JP2000141105A - 物理蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 - Google Patents

物理蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具

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JP2000141105A
JP2000141105A JP31887898A JP31887898A JP2000141105A JP 2000141105 A JP2000141105 A JP 2000141105A JP 31887898 A JP31887898 A JP 31887898A JP 31887898 A JP31887898 A JP 31887898A JP 2000141105 A JP2000141105 A JP 2000141105A
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JP
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cutting
cemented carbide
based cemented
carbide
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JP31887898A
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Inventor
Kazunori Sato
和則 佐藤
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Mitsubishi Materials Corp
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Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 物理蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有
する表面被覆WC基超硬合金製切削工具を提供する。 【解決手段】 WC基超硬合金基体の表面に、0.1〜
10μmの平均層厚を有する下部層と、0.5〜10μ
mの平均層厚を有する上部層とで構成された硬質被覆層
を物理蒸着してなる表面被覆WC基超硬合金製切削工具
にして、前記物理蒸着下部層を、TiC層、TiN層、
TiCN層、TiCO層、およびTiCNO層のうちの
1種または2種以上からなるTi化合物層で構成し、前
記物理蒸着上部層を、Al2 3 の結晶構造におけるA
lの一部をAlとの合量に占める割合で0.01〜10
原子%の割合のTi、Zr、およびHfのうちの1種ま
たは2種以上で置換固溶してなるAl2 3 主体層で構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、物理蒸着によっ
て形成された硬質被覆層の上部層が高い圧縮残留応力を
有し、これによって各種鋼の断続切削を重切削条件で行
っても切刃に欠けやチッピング(微小欠け)などの発生
なく、すぐれた切削性能を長期に亘って発揮するように
なる表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
(以下、被覆超硬切削工具と略記する)に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、一般に、炭化タングステン基超硬
合金基体(以下、超硬基体と略記する)の表面に、いず
れも物理蒸着法にて平均層厚:0.1〜10μmの下部
層と、同0.5〜10μmの上部層からなり、かつ前記
物理蒸着下部層が、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化
物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層(以下、それぞ
れTiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層、およ
びTiCNO層で示す)のうちの1種または2種以上か
らなるTi化合物層で構成され、前記物理蒸着上部層が
酸化アルミニウム(以下、Al2 3 で示す)層で構成
された硬質被覆層を形成してなる被覆超硬切削工具が知
られており、これらの被覆超硬切削工具が各種鋼の連続
切削や断続切削に用いられていることも良く知られると
ころである。また、上記被覆超硬切削工具の硬質被覆層
が、例えばTiC層、TiN層、あるいはTiCN層で
ある場合、図1に概略説明図で示される物理蒸着装置の
1種であるアークイオンプレーティング装置を用い、ヒ
ータで装置内を例えば700℃の温度に加熱した状態
で、アノード電極とTiがセットされたカソード電極
(蒸発源)との間にアーク放電を発生させ、同時に装置
内に反応ガスとしてメタンガスまたは窒素ガス、あるい
は窒素ガスとメタンガスを導入し、一方前記アノード電
極およびカソード電極と所定間隔をもって対向配置され
た超硬基体には、例えば−120Vのバイアス電圧を印
加した条件で、前記超硬基体の表面に、前記硬質被覆層
を物理蒸着することも知られている。さらに、上記硬質
被覆層がAl2 3 層である場合は、同じく図1のアー
クイオンプレーティング装置において、カソード電極を
Alとし、導入される反応ガスを酸素とすると共に、超
硬基体表面に成膜されるAl2 3 層は絶縁膜であるか
ら、前記超硬基体にはバイアス電圧に代って高周波電圧
またはパルス電圧を印加することにより形成されてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削加工
の省エネ化および省力化に対する要求は強く、これに伴
ない、切削工具には、できるだけ切削条件に影響されな
い、すなわち切削条件を変化させても、どの切削条件で
も十分満足に対応できる切削性能を発揮することが求め
られる傾向にあるが、上記の従来被覆超硬切削工具にお
いては、特に鋼の断続切削を高送りおよび高切り込みな
どの重切削条件で行った場合に、切刃に欠けやチッピン
グなどの欠損が発生し易く、比較的短時間で使用寿命に
至るのが現状である。
【0004】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、上記の従来被覆超硬切削工具の
耐欠損性向上を図るべく、特にこれの硬質被覆層の上部
層を構成するAl2 3 層に着目し、研究を行なった結
果、Al2 3 層の物理蒸着法による形成に際して、A
lよりイオン半径の著しく大きいTi、Zr、およびH
f、すなわちイオン半径が0.57オングストロームの
Alに対して、それぞれイオン半径が0.76オングス
トロームのTi、同0.87オングストロームのZr、
および同0.84オングストロームのHfのうちの1種
または2種以上を、Al2 3 の結晶構造におけるAl
原子の一部とAlとの合量に占める割合で0.01〜1
0原子%、望ましくは0.02〜5原子%の割合で置換
した形で固溶含有させると、この結果形成されたAl2
3 主体層は、大きなイオン半径差による格子内歪みの
著しい増大によって、通常の物理蒸着Al2 3 層が層
厚にも影響されるが0.2〜0.8GPaの圧縮残留応
力をもつのに対して、1.2〜3GPaの圧縮残留応力
をもつようになり、このように硬質被覆層の上部層が圧
縮残留応力のきわめて高いAl2 3 主体層で構成され
た被覆超硬切削工具は、特に各種鋼の断続切削を重切削
条件で行っても切刃に欠けやチッピングなどの発生な
く、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するようにな
るという研究結果を得たのである。
【0005】この発明は、上記の研究結果にもとづいて
なされたものであって、超硬基体の表面に、0.1〜1
0μmの平均層厚を有する下部層と、0.5〜10μm
の平均層厚を有する上部層とで構成された硬質被覆層を
物理蒸着してなる被覆超硬切削工具にして、上記物理蒸
着下部層を、TiC層、TiN層、TiCN層、TiC
O層、およびTiCNO層のうちの1種または2種以上
からなるTi化合物層で構成し、上記物理蒸着上部層
を、Al2 3 の結晶構造におけるAlの一部をAlと
の合量に占める割合で0.01〜10原子%の割合でT
i、Zr、およびHfのうちの1種または2種以上で置
換固溶してなるAl2 3 主体層で構成してなる、物理
蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する被覆超硬切
削工具に特徴を有するものである。
【0006】なお、この発明の被覆超硬切削工具におい
て、物理蒸着下部層(Ti化合物層)の平均層厚を0.
1〜10μmとしたのは、その層厚が0.1μm未満で
は硬質被覆層に所望の靭性を確保することができず、こ
の結果切刃に欠損が発生し易くなり、一方その層厚が1
0μmを越えると摩耗進行が急激に促進されるようにな
るという理由にもとづくものであり、また物理蒸着上部
層(Al2 3 主体層)の平均層厚を0.5〜10μm
としたのは、その層厚が0.5μm未満では所望の耐摩
耗性を確保することができず、一方その層厚が10μm
を越えると切刃に欠損が発生し易くなるという理由によ
るものである。また、上記物理蒸着上部層におけるAl
のTi、Zr、およびHfによる置換含有割合を0.0
1〜10原子%としたのは、その含有割合が0.01原
子%未満では前記の上部層に十分な圧縮残留応力を形成
することができず、一方その含有割合が10原子%を越
えると上部層の圧縮残留応力が大きくなりすぎて自己破
壊を起こし易くなるという理由にもとづくものである。
さらに、上記上部層の上に、必要に応じてTiN層を
0.1〜2μmの平均層厚で形成してもよく、これはT
iN層が黄金色の色調を有し、この色調によって工具の
使用前と試用後の識別が容易になるという理由からで、
この場合その層厚が0.1μm未満では前記色調の付与
が不十分であり、一方前記色調の付与は2μmまでの平
均層厚で十分である。
【0007】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の被覆超硬切削
工具を実施例により具体的に説明する。原料粉末とし
て、平均粒径:2μmのWC粉末、同1.5μmの(T
i,W)C(重量比で、以下同じ、TiC/WC=30
/70)粉末、同1.3μmの(Ta,Nb)C(Ta
C/NbC=90/10)粉末、同2μmのCr3 2
粉末、および同1.5μmのCo粉末を用意し、これら
原料粉末を表1に示される配合組成に配合し、ボールミ
ルで72時間湿式混合し、乾燥した後、1.5ton/
cm2 の圧力でISO・CNMG120404に定める
形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を同じく表1
に示される条件で真空焼結し、焼結後切刃部分にR:
0.05のホーニングを施すことにより超硬基体A〜E
をそれぞれ製造した。さらに、表1には上記超硬基体A
〜Eの内部硬さ(ロックウエル硬さAスケール)をそれ
ぞれ示した。
【0008】ついで、これら超硬基体A〜Eを、アルカ
リ洗剤およびアルコール溶液中で超音波洗浄し、乾燥し
た状態でそれぞれ図1に示されるアークイオンプレーテ
ィング装置に装入し、カソード電極(蒸発源)として、
下部層形成に際してはTiを装着し、また上部層形成に
おいては、Al2 3 主体層形成ではTi、Zr、およ
びHfのうちの1種または2種以上を所定量含有したA
l−(Ti,Zr,Hf)合金、さらにAl2 3 層形
成ではAlを装着し、装置内を排気して1×10-5to
rrの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を620
〜720℃の範囲内の所定の温度に加熱した状態で、超
硬基体に印加するバイアス電圧を、下部層を構成するT
i化合物層形成にあっては−100〜−260Vの範囲
内の所定の電圧、Al2 3 主体層の上部層形成では−
700V、上部層をAl2 3 層とする場合には−15
0Vとし、ついで装置内に反応ガスとして硬質被覆層の
組成に応じてメタンガス、窒素ガス、および酸素ガスの
うちの1種または2種以上を導入しながら、前記カソー
ド電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、
もって前記超硬基体A〜Eのそれぞれの表面に、表2、
3に示される組成および平均層厚をもった物理蒸着下部
層(Ti化合物層)と物理蒸着上部層(Al 2 3 主体
層またはAl2 3 層)からなる硬質被覆層を形成する
ことにより本発明被覆超硬切削工具1〜7および従来被
覆超硬切削工具1〜7をそれぞれ製造した。なお、従来
被覆超硬切削工具1〜7は、いずれもこれを構成する硬
質被覆層の物理蒸着上部層がTi、Zr、およびHfの
いずれの成分も含有しないものである。また、上記硬質
被覆層の物理蒸着上部層を構成するAl2 3 主体層に
おけるTi、Zr、およびHfの含有量は、エネルギー
分散型X線測定装置を用いて定量分析した。この測定結
果を表2に示した。
【0009】ついで、この結果得られた各種の被覆超硬
切削工具について、 被削材:SNCM440(硬さ:HB 230)の長さ方
向等間隔4本縦溝入り丸棒、 切削速度:350m/min.、 送り:0.3mm/rev.、 切り込み:3mm、 切削時間:10分、 の条件での合金鋼の乾式断続高切り込み切削試験、およ
び、 被削材:SNCM440(硬さ:HB 220)の長さ方
向等間隔4本縦溝入り丸棒、 切削速度:350m/min.、 送り:0.45mm/rev.、 切り込み:1.5mm、 切削時間:10分、 の条件での合金鋼の乾式断続高送り切削試験を行ない、
いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
この測定結果を表4に示した。
【0010】
【表1】
【0011】
【表2】
【0012】
【表3】
【0013】
【表4】
【0014】
【発明の効果】表2〜4に示される結果から、本発明被
覆超硬切削工具1〜7は、いずれも硬質被覆層の物理蒸
着上部層を構成するAl2 3 主体層がAlに比してイ
オン半径の著しく大きいTi、Zr、およびHfのうち
の1種以上を置換含有し、これによって著しく高い圧縮
残留応力を保持するようになるので、鋼の断続切削を高
切り込みおよび高送りの重切削条件で行っても切刃に欠
けやチッピングの発生なく、すぐれた切削性能を発揮す
るのに対して、従来被覆超硬切削工具1〜7は、いずれ
もこれの硬質被覆層を構成するTi化合物層およびAl
2 3 層のいずれの圧縮残留応力も小さなものであるこ
とから、上記のような苛酷な条件下では切刃に欠けやチ
ッピングが発生し易く、比較的短時間で使用寿命に至る
ことが明らかである。上述のように、この発明の被覆超
硬切削工具は、硬質被覆層の上部層を構成するAl2
3 主体層のもつきわめて高い圧縮残留応力によって、通
常の条件での各種鋼の連続切削および断続切削は勿論の
こと、きわめて苛酷な切削条件である断続切削を高切り
込みおよび高送りの重切削条件で行っても切刃がすぐれ
た耐欠損性を示し、長期に亘ってすぐれた切削性能を発
揮するようになるものであり、切削加工の省エネ化およ
び省力化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C046 FF03 FF16 FF19 FF25 FF32 FF40 FF42 4K029 AA04 AA21 BA41 BA44 BA54 BA55 BA60 BB02 BC00 BD05 EA01 4K044 AA09 BA12 BA13 BA18 BB02 BC01 CA13

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面
    に、0.1〜10μmの平均層厚を有する下部層と、
    0.5〜10μmの平均層厚を有する上部層とで構成さ
    れた硬質被覆層を物理蒸着してなる表面被覆炭化タング
    ステン基超硬合金製切削工具にして、 上記物理蒸着下部層を、Tiの炭化物層、窒化物層、炭
    窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの1
    種または2種以上からなるTi化合物層で構成し、 上記物理蒸着上部層を、酸化アルミニウムの結晶構造に
    おけるAlの一部をAlとの合量に占める割合で0.0
    1〜10原子%の割合でTi、Zr、およびHfのうち
    の1種または2種以上で置換固溶してなる酸化アルミニ
    ウム主体層で構成したことを特徴とする物理蒸着硬質被
    覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングス
    テン基超硬合金製切削工具。
JP31887898A 1998-11-10 1998-11-10 物理蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 Pending JP2000141105A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005205582A (ja) * 2003-12-22 2005-08-04 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2006082208A (ja) * 2004-09-17 2006-03-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
JP2011127165A (ja) * 2009-12-16 2011-06-30 Sumitomo Electric Ind Ltd 被膜、切削工具および被膜の製造方法

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Effective date: 20030430