
に相当する図
に相当する図
【図２８】 第４実施例を示す図１のＡ-Ｏ断面図に
相当する図
相当する図
１ チューブ ２ 外枠 ３ チューブ折り返し部 ４ 押え板 ５ リベット ６ 加圧流体供給孔 ７ 窓 ８ スペーサ ９ コーティング １０ ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木下 芳男 静岡県袋井市愛野2345番地 エヌエスケ ー・ワーナー株式会社内 Ｆターム(参考） 3J058 AA03 AA13 AA18 AA28 AA37 BA16 BA32 BA42 BA44 BA46 BA73 CA33 CC03 EA13 EA15 EA32 FA12 FA17 FA29
Claims (4)
- 【請求項１】 チューブに流体を注入して圧力を発生
させ、相対回転する一対の部材間にトルクを伝達するチ
ューブ加圧式ブレーキにおいて、 上記チューブにコーティングが施されていることを特徴
とするチューブ加圧式ブレーキ。 - 【請求項２】 前記コーティングが前記チューブの内
面に施されていることを特徴とする請求項１に記載のチ
ューブ加圧式ブレーキ。 - 【請求項３】 前記コーティングが前記チューブの外
面に施されていることを特徴とする請求項１に記載のチ
ューブ加圧式ブレーキ。 - 【請求項４】 前記チューブはチューブを固定する枠
部材の窓部で折り返されており、この折り返し部にコー
ティングが施されていることを特徴とする請求項１に記
載のチューブ加圧式ブレーキ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10338878A JP2000161392A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | チューブ加圧式ブレーキ |
| US09/449,620 US6374961B1 (en) | 1998-11-30 | 1999-11-30 | Tube-pressed brake |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10338878A JP2000161392A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | チューブ加圧式ブレーキ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000161392A true JP2000161392A (ja) | 2000-06-13 |
Family
ID=18322249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10338878A Pending JP2000161392A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | チューブ加圧式ブレーキ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6374961B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000161392A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7355693B2 (en) | 2004-12-17 | 2008-04-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern inspection apparatus |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4117185B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2008-07-16 | Ｎｓｋワーナー株式会社 | 二重巻バンドブレーキ装置 |
| DE10335795A1 (de) * | 2003-08-05 | 2005-03-10 | Klaus Hofmann | Klemm- und/oder Bremsvorrichtung |
| US11524523B2 (en) * | 2019-06-12 | 2022-12-13 | Toyota Motor North America, Inc. | Omni-wheel brake devices and methods for braking an omni-wheel |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6199625A (ja) | 1984-10-18 | 1986-05-17 | Horikiri Bane Seisakusho:Kk | 板ばねの製造方法 |
| JPH0757469B2 (ja) | 1987-04-21 | 1995-06-21 | 同和鉱業株式会社 | シヨツトピ−ニングによる金属の表面処理方法及びその装置 |
| JP2712558B2 (ja) | 1989-05-24 | 1998-02-16 | 日産自動車株式会社 | ショットピーニング方法 |
| US5086899A (en) | 1991-07-17 | 1992-02-11 | Eaton Corporation | Coupling assembly component |
| JP3049165B2 (ja) | 1993-02-15 | 2000-06-05 | 株式会社不二製作所 | 粉末合金の表面層の処理法 |
| US6016841A (en) * | 1997-08-27 | 2000-01-25 | Autoliv Asp, Inc. | Accumulator with low permeability flexible diaphragm |
| JPH11182592A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-06 | Nsk Warner Kk | チューブ加圧式ブレーキバンド |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP10338878A patent/JP2000161392A/ja active Pending
-
1999
- 1999-11-30 US US09/449,620 patent/US6374961B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7355693B2 (en) | 2004-12-17 | 2008-04-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern inspection apparatus |
| US7599054B2 (en) | 2004-12-17 | 2009-10-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern inspection apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6374961B1 (en) | 2002-04-23 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071112 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080304 |