JP2000150609A - 基板搬出入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 載置手段のメインテナンスを効率良く行える
基板搬出入装置を提供する。 【解決手段】 基板搬出入装置は、基板Ｗを収納したポ
ッドＣを載置する載置部１０とポッドＣから基板Ｗの移
載を行う移載部３０とを備えている。載置部１０は、複
数の載置ユニット１をもって構成されており、各載置ユ
ニット１は移載部３０に着脱自在に装着されている。移
載部３０は、各載置ユニット１の上部に位置する隔壁３
２にシールツール６０をそれぞれ備えている。シールツ
ール６０は、ロールシートを下方に払い出すことと、上
方に巻き取ることが可能である。載置ユニット１の修理
・メインテナンスを行うときには、移載部３０から当該
載置ユニット１を取り外し、移載部３０のうち載置ユニ
ット１が装着されていた領域をシールツール６０のロー
ルシートによって遮蔽する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板や液晶
ガラス基板などの薄板状基板（以下、「基板」と称す
る）を収納する収納容器からの基板の搬出と収納容器へ
の基板の搬入とを行う基板搬出入装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、基板に対してレジスト塗
布処理等の処理を行う基板処理装置においては、パーテ
ィクル等の汚染物質の少ない清浄な環境が必要とされて
いる。このため、基板処理装置に接続され、基板を収納
する収納容器からの基板の搬出と収納容器への基板の搬
入とを行う基板搬出入装置においても、内部の気密性を
高めた装置が使用されている。

【０００３】従来より、このような基板搬出入装置は、
収納容器から基板を取り出しおよび収納容器へ基板を収
納する移載ロボットを有する移載部と、当該移載部に着
脱可能に設けられ、収納容器を載置する複数の載置ユニ
ットとを備えている。載置ユニットには開口部が設けら
れており、移載ロボットはその開口部を介して収納容器
から基板の取り出し等を行う。

【０００４】また、移載部にはシャッターが設けられて
おり、載置ユニットに収納容器が載置されていないとき
は、載置ユニットの開口部がそのシャッターによって遮
蔽されることにより基板搬出入装置内の気密性が保たれ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような基板搬出
入装置においても、載置ユニットの修理・メインテナン
スが適宜必要である。このような場合は、複数の載置ユ
ニットのうちの修理・メインテナンスが必要な載置ユニ
ットを移載部から取り外すことによって行っていた。

【０００６】一部の載置ユニットが修理中であっても、
基板搬出入装置内部の気密性を保つ必要があるため、従
来は修理中の載置ユニットが取り外された領域に金属板
やプラスチックシートを張り付け、それによって基板搬
出入装置内外の雰囲気を遮断していた。

【０００７】しかしながら、載置ユニットの修理・メイ
ンテナンスを行う都度、そのような金属板やプラスチッ
クシートを準備して張り付ける必要があるため、修理・
メインテナンスの作業効率が低下するという問題が生じ
ていた。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、載置手段のメインテナンスを効率良く行える基
板搬出入装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板を収納する収納容器からの
基板の搬出と前記収納容器への基板の搬入とを行う基板
搬出入装置であって、(a)前記収納容器から基板を取り
出すことと前記収納容器に基板を収納することとを行う
移載部と、(b)前記移載部に着脱可能に設けられ、前記
収納容器を載置する複数の載置手段と、(c)前記移載部
から前記載置手段を取り外したときに、前記移載部のう
ち当該載置手段が装着されていた領域を遮蔽する遮蔽手
段と、を備えている。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明にか
かる基板搬出入装置の概略構成を示す平面図である。ま
た、図２は基板搬出入装置の側面図である。なお、図１
および図２には、それらの方向関係を明確にするため、
ＸＹＺ直交座標系を付している。

【００１１】基板を収納する収納容器には、容器の一部
が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ(open cassett
e；以下、単に「カセット」と称する)と、容器内部が密
閉されたタイプのＦＯＵＰ(front opening unified po
d；以下、単に「ポッド」と称する)とがある。本発明に
かかる基板搬出入装置は、カセットまたはポッドのいず
れにも対応させることが可能なものであるが、以下の説
明においてはポッドに対応する基板搬出入装置を例とし
て説明する。

【００１２】この基板搬出入装置は、装置外部からポッ
ドＣが載置される載置部１０と、載置部１０に載置され
たポッドＣから基板Ｗを取り出して装置外部の基板処理
装置ＰＵに渡すとともに、基板処理装置ＰＵから基板Ｗ
を受け取って載置部１０のポッドＣに収納する移載部３
０とを備えている。なお、基板処理装置ＰＵは、例え
ば、基板Ｗにレジスト塗布処理、現像処理およびそれら
に付随する各種熱処理を行う処理装置である。

【００１３】載置部１０は、複数個（本実施形態におい
ては４個）の載置ユニット１によって構成されている。
載置ユニット１のそれぞれは、移載部３０の隔壁３２に
嵌合され、ビスで止められることによって移載部３０に
装着される。

【００１４】各載置ユニット１には、ポッドＣを載置す
るためのステージ２が設けられている。ステージ２に
は、ポッドＣが載置されたことを検出するために、反射
センサやプッシュスイッチなどで構成された検出手段
（図示省略）がポッドＣの載置面に設けられている。ま
た、ステージ２は、その下方に設けられたポッド駆動機
構４によってＹ方向に進退可能とされている。

【００１５】ポッド駆動機構４は、ステージ２の下面に
設けられた凸部２ａに螺合する螺軸４ｂをモータ４ａに
よって駆動することによりステージ２をＹ方向に進退さ
せるというネジ送り機構によって構成されている。載置
ユニット１が移載部３０に装着された状態において、ス
テージ２にポッドＣが載置されると、モータ４ａが螺軸
４ｂを正回転させてステージ２を移載部３０に（＋Ｙ方
向に）向けて前進させる。逆に、ステージ２からポッド
Ｃを取り外すときは、モータ４ａが螺軸４ｂを逆回転さ
せてステージ２を後退させる（−Ｙ方向に移動させ
る）。

【００１６】また、載置ユニット１のそれぞれには、開
口部６が設けられている。開口部６が設けられているの
は、ポッドＣから基板Ｗを取り出し／収納するためであ
る。開口部６は、載置ユニット１にポッドＣが載置され
た状態において、当該ポッドＣの開口と対向する位置
に、ポッドＣの開口の面積と同程度の面積にて形成され
ている。また、載置ユニット１のそれぞれには、開口部
６を開閉可能にシャッター７１が設けられている。この
シャッター７１は、シャッター開閉機構７２により開閉
駆動され、ポッドＣが載置ユニット１に載置されていな
いときに開口部６を閉鎖して基板搬出入装置の内外の雰
囲気を遮断するためのものである。４つの載置ユニット
１が移載部３０に装着された状態においては、基板搬出
入装置の内部（厳密には移載部３０の内部）と装置外部
とはそれぞれの開口部６によってのみ連通されることと
なる。言い換えると、開口部６以外の載置ユニット１と
移載部３０との接続部分は気密性が保たれているのであ
る。

【００１７】移載部３０は、ポッドオープナ４０と移載
ロボット５０とを備えている。ポッドオープナ４０は、
ポッドＣの蓋３をポッドＣに対して着脱するためのもの
で、各載置ユニット１に対応して設けられており、本実
施形態では４つ設けられている。そして、それぞれのポ
ッドオープナ４０は、蓋開閉部材４５と蓋開閉部材駆動
機構４７によって構成されている。

【００１８】蓋開閉部材４５は、蓋開閉部材駆動機構４
７に取り付けられている。蓋開閉部材駆動機構４７は、
蓋開閉部材４５を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降させる昇降
機構４７ａと、Ｙ方向に進退させる進退機構４７ｂとで
構成されている。昇降機構４７ａは、図示しないモータ
の回転によって蓋開閉部材４５を昇降させるためのネジ
送り機構で構成されている。また、進退機構４７ｂも、
昇降機構４７ａをＹ方向に進退させるネジ送り機構で構
成されており、進退機構４７ｂにより昇降機構４７ａを
進退させることにより、それに連動させて蓋開閉部材４
５をＹ方向に進退させている。

【００１９】載置ユニット１にポッドＣが載置されてい
ないときには、シャッター７１が載置ユニット１の開口
部６を閉鎖し、基板搬出入装置の内外の雰囲気を遮断し
ている。載置ユニット１のステージ２にポッドＣが載置
され、そのポッドＣがポッド駆動機構４によって（＋
Ｙ）方向に前進移動を開始すると、それにともなって、
シャッター開閉機構７２がシャッター７１を（−Ｚ）方
向に下降させる。

【００２０】そして、昇降機構４７ａにより蓋開閉部材
４５を（＋Ｚ）方向に移動させ、蓋開閉部材４５がポッ
ドＣに対向する位置まで上昇させる。さらに、進退機構
４７ｂにより蓋開閉部材４５を（−Ｙ）方向に移動さ
せ、蓋開閉部材４５をポッドＣの蓋３に連結させ、蓋開
閉部材４５が蓋３の図示しないロック機構を解除する。
蓋３のロック機構が解除されると、進退機構４７ｂによ
り蓋開閉部材４５が（＋Ｙ）方向に移動する。このとき
に、蓋開閉部材４５に連結された蓋３も蓋開閉部材４５
とともに（＋Ｙ）方向に移動し、ポッドＣから外され
る。その後、図２に示すように蓋開閉部材４５が（−
Ｚ）方向に降下し、蓋３の開閉作業が終了する。

【００２１】蓋３の開閉作業が終了すると、移載ロボッ
ト５０がポッドＣから基板Ｗを取り出して、基板処理装
置ＰＵへの移載を開始する。

【００２２】移載ロボット５０は以下のように構成され
ている。すなわち、図１および図２に示すように、移載
ロボット５０は、基板Ｗを保持するアーム５１を備えて
いる。このアーム５１は、図１に示すような「Ｉ」字形
状となっているが、これを例えば「Ｕ」字形状としても
よい。アーム５１は、基板Ｗの下面を点接触で支持する
図示しない複数本の支持ピンを備えるとともに、移載中
の基板Ｗの脱落や位置ずれなどを防止するために基板Ｗ
の周辺に点接触する部材を設けている。

【００２３】アーム５１は、アーム支持台５２に設けら
れたネジ送り機構によって、Ｙ方向に進退移動可能に構
成されている。アーム支持台５２は、アーム回転台５３
に内蔵されたモータの回転軸に連結支持されている。こ
のモータの回転によって、アーム５１は水平面内で回転
可能となる。また、アーム回転台５３は、ネジ送り機構
で構成された昇降機構５４によって、Ｚ方向に昇降可能
とされている。さらに、昇降機構５４は、スライド駆動
機構５５によってＸ方向にスライド移動可能とされてい
る。

【００２４】こうような構成によって、移載ロボット５
０は、アーム５１に保持した基板Ｗを３次元的に移動さ
せることが可能である。そして、移載ロボット５０は、
ポッドＣに収容されている未処理の基板Ｗを順次取り出
して基板処理装置ＰＵの搬送ロボットに渡すとともに、
処理済みの基板Ｗを基板処理装置ＰＵの搬送ロボットか
ら受け取って再びポッドＣに収納する基板移載動作を繰
り返すのである。

【００２５】ポッドＣの全ての基板Ｗの処理が終了し、
ポッドＣが処理済みの基板Ｗによって満たされると、蓋
３の取り外し時とは逆の動作で、ポッドオープナ４０
が、蓋３をポッドＣに装着する。そして、そのポッドＣ
がポッド駆動機構４によって（−Ｙ）方向に後退移動さ
れ、それにともなって、シャッター開閉機構７２がシャ
ッター７１を上昇させ、ポッドＣが載置ユニット１から
取り外されるとともに、載置ユニット１の開口部６がシ
ャッター７１によって閉じられるのである。

【００２６】また、移載部３０は、各載置ユニット１の
上部に位置する隔壁３２にシールツール６０をそれぞれ
備えている。シールツール６０の機能については後述す
る。なお、本実施形態においては、載置ユニット１が載
置手段に相当し、シールツール６０が遮蔽手段に相当す
る。

【００２７】以上、この基板搬出入装置の構成および動
作について簡単に説明した。そして、この基板搬出入装
置が上記通常の動作を行っているときには、移載部３０
に４つの載置ユニット１が装着され、それら載置ユニッ
ト１に形成されたそれぞれの開口部６はポッドＣが載置
されているときを除いてシャッター７１によって閉じら
れているため、基板搬出入装置内外の雰囲気は遮断さ
れ、装置内部は高い清浄度にて維持される。

【００２８】ところが、既述した如く、この基板搬出入
装置においても、載置部１０の修理・メインテナンスが
適宜必要である。載置部１０の修理・メインテナンスを
行うときには、その対象となっている載置ユニット１を
移載部３０から取り外すことによって行う。なお、載置
ユニット１はビスを外すことによって簡単に移載部３０
から取り外すことができるものであり、すなわち各載置
ユニット１は移載部３０に着脱可能に設けられているの
である。また、４つの載置ユニット１のうちの１つの載
置ユニット１が取り外された場合であっても、他の載置
ユニット１は通常の動作を行うことができ、基板Ｗの搬
出入は続行される。

【００２９】図３は、載置ユニット１が取り外された状
態の基板搬出入装置を示す図である。移載部３０から載
置ユニット１を取り外すと、移載部３０のうち載置ユニ
ット１が装着されていた領域ＡＲが当然に開放されるこ
ととなる。１つの載置ユニット１が取り外された場合で
あっても、基板Ｗの搬出入動作は行われているため、基
板搬出入装置内外の雰囲気を遮断する必要がある。

【００３０】このため、上記基板搬出入装置は隔壁３２
にシールツール６０を備えているのである。シールツー
ル６０は、回転機能を有する軸部材６５にロールシート
６１（図４参照）を巻き付けて構成されている。軸部材
６５が正回転を行うと、ロールシート６１がシールツー
ル６０から下方に払い出され、また逆回転を行うと、ロ
ールシート６１が軸部材６５によって上方に巻き取られ
る。

【００３１】移載部３０から載置ユニット１が取り外さ
れたときには、その載置ユニット１の上部に設けられて
いたシールツール６０からロールシート６１が下方に払
い出され、移載部３０のうち載置ユニット１が装着され
ていた領域ＡＲがロールシート６１によって遮蔽され
る。図４は、ロールシート６１によって移載部３０が遮
蔽される様子を示す図である。

【００３２】領域ＡＲがロールシート６１によって遮蔽
されれば、載置ユニット１の修理・メインテナンス中に
おいても、基板搬出入装置内外の雰囲気は遮断される。
その結果、基板搬出入装置内部は高い清浄度にて維持さ
れ、移載中の基板Ｗにパーティクル等の汚染物質を付着
させる可能性は著しく低減される。

【００３３】また、シールツール６０によって簡便に領
域ＡＲが遮蔽されるため、従来のように金属板等を準備
して張り付ける必要がなくなり、修理・メインテナンス
の作業効率が向上する。

【００３４】なお、修理・メインテナンスの終了した載
置ユニット１を再び移載部３０に装着するときには、シ
ールツール６０がロールシート６１を巻き取った後に行
う。

【００３５】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態においては、各載置ユニット１の
上部に位置する隔壁３２にシールツール６０をそれぞれ
備えていたが、これを各載置ユニット１の下部に位置す
る隔壁３２にそれぞれ備えるようにしてもよい。

【００３６】また、上記実施形態は、ポッドに対応する
基板搬出入装置であったが、本発明にかかる基板搬出入
装置は、カセットに対応する装置であってもよい。

【００３７】換言すれば、本発明にかかる基板搬出入装
置は、清浄な環境中にて基板の搬出入を行う装置であれ
ば適用することが可能である。

【００３８】また、移載部３０のうち載置ユニット１が
装着されていた領域ＡＲを遮蔽する機構としてはシール
ツール６０に限定されるものではなく、領域ＡＲを遮蔽
することができ、かつ他の動作機構と干渉しないもので
あれば良く、例えばポッドオープナの側方と前方との間
で移動可能なドア（いわゆるマジックドア（登録商
標））を設けるようにしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、移載部から載置手段を取り外したときに、移載部の
うち当該載置手段が装着されていた領域を遮蔽する遮蔽
手段を備えているため、装置内部の清浄度を損なうこと
なく、載置手段のメインテナンスを効率良く行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる基板搬出入装置の概略構成を示
す平面図である。

【図２】図１の基板搬出入装置の側面図である。

【図３】載置ユニットが取り外された状態の基板搬出入
装置を示す図である。

【図４】ロールシートによって移載部が遮蔽される様子
を示す図である。

【符号の説明】 １ 載置ユニット １０ 載置部 ３０ 移載部 ６０ シールツール ６１ ロールシート Ｃ ポッド Ｗ 基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を収納する収納容器からの基板の搬
   出と前記収納容器への基板の搬入とを行う基板搬出入装
   置であって、 (a) 前記収納容器から基板を取り出すことと前記収納容
   器に基板を収納することとを行う移載部と、 (b) 前記移載部に着脱可能に設けられ、前記収納容器を
   載置する複数の載置手段と、 (c) 前記移載部から前記載置手段を取り外したときに、
   前記移載部のうち当該載置手段が装着されていた領域を
   遮蔽する遮蔽手段と、を備えることを特徴とする基板搬
   出入装置。