JPS60156996A - 改良されたベアリング装置を有するタ−ボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は概略的には真空ポンプに関し、より詳細には特
に自由な分子の流れの範囲で効果的なミリメートル程度
の遊隙を有する「プレート型」ロータ及びステータを特
徴としたターボ分子ポンプとして知られているポンプに
関する。さらに詳細には本発明はモータのロータとポン
プのロータ円板との間のベアリングを有する片面型の真
空ポンプに特に有用な改良されたベアリング装置に関す
る。この点に関し本発明の重要な面は改善された熱伝達
の性能と位置合せ不良に対する高い許容度を特徴としそ
れによって騒音、振動及び摩耗が最少になりよシ長いベ
アリングの寿命が得られる片面型のターボ分子ポンプの
ベアリング装置に関する。

従来の片面型のターボ分子ポンプにおいて、通常上側ベ
アリングに集中している回転装置の質量中心を有する回
転装置を支持するために２つの垂直に配置されたベアリ
ングが一般に用いられている。この型の回転機械の安定
性を維持するのに１これらの機械に用いられている非常
に高い回転速度のため非常に注意を要する。これらの機
械の摩耗したベアリングを取換えるには回転装置を分解
しなければならないが、これはそれ自体面倒で時間のか
かる工程である。さらに各ベアリング交換の再組立で自
然スピン軸がわずかに異なるので、ロータ装置がベアリ
ング上で完全にバランスを保つことはあり得ない。ベア
リングは自由振動状態で「浮く」ようにされなければな
らない。それゆえバランス調整手段がなくても利用者が
ベアリングの交換を行なうようにするだめ十分順応性の
あるベアリング取付けが必要となる。

回転装置を支持することのほかにベアリングはまたロー
タから熱を除くように通す作用をなす。

多くの市販のターボ分子ポンプは約１４８℃で始まる強
度の損失を伴なうアルミニウム合金のロータを用いてい
る。ターボ分子ポンプのロータは熱的絶縁状態の真空に
おいて作動するので、過度に装置を複雑にさせずにベア
リングの摩擦、モータの総合的損失、気体摩擦等の一般
的な熱入力からロータを冷却することのできる唯一の方
法はベアリングの潤滑剤を通じての伝導及び放射による
ものである。

これまで多くのターボ分子ポンプは油潤滑式のボールベ
アリングを用いている。空気膜式ベアリング及び磁気ベ
アリング等の他の型のベアリングも用いられているが、
多様な理由で広く利用されてはいない。例えば磁気ベア
リングによって与えられる低い剛性及びベアリングを維
持するのに必要な電気的制御の複雑さのため作動上の制
限及び信頼性についての問題が生ずる。

ボールベアリングは速度が増大する際にその摩擦が適度
に増大するだけなのでターボ分子ポンプの高速での使用
に十分適合し、速度が増大しても一般的に内的な不安定
性が現われない。さらにボールベアリングは異常な空気
の流入によるスラスト荷重を扱うための強度及び剛性が
太いに保持される。このはアリングは翼列をなすロータ
円板の放出側に配置され、これに伴う油の蒸気はターボ
の人口の方へ上流側に浸透しない。

しかしながら現在使用可能カポールベアリングの信頼性
は非常に高いけれども、非常に大きい角速度で軸の回り
に旋回するボールによシボールとレースとの間にかなり
の力が生じ、これはロータだけで生ずる力よシもはるか
に大きい。ロータの軸に対するベアリングのレースの位
置合せが不良であると、これらの力が騒音、振動、摩耗
に変わり、このことから実際にベアリングの交換が必要
になる。それゆえ正確な加工と部品の扱い及び組立てに
おける細心の注意が位置合せの不良を最少にするために
必要である。

処理及び組立ての制限に加えてボールベアリングの熱伝
達能力によシターボ分子ポンプの有効作動範囲が制限さ
れる。ターボ分子ポンプのロータへの２つの主熱入力源
は油摩擦と気体摩擦とである。気体摩擦による熱入力は
ロータが作動する圧力範囲に比例する。すなわち圧力が
低い方が気体摩擦がより小さく、圧力が高い方が気体摩
擦がより小さい。気体摩擦から発生する熱は通常ロータ
を支持するベアリングを通る油の流れによって散逸する
。しかしながら代表的なボールベアリング装置における
油の使用量はその熱伝達能力と油自体によって発生する
摩擦の大きさとの両方に比例する。

それゆえ気体摩擦によ、る熱入力がわずかでめれば最少
の油のボールベアリングが最良であり、また気体摩擦に
よる熱入力が大きいときには油を最大の量にするのが最
良である。しかしながら油の使用量を増加させたときの
増大した油摩擦に付随する効果としてベアリングの熱伝
達能力に対する釣合せの効果が生ずるが、これはポンプ
の使用範囲の高圧側を制限し、それによってＩＣの製造
に利用されるスパッターやドライエッチの用途に必要と
なることが多いより高い圧力範囲におけるターボ分子ポ
ンプの使用を狭めることになる。

本発明は騒音、摩耗あるいは疲労損傷を増加させずに代
表的なボールベアリングよりずっと多くの位置合せ不良
に耐えられ、代表的なボールベアリングよりすぐれた熱
伝達能力を有する改良された「平板型」または「スリー
ブ型」の液体潤滑型Ｒアリング装置を提供することによ
り前述の問題を解決するものである。これまでこのよう
なベアリングは、従来の長さ対直径の比を有するこのよ
うなベアリングでこのようなターボ・ポンプに用いられ
る速度においてはるかに多大の流体摩擦抗力が生ずるの
で、ターボ分子ポンプには使用されていない。流体摩擦
抗力に加えて、油膜ベアリングは「ホワール」として知
られる水力学的不安定状態を示し易く、これは許各でき
ない振動を生じ得るものである。ベアリングの長をに対
するＳ〉セ−ナルの直径の比が比較的大きく、１０：３
またはそれ以上のときに、前記の欠点は、摩擦抗力が同
等の直径のボールベアリング及び同等の粘度の潤滑剤で
生ずる摩擦抗力より小さくそれ程のホワールが生じない
程度にまで減少する。さらにこの新規なベアリング装置
は制限のない寿命の可能性を有し、それゆえベアリング
交換の際の再組立のバランス調整の問題を口壁すること
になる。

それゆえ改良されたターボ分子ポンプを提供することが
本発明の全般的な目的である。

本発明の他の目的は騒音、摩耗、または疲労損傷を大幅
に減少させる改良されたベアリング装置を有するターボ
分子ポンプを提供することである。

本発明のさらに他の目的は改善された熱伝達能力を有し
それによってポンプの使用可能な高圧範囲を広げる改良
されたベアリング装置を有するターボ分子ポンプを提供
することである。

本発明のさらに他の目的は油膜ベアリング装置を備えた
改良された片面型のターボ分子ポンプを提供することで
ある。

本発明のこれらの目的及び他の目的は添付の図面を参照
して以下の詳細な説明から明らかとなろう。

本発明の主旨は種々のポンプの構造について実現される
ことがわかるが、ここでは特に流入気体の流れがカスケ
ードゝ状ロータ・ステータの回転軸に平行でそれから側
方の孔から前側ポンプの方に出てゆ〈実施例に関して説
明する。

図面をより詳細に参照すると、第１図は本発明の改良さ
れたベアリング装置１２を取付けた従来の片面型の真空
ポンプ１０の垂直断面を示している。

真空ポンプ１０自体はターボ分子ポンプのロータ装置１
４とこのロータ装置を駆動するだめの一体的な電動機１
６とを含む。

ここでロータ装置１４をより詳細に参照すると、ロータ
自体はロータ・ボスに固定された一連の回転円板１８か
らなる。回転円板１８は、−米国特許第３．６４４，０
５１号に開示されているようなシャピロ（Ｓｈａρ１ｒ
ｏ）型の高強度アルミニウム合金の円板で構成されるの
が好ましい。ロータ・ボス２０は電動機１６の軸２２に
直接連結され、それによって直接駆動される。

ロータ装置１４及び電動機１６はそれ自体がポンプの外
側ハウジング２４内に収容されている剛性の内側ハウジ
ング２３内に組込まれている。近接するロータ円板の外
形と一致した外形を有するステータ円板２６が外側ハウ
ジング２４に取付けられてロータ円板１８の間に挿入さ
れこれに近接するように配設されている。第１図に例示
のために示てれているようにこのロータ円板とステータ
円板との交錯で１６段の軸流ロータ・ステータ翼列、す
なわち８段の可動ロータ円板Ｊ８と８段の固定ステータ
円板２６とが形成される。

ロータ１４と電動機１６との結合装置は上側ベアリング
１２と下側ベアリング２８とにより・・ウジフグ２３内
に支持されている。以下により詳細に示される上側ベア
リング１２はポンプのロータ１４と電動機１６との間に
配設され、ロータの横方向の主たる抑ｊｉｉＩＪ部をな
す。図示のように電動機１６の下側に配設された下側ベ
アリング２８はボールベアリング型であり、装置におけ
る小さな偏心を補償し振動減衰を行なうようにエラスト
マーのＯ−リング３０に装着されている。下側ベアリン
グ２８は二方向のスラスト能力を有し、ロータの重量を
支持し、非常状態の空気流入の上方スラスト抗力を与え
る。

下側ベアリング２８はラジアル及び二方向スラストの十
分な能力を与える限りいかなる従来のベアリングの型の
ものでもよいことがわかるであろう。

上側ベアリング１２への上側油通口３２ａと下側ベアリ
ング２８への下側油通口３２ｂとを通じて潤滑を行なう
油ポンプ装置３２が電動機１６のすぐ下にある。

油ポンプ装置は潤滑が損なわれた場合にロータへの駆動
電力を遮断するだめの図示しない油流れ検出器を含むの
が好ましい。潤滑装置はさらにシールされていない「缶
入りロータ」型電動機３６によって作動するウオームギ
ア３４と、上方のベアリングを離れた後に流路４０を通
じて油が重力で流出してゆく油槽３８とを含む。軸方向
吸入装置のような他の型の油潤滑装置が本発明で同様に
用いられることがわかるはずである。

ターボポンプ１０は図示していない出口絞りを通じて前
側ポンプ４４に連結された流出口４２を有する。

絞りの前側ポンプ側、Ａ領域（ｚｏｎｅ　Ａ）はロータ
ーステータ翼列の下側、Ｂ領域（ｚｏｎｅ　Ｂ）より低
い圧力になっている。ターボポンプの油によってポンプ
媒体の汚濁の可能性を減少させるために、排気の際に脱
気油からの泡が前側ポンプまで通過しベアリングを通じ
てポンプのターボ本体の空所内に立入らないようにター
ボポンプ１０の油のある部分が流路４０を通じて領域Ａ
に連結されている。

新たなベアリンク装置１２を除いて、ポンプ１０の前述
の要素と第１図に示されているがここでは特に説明して
いない他の要素とは一般的に従来のものであって１本発
明の必須の部分をなすものではなく、それゆえここでは
これ以上説明しない。

ここで第２及び３図を参照すると、平板またはスリーブ
型のベアリング装置１２がジャーナル・スリーブ４６、
ベアリング４８及びこれらの間の潤滑膜５０を含むもの
として示されている。

図示の実施例において、ジャーナル・スリーブ４６はボ
ス２０と軸２２との結合体にプレス嵌めて一体的に固着
され、一体的に回転する。ジャーナル４６は研摩された
硬鋼からなるのが好ましい。しかしながらボス２０と軸
２２との結合体は、適当な寸法で、研摩されていれば、
スリーブを必要とせずにそれ自体ジャーナルとしてず牛
用することができる。

第２図に示されるようにベアリング４８は概略的にジャ
ーナル４６と同心状の外側リングの形であシ、ジャーナ
ル・スリーブ４６に近接する半径方向内側ベアリング面
５２を含む。ベアリングは青銅からなるのが好捷しいが
、グラファイトのようなターボ分子ポンプで生ずるある
種の大きい分子量の気体の腐蝕効果に耐える他の材料を
用いてもよい、外側支持構造５４がベアリング４８を包
囲しており、これは内側のエラストマー支持面５６ａ、
５６Ａを有する環状隆起部または溝５６を含むのが好ま
しい。エンストマー支持面は実施例においてＯ−リング
５６ａ％５６ｂとして示されている（第１．２図）。０
＋　リング５６ａ、５６ｂは圧縮された状態においてベ
アリング４８とベアリングの外側支持構造５４との間に
把持されている。０−リングはそれ以上の圧縮もまだ膨
張も可能で、ｂＤ、それによってロータ装置によって生
ずるいかなる振動をも減衰させるように、また生じ得る
軸あるいはロータの偏心を補償するように作用する。

ジャーナル・スリーブ４６及びばアリング４８は潤滑剤
膜５０のだめの半径方向の適当な遊隙を与えるような大
きさである。この点に関し半径方向の間隙は典型的には
０．００１５インチ程度であり、すなわちベアリング面
５２の内径は典型的にはジャーナル・スリーブ４６の外
径よシ約０．００３インチだけ大きい。例えば約１．０
００インチの外径を有するポンプではベアリング面の内
径は約１．００３インチとなろう。

ベアリング・リング４８はジャーナル・スリーブ４６と
ベアリング４８との半径方向の間隙への有効な潤滑剤の
通過を可能にするように周囲に配設された半径方向の潤
滑剤流入口５Ｂを有する。潤滑剤は外側支持構造５４に
おける入口貯槽６０により入口流路５９を通じて潤滑剤
ポンプ装置３２から圧力を受けて流入口５８に入る。入
口貯槽６０及び流路５９は実施例においてそれぞれ円錐
形及び円錐台形を有するものとして示されておハそれに
よって収容される潤滑剤の容積が流入口５８における容
積より大きい。これは流入口５８を通じて潤滑材の流れ
を生ぜしめる付加的な圧力を与えるだけでなく、ポンプ
が遮断されるまで潤滑が損なわれた場合における部分的
な潤滑剤保存の作用をなす。流入口５８はベアリング面
５２内に軸方向に集中しベアリング４８の回りに対称的
に配置されてジャーナル４６とベアリング面との間の有
効な潤滑剤膜を与えるようにするのが好ましい。

本発明によればジャーナル４８の外径に対するベアリン
グ面５２の軸方向の長さの比が小さく保持される。この
比の適当な範囲は１：２０から３：１０にわたり、好ま
しい比は約１：１０である。それゆえこの極端に小さい
比により作動時に剪断力を受けるベアリング・ジャーナ
ル境界面にある潤滑剤の量が最少になってそれ程のホワ
ール効果が生じないようになる。従って剪断力を受ける
潤滑剤の減少によ逆摩擦発熱効果が従来の同じ状態にあ
るボールベアリングより小さい値に減少する。ベアリン
グ装置１２の主目的はロータ装置１４が高速になったと
きにこれを振動に対して安定させポンプのジャーリング
動作に耐えるようにすることである。

ベアリング装置１２の構造的安定性はベアリングの断面
をテーパ状にすることによって与えられ（第２図）、ベ
アリングの外径は内径よりずっと大きくなる。ベアリン
グ装置１２によって支持されるロータ装置１４は比較的
軽量であシ、それゆえベアリングの内径における小さな
比はベアリング装置１２の性能に逆効果を与えることは
なく、むしろこれまで液体ベアリングによって得られた
よシ大きなベアリング速度が容易に可能になる。代表的
な達成可能な速度は８７　ｍ　／　ｓｅｃ　（約２８５
ｆｔ／５ｅｃ）　であり、これは液体ベアリングよシも
気体ベアリングに典型的なものである。

ターボ分子ポンプの段における圧力が分子範囲から粘性
範囲まで高くなると、圧力比及び排気速度が次第に減小
する。これが生ずる圧力範囲は通常半導体製造において
生ずる高いプロセス圧力を含む。従来半導体製造のスパ
ッター及びドライエッチの手法に伴うこれらのロータ速
度及び圧力を得るために、ポンプと組合せた送風機が必
要とされた。従来のボール型ベアリングの場合に備えら
れていたこのような用途に用いられるポンプでは致命的
な許容されないロータの温度が生じた１本発明の改善さ
れた熱伝達能力は１つのポンプだけでも従来は送風機−
ポンプの組合せが必要とされたような高い圧力範囲に拡
張されるようにすることを可能にする。

本発明の特定の理論に伺ら限定されないけれども、本発
明のベアリング装置１２の改善された性能の多くは典型
的な十分注油されたボールベアリングよシ良好な熱伝達
路を与える有効な潤滑剤膜５０に帰せられると思われる
。潤滑剤膜５０は鉱油、合成タービン油モノ及びジエス
テル等の種々の合成炭化水素、化学的に不活性なフルオ
ロカーボンを含むいかなる典型的な真空ポンプ湿潤潤滑
剤からなるものでもよい。典型的には使用される潤滑剤
は低い方の粘度が良好であるような、約７−１６センチ
ストークスの範囲の粘度を有するように選択されたもの
となろう。さらに潤滑剤は潤滑剤流入口５８においてベ
アリング４８及びジャーナル４６の分離を可能にするの
に十分な大きさの圧力を与えるように高い圧力をかけて
供給されるのが好ましい。

へ゛アリング装置１２は改善された熱伝達能力を有する
のに加えて、非常に小さい内力を受けそれによって騒音
、摩耗あるいは疲労のない典型的なボールベアリングよ
りずっと多くの位置合せ不良に耐えられる。かくしてベ
アリング装置１２は限変のない寿命の可能性を有し、ベ
アリングの交換に関する問題を解消する。

第４及び５図は本発明によるｄ１゛」滑剤膜ベアリング
を用いた真空ポンプの他の実施例を示している。

この潤滑剤膜ベアリングは従来の下側ベアリング装置と
組合せてポンプの上側横方向支持ベアリングとして用い
られる。図においてロータ・ボス８０のジャーナル部材
８２に半径方向の潤滑剤通口があって潤滑剤をベアリン
グ７４とジャーナル部材８２との間の環状間隙８１に連
通させている。通口８４はジャーナル部材８２及びベア
リング面８６を確実に分離させる通口８４において有効
な高い潤滑剤の圧力を有する効果的な潤滑剤膜ベアリン
グを形成するようにジャーナル部材８２０回シに対称的
に配設され近接するベアリング面８６と半径方向に位置
合せされるのが好ましい。

流体連通手段９０はロータ・ボス８０及び電動機の軸２
２を通る円錐形の孔７８により潤滑剤貯槽３８から潤滑
剤通口まで潤滑剤を移送するための管路をなす。孔７８
は軸２２及びボス８０を軸方向で縦方向に延びている。

潤滑剤はいかなる適当な油ポンプでもベアリング面に移
送されるが、通常ターボ分子ポンプに用いられる中空ス
ピンドル型の遠心油ポンプが特に本発明に使用するのに
適している。

従ってここで示した基準によって形成されたベアリング
装置を用いるターボ型真空ポンプにおいて、これまで標
準的な液体膜ベアリングあるいは同等の直径の典型的な
ボールベアリング及び同等の粘度の潤滑剤では得られな
いと思われていた。

予期されないすぐれた結果が可能になることがわかった
。

前述の説明において本発明のある実施例といくつかの関
連する利点及び特徴を詳細に示したが、これからの修正
及び変形は当業者に明らかであろう。従って本発明は請
求の範囲だけに限定されない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のベアリング装置を用いた組立てられた
片面型ターボ分子ポンプの垂直断面図である。 第２図は本発明によるベアリング装置の垂直断面図であ
る。 第３図は部分的に切離した本発明のベアリング装置の平
面図である。 第４図は本発明のベアリンク装置を用いた組立てられた
他の実施例の片面型ターボ分子ポンプの垂直断面図であ
る。 第５図は第４図に示されたベアリング装置の平面図であ
る。 １〇−真空ポンプ １２−ベアリング装置（上側） １４−ロータ装置 １６−電動機 ２８−下側ベアリング装置 ３２ａ−上側油通口 ３２ｂ−下側油通口 ３８−油貯槽 ４６−ジャーナル・スリーブ ４８−ベアリング ５０−潤滑油膜。 （外４名） 図面の浄書で内容に変更な乙】 手続補正書（方式） １．事件の表示　（ψ・′Ｘ Ｘ−レボ −和幼年河１Ｌ＋願第　２ＩＩＩ２ｏ　号Ｉ？ｃ　Ｌ　
ｔ・１（１ミヘア′〕づ：旭１゛メｔ−肴オ３グー汁夕
１叶゛ンパ ６゜補正をする者 事件との関係　出　願　人 住所 Ｚ　’：ｉｌ　−７−ｐ’ｃ　／Ｌ−クシ＋７　グ　ヴ
イエ／ディフィ／フ・ヅフンハ一二一 ４、代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電動機によって駆動されステータ装置と協働関係に
   あシ上記電動機の同心状に位置合せされた電動機軸によ
   って駆動されるポンプ軸に装着きれたロータ装置を含む
   熱的絶縁状態の真空において作動するようにしたターボ
   分子ポンプにおい一〇、上記ポンプ軸と一体的に回転可
   能であり所定の軸方向の長さ及び所定の直径を有する外
   側円筒面ｒ含むジャーナルと、該ジャーナルの外側円筒
   面に対し所定の半径方向の間隙で同心状に配置され上記
   ジャーナルの軸方向の長さ及び外径の各々に対しである
   程度減小した軸方向の長さを有する概略環状の内側作用
   面を有するベアリング部材を含むベアリング手段とを有
   し、上記ベアリング部材と上記ジャーナルの少なくとも
   一方が潤滑剤源から上記間隙内に潤滑剤を受入れるため
   の通口全通し、それによって潤滑剤の剪断力の減小及び
   それに対応した熱発生の減少がなされ、上記ポンプのロ
   ータがより高い回転速度で作動し得るようにしたベアリ
   ング装置を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。 ２、上記ジャーナルの外径の軸方向の長さに対する上記
   ベアリング部材の内側作用面の軸方向の長さの比が１：
   ２０から３：１０ｔでの値であるようにした特許請求の
   範囲１に記載のターボ分子ポンプ。 ３、上記ジャーナルの外径の軸方向の長さに対する上記
   ベアリング部材の内側作用面の軸方向の長さの比が約１
   ：１０であるようにした特許請求の範囲２に記載のター
   ボ分子ポンプ。 ４、上記ジャーナルの外側円筒面と上記ベアリング部材
   の概略環状の内側作用面との上記半径方向の間隙が約０
   ．００１５インチであるようにした特許請求の範囲１に
   記載のターボ分（子ポンプ。 ５、上記ポンプ軸が上記電動機に対して離した状態にし
   て同軸状に配設されているようにした特許請求の範囲１
   に記載のターボ分子ポンプ。 ６．上記ポンプ装置が上記電動機に対して垂直に配設さ
   れ、上記ベアリング装置が上記ポンプ装置と上記電動機
   との間に介在しているようにした特許請求の範囲５に記
   載のターボ分子ポンプ。 ７ｏ　上記ベアリング部材がその作用面ｔなすように半
   径方向内方にテーパ状にされた本体を含むようにした特
   許請求の範囲１に記載のターボ分子ポンプ、 ８　上記ベアリング手段がさらにポンプのロータの振動
   を減衰させ上記ｄ”／プのロータの偏心ケ補償するだめ
   の手段を含むようにした特許請求の範囲１に記載のター
   ボ分子ポンプ。 ９、上記減衰及び偏心補償の手段が少なくとも１つの上
   記ベアリング手段のニジストマー支持面を含むようにし
   た特許請求の範囲８に記載のターボ分子ポンプ。 １０、上記ベアリング部材が上記潤滑剤源から上記間隙
   へ潤滑剤を受入れるだめの複数の通口分有し、該通口が
   上記ジャーナルの外側円筒面と上記ベアリング部材の概
   略環状の内側作用面との１間に有効な潤滑剤膜を形成す
   るように概略対称的に配設されているようにした特許請
   求の範囲１に記載のターボ分子ポンプ。 １１、上記ベアリング部材の潤滑剤通口の少なくとも１
   つがこれに対し外方に配設された潤滑剤貯槽に連通ずる
   概略内方にテーパ状の中空断面通路を含むようにした特
   許請求の範囲１０に記載のターボ分子ポンプ。 １２、上記ジャーナルが上記潤滑剤源から上記間隙へ潤
   滑剤を受入れるだめの複数の通口を有し、該通口が上記
   ジャーナルの外側円筒面と上記ベアリング部材の概略環
   状の内側作用面との間の有効な潤滑剤膜を形成するよう
   に概略半径方向に対称的に配設されるようにした特許請
   求の範囲１に記載のターボ分子ポンプ。 １３、上記ジャーナル部材が研摩された硬鋼で形成され
   、上記ベアリング部材が青銅で形成されるようにした特
   許請求の範囲１に記載されたターボ分子ポンプ。 １４、上記ロータの横方向の抑制が上記改良されたベア
   リング装置によってなされ、上記ターボ分子ポンプの始
   動及び連続した作動の際に上記ロータを支持する二方向
   スラスト能力を与えるため第二のベアリングが設けられ
   ている特許請求の範囲１に記載のターボ分子ポンプ。 １５、上記改良きれたベアリング装置が上記ポンプと上
   記電動機との間に配置され、上記第二のベアリングが上
   記電動機の反対側に配置されている特許請求の範囲１４
   に記載のターボ分子ポンプ。