JP2000145778A - 真空吸着機構付き静圧気体軸受装置 - Google Patents
真空吸着機構付き静圧気体軸受装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
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- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0696—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for both radial and axial load
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/74—Sealings of sliding-contact bearings
- F16C33/741—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
- F16C33/748—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】軸受スキマとラビリンススキマとの関係を調整
することにより、ハウジングと回転軸との金属接触を防
止した真空吸着機構付き静圧気体軸受装置を提供する。 【解決手段】回転軸１と、これを静圧気体軸受３，３を
介して支持するハウジング４とが金属製である真空吸着
機構付き静圧気体軸受装置において、真空吸引経路（吸
気孔１４、吸引溝９、吸引孔１２、真空吸引口１３より
なる）と静圧気体軸受３から噴出した気体の排気経路
（排気溝８，１０、排気孔１１よりなる）とを隔てるラ
ビリンス部Ｒのラビリンススキマｈｌを、静圧気体軸受
３のラジアル軸受スキマｈｂより大きくした（ｈｌ＞ｈ
ｂ）。回転軸１に対して、ハウジング４のラビリンス部
Ｒが金属接触する前に、自己潤滑性に富む静圧気体軸受
３の方が接触するから、焼付き・溶着が起こらない。
することにより、ハウジングと回転軸との金属接触を防
止した真空吸着機構付き静圧気体軸受装置を提供する。 【解決手段】回転軸１と、これを静圧気体軸受３，３を
介して支持するハウジング４とが金属製である真空吸着
機構付き静圧気体軸受装置において、真空吸引経路（吸
気孔１４、吸引溝９、吸引孔１２、真空吸引口１３より
なる）と静圧気体軸受３から噴出した気体の排気経路
（排気溝８，１０、排気孔１１よりなる）とを隔てるラ
ビリンス部Ｒのラビリンススキマｈｌを、静圧気体軸受
３のラジアル軸受スキマｈｂより大きくした（ｈｌ＞ｈ
ｂ）。回転軸１に対して、ハウジング４のラビリンス部
Ｒが金属接触する前に、自己潤滑性に富む静圧気体軸受
３の方が接触するから、焼付き・溶着が起こらない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空吸着機構付き
静圧気体軸受装置の改良に関する。
静圧気体軸受装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空吸着機構付き静圧気体軸受装置は、
例えば磁気ディスク等の検査，測定に用いられる検査用
機器などに組み込まれて、被検査物（ワーク）を真空吸
着して保持しつつ回転させるのに使用される。
例えば磁気ディスク等の検査，測定に用いられる検査用
機器などに組み込まれて、被検査物（ワーク）を真空吸
着して保持しつつ回転させるのに使用される。
【０００３】従来のこの種の装置としては、例えば 特
公平５−８２９０７号公報に記載されたものがある。こ
のものは、図３に示すように、中空の金属製の回転軸１
が一対の静圧気体軸受３，３を介して金属製のハウジン
グ４に支持されている。その回転軸１の一方の端部がワ
ークＷの保持側、他端は例えば回転用モータＭを備えた
回転駆動側になっている。
公平５−８２９０７号公報に記載されたものがある。こ
のものは、図３に示すように、中空の金属製の回転軸１
が一対の静圧気体軸受３，３を介して金属製のハウジン
グ４に支持されている。その回転軸１の一方の端部がワ
ークＷの保持側、他端は例えば回転用モータＭを備えた
回転駆動側になっている。
【０００４】ハウジング４の給気部Ａから圧縮気体を供
給すると、静圧気体軸受３，３から圧縮気体が噴出して
回転軸１は非接触状態で浮上支持される。その噴出気体
は、一部がスラスト軸受すき間を流れてハウジング外へ
排出されるが、残部はハウジング４の静圧気体軸受３，
３に挟まれた中間部分に設けられている排気溝Ｂ，排気
穴Ｃからなる排気経路を経てハウジング外へ排出され
る。
給すると、静圧気体軸受３，３から圧縮気体が噴出して
回転軸１は非接触状態で浮上支持される。その噴出気体
は、一部がスラスト軸受すき間を流れてハウジング外へ
排出されるが、残部はハウジング４の静圧気体軸受３，
３に挟まれた中間部分に設けられている排気溝Ｂ，排気
穴Ｃからなる排気経路を経てハウジング外へ排出され
る。
【０００５】こうして、非接触に浮上支持され、回転用
モータＭで回転駆動される回転軸１の一端にワークＷを
保持するために、回転軸１の中空穴１ａ内の空気を真空
ポンプで吸引する。そのため、ハウジング４の外周面に
真空ポンプを連結する真空吸引口Ｄが設けられ、吸引穴
Ｅを経てハウジング４の内周面に形成された吸引溝Ｆに
開通している。そして、この吸引溝Ｆと回転軸１の中空
穴１ａとが、回転軸１に設けた径方向の複数個の連結穴
Ｇにより連通している。かくして、真空吸引口Ｄ，吸引
穴Ｅ，吸引溝Ｆ，連結穴Ｇで構成される吸引経路を経て
中空穴１ａ内の空気を真空ポンプで吸い出して負圧にす
ることにより、ワークＷを吸着保持する。
モータＭで回転駆動される回転軸１の一端にワークＷを
保持するために、回転軸１の中空穴１ａ内の空気を真空
ポンプで吸引する。そのため、ハウジング４の外周面に
真空ポンプを連結する真空吸引口Ｄが設けられ、吸引穴
Ｅを経てハウジング４の内周面に形成された吸引溝Ｆに
開通している。そして、この吸引溝Ｆと回転軸１の中空
穴１ａとが、回転軸１に設けた径方向の複数個の連結穴
Ｇにより連通している。かくして、真空吸引口Ｄ，吸引
穴Ｅ，吸引溝Ｆ，連結穴Ｇで構成される吸引経路を経て
中空穴１ａ内の空気を真空ポンプで吸い出して負圧にす
ることにより、ワークＷを吸着保持する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記吸引経路の吸引溝
Ｆは排気経路の排気溝Ｂ，Ｂの中間に位置している。そ
の関係で、静圧気体軸受３，３からの排気により真空吸
引性能が阻害されることがないように、排気溝Ｂと吸引
溝Ｆとの間（つまり吸引溝Ｆの両岸）に、ラビリンス部
Ｒを設けてある。そして、図４に拡大して示したよう
に、ラビリンス部Ｒのスキマｈｌの大きさを軸受スキマ
ｈｂと同じかまたはそれ以下にしてある。
Ｆは排気経路の排気溝Ｂ，Ｂの中間に位置している。そ
の関係で、静圧気体軸受３，３からの排気により真空吸
引性能が阻害されることがないように、排気溝Ｂと吸引
溝Ｆとの間（つまり吸引溝Ｆの両岸）に、ラビリンス部
Ｒを設けてある。そして、図４に拡大して示したよう
に、ラビリンス部Ｒのスキマｈｌの大きさを軸受スキマ
ｈｂと同じかまたはそれ以下にしてある。
【０００７】しかしながら、ｈｂ≧ｈｌであるから、ラ
ビリンス部Ｒのスキマｈｌは非常に狭い。そのため、万
が一、装置の使用中に、静圧気体軸受３，３に供給しつ
つある圧縮気体が遮断されてしまったり、回転軸１に過
負荷が加わったような場合には、ラビリンス部Ｒのスキ
マｈｌが保てなくなって回転軸１とハウジング４とが金
属接触して溶着し、焼き付いてしまうおそれがある。
ビリンス部Ｒのスキマｈｌは非常に狭い。そのため、万
が一、装置の使用中に、静圧気体軸受３，３に供給しつ
つある圧縮気体が遮断されてしまったり、回転軸１に過
負荷が加わったような場合には、ラビリンス部Ｒのスキ
マｈｌが保てなくなって回転軸１とハウジング４とが金
属接触して溶着し、焼き付いてしまうおそれがある。
【０００８】そこで本発明は、このような従来の真空吸
着機構付き静圧気体軸受装置の有する問題点を解決する
ためになされたものであり、その目的とするところは、
軸受スキマとラビリンススキマとの関係を調整すること
により、ハウジングと回転軸との金属接触を防止した真
空吸着機構付き静圧気体軸受装置を提供することにあ
る。
着機構付き静圧気体軸受装置の有する問題点を解決する
ためになされたものであり、その目的とするところは、
軸受スキマとラビリンススキマとの関係を調整すること
により、ハウジングと回転軸との金属接触を防止した真
空吸着機構付き静圧気体軸受装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に係る本発明は、回転軸と、これを静圧
気体軸受を介して支持するハウジングとが金属製である
真空吸着機構付き静圧気体軸受装置において、真空吸引
経路と前記静圧気体軸受から噴出した気体の排気経路と
を隔てるラビリンス部のスキマｈｌを、前記静圧気体軸
受のラジアル軸受スキマｈｂより大きくした（ｈｌ＞ｈ
ｂ）ことを特徴とする。
めに、請求項１に係る本発明は、回転軸と、これを静圧
気体軸受を介して支持するハウジングとが金属製である
真空吸着機構付き静圧気体軸受装置において、真空吸引
経路と前記静圧気体軸受から噴出した気体の排気経路と
を隔てるラビリンス部のスキマｈｌを、前記静圧気体軸
受のラジアル軸受スキマｈｂより大きくした（ｈｌ＞ｈ
ｂ）ことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の真空吸着機構付
き静圧気体軸受装置の一実施の形態の断面図である。先
ずその全体構成を説明すると、中空の金属製の回転軸１
が一対の静圧気体軸受３，３を介して金属製のハウジン
グ４に支持されている。回転軸１の両端にはフランジ２
がそれぞれボルトＢ１で着脱可能に取り付けてある。そ
の回転軸１の一方のフランジ端部（図では左端部）がワ
ークＷの保持側である。反対側は図示しない回転用モー
タを備えた回転駆動部がボルトで接続されて、回転軸の
中空穴１ａの開口が塞がれるようになっている。
を参照して説明する。図１は、本発明の真空吸着機構付
き静圧気体軸受装置の一実施の形態の断面図である。先
ずその全体構成を説明すると、中空の金属製の回転軸１
が一対の静圧気体軸受３，３を介して金属製のハウジン
グ４に支持されている。回転軸１の両端にはフランジ２
がそれぞれボルトＢ１で着脱可能に取り付けてある。そ
の回転軸１の一方のフランジ端部（図では左端部）がワ
ークＷの保持側である。反対側は図示しない回転用モー
タを備えた回転駆動部がボルトで接続されて、回転軸の
中空穴１ａの開口が塞がれるようになっている。
【００１１】ハウジング４は固定体で、円筒形または角
形等の外形を有し、内部に軸方向の貫通穴を備え、これ
に回転軸１が挿通されている。ハウジング４の両端部は
貫通穴の縁を円環状に切除して凹部が形成され、その凹
部の内周面にそれぞれ、静圧気体軸受のエレメントであ
る短円筒状の多孔質部材３，３が接着または焼きばめ等
の手段で嵌合され、軸方向に間隔をおいて固定されてい
る。この多孔質の静圧気体軸受３には自己潤滑性に優れ
たグラファイトを採用しており、内周面をラジアル軸受
面３Ｒ、外端面をスラスト軸受面３Ｓとして用いるよう
に、切削または研削加工で仕上げ加工されている。
形等の外形を有し、内部に軸方向の貫通穴を備え、これ
に回転軸１が挿通されている。ハウジング４の両端部は
貫通穴の縁を円環状に切除して凹部が形成され、その凹
部の内周面にそれぞれ、静圧気体軸受のエレメントであ
る短円筒状の多孔質部材３，３が接着または焼きばめ等
の手段で嵌合され、軸方向に間隔をおいて固定されてい
る。この多孔質の静圧気体軸受３には自己潤滑性に優れ
たグラファイトを採用しており、内周面をラジアル軸受
面３Ｒ、外端面をスラスト軸受面３Ｓとして用いるよう
に、切削または研削加工で仕上げ加工されている。
【００１２】これに対し、回転軸１の各フランジ２，２
の内側面が平面状のスラスト受面２Ｓ，２Ｓとされてお
り、前記スラスト軸受面３Ｓと僅かの軸受すき間を介し
て非接触に対向してスラスト軸受が構成される。一方、
静圧気体軸受３のラジアル軸受面３Ｒは、半径方向のラ
ジアル軸受スキマｈｂを介して回転軸１の外周面のラジ
アル受面１Ｒに対向しており、ラジアル受面１Ｒとラジ
アル軸受面３Ｒとでラジアル軸受が構成される。
の内側面が平面状のスラスト受面２Ｓ，２Ｓとされてお
り、前記スラスト軸受面３Ｓと僅かの軸受すき間を介し
て非接触に対向してスラスト軸受が構成される。一方、
静圧気体軸受３のラジアル軸受面３Ｒは、半径方向のラ
ジアル軸受スキマｈｂを介して回転軸１の外周面のラジ
アル受面１Ｒに対向しており、ラジアル受面１Ｒとラジ
アル軸受面３Ｒとでラジアル軸受が構成される。
【００１３】そして、ハウジング４の外周面の給気部Ａ
から各静圧気体軸受３，３の外周の環状の給気室６に連
通する給気孔７が設けられ、給気部Ａから図外の加圧気
体供給源からの圧縮空気を送り込み、絞りとして機能す
る多孔質部材からなる静圧気体軸受３を介して各ラジア
ル及びスラスト軸受スキマに噴出させることにより流体
膜を形成して、回転軸１をハウジング４に対し非接触に
浮上支持するようになっている。
から各静圧気体軸受３，３の外周の環状の給気室６に連
通する給気孔７が設けられ、給気部Ａから図外の加圧気
体供給源からの圧縮空気を送り込み、絞りとして機能す
る多孔質部材からなる静圧気体軸受３を介して各ラジア
ル及びスラスト軸受スキマに噴出させることにより流体
膜を形成して、回転軸１をハウジング４に対し非接触に
浮上支持するようになっている。
【００１４】ハウジング４の両端の静圧気体軸受３，３
の間に位置する内周面には、軸方向に間隔をおいて３個
所の位置に、円周方向に連続する溝８，９，１０が形成
されている。これらの溝のうち、静圧気体軸受３にそれ
ぞれ隣接する位置にある排気溝８，１０には、半径方向
外側に連通する排気孔１１を複数個設けてハウジング４
の外面に開口させている。また、中間位置の吸引溝９
は、半径方向の貫通孔である吸引孔１２を設けてハウジ
ング４の外面に開口させた真空吸引口１３に連通させ、
その真空吸引口１３のねじ部に図示しない真空ポンプの
配管を接続するようにしてある。一方、中空の回転軸１
には、ハウジング４に設けた中間位置の吸引溝９に合わ
せて、半径方向に貫通する複数個の吸気孔１４を設けて
いる。
の間に位置する内周面には、軸方向に間隔をおいて３個
所の位置に、円周方向に連続する溝８，９，１０が形成
されている。これらの溝のうち、静圧気体軸受３にそれ
ぞれ隣接する位置にある排気溝８，１０には、半径方向
外側に連通する排気孔１１を複数個設けてハウジング４
の外面に開口させている。また、中間位置の吸引溝９
は、半径方向の貫通孔である吸引孔１２を設けてハウジ
ング４の外面に開口させた真空吸引口１３に連通させ、
その真空吸引口１３のねじ部に図示しない真空ポンプの
配管を接続するようにしてある。一方、中空の回転軸１
には、ハウジング４に設けた中間位置の吸引溝９に合わ
せて、半径方向に貫通する複数個の吸気孔１４を設けて
いる。
【００１５】以上の全体構成を有する本発明の真空吸着
機構付き静圧気体軸受装置における、ラジアル軸受スキ
マｈｂとラビリンススキマとの関係は次のようにしてあ
る。両排気溝８，１０と吸引溝９との間（つまり吸引溝
９の両岸）に、ラビリンス部Ｒを設けてあり、そのラビ
リンス部Ｒのスキマｈｌの大きさは、図２に拡大して示
すように、ラジアル軸受スキマｈｂよりも大きい（ｈｂ
＜ｈｌ）。これは、金属製の回転軸１と金属製のハウジ
ング４との金属同士での接触を回避することを意図した
もので、具体的には、ラビリンス部Ｒの内周面Ｒｒを静
圧気体軸受３，３のラジアル軸受面３Ｒよりも片側２〜
６μｍずつ拡げている。これにより、回転軸１がハウジ
ング４に接触しても、金属のラジアル受け面１Ｒとグラ
ファイト製静圧気体軸受３のラジアル軸受面３Ｒとの接
触となり、焼付きは起こらない。一般に、静圧気体軸受
３のラジアル軸受スキマｈｂの大きさは半径方向で５〜
２０μｍであり、本発明のラビリンススキマｈｌはこれ
より２〜６μｍ大きくするものである。
機構付き静圧気体軸受装置における、ラジアル軸受スキ
マｈｂとラビリンススキマとの関係は次のようにしてあ
る。両排気溝８，１０と吸引溝９との間（つまり吸引溝
９の両岸）に、ラビリンス部Ｒを設けてあり、そのラビ
リンス部Ｒのスキマｈｌの大きさは、図２に拡大して示
すように、ラジアル軸受スキマｈｂよりも大きい（ｈｂ
＜ｈｌ）。これは、金属製の回転軸１と金属製のハウジ
ング４との金属同士での接触を回避することを意図した
もので、具体的には、ラビリンス部Ｒの内周面Ｒｒを静
圧気体軸受３，３のラジアル軸受面３Ｒよりも片側２〜
６μｍずつ拡げている。これにより、回転軸１がハウジ
ング４に接触しても、金属のラジアル受け面１Ｒとグラ
ファイト製静圧気体軸受３のラジアル軸受面３Ｒとの接
触となり、焼付きは起こらない。一般に、静圧気体軸受
３のラジアル軸受スキマｈｂの大きさは半径方向で５〜
２０μｍであり、本発明のラビリンススキマｈｌはこれ
より２〜６μｍ大きくするものである。
【００１６】次に、静圧空気軸受装置の作用を説明す
る。ハウジング４の外周面に開口している給気部Ａに接
続された図外の加圧気体供給源からの加圧気体が、給気
穴７から給気室６を経て各静圧気体軸受３，３にそれぞ
れ送られる。その加圧気体は、多孔質の静圧気体軸受３
の内部を通り、ラジアル軸受面３Ｒ及びスラスト軸受面
３Ｓに分かれてラジアル軸受スキマｈｂとスラスト軸受
スキマに噴出し、流体膜を形成して回転軸１をラジアル
方向及びスラスト方向に非接触で浮上支持する。
る。ハウジング４の外周面に開口している給気部Ａに接
続された図外の加圧気体供給源からの加圧気体が、給気
穴７から給気室６を経て各静圧気体軸受３，３にそれぞ
れ送られる。その加圧気体は、多孔質の静圧気体軸受３
の内部を通り、ラジアル軸受面３Ｒ及びスラスト軸受面
３Ｓに分かれてラジアル軸受スキマｈｂとスラスト軸受
スキマに噴出し、流体膜を形成して回転軸１をラジアル
方向及びスラスト方向に非接触で浮上支持する。
【００１７】スラスト軸受面３Ｓから噴出した気体は、
回転軸のフランジ２との間のスキマから外部に排出され
る。また、ラジアル軸受面３Ｒから噴出した気体は、そ
の一部がスラスト軸受面３Ｓと回転軸のフランジ２との
間のスキマから外部に排出されるとともに、残部はハウ
ジング４の内径面に静圧気体軸受３に隣接して開口して
いる排気溝８，１０から排気孔１１を経て外部に排出さ
れる。
回転軸のフランジ２との間のスキマから外部に排出され
る。また、ラジアル軸受面３Ｒから噴出した気体は、そ
の一部がスラスト軸受面３Ｓと回転軸のフランジ２との
間のスキマから外部に排出されるとともに、残部はハウ
ジング４の内径面に静圧気体軸受３に隣接して開口して
いる排気溝８，１０から排気孔１１を経て外部に排出さ
れる。
【００１８】回転軸１のワーク保持側にはワークＷが装
着され、真空吸着により固定して保持される。そのた
め、回転軸１の中空穴１ａ内の空気の吸引が行われる。
すなわち、真空吸引口１３に接続された図示されない真
空ポンプを作動させ、中空穴１ａ内の空気を吸気孔１４
からハウジング内面の吸引溝９，吸引孔１２を経て吸引
する。この場合、吸引溝９とその両側に位置する排気溝
８，１０との間にラビリンス部Ｒが介在しており、たと
え数μｍ程度スキマをひろげても、そのラビリンススキ
マｈｌを通過する気体流は極めて大きな抵抗を受ける。
しかも、静圧気体軸受３から噴出する気体圧力は、ラジ
アル軸受スキマｈｂから排気溝８，１０へ流れる方がラ
ビリンススキマｈｌを越えて吸引溝９へ流れるよりも遙
に容易である。したがって静圧気体軸受３，３の排気が
真空ポンプ側に吸引されることは殆どなく、吸引能力ひ
いてはワークＷの吸着力に支障はない。
着され、真空吸着により固定して保持される。そのた
め、回転軸１の中空穴１ａ内の空気の吸引が行われる。
すなわち、真空吸引口１３に接続された図示されない真
空ポンプを作動させ、中空穴１ａ内の空気を吸気孔１４
からハウジング内面の吸引溝９，吸引孔１２を経て吸引
する。この場合、吸引溝９とその両側に位置する排気溝
８，１０との間にラビリンス部Ｒが介在しており、たと
え数μｍ程度スキマをひろげても、そのラビリンススキ
マｈｌを通過する気体流は極めて大きな抵抗を受ける。
しかも、静圧気体軸受３から噴出する気体圧力は、ラジ
アル軸受スキマｈｂから排気溝８，１０へ流れる方がラ
ビリンススキマｈｌを越えて吸引溝９へ流れるよりも遙
に容易である。したがって静圧気体軸受３，３の排気が
真空ポンプ側に吸引されることは殆どなく、吸引能力ひ
いてはワークＷの吸着力に支障はない。
【００１９】かくして、ワークＷを吸着し、ラジアル方
向及びスラスト方向に非接触で浮上支持された回転軸１
は、回転駆動部の図示されない回転用モータにより回転
駆動される。その回転中に静圧気体軸受３，３への圧縮
気体の供給が遮断されたり過負荷が加わって、ラジアル
軸受スキマｈｂが保てなくなった場合も、ｈｂ＜ｈｌで
あるからラビリンス部Ｒが回転軸１と金属接触する前
に、自己潤滑性に富むグラファイト製静圧気体軸受３，
３のラジアル軸受面３Ｒとラジアル受面１Ｒとの接触に
なり溶着は起こらない。回転軸１の接触原因を解除した
後は、再び通常の気体軸受の機能を発揮できる。
向及びスラスト方向に非接触で浮上支持された回転軸１
は、回転駆動部の図示されない回転用モータにより回転
駆動される。その回転中に静圧気体軸受３，３への圧縮
気体の供給が遮断されたり過負荷が加わって、ラジアル
軸受スキマｈｂが保てなくなった場合も、ｈｂ＜ｈｌで
あるからラビリンス部Ｒが回転軸１と金属接触する前
に、自己潤滑性に富むグラファイト製静圧気体軸受３，
３のラジアル軸受面３Ｒとラジアル受面１Ｒとの接触に
なり溶着は起こらない。回転軸１の接触原因を解除した
後は、再び通常の気体軸受の機能を発揮できる。
【００２０】なお、上記の実施の形態では、静圧気体軸
受３の絞り形式として多孔質絞りを採用したものを説明
したが、これに限らず自成絞り，オリフィス絞り，表面
絞り等のいずれでも良い。また、回転軸１のラジアル受
面１Ｒに固体潤滑材で表面処理を施して潤滑性を持たせ
ても良い。
受３の絞り形式として多孔質絞りを採用したものを説明
したが、これに限らず自成絞り，オリフィス絞り，表面
絞り等のいずれでも良い。また、回転軸１のラジアル受
面１Ｒに固体潤滑材で表面処理を施して潤滑性を持たせ
ても良い。
【００２１】また、ラビリンスの配置数を２列としたも
のを示したが、２列以上でも良い。
のを示したが、２列以上でも良い。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る本
発明によれば、ラビリンススキマｈｌの方をラジアル軸
受スキマｈｂより大きくしたため、回転軸と固定側であ
るハウジングとの接触による焼付きを防止できるという
効果を奏する。
発明によれば、ラビリンススキマｈｌの方をラジアル軸
受スキマｈｂより大きくしたため、回転軸と固定側であ
るハウジングとの接触による焼付きを防止できるという
効果を奏する。
【図１】本発明の一実施の形態の断面図である。
【図２】図１のラビリンス部Ｒの拡大図である。
【図３】従来の真空吸着機構付き静圧気体軸受装置の断
面図である。
面図である。
【図４】図３のラビリンス部Ｒの拡大図である。
【符号の説明】 １ 回転軸 １ａ 中空穴 ３ 静圧気体軸受 ４ ハウジング ８ 排気溝 ９ 吸引溝 １０ 排気溝 １１ 排気孔 １２ 吸引孔 １３ 真空吸引口 １４ 吸引孔
Claims (1)
- 【請求項１】 回転軸と、これを静圧気体軸受を介して
支持するハウジングとが金属製である真空吸着機構付き
静圧気体軸受装置において、真空吸引経路と前記静圧気
体軸受から噴出した気体の排気経路とを隔てるラビリン
ス部のスキマｈｌを、前記静圧気体軸受のラジアル軸受
スキマｈｂより大きくした（ｈｌ＞ｈｂ）ことを特徴と
する真空吸着機構付き静圧気体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315109A JP2000145778A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315109A JP2000145778A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000145778A true JP2000145778A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18061537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10315109A Pending JP2000145778A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000145778A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031137A (ja) * | 2000-06-06 | 2002-01-31 | Snecma Moteurs | 多房性の流体静力学的流体ベアリングおよびその製造方法 |
| JP2006275234A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kumamoto Technology & Industry Foundation | エアベアリングおよびリング状モータ |
| KR100871278B1 (ko) | 2007-07-02 | 2008-11-28 | 경상대학교산학협력단 | 일방향성 다공질 금속을 이용한 정압 에어 베어링 스핀들시스템 |
| CN106481662A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-03-08 | 广东工业大学 | 一种精密气浮转台 |
| CN113007218A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-22 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种串联复合节流液体静压转台 |
-
1998
- 1998-11-05 JP JP10315109A patent/JP2000145778A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031137A (ja) * | 2000-06-06 | 2002-01-31 | Snecma Moteurs | 多房性の流体静力学的流体ベアリングおよびその製造方法 |
| JP4550319B2 (ja) * | 2000-06-06 | 2010-09-22 | スネクマ・モトゥール | 多房性の流体静力学的流体ベアリングおよびその製造方法 |
| JP2006275234A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kumamoto Technology & Industry Foundation | エアベアリングおよびリング状モータ |
| KR100871278B1 (ko) | 2007-07-02 | 2008-11-28 | 경상대학교산학협력단 | 일방향성 다공질 금속을 이용한 정압 에어 베어링 스핀들시스템 |
| CN106481662A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-03-08 | 广东工业大学 | 一种精密气浮转台 |
| CN113007218A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-22 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种串联复合节流液体静压转台 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060124 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060125 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061114 |