JP2000150443A

JP2000150443A - 掃除用物体、掃除用物体の帯電装置、掃除用物体の運用方法および製造ラインの搬送装置

Info

Publication number: JP2000150443A
Application number: JP31508798A
Authority: JP
Inventors: Noriko Hirano; 則子平野; Naohiko Fujino; 直彦藤野; Takashi Masuda; 尚増田; Fumiaki Baba; 文明馬場
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-11-05
Filing date: 1998-11-05
Publication date: 2000-05-30

Abstract

(57)【要約】【課題】製造ラインを長期間使用した場合や突発的な
多量の微小異物が発生した場合、あるいは保管時におい
ても、製造過程にある製品に帯電した微小異物が付着す
るのを防止し得る、掃除用物体、掃除用物体の帯電装
置、掃除用物体の運用方法、および製造ラインの搬送装
置を提供する。【解決手段】帯電した微小異物が浮遊する気体中に存
在する製造過程の製品１０と共存し、上記帯電した微小
異物が上記製品に付着するのを防止する掃除用物体２
１，２２であって、正帯電及び負帯電の少なくとも一方
の帯電状態に強制的にでき、強制的に少なくとも一方の
帯電状態にさせることによって上記微小異物を静電吸着
する掃除用物体。製造過程の製品１０が製造ラインの搬
送部で搬送され、この搬送される製品と共に掃除用物体
２１，２２を搬送する掃除用物体の運用方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、掃除用物体、掃
除用物体の帯電装置、掃除用物体の運用方法、および製
造ラインの搬送装置に関し、特に、製造過程の製品に帯
電した微小異物が付着するのを防止する技術に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年の超ＬＳＩの製造は、数百工程を経
て行われ、その期間は数ヶ月を要する。このような長期
間におよぶ数多くの工程においては、各工程間で生じる
搬送、製品の放置、または、作業者の介在によって、半
導体デバイスおよび半導体製造ラインが各種の微小異物
により汚染される。これらの微小異物を極力減少させる
ことが従来からの重要な課題であり、半導体デバイスお
よび半導体製造ラインへの微小異物の付着を減少させる
ことによって、半導体デバイスの生産歩留りを向上さ
せ、プロセスの信頼性および再現性の改善が行われてき
た。

【０００３】例えば、６４ＭビットのＤＲＡＭ（Ｄｙｎ
ａｍｉｃＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒ
ｙ）の設計に求められている最小配線幅は、０．３５μ
ｍとなっている。このような微細加工された配線におい
ては、最小配線幅の数分の１の大きさの微小異物による
汚染でさえ歩留りの低下を招く。そのため、これらの極
度に微小な異物が、半導体デバイスおよびその製造ライ
ンへ付着するのを防止する必要がある。この目的で、製
造工程全体をクリーンルーム内へ設置する、製造ライン
上に存在する微小異物を除去する、製造ラインから微小
異物が飛散するのを防止するなどの積極的な対策が進め
られている。

【０００４】その対策の例として、ウェハやウェハを保
持するためのウェハカセット表面へ微小異物が静電吸着
するのを防ぐ方法がある。その方法の一例は、ウェハや
ウェハカセット表面に発生する帯電を抑制、または、除
去するためのイオナイザ等を製造ラインに設置する方法
である。また、他の一例は、有機プラスチックにカーボ
ンや導電性フィラを練り込んだ材質で構成された導電性
ウェハカセットを製造ラインで使用することにより、ウ
ェハカセットおよびウェハ表面の帯電を防止する方法で
ある。上記の帯電を抑制、除去するためのイオナイザに
ついては、例えば、特開平８−７８５００号公報に、導
電性カセットについては、例えば特開平８−２５３６７
１号公報に詳細に記載されている。

【０００５】上記のような背景の下、ウェハを搬送する
半導体製造ラインにおいて、表面固有抵抗値が１０⁹Ω
未満の、導電性を有するウェハカセットが多用されてい
る。この導電性カセットは、ウェハを搬送する半導体製
造ラインに滞留する微小異物を静電吸着しないため、ウ
ェハカセットやウェハ表面への微小異物の飛散および付
着を防止できる。

【０００６】図１１は、近年使用されているウェハカセ
ットの構成図の一例を示すものである。導電性ウェハカ
セット１１０は、その内壁にウェハ１１３を保持するた
めの溝１１１が設けられ、ウェハ１１３を保持できる形
状となっている。また、導電性ウェハカセット１１０
は、一の製造ラインと他の製造ラインとの間を移動する
ときに使用されるカセット搬送治具またはカセット搬送
装置により保持される支承部１１２を有している。

【０００７】また、工程間や出荷前の保管時にウェハカ
セットやウェハ表面へ微小異物が付着するのを防止する
ために、例えば、待機時間が短い場合はウェハカセット
を一回り大きな透明アクリル性ケースに収納、密閉して
おり、待機時間が長い場合はシャッター扉付きの保管庫
に収納している。保管庫内の雰囲気は、通常、ＨＥＰＡ
（ＨｉｇｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌ
ａｔｅＡｉｒ）フィルタやＵＬＰＡ（ＵｌｔｒａＬ
ｏｗＰｅｎｅｔｒａｔｉｏｎＡｉｒ）フィルタを通
したＣＲエアーを流して清浄な雰囲気としており、さら
にケミカルフィルタが併用される場合もある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、短期間であれば製造ラインに微小異物が多量には発
生しないため、表面固有抵抗値が１０⁹Ω未満である導
電性を有するウェハカセットを使用して、導電性ウェハ
カセット１１０が微小異物の静電吸着力を持たないこと
によって、搬送される導電性ウェハカセット１１０やウ
ェハ１１３の表面への微小異物の付着を防止することが
できていた。

【０００９】しかしながら、製造ラインを長期間使用し
た場合、あるいは、突発的に多量の微小異物が発生した
場合のように、製造ライン上に滞留し続ける微小異物の
数が多くなると、例え表面固有抵抗値が１０⁹Ω未満で
ある導電性カセット１１０を用いても、製品であるウェ
ハ１１３の表面への微小異物の飛散、付着の防止に限界
が生じ、製品の高い歩留りの維持が困難であるという問
題があった。

【００１０】また、工程間や出荷前の保管時において
も、上記のような一回り大きなケースや保管庫への収納
だけでは十分とはいえず、製品への微小異物の付着の防
止に限界があった。

【００１１】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたものであり、その目的は、製造ラインを長
期間使用した場合や突発的に多量の微小異物が発生した
場合においても、あるいは、保管時においても、製造過
程にある製品に帯電した微小異物が付着するのを防止し
得る、掃除用物体、掃除用物体の帯電装置、掃除用物体
の運用方法、および製造ラインの搬送装置を提供するこ
とである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の構成によ
る掃除用物体は、帯電した微小異物が浮遊する気体中に
存在する製造過程の製品と共存し、上記帯電した微小異
物が上記製品に付着するのを防止する掃除用物体であっ
て、正帯電及び負帯電の少なくとも一方の帯電状態に強
制的にでき、強制的に少なくとも一方の帯電状態にさせ
ることによって上記微小異物を静電吸着するものであ
る。

【００１３】本発明の第２の構成による掃除用物体は、
上記第１の構成において、２枚の対向する金属板または
半導体の板からなる電極が埋め込まれ、この電極間に高
電圧を印加する高電圧電源を備えたものである。

【００１４】本発明の第３の構成による掃除用物体は、
上記第１または第２の構成において、製造過程の製品を
収納する保管庫であるものである。

【００１５】本発明の第４の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体を対向する２枚
の金属板または半導体の板からなる電極で挟み、この電
極間に高電圧を印加することにより、上記掃除用物体を
帯電させるものである。

【００１６】本発明の第５の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体をコロナ放電に
より帯電させるものである。

【００１７】本発明の第６の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体に、この掃除用
物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材料で
できた摺動部材を押し当て摺動させて帯電させるもので
ある。

【００１８】本発明の第７の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体に、この掃除用
物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材料で
できたフィルムを圧着させ、このフィルムを一気に剥が
して帯電させるものである。

【００１９】本発明の第１の方法による掃除用物体の運
用方法は、製造過程の製品が製造ラインの搬送部で搬送
され、この搬送される製品と共に請求項１または２に記
載の掃除用物体を搬送するものである。

【００２０】本発明の第２の方法による掃除用物体の運
用方法は、上記第１の方法において、製造過程の製品が
複数配列されて搬送され、この製造過程の製品の間に掃
除用物体を配列して、所定の間隔をおいて間欠的に搬送
するものである。

【００２１】本発明の第３の方法による掃除用物体の運
用方法は、上記第１または第２の方法において、掃除用
物体が、正に帯電したものと負に帯電したものとを含む
ものである。

【００２２】本発明の第８の構成による製造ラインの搬
送装置は、掃除用物体の帯電装置、前記帯電装置により
帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に搬送する
搬送部、および前記掃除用物体を洗浄する洗浄装置を備
えた製造ラインの搬送装置であって、前記帯電装置によ
り帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に搬送
し、製造ラインにおける帯電した微小異物を吸着させた
後、前記洗浄装置で洗浄し、再び前記帯電装置により帯
電させて製造過程の製品と共に搬送するようにしたもの
である。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態によ
る掃除用物体、掃除用物体の帯電装置、掃除用物体の運
用方法、および製造ラインの搬送装置を、図面に基づい
て説明する。

【００２４】実施の形態１．図１は、本発明の実施の形
態１を説明する半導体製造ライン１の模式図である。半
導体製造ライン１は、クリーンルームの中に配置されて
いる。その半導体製造ライン１の上には、図１１に示し
たような製品ウェハを搬送する導電性ウェハカセット１
０と、その間に、図２に示すようなポリプロピレンから
なり製品ウェハを搬送しない掃除用物体である掃除用カ
セット２１，２２が載置され、搬送される。掃除用カセ
ット２１はその表面が強制的にプラスに帯電され、掃除
用カセット２２はその表面が強制的にマイナスに帯電さ
れている。プラスに帯電させた掃除用カセット２１の表
面は、＋数千〜＋数十万ボルトに帯電している。一方、
マイナスに帯電させた掃除用カセット２２の表面は、−
数千〜−数十万ボルトに帯電している。なお、掃除用カ
セット２１、２２は図２に示すように、導電性ウェハカ
セット１０と同じくらいの大きさで、外形はウェハカセ
ットを保持しなくてもよいので単純な箱型を有してお
り、例えば上部が開口している。また、導電性ウェハカ
セット１０と同一の搬送用の治具や装置で保持可能な支
承部１２を有している。このような搬送状態で、製品ウ
ェハを搬送する導電性ウェハカセット１０と強制帯電さ
せた掃除用カセット２１および２２とを搬送し、その後
各々のカセットの状態を観察すると、図１の左下の円内
に示すように、掃除用カセット２１，２２の表面には微
小異物２が付着しており、また、右下の円内に示すよう
に、導電性ウェハカセット１０の表面には何も付着して
いなかった。

【００２５】このように、製品ウェハを搬送しないプラ
スに強制帯電させた掃除用カセット２１およびマイナス
に強制帯電させた掃除用カセット２２と、複数個の導電
性ウェハカセット１０とを、交互に流すことにより、掃
除用カセット２１，２２がその静電吸着力により、製造
ライン上に存在するプラスおよびマイナスの電荷を帯び
た微小異物を電気的に吸着する。一方、帯電しないた
め、静電吸着力のない導電性ウェハカセット１０は、製
造ライン上に存在する微小異物を電気的に引き付けな
い。そのため、掃除用カセット２１，２２の表面には多
量の付着物２が認められたが、導電性ウェハカセット１
０には微小異物の付着が認められなかった。この結果
は、強制帯電させた掃除用カセット２１，２２に、製造
ライン上に存在する微小異物が選択的に吸着したことを
示すものである。なお、本実施の形態では掃除用カセッ
ト２１、２２として強制的にプラスまたはマイナスに帯
電させたものを用いたので、自然帯電する場合と異な
り、所望の帯電極性を得ることができ、プラスに帯電し
た微小異物およびマイナスに帯電した微小異物の両方を
確実に吸着除去することができる。掃除用カセット２
１，２２のこのような選択的吸着作用により、微小異物
を吸着しない導電性ウェハカセット１０で搬送される製
品にも微小異物が付着せず、製品の歩留りを向上させる
ことができる。また、ウェハの搬送と同時に掃除用カセ
ット２１，２２を搬送するため、半導体製造ライン１を
停止して別工程で清掃する必要がなく、清掃時間につい
ても短縮できる。

【００２６】なお、本実施の形態では、掃除用カセット
２１，２２の材料として、ポリプロピレンを用いたが、
後に説明する本発明の帯電装置により、プラスあるいは
マイナスに強制的に帯電させることのできる材料であれ
ば、他の材料を用いてもよい。

【００２７】また、本実施の形態では、プラスに帯電さ
せた掃除用カセット２１とマイナスに帯電させた掃除用
カセット２２を搬送させたが、一面をプラスに、他の面
をマイナスに帯電させた１つの掃除用カセットを用いて
もよい。

【００２８】また、掃除用カセットの形状は図２に示し
たものに限らず、例えば、図３に示すような側面に曲折
部を有する形状の掃除用カセット２３や図４に示すよう
な蛇腹状に形成された掃除用カセット２４を用いてもよ
い。この場合、これらの掃除用カセット２３，２４の表
面積が図２に示す掃除用カセット２１，２２よりも大き
くなり、静電吸着力が大きくなる。その結果、図２に示
す掃除用カセット２１，２２を使用するよりも製造ライ
ンに存在する微小異物をより吸着しやすくなり、製造ラ
インの清浄化をより効果的に行うことができる。

【００２９】実施の形態２．図５は本発明の実施の形態
２による掃除用物体の構成を示す断面図である。図にお
いて、２０は掃除用物体であり、例えば実施の形態１で
示した掃除用カセットである。６０は掃除用物体２０に
埋め込まれた対向する２枚の金属板、例えばＳＵＳ（ス
テンレス鋼）からなる電極である。６５は高電圧の直流
電源であり、例えば市販されている電圧／電流発生器と
バッテリ・パックを組み合わせたようなものである。６
６は電極６０と高圧電源とを接続するコードである。こ
のように構成されたものにおいて、金属板６０に電源よ
り高電圧（例えば数百ボルト）を印加することにより掃
除用物体２０を誘電分極し、掃除用物体２０の一面（例
えば内壁面）をプラスに、他の面（例えば外壁面）をマ
イナスに帯電させることができる。

【００３０】このように、本実施の形態によれば、掃除
用物体２０を強制的に帯電させる装置を内蔵しており、
コンパクトな構成で簡単に帯電させることができる。ま
た、電圧を印加し続けることも可能であり、掃除用物体
の静電吸着力が衰えることなく、非常に多くの微小異物
が存在するような場合においても、長時間安定して静電
吸着することが可能となる。

【００３１】なお、金属板６０の代わりに、Ｓｉ等の半
導体の板を用いてもよい。

【００３２】実施の形態３．図６は本発明の実施の形態
３による掃除用物体の帯電装置の構成を示す断面図であ
る。この帯電装置は、絶縁性台８、掃除用物体２０の側
壁を挟む２枚１組の例えばＳＵＳからなる金属板６０、
金属板６０の支持体６１，６２、金属板６０の駆動部６
３，６４，６７、金属板６０と電源６５を接続するコー
ド６６および直流電源６５を有する。また、金属板の駆
動部６３および６４と金属板６０の間は、絶縁物７３で
接続している。なお、掃除用物体２０としては例えば、
実施の形態１で示した掃除用カセット２１〜２４が挙げ
られる。

【００３３】この帯電装置を用いた掃除用物体２０の帯
電工程においては、まず、掃除用物体２０を、絶縁性台
８上にセットする。次に金属板６０の駆動部６３，６４
を上下、前後に動かして、金属板６０を、掃除用物体２
０の側壁を挟む位置に調節する。この金属板６０に直流
電源６５を用いて高電圧（例えば数百ボルト）を印加す
ることにより、掃除用物体２０の一面（例えば内壁面）
をプラスに他の面（例えば外壁面）をマイナスに帯電さ
せることができる。

【００３４】なお、金属板６０の代わりに、Ｓｉ等の半
導体の板を用いてもよい。

【００３５】実施の形態４．図６に示す帯電装置に代え
て、図７に示す帯電装置を用いることもできる。この帯
電装置は、絶縁性台８、コロナ放電発生部７０、放電針
７１、電極板７２、直流電源６５、放電針７１および電
極板７２とコロナ放電発生部の支持部７５とを接続する
絶縁物７３、並びにコロナ放電により発生したイオンを
掃除用物体２０の表面に吹き付けるための空気等のガス
配管７４を有する。

【００３６】この帯電装置を用いた掃除用物体２０の帯
電工程においては、まず、掃除用物体２０を、絶縁性台
８上にセットする。次に放電針７１に、直流電源６５を
用いて高電圧（例えば数千ボルト）を印加し、コロナ放
電を発生させる。次に、空気等のガスを吹き付けて、コ
ロナ放電により発生したイオンを、掃除用物体２０の表
面全面にあてる。放電針７１にプラス電圧を印加した場
合、掃除用カセット２０の表面をプラスに、放電針７１
にマイナス電圧を印加した場合、掃除用カセット２０の
表面をマイナスに帯電させることができる。

【００３７】実施の形態５．図７に示す帯電装置に代え
て、図８に示す帯電装置を用いることもできる。この帯
電装置は、外部架体５に掃除用物体２０を移動させるア
クチュエータ６、掃除用物体２０を支承部１２で固定す
る絶縁性の掃除用物体固定部７、可動式のシャフト５
０、絶縁性ホイール５１および摺動部材としての絶縁ベ
ルト５２を有する。アクチュエータ６が掃除用物体２０
に接触する部分の材質は、絶縁物で構成されている。

【００３８】この帯電装置を用いた掃除用物体２０の帯
電工程においては、まず、掃除用物体２０を、支承部１
２を介して帯電装置の絶縁性の掃除用物体固定部７にセ
ットする。次に帯電装置の外部架体５の内壁に設けたシ
ャフト５０を動かして、絶縁性ホイール５１を介して取
り付けた絶縁ベルト５２を、掃除用物体２０の表面に押
し当てる。次に、モータ（図示せず）により絶縁性ホイ
ール５１を回転させることにより、絶縁ベルト５２を摺
動させる。この摺動による掃除用物体２０と絶縁ベルト
５２との間の摩擦で掃除用物体２０の表面が帯電する。
絶縁ベルト５２の材質を、掃除用物体２０の材質よりも
帯電列がマイナス側にある、例えば天然ゴムにした場
合、この装置により掃除用物体２０の表面をプラスに帯
電させることができる。絶縁ベルト５２の材質を、掃除
用物体２０の材質よりも帯電列がプラス側にある、例え
ば石英粉末充填シリコンゴムにした場合、この装置によ
り掃除用物体２０の表面をマイナスに帯電させることが
できる。

【００３９】なお、摺動部材としてベルト５２の代わり
にブラシを用いても同様の効果が得られる。

【００４０】実施の形態６．図８に示す帯電装置に代え
て、図９に示す帯電装置を用いることもできる。この帯
電装置は、外部架体５に掃除用物体２０を移動させるア
クチュエータ６、掃除用物体２０を支承部１２で固定す
る絶縁性の掃除用物体固定部７、ローラ８０、ローラ駆
動部８１および絶縁性フィルム８２を有する。絶縁性フ
ィルム８２の巻き始めの端は、ローラ８０に固定してお
く。アクチュエータ６が掃除用物体２０に接触する部分
の材質は、絶縁物で構成されている。

【００４１】この帯電装置を用いた掃除用物体２０の帯
電工程においては、まず、掃除用物体２０を、支承部１
２を介して帯電装置の絶縁性の掃除用物体固定部７にセ
ットする。次に、絶縁性フィルム８２をあらかじめ巻き
付けておいた絶縁性ローラ８０を、掃除用物体２０表面
に当てる。続いて、ローラ８０を回転させながら絶縁性
フィルム８２を、掃除用物体２０の表面に圧着させる。
ローラ８０を掃除用物体２０から引き離すことにより、
圧着していたフィルムを一気に剥がす。絶縁フィルム８
２の材質を、掃除用物体２０の材質よりも帯電列がマイ
ナス側にある、例えばポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦ
Ｅ）にした場合、この装置により掃除用物体２０の表面
をプラスに帯電させることができる。絶縁フィルム８２
の材質を、掃除用物体２０の材質よりも帯電列がプラス
側にある、例えばナイロンにした場合、この装置により
掃除用物体２０の表面をマイナスに帯電させることがで
きる。

【００４２】実施の形態７．次に、本発明の実施の形態
７による製造ラインの搬送装置について説明する。本実
施の形態による製造ラインの搬送装置は、掃除用物体の
帯電装置、帯電装置により帯電させた掃除用物体を製造
過程の製品と共に搬送する搬送部、および掃除用物体を
洗浄する洗浄装置を備え、帯電装置により帯電させた掃
除用物体を製造過程の製品と共に搬送し、製造ラインに
おける帯電した微小異物を吸着させた後、洗浄装置で洗
浄し、再び帯電装置により帯電させて製造過程の製品と
共に搬送するようにしたものである。

【００４３】例えば実施の形態１で示したような例えば
ベルトコンベアのような搬送部を有する製造ラインに適
用され、製品ウェハを搬送する複数のウェハカセットの
間に製品ウェハを搬送しない掃除用カセットを合流させ
て搬送する。帯電装置としては、例えば実施の形態３〜
６で説明したものが用いられ、掃除用カセットを強制的
にプラスおよびマイナスの少なくとも一方に帯電させ
る。掃除用カセットの洗浄装置としては、例えば本発明
と同一出願人による特願平１０−０６１４４２号に詳細
に記載されているが、掃除用カセットの静電気を除去し
たり、掃除用カセットをイソプロピルアルコールで洗浄
したりすることにより、掃除用カセットに静電吸着され
た微小異物を除去するものである。洗浄装置により清浄
化された掃除用カセットは、上記帯電装置を用いて再び
強制的に帯電させることにより、製造ラインに存在する
微小異物を吸着し、製造ラインを清浄化する能力が回復
する。その結果、常に、製造ラインを一定の状態に清浄
化でき、製造過程の製品の汚染が防がれ、製品の歩留り
を向上させることができる。

【００４４】実施の形態８．上記各実施の形態では掃除
用物体が製造過程の製品と共に搬送される場合について
説明したが、工程間や出荷前の保管時において、ケース
や保管庫に上記製品と共に保管されてもよく、この場合
にもケースや保管庫に存在する帯電した微小異物を静電
吸着するので、製造過程あるいは出荷前の製品への微小
異物の付着を防止することができる。

【００４５】実施の形態９．また、ケースや保管庫自体
を、強制的に正帯電および負帯電の少なくとも一方の帯
電状態にさせた掃除用物体としてもよく、内部に収納さ
れた製造過程あるいは出荷前の製品への微小異物の付着
を防止することができる。なお、この場合、掃除用物体
はその内壁において、正帯電した部分と負帯電した部分
の両方を有していると、正に帯電した微小異物と負に帯
電した微小異物の両方を静電吸着により除去することが
できるので好都合である。このように内壁において、正
帯電した部分と負帯電した部分の両方を有するために
は、例えば保管庫内壁の内側に上記実施の形態３〜６の
何れかにより強制的に帯電させた板を例えばスライド式
で取り外し可能にはめ込み、周期的にあるいは多量に異
物が付着した時にこの板を取り外して洗浄、再帯電させ
てまたはめ込むようにするとよい。また、例えば、図１
０に示すようなものでもよい。図において、９１はフィ
ルム体、９２はフィルム体９１を移動させるローラであ
る。９３は帯電装置であり、実施の形態３〜６で示した
帯電装置の何れかが用いられる。９４は除電ブラシであ
る。図１０に示すように、保管庫内壁の内側に電動式の
ホワイトボードのような露出面の移動交代が可能なフィ
ルム体９１を設置し、内部に収納された製造過程あるい
は出荷前の製品の側にフィルム体９１が露出する直前に
帯電装置９３により強制的に帯電させ、保管庫内の微小
異物をフィルム体９１表面に吸着させた後、壁側に戻っ
た際に除電ブラシ９４で除電し、更には吸引してフィル
ム体９１表面に吸着した微小異物を取り除いて清浄化す
るという一連の操作を繰り返すことにより、保管庫内の
微小異物を除去し、清浄度を保つことができる。また、
掃除用物体として、実施の形態２で説明したような帯電
装置を内蔵するものを用いると、静電吸着力が衰えるこ
となく長時間安定して使用することができる。

【００４６】

【発明の効果】以上のように、本発明の第１の構成によ
る掃除用物体は、帯電した微小異物が浮遊する気体中に
存在する製造過程の製品と共存し、上記帯電した微小異
物が上記製品に付着するのを防止する掃除用物体であっ
て、正帯電及び負帯電の少なくとも一方の帯電状態に強
制的にでき、強制的に少なくとも一方の帯電状態にさせ
ることによって上記微小異物を静電吸着するので、所望
の帯電極性を得ることができ、正に帯電した微小異物ま
たは負に帯電した微小異物を確実に吸着除去することが
できる。その結果、製造過程の製品の汚染が防がれ、製
品の歩留りを向上させることができる。

【００４７】本発明の第２の構成による掃除用物体は、
上記第１の構成において、２枚の対向する金属板または
半導体の板からなる電極が埋め込まれ、この電極間に高
電圧を印加する高電圧電源を備えたので、コンパクトな
構成で簡単に所望の極性に強制帯電させることができ
る。また、電圧を印加し続けることも可能である。

【００４８】本発明の第３の構成による掃除用物体は、
上記第１または第２の構成において、製造過程の製品を
収納する保管庫であるので、保管中の製品に微小異物が
付着するのを防止できる。

【００４９】本発明の第４の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体を対向する２枚
の金属板または半導体の板からなる電極で挟み、この電
極間に高電圧を印加することにより、上記掃除用物体を
帯電させるので、掃除用物体の一部を正に、他の一部を
負に強制的に帯電させることができる。

【００５０】本発明の第５の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体をコロナ放電に
より帯電させるので、掃除用物体を強制的に正または負
に帯電させることができる。

【００５１】本発明の第６の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体に、この掃除用
物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材料で
できた摺動部材を押し当て摺動させて帯電させるので、
掃除用物体を強制的に正または負に帯電させることがで
きる。

【００５２】本発明の第７の構成による掃除用物体の帯
電装置は、請求項１に記載の掃除用物体に、この掃除用
物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材料で
できたフィルムを圧着させ、このフィルムを一気に剥が
して帯電させるので、掃除用物体を強制的に正または負
に帯電させることができる。

【００５３】本発明の第１の方法による掃除用物体の運
用方法は、製造過程の製品が製造ラインの搬送部で搬送
され、この搬送される製品と共に請求項１または２に記
載の掃除用物体を搬送するので、掃除用物体が製造ライ
ンに存在する浮遊物や微小異物を吸着し、製造ラインを
清浄化することができる。その結果、製造過程の製品へ
の微小異物の付着を防止し、製品の歩留りを向上させる
ことが可能となる。

【００５４】本発明の第２の方法による掃除用物体の運
用方法は、上記第１の方法において、製造過程の製品が
複数配列されて搬送され、この製造過程の製品の間に掃
除用物体を配列して、所定の間隔をおいて間欠的に搬送
するので、一定周期で流れる強制的に帯電させた掃除用
物体が製造ラインに浮遊する微小異物を吸着する。その
ため、製造過程の製品に微小異物が付着するのを防止で
きる。また掃除用物体が製造ライン上に配列された製造
過程の製品の間に配列され、所定の間隔で流されること
によって製造ラインを一定の周期で清掃することができ
る。そのため、常に一定の清浄度を保つことができる。
その結果、製品への微小異物の付着を防止し、製品の歩
留りを向上させることができる。

【００５５】本発明の第３の方法による掃除用物体の運
用方法は、上記第１または第２の方法において、掃除用
物体が、正に帯電したものと負に帯電したものとを含む
ので、正に帯電した微小異物および負に帯電した微小異
物の両方を吸着することができる。それにより、正また
は負のどちらか一方に帯電した掃除用物体にくらべて、
製造ラインおよび製造過程の製品の清浄度は更に向上す
る。

【００５６】本発明の第８の構成による製造ラインの搬
送装置は、掃除用物体の帯電装置、前記帯電装置により
帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に搬送する
搬送部、および前記掃除用物体を洗浄する洗浄装置を備
えた製造ラインの搬送装置であって、前記帯電装置によ
り帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に搬送
し、製造ラインにおける帯電した微小異物を吸着させた
後、前記洗浄装置で洗浄し、再び前記帯電装置により帯
電させて製造過程の製品と共に搬送するようにしたの
で、常に、製造ラインを一定の状態に清浄化でき、製造
過程の製品の汚染が防がれ、製品の歩留りを向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１を説明する半導体製造
ラインを示した模式図である。

【図２】本発明の実施の形態１で用いられる掃除用カ
セットの一例を示した斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態１で用いられる掃除用カ
セットの別の例を示した斜視図である。

【図４】本発明の実施の形態１で用いられる掃除用カ
セットの別の例を示した斜視図である。

【図５】本発明の実施の形態２による掃除用カセット
の帯電装置を示した断面構成図である。

【図６】本発明の実施の形態３による掃除用カセット
の帯電装置を示した断面構成図である。

【図７】本発明の実施の形態４による掃除用カセット
の帯電装置を示した断面構成図である。

【図８】本発明の実施の形態５による掃除用カセット
の帯電装置を示した断面構成図である。

【図９】本発明の実施の形態６による掃除用カセット
の帯電装置を示した断面構成図である。

【図１０】本発明の実施の形態９による掃除用物体を
天井を取り除いて模式的に示した斜視図である。

【図１１】従来の導電性ウェハカセットを示した斜視
図である。

【符号の説明】

１半導体製造ライン、２付着物、５外部架体、６
アクチュエータ、７絶縁性の掃除用物体固定部、８絶
縁性台、１０導電性カセット、１２支承部、２０掃
除用物体、２１プラスに帯電させた掃除用カセット、
２２マイナスに帯電させた掃除用カセット、２３，２
４掃除用カセット、５０シャフト、５１絶縁性ホイ
ール、５２絶縁ベルト、６０金属板、６１,６２金属
板の支持体、６３,６４,６７金属板の駆動部、６５直
流電源、６６コード、７０コロナ放電発生部、７１
放電針、７２電極板、７３絶縁物、７４配管、７５
コロナ放電発生部の支持部、８０絶縁性ローラ、８１
ローラ駆動部、８２絶縁性フィルム。

フロントページの続き (72)発明者増田尚東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者馬場文明東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内Ｆターム(参考） 5F031 DA01 DA17 EA18 NA13 NA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】帯電した微小異物が浮遊する気体中に存
在する製造過程の製品と共存し、上記帯電した微小異物
が上記製品に付着するのを防止する掃除用物体であっ
て、正帯電及び負帯電の少なくとも一方の帯電状態に強
制的にでき、強制的に少なくとも一方の帯電状態にさせ
ることによって上記微小異物を静電吸着することを特徴
とする掃除用物体。
【請求項２】２枚の対向する金属板または半導体の板
からなる電極が埋め込まれ、この電極間に高電圧を印加
する高電圧電源を備えたことを特徴とする請求項１記載
の掃除用物体。
【請求項３】製造過程の製品を収納する保管庫である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の掃除用物
体。
【請求項４】請求項１に記載の掃除用物体を対向する
２枚の金属板または半導体の板からなる電極で挟み、こ
の電極間に高電圧を印加することにより、上記掃除用物
体を帯電させることを特徴とする掃除用物体の帯電装
置。
【請求項５】請求項１に記載の掃除用物体をコロナ放
電により帯電させることを特徴とする掃除用物体の帯電
装置。
【請求項６】請求項１に記載の掃除用物体に、この掃
除用物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材
料でできた摺動部材を押し当て摺動させて帯電させるこ
とを特徴とする掃除用物体の帯電装置。
【請求項７】請求項１に記載の掃除用物体に、この掃
除用物体の材料よりも帯電列が正側または負側にある材
料でできたフィルムを圧着させ、このフィルムを一気に
剥がして帯電させることを特徴とする掃除用物体の帯電
装置。
【請求項８】製造過程の製品が製造ラインの搬送部で
搬送され、この搬送される製品と共に請求項１または２
に記載の掃除用物体を搬送することを特徴とする掃除用
物体の運用方法。
【請求項９】製造過程の製品が複数配列されて搬送さ
れ、この製造過程の製品の間に掃除用物体を配列して、
所定の間隔をおいて間欠的に搬送することを特徴とする
請求項８記載の掃除用物体の運用方法。
【請求項１０】掃除用物体が、正に帯電したものと負
に帯電したものとを含む請求項８または９に記載の掃除
用物体の運用方法。
【請求項１１】掃除用物体の帯電装置、前記帯電装置
により帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に搬
送する搬送部、および前記掃除用物体を洗浄する洗浄装
置を備えた製造ラインの搬送装置であって、前記帯電装
置により帯電させた掃除用物体を製造過程の製品と共に
搬送し、製造ラインにおける帯電した微小異物を吸着さ
せた後、前記洗浄装置で洗浄し、再び前記帯電装置によ
り帯電させて製造過程の製品と共に搬送するようにした
製造ラインの搬送装置。