JP2000146470A

JP2000146470A - 平板型ヒートパイプ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2000146470A
Application number: JP31382798A
Authority: JP
Inventors: Kenya Kawabata; 賢也川畑; Toru Arimoto; 徹有本
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 1998-11-05
Filing date: 1998-11-05
Publication date: 2000-05-26

Abstract

(57)【要約】【課題】加工自由度が高く、高品質で加工性が良好であ
り、軽量化・低コスト化を図ることができる平板型ヒー
トパイプ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の平板型ヒートパイプは、端部が封
止されたコンテナ部１と、そのコンテナ部１の内部に設
けられ、作動流体２を収容したヒートパイプ部３と、そ
のヒートパイプ部３の端部に連通し、コンテナ部１の内
部に形成され、作動流体２を収容した中空の連通部４
と、コンテナ部１の内部に設けられ、作動流体２を収容
していない非ヒートパイプ部５と、を有する。非ヒート
パイプ部５には、非冷却部品や放熱フィン等に取り付け
るための取付穴８が所定位置に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平板型ヒートパイ
プ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子等の電子部品から発生
した熱を冷却するために、ヒートパイプが利用されるよ
うになってきた。ヒートパイプは、丸型のパイプ形状の
ものが一般的であるが、最近になって、平板形状の平板
型ヒートパイプが有力視されている。

【０００３】平板型ヒートパイプは、その形状が平板形
状であるので、例えばＩＣ素子等の電子部品（以下、被
冷却部品という）の冷却において、その被冷却部品と熱
的に接続しやすいという利点がある。また放熱フィンを
平板型ヒートパイプに取り付ける場合も、広い面積で接
続できる等の利点もある。そのため、平板型ヒートパイ
プは、特に、パワーエレクトロニクス関連の電子部品の
冷却に好適である。

【０００４】従来の平板型ヒートパイプは、例えば、特
開平８ー８６５７８号公報や特開平１０ー２５３２７４
号公報に開示されている。図６（ａ）は、従来の平板型
ヒートパイプの内部構造を示す平面図、（ｂ）は製造途
中にある平板型ヒートパイプの貫通穴を示す正面断面
図、（ｃ）は製造途中にある平板型ヒートパイプの連通
部を示す正面断面図、（ｄ）は貫通穴に作動流体を注入
した状態を示す正面断面図、（ｅ）は連通部に作動流体
を注入した状態を示す正面断面図である。

【０００５】図６に示すように、従来の平板型ヒートパ
イプは、アルミニウム等の金属で作られ、端部が封止さ
れたコンテナ部（容器）２０と、そのコンテナ部２０の
内部に設けられた複数のヒートパイプ部２１と、そのヒ
ートパイプ部２１の両端部に連通され、コンテナ部２０
の内部に形成された中空の連通部２２と、を有する。ヒ
ートパイプ部２１及び連通部２２には、水、アルコー
ル、有機溶剤等の作動流体（作動液）２３が収容されて
いる。

【０００６】また、従来の平板型ヒートパイプの製造方
法は、次のように行われる。まず、図６（ｂ）に示すよ
うに、複数の貫通穴２４が並列された多穴管２５を用意
する。次いで、図６（ｃ）に示すように、多穴管２５の
両端部近傍において、各々の穴を隔てる隔壁２５ａを除
去して連通部２２を形成する。次いで、多穴管２５の一
方側の端部を封止する。次いで、図６（ｄ）（ｅ）に示
すように、他方側の端部から貫通穴２４及び連通部２２
に作動流体２３を注入する。最後に、多穴管２５の他方
側の端部を封止する。これによって、貫通穴２４は、作
動流体２３を封入したヒートパイプ部２１になり、多穴
管２５はコンテナ部２０になる。なお、作動流体の注入
の前又は後に脱気する工程が行われる。

【０００７】従来の平板型ヒートパイプを用いる場合に
は、ヒートパイプ部２１の長手方向に沿って作動流体２
３による熱移動がなされるように、吸熱側と放熱側を適
当に配置する。そして、ヒートパイプ部２１の吸熱側に
おいて、コンテナ部２０に熱伝導してきた熱により、作
動流体２３が蒸発し、その蒸気がヒートパイプ部２１の
放熱側に移動する。放熱側では、作動流体２３の蒸気は
冷却され、再び液相状態に戻る。そして、液相に戻った
作動流体２３は、再び吸熱側に移動（還流）する。この
ような作動流体２３の移動により、熱の移動がなされ、
被冷却部品等を冷却することができる。

【０００８】従来の平板型ヒートパイプを被冷却部品や
放熱フィン等に取り付ける場合、コンテナ部２０に取付
穴等を形成すると、ヒートパイプ部２１が開放して密閉
構造でなくなり、ヒートパイプとして作動しなくなるた
め、別の取付部材に挟み込むか、接着剤等で固定する必
要があった。

【０００９】図７（ａ）は、従来の他の平板型ヒートパ
イプの内部構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ
線断面図である。図７（ａ）（ｂ）に示すように、従来
の他の平板型ヒートパイプでは、穴開け加工をしてネジ
止め等を行うために、ヒートパイプ部２１が存在してい
ない無垢の状態にある無垢部２６をコンテナ部２０に形
成することもある。これによって、ヒートパイプ加工後
でも無垢部２６に自由に穴開け加工を施すことができ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】コンテナ部に無垢部を
形成していない従来の平板型ヒートパイプでは、別の取
付部材に挟み込んで取り付ける場合、取り付けスペース
が必要となり、スペースのない場所の設置が困難であ
る。また、部品点数が多くなるため取付作業が煩雑にな
り、コストアップにつながる。接着剤を用いて取り付け
る場合、ネジ止め等に比べ安定して固定することができ
ない。その結果、長期間の使用により取付位置からずれ
て所望の冷却効果が得られなくなったり、場合によって
は外れてしまうおそれもあり、信頼性が低い。また、乾
燥工程等の時間を要する工程を必要とするため、作業効
率が悪い。

【００１１】一方、コンテナ部に無垢部を形成した従来
の平板型ヒートパイプでは、無垢部にネジ止めして取り
付けることができるので、上記の課題は解決される。し
かし、ネジ止め等をする無垢部の位置を予め決定してコ
ンテナ部を成形する必要があり、加工自由度が低い。ま
た、押し出し成形の場合、ダイスの製作のために日数や
コストを要する。また、一度製作すると型を作り直さな
い限り、レイアウトの変更が困難であった。また、コン
テナ部の肉厚が場所によって異なるので、封止時に変形
や亀裂が生じやすく、溶接等も困難である。さらに、無
垢部を必要に応じて多くの部分に形成すると、重量がか
さんだり、材料費が増大する。

【００１２】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、加工自由度が高く、高品質で加工性が良
好であり、軽量化・低コスト化を図ることができる平板
型ヒートパイプ及びその製造方法を提供することを目的
とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の平板型ヒートパ
イプは、端部が封止されたコンテナ部と、そのコンテナ
部の内部に設けられ、作動流体を収容したヒートパイプ
部と、そのヒートパイプ部の端部に連通し、コンテナ部
の内部に形成され、作動流体を収容した中空の連通部
と、コンテナ部の内部に設けられ、作動流体を収容して
いない非ヒートパイプ部と、を有することを特徴とする
ものである。

【００１４】上記非ヒートパイプ部に取付穴が形成され
ていてもよい。

【００１５】上記非ヒートパイプ部は、コンテナ部の長
手方向に沿って略中間部分に設けられてもよく、略周辺
部分に設けられていてもよく、略中間部分及び略周辺部
分に設けられていてもよい。

【００１６】上記略中間部分に設けられた非ヒートパイ
プ部を凹ませて、ヒートパイプ部を分割してもよい。

【００１７】本発明の平板型ヒートパイプの製造方法
は、複数の貫通穴が並列された多穴管を用意する工程
と、多穴管の端部近傍において、ヒートパイプ部にする
貫通穴を隔てる隔壁を除去して連通部を形成し、非ヒー
トパイプ部にする貫通穴を隔てる隔壁を除去しないで連
通部を形成しない工程と、多穴管の一方側の端部を封止
する工程と、ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通部
に、多穴管の他方側の端部から作動流体を注入し、非ヒ
ートパイプ部にする貫通穴には作動流体を注入しない工
程と、注入した作動流体を脱気する工程と、多穴管の
他方側の端部を封止する工程と、を有することを特徴と
するものである。

【００１８】本発明の他の平板型ヒートパイプの製造方
法は、複数の貫通穴が並列された多穴管を用意する工程
と、多穴管の端部近傍において、ヒートパイプ部にする
貫通穴を隔てる隔壁を除去して連通部を形成し、非ヒー
トパイプ部にする貫通穴を隔てる隔壁を除去しないで連
通部を形成しない工程と、多穴管の一方側の端部を封止
する工程と、ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通部を
脱気する工程と、ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通
部に、多穴管の他方側の端部から作動流体を注入し、非
ヒートパイプ部にする貫通穴には作動流体を注入しない
工程と、多穴管の他方側の端部を封止する工程と、を有
することを特徴とするものである。

【００１９】上記非ヒートパイプ部を凹ませてヒートパ
イプ部を分割する工程をさらに有してもよい。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
から図５を参照しながら説明する。図１（ａ）は、本発
明の第１の実施の形態に係る平板型ヒートパイプの内部
構造を示す平面図、（ｂ）は連通部を示す詳細断面図で
ある。

【００２１】図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、本発
明の第１の実施の形態に係る平板型ヒートパイプは、ア
ルミニウム等の金属で作られ、端部が封止されたコンテ
ナ部１と、そのコンテナ部１の内部に長手方向に沿って
設けられ、作動流体２を収容した複数のヒートパイプ部
３と、そのヒートパイプ部３の両端部に連通し、コンテ
ナ部１の内部に形成され、作動流体２を収容した中空の
連通部４と、コンテナ部１の内部に長手方向に沿って設
けられ、作動流体２を収容していない非ヒートパイプ部
５と、を有する。

【００２２】ヒートパイプ部３及び連通部４に収容され
る作動流体２は、例えば、水、アルコール、有機溶剤等
である。

【００２３】非ヒートパイプ部５は、コンテナ部１の長
手方向に沿って略中間部分（図面では略中央部）に設け
られている。従って、連通部４は、左右に２箇所、合計
４箇所設けられる。

【００２４】図２は、本発明の平面型ヒートパイプの製
造方法を工程順に説明する説明図である。まず、複数の
貫通穴６が並列された多穴管７を用意する（図２（ａ）
参照）。

【００２５】次いで、多穴管７の両端部近傍において、
ヒートパイプ部３にする貫通穴６を隔てる隔壁３ａ（図
１（ｂ）参照）を除去して連通部４を形成する。このと
き、非ヒートパイプ部５にする貫通穴６を隔てる隔壁３
ａを除去しないで連通部４を形成しない（図２（ｂ）参
照）。

【００２６】次いで、多穴管７の一方側（図面では左
側）の端部を封止する（図２（ｃ）参照）。

【００２７】次いで、ヒートパイプ部３にする貫通穴６
及び連通部４に、多穴管７の他方側の端部から作動流体
２を注入する。このとき、非ヒートパイプ部５にする貫
通穴６には作動流体２を注入しない。

【００２８】最後に、多穴管７の他方側の端部を封止す
る（図２（ｄ）参照）。これによって、本発明の平面型
ヒートパイプが得られる。この本発明の平板型ヒートパ
イプでは、多穴管７の両端部の隔壁３ａをヒートパイプ
部３とする部分のみ除去して連通部４を設け、この一連
の空間を１つのヒートパイプの系統としている。

【００２９】なお、作動流体２の注入後、加圧（沸騰）
して脱気する工程が行われる。また、真空脱気工程の後
に、作動流体２を注入してもよい。

【００３０】本発明の平板型ヒートパイプを非冷却部品
や放熱フィンに取り付ける場合、ネジ等で取り付けるの
が確実で汎用性があるので、コストもかからない。そこ
で、図１に示すように、ネジ止めするために穴開け加工
等をする部分を非ヒートパイプ部５にして、非ヒートパ
イプ部５に取付穴８を形成する。

【００３１】また、非ヒートパイプ部５は連通部４に連
通されていないため、ヒートパイプ化が図られず、単な
る空間として存在している。従って、この非ヒートパイ
プ部５にいかなる機械加工を行っても、面精度や強度に
悪影響を及ぼさない範囲であれば問題はない。

【００３２】また、ヒートパイプとしての最終封止をす
る場合は、仮カシメをして一旦封止してから溶接で完全
に密閉にするが、多穴管７の肉厚がいずれもほぼ同等で
あるため、つぶしても不均一な荷重がかからず、安定し
た形状が得られる。

【００３３】図３（ａ）は、本発明の第２の実施の形態
に係る平板型ヒートパイプを示す平面図、（ｂ）はその
平板型ヒートパイプを取り付けた放熱フィンを示す斜視
図である。

【００３４】図３（ａ）に示すように、本発明の第２の
実施の形態に係る平板型ヒートパイプによれば、非ヒー
トパイプ部５は、コンテナ部１の長手方向に沿って略周
辺部分に設けられている。また、非ヒートパイプ部５の
所定位置に穴開け加工を施し、取付穴８を形成してい
る。

【００３５】従って、図３（ｂ）に示すように、ネジ９
等を取付穴８に螺着することにより、本発明の平板型ヒ
ートパイプを放熱フィン１０の上面に取り付けることが
できる。

【００３６】図４（ａ）は、本発明の第３の実施の形態
に係る平板型ヒートパイプを示す平面図、（ｂ）はヒー
トパイプ部３と非ヒートパイプ部５を示す正面断面図で
ある。

【００３７】図４（ａ）に示すように、本発明の第３の
実施の形態に係る平板型ヒートパイプによれば、非ヒー
トパイプ部５は、コンテナ部１の長手方向に沿って略中
間部分と略周辺部分に設けられている。従って、ヒート
パイプ部３は２系統に分割される。また、非ヒートパイ
プ部５の中間部及び周辺部にそれぞれ穴開け加工を施
し、取付穴８を形成している。

【００３８】また、図４（ｂ）に示すように、各ヒート
パイプ部３には、作動流体２の帰還作用を向上させるた
めに針金状のワイヤーウィック１１が挿入されている。

【００３９】図５は、本発明の第４の実施の形態に係る
平板型ヒートパイプを示し、（ａ）は圧延前の状態を示
す正面断面図、（ｂ）は圧延後の状態を示す正面断面図
である。

【００４０】図５（ａ）（ｂ）に示すように、本発明の
第４の実施の形態に係る平板型ヒートパイプによれば、
略中間部分に設けられた非ヒートパイプ部５を圧延加工
により凹ませて、ヒートパイプ部３を２つの系統に分割
している。

【００４１】第４の実施の形態によれば、レイアウト
上、狭い隙間となる部分を避ける構造となり、１枚のヒ
ートパイプでまかなうことができる。２枚のヒートパイ
プを利用する方法では各々のヒートパイプ間で熱の授受
が困難になり、一方向のみに熱源がある場合は、スプレ
ッド効果が得られなかったが、一体もので取り付けが可
能となるので、熱拡散効果、取り付けの利便性が図られ
る。本発明は、上記実施の形態に限定されることはな
く、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範囲内に
おいて、種々の変更が可能である。例えば、連通部４
は、コンテナ部１の一方又は他方の端部だけに形成して
もよい。また、本発明の平板型ヒートパイプを平坦な状
態で使用するだけでなく、適宜曲った形状にして使用し
てもよい。

【００４２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図３から図５を参照
しながら説明する。まず、第１の実施例を説明する。図
３において、コンテナ部１は、幅４５ｍｍ、長さ１２０
ｍｍ、厚さ１．５ｍｍのアルミ押出材からなり、幅２ｍ
ｍ、高さ１ｍｍの貫通穴６が２０個開いた多穴管構造に
なっている。この場合、図中に示す４つの取付穴８にネ
ジ９を挿入して放熱フィン１０を取り付けるため、両サ
イドからそれぞれ２つの貫通穴６を非ヒートパイプ部５
とする。

【００４３】つまり、両サイドから２枚の隔壁３ａは残
し、３枚目の隔壁３ａ以降を除去する。コンテナ部１の
一方の端部は、ＹＡＧレーザ溶接によって完全に封止す
る。この時、一連の溶接工程を簡素化するために、非ヒ
ートパイプ部５も溶接して貫通穴６を塞いでいる。

【００４４】これによって、外観上だけでなく、不純物
が侵入しないというメリットもある。他方の端部はヒー
トパイプ部３の一部を除いて同様に溶接する。

【００４５】残された部分は作動流体２を封入する部分
で、所定量よりも若干多い作動流体２を予め注入した
後、加熱して脱気させている。作動流体２の重量が所定
量となったところで、最終封止を行い、完全に密閉にす
る。その後、所定位置に穴開け加工を施し、フィン取り
付け用の処理を行う。なお、穴開け加工はヒートパイプ
加工の前に行ってもよい。

【００４６】次に、第２の実施例を説明する。図４にお
いて、コンテナ部１は、幅１２０ｍｍ、長さ２９０ｍ
ｍ、厚さ１．５ｍｍのアルミ押出材からなり、幅２．５
ｍｍ、高さ１ｍｍの貫通穴６が４３個開いた多穴管構造
になっている。この場合、押出方向から見て、３列にリ
ベット締めをして固定する必要があるため、非ヒートパ
イプ部５を３列取ることにする。すなわち、両周辺部の
それぞれ４つの貫通穴６と、多穴管７の中央部の３つの
貫通穴をそれぞれ非ヒートパイプ部５となるように、隔
壁３ａを除去する。

【００４７】この場合、２系統のヒートパイプを構成す
ることになる。ヒートパイプ部３にはそれぞれ、図４
（ｂ）に示すように、作動流体２の帰還作用のために、
直径０．８ｍｍの針金状のワイヤウイック１１が挿入さ
れている。コンテナ部１の一方の端部はＴＩＧ溶接によ
って完全に封止している。他方は、ヒートパイプ部３の
外側の一部を除き、同様に溶接する。残された部分は作
動流体２を封入する部分で、予め減圧状態にして脱気し
た後、所定量の作動流体２を封入し、最終封止を行い完
全に密閉にする。その後、所定位置に穴開け加工を施
し、接合面に浮きのない取り付けを行うために処理す
る。

【００４８】次に、第３の実施例を説明する。図５
（ａ）において、コンテナ部１は、幅１００ｍｍ、長さ
２００ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのアルミ押出材からなり、
幅２ｍｍ、高さ１．３ｍｍの貫通穴６が４３個開いた多
穴管構造になっている。この平板型ヒートパイプが多穴
管７の中央の５つの貫通穴６が非ヒートパイプ部５を構
成している。

【００４９】従って、左右の２系統のヒートパイプ部に
分割できる。ヒートパイプの製作工程については上述し
た通りである。

【００５０】完成した平板型ヒートパイプは、図５
（ｂ）に示すように、非ヒートパイプ部５の幅１１ｍｍ
を厚さ０．９ｍｍまで圧延加工して凹ませる。これによ
って、レイアウト上、狭い隙間となる部分を避ける構造
となり、１枚のヒートパイプでまかなうことができる。
２枚のヒートパイプを利用する方法では各々のヒートパ
イプ間で熱の授受が困難になり、一方向のみに熱源があ
る場合は、スプレッド効果が得られなかったが、一体も
ので取り付けが可能となるので、熱拡散効果、取り付け
の利便性が図られる。

【発明の効果】本発明によれば、次にような優れた効果
を奏する。（１）多穴管構造のコンテナ部を利用した平板型ヒート
パイプにおいて、隔壁除去を行わない箇所を設けるだけ
で、非ヒートパイプ部を構成することができる。従っ
て、非ヒートパイプ部の箇所は自由に機械加工でき、ネ
ジ止め用の取付穴を必要に応じて形成しても、ヒートパ
イプの性能に影響を及ぼすことがない。その結果、加工
自由度が高い平板型ヒートパイプを提供できる。（２）最終封止をする場合に仮カシメを行うが、無垢部
を設けた場合と異なり、コンテナ部の肉厚がどこもほぼ
一定であるため、変形や亀裂が生じにくい。その結果、
高品質の平板型ヒートパイプを提供できる。（３）無垢部を設けると同サイズであっても穴位置が変
更すると、押出材のダイスから製作し直さなければなら
ないが、本発明を利用すると、隔壁除去の位置を変形す
るために治具を変えるのみで対応でき、短期間低コスト
で種々のバリエーションに対応できる。その結果、加工
性が良好な平板型ヒートパイプを提供できる。（４）無垢部を必要に応じて多くの部分に形成すると、
重量がかさんだり、材料費がアップするが、本発明では
そのようなことがない。その結果、軽量化・低コスト化
を図れる平板型ヒートパイプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る平
板型ヒートパイプの内部構造を示す平面図、（ｂ）は連
通部を示す詳細断面図である。

【図２】本発明の平面型ヒートパイプの製造方法を工程
順に説明する説明図である。

【図３】（ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係る平
板型ヒートパイプの内部構造を示す平面図、（ｂ）はそ
の平板型ヒートパイプを取り付けた放熱フィンを示す斜
視図である。

【図４】（ａ）は、本発明の第３の実施の形態に係る平
板型ヒートパイプの内部構造を示す平面図、（ｂ）はヒ
ートパイプ部と非ヒートパイプ部を示す正面断面図であ
る。

【図５】本発明の第４の実施の形態に係る平板型ヒート
パイプを示し、（ａ）は圧延前の状態を示す正面断面
図、（ｂ）は圧延後の状態を示す正面断面図である。

【図６】（ａ）は、従来の平板型ヒートパイプの内部構
造を示す平面図、（ｂ）は製造途中にある平板型ヒート
パイプの貫通穴を示す正面断面図、（ｃ）は製造途中に
ある平板型ヒートパイプの連通部を示す正面断面図、
（ｄ）は貫通穴に作動流体を注入した状態を示す正面断
面図、（ｅ）は連通部に作動流体を注入した状態を示す
正面断面図である。

【図７】（ａ）は、従来の他の平板型ヒートパイプの内
部構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
である。

【符号の説明】

１：コンテナ部２：作動流体３：ヒートパイプ部４：連通部５：非ヒートパイプ部６：貫通穴７：多穴管

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】端部が封止されたコンテナ部と、そのコンテナ部の内部に設けられ、作動流体を収容した
ヒートパイプ部と、そのヒートパイプ部の端部に連通し、前記コンテナ部の
内部に形成され、作動流体を収容した中空の連通部と、前記コンテナ部の内部に設けられ、作動流体を収容して
いない非ヒートパイプ部と、を有することを特徴とする平板型ヒートパイプ。
【請求項２】前記非ヒートパイプ部に取付穴が形成され
ていることを特徴とする請求項１に記載の平板型ヒート
パイプ。
【請求項３】前記非ヒートパイプ部は、コンテナ部の長
手方向に沿って略中間部分に設けられていることを特徴
とする請求項１又は２に記載の平板型ヒートパイプ。
【請求項４】前記非ヒートパイプ部は、コンテナ部の長
手方向に沿って略周辺部分に設けられていることを特徴
とする請求項１又は２に記載の平板型ヒートパイプ。
【請求項５】前記非ヒートパイプ部は、コンテナ部の長
手方向に沿って略中間部分及び略周辺部分に設けられて
いることを特徴とする請求項１又は２に記載の平板型ヒ
ートパイプ。
【請求項６】前記略中間部分に設けられた非ヒートパイ
プ部を凹ませて、前記ヒートパイプ部を分割することを
特徴とする請求項３又は５に記載の平板型ヒートパイ
プ。
【請求項７】複数の貫通穴が並列された多穴管を用意す
る工程と、前記多穴管の端部近傍において、ヒートパイプ部にする
貫通穴を隔てる隔壁を除去して連通部を形成し、非ヒー
トパイプ部にする貫通穴を隔てる隔壁を除去しないで連
通部を形成しない工程と、前記多穴管の一方側の端部を封止する工程と、ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通部に、前記多穴管
の他方側の端部から作動流体を注入し、非ヒートパイプ
部にする貫通穴には作動流体を注入しない工程と、前記注入した作動流体を脱気する工程と、前記多穴管の他方側の端部を封止する工程と、を有することを特徴とする平板型ヒートパイプの製造方
法。
【請求項８】複数の貫通穴が並列された多穴管を用意す
る工程と、前記多穴管の端部近傍において、ヒートパイプ部にする
貫通穴を隔てる隔壁を除去して連通部を形成し、非ヒー
トパイプ部にする貫通穴を隔てる隔壁を除去しないで連
通部を形成しない工程と、前記多穴管の一方側の端部を封止する工程と、前記ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通部を脱気する
工程と、ヒートパイプ部にする貫通穴及び連通部に、前記多穴管
の他方側の端部から作動流体を注入し、非ヒートパイプ
部にする貫通穴には作動流体を注入しない工程と、前記多穴管の他方側の端部を封止する工程と、を有することを特徴とする平板型ヒートパイプの製造方
法。
【請求項９】前記非ヒートパイプ部を凹ませて前記ヒー
トパイプ部を分割する工程をさらに有することを特徴と
する請求項７又は８に記載の平板型ヒートパイプの製造
方法。