JP2000133460A - Ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のＥＬ素子を所定の配列で有するＥＬデ
ィスプレイパネルの信頼性を高めると同時に、安価にか
つ生産性良く製造できる製造方法を提供する。 【解決手段】 隔壁で隔てられた複数のＥＬ素子を備え
るＥＬディスプレイパネルにおいて、その隔壁を、樹脂
材より形成された隔壁本体部と、該隔壁本体部の基体と
反対側に位置する面上に樹脂材より一体的に形成された
キャップ部とで構成する。双方の部材とも樹脂よりなる
ため、互いに強力に接着させて形成することができる。
また、感光性樹脂を用い、露光および現像を行うことに
よりキャップ部を形成するとともに、非感光性樹脂を用
いて隔壁本体部を形成する。この方法によりキャップ部
を容易に形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機質の発光層を
もつＥＬ素子が基体上に複数形成されてなるＥＬディス
プレイパネルおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、互いに対向する一対の少なく
とも一方が透明な電極層の間に発光層が介装されてなる
ＥＬ素子が、基体上に所定の配列で複数形成されてなる
ＥＬディスプレイパネルがある。そのＥＬ素子では、一
対の電極層を介して発光層に電圧が印加されると発光層
が発光し、その光が透明な電極層を透過して外部へ放光
される。多くのＥＬディスプレイパネルでは、透明ガラ
スや透明樹脂などからなる透明な基体を用いるととも
に、基体上に形成される一方の電極層も透明なものとし
て、発光層の光を基体側へ放光している。

【０００３】従来のＥＬディスプレイパネルでは、スト
ライプ状の透明電極層および背面電極層を、それぞれの
基体の表面に投影した投影面（以下、単に投影面と呼
ぶ）が互いに交わる（透明電極層および背面電極層は互
いにねじれの位置関係にある）ように配設し、それぞれ
の投影面が交わる位置の電極層の間に発光層を形成する
ことにより、基体上にＥＬ素子を複数形成している。こ
の場合、透明電極層および背面電極層の投影面が直交す
るように配設すれば、各ＥＬ素子は、図２に示すよう
に、その投影面が方形状となり、かつ単純マトリックス
状に配列されることになる。

【０００４】このＥＬディスプレイパネルでは、電圧を
加える透明電極層および背面電極層の組み合わせを適切
に選択することにより、所望の位置にあるＥＬ素子の発
光層を発光させることができる。こうして発光させるＥ
Ｌ素子を適切に制御することにより、所望の画像を静的
にも動的にも表示することができる。このようなＥＬデ
ィスプレイパネルにおいては、大きな画像を得るために
大面積化が進められているとともに、鮮明な画像を得る
ためにＥＬ素子の微細化が進められている。そのために
は、ＥＬ素子自体を小さくだけでなく、各ＥＬ素子の間
隔を小さくする必要がある。

【０００５】ところで、ＥＬディスプレイパネルを製造
する方法として、基体（透明基板）上にＩＴＯ（インジ
ウム・ティン・オキサイド）などからなる透明電極層を
ストライプ状にパターニング形成する工程と、透明電極
層の形成されている部分および形成されていない部分を
問わずに発光層を一様に形成する工程と、蒸発物質を堆
積させて層を形成する方法（蒸着法）により、図１８に
示すように、ストライプ状の遮蔽部をもつマスクを用い
て、ストライプ状に背面電極層を形成する工程とからな
る製造方法が従来より広く知られている。

【０００６】このＥＬディスプレイパネルの製造方法で
は、マスクの遮蔽部の大きさがＥＬ素子の間隔の大きさ
に対応する。しかし、マスクの遮蔽部を微細化して、Ｅ
Ｌ素子の間隔を微細化しようとすると、次の問題が生じ
る。蒸発物質をマスクの穴を通じて発光層上に堆積させ
るときに、マスクの遮蔽部が微細であるがゆえに、背面
電極層が本来形成される場所だけでなく、ＥＬ素子の間
隔となる場所にも蒸発物質が回り込んで堆積してしま
い、背面電極層どうしが、互いにつながって形成されて
しまうことがある。その結果、ＥＬ素子どうしの短絡が
生じるなどして、ＥＬ素子の良好な発光特性が得られな
くなってしまう。

【０００７】そこで、図１９に示すように、一定数のラ
インおきに（図では１ラインおきに）遮蔽部の間隔
（穴）を所定数もつマスクを用い、所定のラインの背面
電極層を形成したら、マスクの位置をその一定数のライ
ン分ずらして残りの背面電極層を形成することにより、
ストライプ状の背面電極層を形成する方法が提案されて
いる。しかし、この方法では、マスクの位置を正確にず
らすことが極めて困難である。また、２回以上の蒸着操
作を行う必要があるため、背面電極層の形成に時間がか
かることもある。

【０００８】その一方で、図２０に示すように、ストラ
イプ状の背面電極層上およびその間隔上に発光層を一様
に形成し、ＥＬ素子が形成される発光層の表出面を取り
囲むように隔壁を設け、その隔壁に取り囲まれた発光層
の表出面上に第２電極層を形成したＥＬディスプレイパ
ネルが知られている。このＥＬディスプレイパネルで
は、各ＥＬ素子を隔壁によってそれぞれ分離して形成す
ることができる。そのため、ＥＬ素子どうしの短絡を防
ぐことができる。

【０００９】また、透明基板上に形成された透明電極層
がマトリックス状に表出するように透明電極層上に複数
の隔壁を形成し、この隔壁に取り囲まれた透明電極層上
に発光層および背面電極層を蒸着法によってそれぞれ形
成したＥＬディスプレイパネルも知られている。このＥ
Ｌディスプレイパネルでは、ＥＬ素子どうしの短絡を防
ぐことができる上に、隔壁で分離される各ＥＬ素子を異
なる発光色の発光層でそれぞれ形成することができる。

【００１０】これらのＥＬディスプレイパネルにおいて
隔壁を形成する方法には、スクリーン印刷法を利用して
形成する方法や、フォトレジストを用いて形成する方法
などが挙げられる。例えば、フォトレジストを用いて隔
壁を形成する方法においては、基体上にストライプ状に
パターン形成された透明電極層の上に（透明電極層の形
成されていないところも含めて）感光性樹脂を一様に塗
布する工程と、隔壁を形成しようとする感光性樹脂の上
方をストライプ状の遮蔽部をもつマスクで覆い、感光性
樹脂に露光した後、現像して隔壁を形成する工程とから
なる形成方法が知られている。

【００１１】この例の形成方法では、露光された感光性
樹脂がアルカリに溶解することを利用して隔壁が形成さ
れる。すなわち、マスクで露光が遮られた部分は、アル
カリに溶解できないため、現像されたときにそのまま残
る。こうして残った固形物が隔壁となる。この形成方法
では、マスクの遮蔽部を小さくしても、容易に微細な隔
壁を形成することができる。また、その遮蔽部の間隔
（穴）を小さくすることにより、隔壁の間隔を容易に小
さくすることができる。

【００１２】しかし、この形成方法では、隔壁のＥＬ素
子側の側面が、図３に基体の表面に垂直な断面（縦断
面）形状を示すように、基体の表面に対して垂直に切り
立っているもの（ａ）や、テーパ状になっているもの
（ｂ）が形成される。そのため、図４に示すように、隔
壁の側面にも発光層および第２電極層が形成されて、第
１電極層上に形成される発光層および第２電極層と、キ
ャップ部上に形成される発光層および第２電極層とが互
いにつながって形成されてしまうことがある。その結
果、ＥＬ素子どうしの短絡が生じるなどして、ＥＬ素子
の良好な発光特性が得られなくなってしまう。

【００１３】その一方で、特開平８−３１５９８１号公
報で開示されているように、ストライプ状に透明電極層
がパターン形成された基体上（透明電極層の表面および
その間隔）に感光性樹脂を一様に塗布する工程と、その
感光性樹脂上にＳｉＯ₂よりなる層を形成する工程と、
このＳｉＯ₂よりなる層を反応性イオンエッチング（Ｒ
ＩＥ）によりマスクを用いてストライプ状にエッチング
して、感光性樹脂上にＳｉＯ₂よりなるキャップ部を形
成する工程と、キャップ部にマスクの働きをさせて感光
性樹脂を露光した後、現像して隔壁本体部を形成する工
程と、からなる形成方法が知られている。

【００１４】この隔壁の形成方法では、隔壁本体部とキ
ャップ部とから一体的に構成される隔壁を形成すること
ができる。前記公報では、図５に示すように、そのキャ
ップ部がＥＬ素子側に突出するように隔壁を形成してい
る。このようにキャップ部がＥＬ素子側に突出する隔壁
を形成すれば、蒸着法などで発光層および背面電極層を
形成するときに、図６に示すように、第１電極層上に形
成される発光層および第２電極層と、キャップ部上に形
成される発光層および第２電極層とを分離して形成する
ことができる。

【００１５】また、隔壁本体部とキャップ部とから一体
的に構成される隔壁においては、キャップ部は隔壁本体
部やＥＬ素子を外部から保護する働きもすることができ
る。特に、キャップ部がＥＬ素子側に突出するもので
は、さらにＥＬ素子を外部から保護することができるよ
うになる。しかし、この隔壁の形成方法では、キャップ
部がＳｉＯ₂（無機材料）からなり、隔壁本体部が感光
性樹脂（有機材料）からなるため、キャップ部と隔壁本
体部とを強力に接着することが難しい。そのため、ＥＬ
ディスプレイパネルを使用している最中に、キャップ部
が振動などによって隔壁本体部から外れ落ちてしまう可
能性がある。

【００１６】外れ落ちたキャップ部はＥＬディスプレイ
パネルの性能を低下させてしまう恐れがある。例えば、
キャップ部の上面にも形成されている導電層が、ＥＬ素
子を短絡してしまうことが挙げられる。その結果、ＥＬ
ディスプレイパネルの信頼性が低くなってしまう。一
方、このＥＬディスプレイパネルの製造方法では、Ｓｉ
Ｏ₂膜を成膜する手段およびそのＳｉＯ₂膜をエッチング
する手段、すなわちキャップ部を形成する手段を、隔壁
本体部を形成する手段とは別に用意する必要がある。そ
の結果、製造設備（製造装置）の調達コストやその維持
コストが大きくなって、製造コストが大きくなってしま
うことがある。

【００１７】また、基体には通常ガラス板などの絶縁材
料が用いられている。こうした絶縁性の基体が用いられ
ている場合には、ＳｉＯ₂膜をＲＩＥでエッチングする
ときに基体上に電子が蓄積し（チャージアップ）してし
まう。その結果、ＳｉＯ₂膜を効率的にエッチングする
ことができなくなってしまう。さらに、ＳｉＯ₂膜の成
膜およびそのＳｉＯ₂膜のエッチングは、大面積で行う
ことが難しい。そのため、大面積のにおいては、一度に
多数のキャップ部を形成することが難しい。その結果、
キャップ部を形成するのに時間がかかり、短時間でＥＬ
ディスプレイパネルを製造することが困難となってしま
う。

【００１８】従って、このＥＬディスプレイパネルの製
造方法では、微細なＥＬ素子を有するＥＬディスプレイ
パネルを安価にかつ生産性良く製造することが困難であ
った。特に、大面積のものではその生産性が低いもので
あった。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記実情に鑑
みてなされたものであり、複数のＥＬ素子を所定の配列
で有するＥＬディスプレイパネルにおいて、信頼性の高
いものを提供することを第１の課題とする。また、その
ようなＥＬ素子を有するＥＬディスプレイパネルを安価
にかつ生産性良く製造できる製造方法を提供することを
第２の課題とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の請求項１に記載のＥＬディスプレイパネルは、基体
の表面上に形成された第１電極層と、該第１電極層上に
形成された発光層と、該発光層上に形成された第２電極
層とからなるとともに、該第１電極層および該第２電極
層の少なくとも一方が透明である複数のＥＬ素子が、該
第１電極層、該発光層および該第２電極層の少なくとも
一層で隔壁によりそれぞれ隔てられて所定の配列で設け
られてなるＥＬディスプレイパネルにおいて、前記隔壁
は、樹脂材より形成された隔壁本体部と、該隔壁本体部
の前記基体と反対側に位置する面上に樹脂材より一体的
に形成されたキャップ部とから構成されていることを特
徴とする。

【００２１】上記課題を解決する本発明の請求項２に記
載のＥＬディスプレイパネルは、請求項１に記載のＥＬ
ディスプレイパネルにおいて、前記隔壁は、前記隔壁本
体部の基体側の面上に樹脂材より一体的に形成され、か
つ該隔壁本体部の下面より大きな面積の下面を有する板
状の土台部を有することを特徴とする。上記課題を解決
する本発明の請求項３に記載のＥＬディスプレイパネル
は、請求項２に記載のＥＬディスプレイパネルにおい
て、前記土台部はテーパ状または階段状の側面部を持
ち、該側面部上に前記発光層および前記第２電極層の少
なくとも一方の端部が載設されていることを特徴とす
る。

【００２２】上記課題を解決する本発明の請求項４に記
載のＥＬディスプレイパネルの製造方法は、基体の表面
上に形成された第１電極層と、該第１電極層上に形成さ
れた発光層と、該発光層上に形成された第２電極層とか
らなるとともに、該第１電極層および該第２電極層の少
なくとも一方が透明である複数のＥＬ素子が、該発光層
および該第２電極層で、隔壁本体部と、該隔壁本体部の
該基体と反対側に位置する面上に一体的に形成されたキ
ャップ部とから構成された隔壁によりそれぞれ隔てられ
て所定の配列で設けられてなるＥＬディスプレイパネル
の製造方法であって、前記基体の前記ＥＬ素子が設けら
れる表面を少なくとも含む表面上に、前記第１電極層を
形成する第１電極層形成工程と、前記第１電極層形成工
程で得られた前記第１電極層および前記基体の表出面の
少なくとも一方に非感光性樹脂と感光性樹脂とを層状に
順に塗布することにより、非感光性樹脂層と感光性樹脂
層とを形成する樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層の
所定の部分の上面を覆うことのできるマスクを用い、該
感光性樹脂層に露光を行った後、該露光によって変質し
た該感光性樹脂の部分のみが可溶な現像液を用いて該感
光性樹脂層を現像することにより前記キャップ部を形成
するキャップ部形成工程と、前記非感光性樹脂のみが可
溶な現像液を用いて該非感光性樹脂層を処理することに
より前記隔壁本体部を形成し、前記隔壁を完成する隔壁
本体部形成工程と、前記隔壁に取り囲まれた前記第１電
極層の表出面上に前記発光層および前記第２電極層を順
に形成して前記ＥＬ素子を形成するＥＬ素子形成工程
と、からなることを特徴とする。

【００２３】上記課題を解決する本発明の請求項５に記
載のＥＬディスプレイパネルの製造方法は、基体の表面
上に形成された第１電極層と、該第１電極層上に形成さ
れた発光層と、該発光層上に形成された第２電極層とか
らなるとともに、該第１電極層および該第２電極層の少
なくとも一方が透明である複数のＥＬ素子が、該発光層
および該第２電極層で、隔壁本体部と、該隔壁本体部の
該基体と反対側に位置する面上に一体的に形成されたキ
ャップ部とから構成された隔壁によりそれぞれ隔てられ
て所定の配列で設けられてなるＥＬディスプレイパネル
の製造方法であって、前記基体の前記ＥＬ素子が形成さ
れる表面を少なくとも含む表面上に、第１電極層を形成
する第１電極層形成工程と、前記第１電極層形成工程で
得られた前記第１電極層および前記基体の表出面の少な
くとも一方に、感光性樹脂を塗布して第１感光性樹脂層
を形成し、該第１感光性樹脂層の所定の部分の上面を覆
うことのできるマスクを用いて第１感光性樹脂層に露光
を行った後、該露光によって変質した該第１感光性樹脂
層の部分のみが可溶な現像液を用いて該第１感光性樹脂
層を現像することにより前記土台部を形成する土台部形
成工程と、前記基体の前記ＥＬ素子および前記隔壁が設
けられる表面全体にわたって、非感光性樹脂と感光性樹
脂とを層状に順に塗布することにより、非感光性樹脂層
と感光性樹脂層とを形成する樹脂層形成工程と、前記第
２感光性樹脂の所定の部分の上面を覆うことのできるマ
スクを用いて該第２感光性樹脂に露光を行った後、該露
光によって変質した第２感光性樹脂の部分のみが可溶な
現像液を用いて該第２感光性樹脂を現像することにより
前記キャップ部を形成するキャップ部形成工程と、前記
非感光性樹脂のみが可溶な液を用いて該非感光性樹脂を
処理することにより前記隔壁本体部を形成し、前記隔壁
を完成する隔壁本体部形成工程と、前記隔壁に囲まれた
一方の前記電極層上に前記発光層および前記第２電極層
を順に形成して前記ＥＬ素子を形成するＥＬ素子形成工
程と、からなることを特徴とする。

【００２４】上記課題を解決する本発明の請求項６に記
載のＥＬディスプレイパネルの製造方法は、請求項５に
記載のＥＬディスプレイパネルの製造方法において、前
記土台部形成工程でテーパ状の側面部を有する前記土台
部を形成することを特徴とする。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明のＥＬディスプレイパネル
およびその製造方法について、請求項ごとにそれぞれの
実施の形態を以下に説明する。なお、以下の説明では、
ＥＬディスプレイパネルをＥＬＤＰ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌ
ｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅ
ｌ）と呼ぶことにする。 （請求項１に記載のＥＬＤＰ）本ＥＬＤＰでは、隔壁本
体部およびキャップ部がともに樹脂材（有機材料）より
形成されるため、相溶性よく接着させて形成することが
できる。そのため、隔壁本体部とキャップ部との接着力
を大きくすることができる。

【００２６】従って、本ＥＬＤＰによれば、キャップ部
が振動などによって隔壁本体部から外れてしまうことを
防止することができる。そのため、外れ落ちたキャップ
部によるＥＬＤＰの性能の低下を防止することができ
る。その結果、ＥＬＤＰの信頼性を高いものとすること
ができる。また、本ＥＬＤＰでは、キャップ部に強度の
高い樹脂材を用いて十分な機械的強度をもたせることに
より、隔壁本体部およびＥＬ素子を外部から保護する保
護部材としてキャップ部を機能させることができる。

【００２７】基体の材質および形状は特に限定されるも
のではない。基体には、ガラスよりなる基板が用いられ
ることが多いが、合成樹脂よりなる基板を用いることも
できる。また、基体は一般に透明なものが用いられる
が、他方の電極層を透明な材料からなるものとすれば、
基体には不透明なものを用いることができる。また、基
体の形状については、ＥＬ素子が形成される表面が平ら
な形状のものを用いることが好ましい。

【００２８】ＥＬ素子を構成する各層は、それぞれ材質
で特に限定されるものではなく、公知の材料を用いて構
成することができる。透明な基体を用い、発光層で発光
した光を基体を通じて放光させる場合には、第１電極層
も透明な電極層とする必要がある。一方、第２電極層を
透明な電極層として、発光層で発光した光を第２電極層
を通じて放光させてもよい。なお、この場合には、第１
電極層を不透明な導電性金属から形成してもよい。

【００２９】透明な電極層の材料としては、ＩＴＯ、Ａ
ＺＯ（Ａｌ添加ＺｎＯ）、ＳｎＯ₂などが挙げられる。
これらの材料からなる透明な電極層は、スパッタリング
法によって形成することができる。一方、不透明な導電
性金属としては、Ｍｇ−Ａｇ合金、Ａｌなどの導電性金
属が挙げられる。これらの導電性金属からなる不透明な
電極層は、蒸着法やスパッタリング法などによって形成
することができる。

【００３０】発光層の材料も特に限定されるものではな
く、公知の材料から形成することができる。その材質
は、有機質および無機質のいずれであってもよい。特
に、有機質の発光層とする場合には、正孔輸送層と、正
孔輸送層上に形成された有機発光層と、有機発光層上に
形成された電子輸送層とから構成することができる。い
ずれの層も公知の材料から形成することができる。例え
ば、正孔輸送層には、トリフェニルジアミン誘導体など
の第３級アミン誘導体や、ＭＴＤＡＴＡなどより形成す
ることができる。有機発光層には、トリスキノリノアル
ミニム錯体や、ＴＰＤなどより形成することができる。
電子輸送層には、ポリシランや、Ｂｅｂｑ₂などより形
成することができる。これら発光層の各層は、真空蒸着
法、ラングミュアブロジェット蒸着法、ディップコーテ
ィング法、スピンコーティング法、有機分子線エピタキ
シ法などの成膜方法を用いてそれぞれ形成することがで
きる。

【００３１】なお、発光層が熱に弱い場合、第２電極層
の形成方法として、スパッタリング法など高温が発光層
に作用する成膜方法は適さない。従って、この場合の第
２電極層の形成方法には、蒸着法など、高温が発光層に
作用することのない成膜方法を用いることが好ましい。
本ＥＬＤＰでは、隔壁は、基体、第１電極層および発光
層の少なくとも一種を下地として形成される。

【００３２】例えば、図２０に示したように第１電極層
上およびその間隔上に発光層を一様に形成し、発光層の
表面の一部の上に隔壁を設け、その隔壁に取り囲まれた
発光層の表出面上に第２電極層を形成して製造すること
ができる（以下、タイプ１のＥＬＤＰと呼ぶ）。この場
合には、発光層のみが隔壁の下地となる。その他に、本
発明のＥＬＤＰは、基体上に第１電極層を所定のパター
ンで形成し、基体および第１電極層の少なくとも一方の
表面上に隔壁を設け、その隔壁に取り囲まれた第１電極
層の表出面上に発光層および第２電極層を形成して製造
することができる（以下、タイプ２のＥＬＤＰと呼
ぶ）。このタイプ２のＥＬＤＰでは、各ＥＬ素子の発光
層の種類（材料）を適切に変えて選択することにより、
赤、緑、青の３原色を適切な配列で発光させることがで
きる。以下では、特に断らなければ、タイプ２のＥＬＤ
Ｐについて実施形態を説明することにする。

【００３３】第１電極層の隔壁により表出される各表出
面については、それらの形状および配列形態は特に限定
されるものではない。例えば、図２に示したように、各
表出面の形状には方形状が挙げられ、また配列形態には
単純マトリクス状が挙げられる。このように第１電極層
を表出させるには、次の３つの方法が挙げられる。１つ
目は、あらかじめ基体上に方形状の第１電極層を単純マ
トリクス状に配列させて形成し、その第１電極層の間隔
の上（基体の表出面上）にストライプ状または格子状の
隔壁を形成する方法である。この場合には、隔壁の下地
は基体となる。

【００３４】２つ目は、それぞれストライプ状の第１電
極層および隔壁を、それぞれの投影面が直交するように
順に形成する方法である。この場合には、隔壁は、第１
電極層の間隔（基体の表出面）上と第１電極層の表面上
とに形成されるため、隔壁の下地は基体および第１電極
層となる。３つ目は、基体の表面全体にわたって第１電
極層を一様に形成し、その第１電極層上に格子状の隔壁
を形成する方法である。この場合には、隔壁の下地は第
１電極層となる。

【００３５】隔壁本体部の形状については特に限定され
るものではなく、公知の形状とすることができる。ただ
し、ＥＬＤＰの製造時に、隔壁で取り囲まれる各第１電
極層の表出面を所定形状でかつ所定の配列で表出させる
ことができるとともに、その第１電極層の表出面上に形
成される発光層および第２電極層を所定の形状でかつ所
定の層の厚さで形成することができるように、適切にそ
の形状を選択する必要がある。

【００３６】また、隔壁本体部の投影面の断面積が、基
体の表面に近づくに従って大きくなる形状のものが好ま
しい。このような形状にすることにより、隔壁の安定度
を増大できるとともに、基体または第１電極層との接着
面積を大きくすることができる。その結果、隔壁（隔壁
本体部）が下地からさらに外れにくくなる。キャップ部
の形状についても特に限定されるものではなく、公知の
形状とすることができる。ただし、ＥＬＤＰの製造時
に、第１電極層の表出面上に形成される発光層および第
２電極層を所定の形状で形成することができるように適
切にその形状を選択する必要がある。

【００３７】隔壁全体の高さ（基体の表面に垂直な方向
の高さ）については、ＥＬＤＰの製造において蒸着法に
よって発光層および第２電極層を形成する場合には、第
１電極層上に形成される発光層および第２電極層と、キ
ャップ部上に形成される発光層および第２電極層とが互
いに分離されるように、隔壁本体部の高さおよびキャッ
プ部の厚みをそれぞれ適切に選択して十分な高さとする
必要がある。

【００３８】また、隔壁本体部とキャップ部とを一体的
に形成しやすく、かつ互いの接着面積を大きくすること
ができるようにそれぞれの形状を選択することが好まし
い。さらに、キャップ部がＥＬ素子側に突するように、
隔壁本体部およびキャップ部の形状を選択することが好
ましい。特に、隔壁本体部のＥＬ素子側の側面が、基体
の表面に対して垂直に切り立っていたり、テーパ状にな
っている場合であって、かつ蒸着法によって発光層およ
び第２電極層を形成する場合には、キャップ部をＥＬ素
子側に突出させることが好ましい。

【００３９】ここで、隔壁本体部のＥＬ素子側の側面
が、基体の表面に対して垂直に切り立っていたり、テー
パ状になっている場合に、キャップ部をＥＬ素子側に突
出させないと、図４に示したように、隔壁本体部の側面
にも発光層および第２電極層が形成されて、第１電極層
上に形成される発光層および第２電極層と、キャップ部
上に形成される発光層および第２電極層とが互いにつな
がって形成されてしまう恐れがある。

【００４０】そこで、キャップ部がＥＬ素子側に突出す
るように隔壁本体部とキャップ部との形状を選択するこ
とにより、第１電極層上に形成される発光層および第２
電極層と、キャップ部上に形成される発光層および第２
電極層とを互いに分離して形成することがさらに容易と
なる。また、キャップ部を先述したようにＥＬ素子の保
護部材として機能させる場合、このような形状のキャッ
プ部は、さらにＥＬ素子を効果的に外部から保護するこ
とができるようになる。

【００４１】以上のような条件を満たす隔壁として、図
５に示した縦断面形状をもつものの他に、図７に示す縦
断面形状をもつものを用いることができる。ただし、図
５に示される隔壁では、発光層および第２電極層を蒸着
法などで形成する場合に、第１電極層上に形成される発
光層および第２電極層と、キャップ部上に形成される発
光層および第２電極層とを互いに分離することを確実に
するため、キャップ部をＥＬ素子側に大きく突出させた
とき、第２電極層の蒸着物質が回り込みやすいものであ
ると、次の問題が生じる恐れがある。

【００４２】この場合、図８に示すように、発光層が第
１電極層の表出面を完全に被覆して形成されずに、第２
電極層が発光層よりも大きな面積で形成されて、その第
２電極層の端部が第１電極層の表出面上に形成されてし
まう可能性がある。このように第２電極層が第１電極層
に接触して形成されると、発光層を十分に発光させるこ
とができなくなる恐れがある。

【００４３】そこで、図７（ａ）に示すように、隔壁本
体部のＥＬ側の側面がテーパ状になっているものが特に
好ましい。また、その側面の表面が図７（ｂ）に示すよ
うに、基体側にへこむように湾曲させた曲面（インボリ
ュート曲線）になっていてもよいし、基体の反対側に膨
らんで湾曲させた曲面になっていてもよい。このように
隔壁本体部の形状を選択することにより、キャップ部が
ＥＬ素子側に大きく突出していたり、また発光層および
第２電極層を形成する場合に第２電極層の蒸着物質が回
り込みやすいものであっても、図１に示すように、発光
層および第２電極層の端部がそれぞれ隔壁本体部の側面
に載設されるように、それぞれの層を形成することがで
きる。その結果、第２電極層を第１電極層に接触しない
ように形成することが容易となる。

【００４４】隔壁本体部を形成する樹脂材は、その種類
で特に限定されるものではないが、発光層および第２電
極層の形成時に受ける熱などＥＬＤＰを製造していると
きに受ける熱や、ＥＬＤＰを使用しているときに受ける
熱などに耐熱性のある樹脂を用いることが好ましい。ま
た、そうした熱などで、ガスや水分を発生させたり、分
解などを引き起こすことのない樹脂材を用いることが好
ましい。そのような樹脂として、ポリイミド樹脂や、ノ
ボラック樹脂などを挙げることができる。

【００４５】キャップ部を形成する樹脂材も、その種類
で特に限定されるものではないが、隔壁本体部と同様
に、発光層および第２電極層の形成時に受ける熱などＥ
ＬＤＰを製造しているときに受ける熱や、ＥＬＤＰを使
用しているときに受ける熱などに耐熱性のある樹脂を用
いることが好ましい。また、そうした熱などで、ガスや
水分を発生させたり、分解などを引き起こすことのない
樹脂材を用いることが好ましい。

【００４６】また、キャップ部は、隔壁本体部と同じ種
類の樹脂材より形成することが好ましい。これにより、
キャップ部を隔壁本体部にさらに相溶性良く形成するこ
とができる。その結果、キャップ部を隔壁本体部にさら
に強力に接着して形成することができるようになる。隔
壁本体部およびキャップ部の形成方法については、いず
れも特に限定されるものではないが、スクリーン印刷法
を利用して形成する方法や、フォトレジストを用いて形
成する方法などが挙げられる。フォトレジストを用いて
隔壁を形成する方法については、請求項４に記載のＥＬ
ＤＰの製造方法で詳述する。（請求項２に記載のＥＬＤ
Ｐ）請求項１に記載のＥＬＤＰにおいて、隔壁の下地の
表面が有機質の材料からなる場合には、隔壁そのものが
下地から外れてしまうことは少ない。すなわち、隔壁が
設けられる場合には、隔壁そのものがそれらから外れて
しまうことは少ない。

【００４７】しかし、隔壁の下地の表面が無機質の材料
からなる場合には、隔壁そのものが下地から外れてしま
う恐れがある。このことは、キャップ部が隔壁本体部か
ら外れてしまうことと同様に、ＥＬＤＰの性能を低下さ
せてしまう恐れがある。本ＥＬＤＰでは、土台部は、隔
壁本体部の下面より大きな面積の下面を有するため、下
地に対して隔壁本体部よりも大きな接着面積を確保する
ことができる。そのため、土台部を隔壁本体部よりも強
力に下地に接着することができる。従って、隔壁を下地
に強力に接着して設けることができる。

【００４８】また、土台部が樹脂材より形成されている
ため、同じく樹脂材より形成される隔壁本体部をその土
台部に相溶性よく接着させて形成することができる。そ
のため、隔壁本体部と土台部との接着力を大きくするこ
とができる。その結果、隔壁本体部が振動などによって
も土台から外れにくいものとすることができる。従っ
て、本ＥＬＤＰによれば、隔壁そのものが振動などによ
って下地から外れてしまうことを防止することができ
る。そのため、外れ落ちた隔壁によるの性能の低下を防
止することができる。その結果、請求項１に記載のＥＬ
ＤＰをさらに信頼性の高いものとすることができる。

【００４９】本ＥＬＤＰでは、土台部を形成する樹脂材
は、その種類で特に限定されるものではないが、隔壁本
体部およびキャップ部と同様に、発光層および第２電極
層の形成時に受ける熱などＥＬＤＰを製造しているとき
に受ける熱や、ＥＬＤＰを使用しているときに受ける熱
などに耐熱性のある樹脂を用いることが好ましい。ま
た、そうした熱などで、ガスや水分を発生させたり、分
解などを引き起こすことのない樹脂材を用いることが好
ましい。

【００５０】土台部の形状については、隔壁本体部を強
力に接着できるとともに、隔壁が設けられる下地に強力
に接着できる形状に適切に選択する。土台部の形成方法
としては、いずれも特に限定されるものではないが、ス
クリーン印刷法を利用して形成する方法や、フォトレジ
ストを用いて形成する方法などが挙げられる。フォトレ
ジストを用いて隔壁を形成する方法については、請求項
５に記載のＥＬＤＰの製造方法で詳述する。 （請求項３に記載のＥＬＤＰ）本発明のＥＬＤＰでは、
土台部の側面部が、発光層および第２電極層の少なくと
も一方の端部により下地となっている面に挟み付けられ
ている。すなわち、タイプ１のＥＬＤＰでは、土台部の
側面部は、第２電極層の端部により発光層に挟み付けら
れる。一方、タイプ２のＥＬＤＰでは、土台部の側面部
は、発光層および第２電極層の少なくとも一方の端部に
より基体または第１電極層に挟み付けられている。その
ため、土台部が下地となっている面からさらに外れにく
くなる。

【００５１】従って、本ＥＬＤＰによれば、振動などに
よって隔壁が土台部もろとも下地から外れてしまうこと
を防止することができる。そのため、土台部もろとも外
れ落ちた隔壁によるの性能の低下を防止することができ
る。その結果、請求項２に記載のＥＬＤＰをさらに信頼
性の高いものとすることができる。本ＥＬＤＰでは、土
台部の側面部をテーパ状にする場合には、側面部の表面
が平面になっていてもよいし、基体側にへこむように湾
曲させた曲面（インボリュート曲線）、または基体の反
対側に膨らんで湾曲させた曲面になっていてもよい。こ
のとき、基体の表面に対する側面の角度（テーパ角と呼
ぶことにする）は特に限定されるものではない。ただ
し、テーパ角が小さいほど、発光層および第２電極層の
少なくとも一方で側面部を下地に挟み付けやすくなる。
その結果、土台部を下地からさらに外れにくくすること
ができる。

【００５２】一方、側面部を階段状にする場合には、少
なくとも基体に最も近い段が、発光層および第２電極層
の少なくとも一方の端部を載設できる高さにあれば、階
段の高さおよび階段数については特に限定されるもので
はない。本ＥＬＤＰでは、土台部のテーパ状の側面部
は、発光層および第２電極層の端部と接着していること
が好ましい。これにより、土台部が下地から剥がれて
も、発光層および第２電極層の少なくとも一方の端部を
その側端部に接着したままにすることができる。そのた
め、土台部を下地からさらに外れにくいものとすること
ができる。

【００５３】土台部の形成方法としては、いずれも特に
限定されるものではないが、スクリーン印刷法を利用し
て形成する方法や、フォトレジストを用いて形成する方
法などが挙げられる。例えば、スクリーン印刷法を利用
して形成する場合には、階段状の側壁部をもつ土台部を
形成するには、各段の投影面において、１段ごと順次そ
の断面積を小さくして各段を形成すればよい。なお、テ
ーパ状の側壁部をもつ隔壁をフォトレジストを用いて形
成する方法については、請求項６に記載のＥＬＤＰの製
造方法で詳述する。 （請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法）本発明のＥＬ
ＤＰの製造方法は、キャップ部を感光性樹脂から形成
し、隔壁本体部を非感光性樹脂から形成する点に大きな
特色をもつ。

【００５４】樹脂層形成工程において形成された非感光
性樹脂層および感光性樹脂層は、キャップ部形成工程に
おいて露光される。このとき、感光性樹脂のみが露光に
よって変質することを利用することにより、現像により
非感光性樹脂層に何ら影響を与えずにキャップ部を形成
することができる。続く、隔壁本体部形成工程において
は、非感光性樹脂のみが可溶な現像液を用いて処理を行
うため、キャップ部がいわばマスクの働きをして、その
下方にある非感光性樹脂層の部分は残り、その他の位置
にある非感光性樹脂層の部分は現像液に溶けて除かれ
る。こうして、隔壁本体部がキャップ部と一体的に形成
される。

【００５５】従って、本製造方法では、ＲＩＥを用いず
にキャップ部を効率良く形成することができるととも
に、隔壁本体部とキャップ部とから一体的に構成される
隔壁を容易に形成することができる。本製造方法では、
キャップ部形成工程で使用するマスクの遮蔽部の形状お
よび大きさに応じて、隔壁（キャップ部）の投影面の形
状および大きさが決定される。また、その遮蔽部の間隔
（穴）の形状および大きさに応じて、非感光性樹脂の表
出面の形状および大きさが決定される。そのため、キャ
ップ部形成工程において、微細な遮蔽部をもつマスクを
用いれば、キャップ部の投影面の形状を微細なものとす
ることができる。また、遮蔽部の間隔が微細なマスクを
用いれば、非感光性樹脂を微細に表出させることができ
る。

【００５６】隔壁本体部形成工程では、キャップ部形成
工程で微細なキャップ部を形成すれば、隔壁本体部も微
細に形成することができる。また、キャップ部形成工程
で非感光性樹脂層を微細に表出させれば、第１電極層を
微細に表出させることができる。ＥＬ素子形成工程で
は、第１電極層の表出面だけでなくキャップ部上にも発
光層および第２電極層が形成される。しかし、キャップ
部上に形成された発光層および第２電極層は、ＥＬ素子
として働くことはない。従って、第１電極層を微細表出
させれば、ＥＬ素子として働く発光層および第２電極層
を微細に形成することができる。

【００５７】従って、本製造方法では、微細な隔壁を容
易に形成することができるとともに、その隔壁を容易に
微細な間隔で形成することができる。微細な隔壁を形成
すれば、ＥＬ素子の間隔を微細なものとすることができ
る。また、その隔壁を微細な間隔で形成すれば、ＥＬ素
子自体を微細なものとすることができる。また、キャッ
プ部を形成する手段には、隔壁本体部を形成する手段と
同一の手段を用いることができる。従って、従来のＥＬ
ＤＰの製造方法のように、隔壁本体部を形成する手段と
は別にキャップ部を形成する手段を別に設ける必要がな
く、製造設備（製造装置）を簡便なものとすることがで
きる。その結果、その製造装置の調達コストおよび維持
コストを小さいものとすることができ、ＥＬＤＰを安価
に製造できるようになる。

【００５８】また、基体の材料によって樹脂塗布工程お
よびキャップ部形成工程の進捗度が低下することがない
ため、常にキャップ部を効率良く形成することができ
る。さらに、樹脂塗布工程およびキャップ部形成工程の
工程は、大面積でも行うことができる。そのため、大面
積のＥＬＤＰにおいても、一度に多数のキャップ部を容
易に形成することができる。従って、キャップ部を形成
するのに時間がかかることなく、短時間でＥＬＤＰを容
易に製造することができる。

【００５９】従って、本発明のＥＬＤＰの製造方法によ
れば、複数のＥＬ素子を所定の配列で有するＥＬＤＰを
安価にかつ生産性良く製造することができる。特に、微
細なＥＬ素子を微細な間隔で配列させたＥＬＤＰを安価
にかつ生産性良く製造することができる。また、大面積
のものでもその生産性は高いものである。また、本製造
方法により、請求項１に記載のＥＬＤＰにおいて、タイ
プ２のＥＬＤＰであるとともに、隔壁本体部が非感光性
樹脂より形成され、かつキャップ部が感光性樹脂よりな
るＥＬＤＰを、安価にかつ生産性良く製造することがで
きる。

【００６０】請求項１に記載のＥＬＤＰの製造方法とし
ては、先述したように、スクリーン印刷法を利用して隔
壁を形成する製造方法など各種の製造方法がある。しか
し、例えばスクリーン印刷法を利用して隔壁を形成する
方法では、隔壁本体部の高さおよびキャップ部の厚み、
すなわち隔壁全体の高さを十分に大きくすることが困難
である。特に、隔壁の形状が微細であるときには、隔壁
本体部のアスペクト比（高さ／底辺）が大きな隔壁を形
成することが困難となる。

【００６１】隔壁全体の高さが十分でないと、第１電極
層上に形成される発光層および第２電極層と、キャップ
部上に形成される発光層および第２電極層とを互いに分
離して形成することが困難となる。本製造方法では、隔
壁全体の高さを容易に大きくして隔壁を形成することが
できるため、上述のような問題を容易に防止することが
できる。

【００６２】さらに、隔壁本体部形成工程では、キャッ
プ部がマスクとして働いて、隔壁本体部が現像により形
成される。従って、現像の処理条件を適切に選択するこ
とにより、キャップ部よりくぼんだ形状の隔壁本体部を
容易に形成することができる。言い換えれば、キャップ
部がＥＬ素子側に突出した隔壁を容易に形成することが
できる。

【００６３】本製造方法により製造されるＥＬＤＰにお
いて、その基体、ＥＬ素子および隔壁の形態は、それぞ
れ請求項１に記載のＥＬＤＰと同様の形態にすることが
できる。次に、各工程に分けて本発明の実施の形態を説
明する。 ［第１電極層形成工程］第１電極層の形成方法は特に限
定されるものではなく、公知の形成方法を用いることが
できる。例えば、第１電極層を透明な電極層としてＩＴ
Ｏから形成する場合には、スパッタリング法を用いて形
成することができる。

【００６４】また、第１電極層の形成パターンとして
は、ＥＬ素子が形成される表出面を少なくとも含むパタ
ーンであれば、特に限定されるものではない。例えば、
各ＥＬ素子が単純マトリックス状に配列させる場合に
は、基体の表面の全面に一様に形成するパターンや、ス
トライプ状のパターン、単純マトリックス状のパターン
など公知のいずれのパターンを採用してもよい。 ［樹脂層形成工程］この工程では、感光性樹脂として、
光が当てられると所定の液（現像液）に可溶となる樹脂
（ネガタイプ）を用いてもよいし、光が当てられると現
像液に不溶となる樹脂（ポジタイプ）を用いてもよい。
その樹脂の種類は特に限定されるものではなく、公知の
感光性樹脂を用いることができる。ネガタイプの感光性
樹脂として、例えば感光性ポリイミド樹脂や、ノボラッ
ク樹脂の感光性タイプを挙げることができる。感光性ポ
リイミド樹脂は、所定の波長の光が当てられると、アル
カリ性の現像液に可溶となる。一方、ポジタイプの感光
性樹脂として、例えば合成ゴム系樹脂を挙げることがで
きる。

【００６５】非感光性樹脂には、感光性樹脂の現像で用
いられる現像液に対して、先の所定の波長の光が当てら
れても可溶とならない樹脂を用いる。その種類は特に限
定されるものではなく、公知の非感光性樹脂を用いるこ
とができる。こうした非感光性樹脂として、例えば非感
光性ポリイミド樹脂を用いることができる。非感光性ポ
リイミド樹脂は、所定の波長の光が当てられても、アル
カリ性の現像液に可溶とならない。

【００６６】また、非感光性樹脂と感光性樹脂とをそれ
ぞれ塗布する方法は特に限定されるものではなく、公知
の塗布方法を用いて塗布することができる。なお、第１
電極層形成工程において、第１電極層を基体の表面全体
に一様に形成した場合には、非感光性樹脂および感光性
樹脂は第１電極層上に塗布されることになる。一方、第
１電極層をストライプ状または単純マトリックス状に形
成した場合には、非感光性樹脂および感光性樹脂は、第
１電極層上および基体の表出面上に塗布されることにな
る。

【００６７】このとき、非感光性樹脂層および感光性樹
脂層の厚さは、隔壁本体部の高さおよびキャップ部の厚
みにそれぞれ対応させる必要がある。また、非感光性樹
脂および感光性樹脂を塗布する際、樹脂を塗布したら、
適当な時間放置して自然に乾燥させてもよいし、適当な
温度で加熱して強制的に乾燥させてもよい。 ［キャップ部形成工程］この工程では、樹脂塗布工程で
ネガタイプの感光性樹脂を用いた場合、露光時に用いる
マスクとして、キャップ部の投影面と同じ形状の遮蔽部
を有するものを用いる。キャップ部を形成する感光性樹
脂層の部分をそのマスクの遮蔽部で覆い、所定の波長を
もつ光を所定の光強度で露光する。この露光により、光
が当てられた感光性樹脂層の部分が所定の溶液に可溶と
なる。続く、現像において、感光性樹脂層を現像液で処
理することにより、光が当てられた部分を溶かして除く
ことができる。その結果、光が当てられていない部分が
残って、キャップ部が形成される。

【００６８】一方、樹脂塗布工程でポジタイプの感光性
樹脂を用いた場合、露光時に用いるマスクとして、キャ
ップ部の投影面と同じ形状の穴を有するものを用いる。
キャップ部を形成する感光性樹脂層の上面部分にそのマ
スクの穴を当て、所定の波長をもつ光を所定の光強度で
露光する。この露光により、光が当てられた部分が所定
の溶液に不溶となる。続く、現像において、感光性樹脂
層を現像液で処理することにより、光が当てられていな
い部分を溶かして除くことができる。その結果、光が当
てられた部分が残って、キャップ部が形成される。

【００６９】この工程で形成するキャップ部の形状（縦
断面形状および投影面の形状）は、請求項１に記載のＥ
ＬＤＰのキャップと同様の形状にすることができる。 ［隔壁本体部形成工程］この工程では、非感光性樹脂の
みが可溶な液（すなわち、キャップ部は不溶である）を
用いて処理する。この処理により、キャップ部がマスク
となってその下方にある非感光性樹脂の部分を残すこと
ができる。

【００７０】その処理方法としては特に限定されるもの
ではなく、例えば、非感光性樹脂のみが可溶な液にキャ
ップ部形成工程で得られたものを浸漬する方法や、非感
光性樹脂のみが可溶な液を非感光性樹脂層の表出面に吹
き付ける方法が挙げられる。この工程で形成される隔壁
本体部の形状も請求項１に記載のＥＬＤＰの隔壁本体部
と同様の形状にすることができる。特に、キャップ部形
成工程で形成されたキャップ部がＥＬ素子側に突出する
ように隔壁本体部を形成することが好ましい。 ［ＥＬ素子形成工程］この工程では、発光層および第１
電極層の形成方法についてはそれぞれ特に限定されるも
のではなく、それぞれ公知の形成方法によって形成する
ことができる。例えば、蒸着法によって発光層および第
１電極層を形成することができる。 （請求項５に記載のＥＬＤＰの製造方法）本発明のＥＬ
ＤＰの製造方法でも、ＲＩＥを用いずにキャップ部を効
率良く形成することができるとともに、隔壁本体部、キ
ャップ部および土台部から一体的に構成される隔壁を容
易に形成することができる。特に、次の点で先の請求項
４に記載のＥＬＤＰの製造方法よりも優れる。

【００７１】請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法にお
いては、ＥＬ素子側に大きく突出するキャップ部を有す
る隔壁を、第１電極層上に直接形成すると、発光層の端
部が隔壁本体部から離れた位置に形成されてしまい、発
光層と隔壁との間に隙間（第１電極層の表出面）が形成
されてしまう可能性がある。この状態で、第２電極層を
形成すると、図９に示すように、その隙間に第２電極層
の端部が形成されてしまう可能性がある。その結果、第
１電極層と第２電極層とが短絡してしまう恐れが生じ
る。

【００７２】本発明では、土台部形成工程で形成された
土台部の上に隔壁が形成されるため、図１０に一例を示
すように、発光層の端部を土台部の側面部に容易につな
げて形成することができる。このことは、特に、隔壁が
ＥＬ素子側に大きく突出するキャップ部を有する場合に
有効に働く。そのため、発光層と隔壁との間に隙間（第
１電極層の表出面）が形成されてしまうことが防止され
る。この結果、第２電極層を第１電極層と短絡しないよ
うに形成することができる。

【００７３】また、土台部は、隔壁本体部を形成する非
感光性樹脂とは異なった種類の樹脂より形成されるた
め、隔壁本体部形成工程において、非感光性樹脂が、非
感光性樹脂のみが可溶な液で処理される際にも、その液
に溶けてしまうことがない。また、土台部形成工程で、
微細な土台部を形成すれば、微細な隔壁を形成すること
ができる。また、その土台部を微細な間隔で形成すれ
ば、隔壁を微細な間隔で形成することができる。そのた
め、本製造方法でも、微細な隔壁を形成すれば、ＥＬ素
子の間隔を微細なものとすることができる。また、その
隔壁を微細な間隔で形成すれば、ＥＬ素子自体を微細な
ものとすることができる。

【００７４】従って、本製造方法によれば、請求項４に
記載のＥＬＤＰをさらに信頼性高く製造することができ
る。本発明のＥＬＤＰの製造方法では、土台部形成工程
以外の工程は、請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法と
同様にして行うことができる。なお、樹脂層形成工程で
形成される第２感光性樹脂層は、請求項４に記載のＥＬ
ＤＰの製造方法における感光性樹脂層と同様にして形成
することができる。 ［土台部形成工程］この工程では、樹脂層形成工程にお
ける第１感光性樹脂層の形成方法と同様にして、ＥＬ素
子および隔壁が設けられる基体表面全体にわたって第１
感光性樹脂層を形成することができる。その感光性樹脂
の種類は特に限定されるものではなく、キャップ部と同
じ感光性樹脂を用いることができる。

【００７５】この工程では、感光性樹脂としてネガタイ
プの感光性樹脂を用いる場合、露光時に用いるマスクと
して、土台部の投影面と同じ形状の遮蔽部を有するもの
を用いる。土台部を形成する感光性樹脂の部分をそのマ
スクの遮蔽部で覆い、キャップ部形成工程と同様にして
露光および現像を行うことにより、土台部を形成するこ
とができる。

【００７６】一方、ポジタイプの感光性樹脂を用いる場
合、露光時に用いるマスクとして、土台部の投影面と同
じ形状の穴を有するものを用いる。土台部を形成する感
光性樹脂の部分にそのマスクの穴を当て、キャップ部形
成工程と同様にして露光および現像を行うことにより、
土台部を形成することができる。土台部の形状について
は特に限定されるものではないが、少なくとも発光層の
端部が土台の側面部につながって形成される形状に適切
に選択する。 （請求項６に記載のＥＬＤＰの製造方法）本発明のＥＬ
ＤＰの製造方法では、次の点で先の請求項５に記載のＥ
ＬＤＰの製造方法よりも優れる。

【００７７】請求項５に記載のＥＬＤＰの製造方法にお
いては、土台部形成工程において、土台部が基体の表面
から垂直に切り立った側面部をもつように形成されると
次のような問題が生じることがある。ＥＬ素子形成工程
において、各層を構成する蒸発物をこのような側面部近
傍に堆積させようとすると、蒸着物の側壁面近傍の厚さ
が薄くなってしまう。発光層の端部の厚さが薄くなる
と、劣化が生じやすくなる。

【００７８】また、場合によっては、発光層の端部が隔
壁本体部と接続されて形成されないことがあり、発光層
と土台部との間にわずかながらも隙間（第１電極層の表
出面）が形成されてしまう可能性がある。この状態で、
第２電極層を形成すると、その隙間に第２電極層の端部
が形成されてしまう可能性がある。その結果、第１電極
層と第２電極層とが短絡してしまう恐れが生じる。

【００７９】本製造方法では、ＥＬ素子形成工程におい
て、土台部の側面部がテーパ状となっているため、その
側面部の上に発光層および第２電極層の端部が載設され
るようにそれぞれの層を容易に形成することができる。
そのため、発光層の端部の厚さが薄くなることを防止す
ることができる。従って、発光層を劣化しにくいものと
することができる。また、発光層と隔壁との間に隙間が
形成されてしまうことも防止することができる。従っ
て、第２電極層を第１電極層と短絡しないように形成す
ることができる。

【００８０】従って、本製造方法によれば、請求項５に
記載のＥＬＤＰをさらに信頼性高く製造することができ
る。本発明のＥＬＤＰの製造方法では、土台部形成工程
以外の工程は、請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法と
同様にして行うことができる。 ［土台部形成工程］先ず、請求項５に記載のＥＬＤＰの
製造方法における土台部形成工程と同様にして、ＥＬ素
子および隔壁が設けられる基体表面全体にわたって第１
感光性樹脂を塗布する。

【００８１】次いで、図１１に示すように、適当なマス
クを用いて、光が当てられる部分と光が当てられない部
分との境界がテーパ状になるように角度をつけて露光す
る。こうして露光された第１感光性樹脂について、請求
項５に記載のＥＬＤＰの製造方法における土台部形成工
程と同様にして現像の処理をすることにより、テーパ状
の側面部を有する土台部を形成することができる。

【００８２】土台部のテーパ角については、請求項３に
記載のＥＬＤＰの土台部と同様にすることができる。た
だし、そのテーパ角が小さいほど、発光層および第２電
極層の端部を載設しやすくなる。

【００８３】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 （実施例１）本実施例のＥＬＤＰは、図２および図１０
に示したように、透明な第１電極層と導電性金属よりな
る第２電極層との互いに対向する一対の電極層間に発光
層が介装されてなる方形状の有機ＥＬ素子（３００μｍ
×３００μｍ）が、基体上に単純マトリックス状に ３
３０μｍの間隔で複数形成されてなる。また、このＥＬ
ＤＰでは、基体上に形成された第１電極層を単純マトリ
ックス状に複数表出させるように、第１電極層の表出面
を取り囲む隔壁が設けられ、この隔壁に囲まれた第１電
極層の表出面上に発光層および第２電極層が形成されて
いる。

【００８４】第１電極層はＩＴＯよりなる。発光層は、
ＭＴＤＡＴＡよりなる正孔輸送層と、正孔輸送層上に形
成されたＴＰＤよりなる有機発光層と、有機発光層上に
形成されたＢｅｂｑ₂よりなる電子輸送層とから構成さ
れている。第２電極層は、Ｍｇ−Ａｇ合金よりなる。隔
壁は、非感光性ポリイミド樹脂より形成された隔壁本体
部と、その隔壁本体部の上部に感光性ポリイミド樹脂よ
り一体的に形成されたキャップ部とからなるとともに、
その隔壁本体部は、感光性ポリイミド樹脂よりなり、か
つ隔壁本体部の下面より大きな面積の下面を有する板状
の土台部の上に形成されている。また、土台部はテーパ
状の側面部を持ち、その側面部上に発光層および第１電
極層の端部が載設されている。

【００８５】このＥＬＤＰを、請求項５に記載のＥＬＤ
Ｐの製造方法に従って、以下のようにして製造した。 ［第１電極層形成工程］図１２に示すように、透明なガ
ラス基板（厚さ１〜１．５ｍｍ）の表面上に、ＩＴＯよ
りなるストライプ状（幅：３００μｍ、ピッチ：３３０
μｍ、ライン：３０μｍ、厚さ０．１５μｍ）の第１電
極層をスパッタリング法によって形成した。 ［土台部形成工程］図１３（ａ）に示すように、第１電
極層の表面上、および第１電極層の間隔となる基体の表
出面上にわたり、スピンコート法によって、感光性ポリ
イミド樹脂（旭化成製ＰＩＭＥＬ−７６５０Ｅ）を１〜
１．５μｍの厚さで一様に塗布して第１感光性樹脂層を
形成した。

【００８６】この第１感光性樹脂層を乾燥させた後、図
１３（ａ）に示したように、隔壁が形成される第１感光
性樹脂層の上面部分を、ストライプ状の遮蔽部をもつマ
スク（遮蔽部の幅（ライン）：２８０μｍ、穴の幅（ギ
ャップ）：５０μｍ）で覆い、第１感光性樹脂層にハロ
ゲンランプを用いて３５０ｍＪ／ｃｍ²の条件で露光し
た。

【００８７】続いて、アルカリ性の現像液を用いて第１
感光性樹脂層を現像した。その結果、図１３（ｂ）に示
すように露光された第１感光性樹脂層の部分が現像液に
溶けて除かれ、土台部が形成された。なお、上記露光お
よび現像の一連の処理は、その一回の処理で土台部に相
当しない部分の第１感光性樹脂を除くことができない場
合には、複数回繰り返してもよい。また、第１感光性樹
脂に露光しながら、現像を行ってもよい。 ［樹脂層形成工程］図１４に示すように、土台部の表面
上、並びに第１電極層の表出面上および基体の表出面上
（第１電極層の間隔）にわたり、それぞれスピンコート
法によって、非感光性ポリイミド樹脂（住友ベークライ
ト製ＣＲＣ−６０６１Ｃ）と、感光性ポリイミド樹脂
（旭化成製ＰＩＭＥＬ−７６５０Ｅ）とを層状に順に塗
布することにより、非感光性樹脂層と第２感光性樹脂層
とを形成した。 ［キャップ部形成工程］非感光性ポリイミド樹脂層およ
び第２感光性樹脂層を乾燥させた後、図１５（ａ）に示
すように、隔壁が形成される第２感光性樹脂層の上面部
分を、ストライプ状の遮蔽部をもつマスク（遮蔽部の幅
（ライン）：３００μｍ、穴の幅（ギャップ）：３０μ
ｍ）で覆い、第２感光性樹脂層にハロゲンランプを用い
て３５０ｍＪ／ｃｍ²の条件で露光した。

【００８８】続いて、アルカリ性の現像液を用いて第２
感光性樹脂層を現像した。その結果、露光された第２感
光性樹脂層の部分が現像液に溶けて除かれ、図１５
（ｂ）に示すようにキャップ部が形成された。なお、上
記露光および現像の一連の処理は、その一回の処理でキ
ャップ部に相当しない部分の第２感光性樹脂層を除くこ
とができない場合には、複数回繰り返してもよい。ま
た、第２感光性樹脂層に露光しながら、現像を行っても
よい。 ［隔壁本体部形成工程］非感光性ポリイミド樹脂のみが
可溶な液（処理液）を用意し、非感光性樹脂層をその処
理液で所定時間処理した。その結果、図１６に示すよう
に、隔壁本体部が形成された。この処理に際して、非感
光性樹脂層の表出面に近い部分では、処理液がキャップ
部を回り込むほど強力に作用するが、表出面から遠のく
にしたがって処理液の作用する力が弱まり、図１６に示
される形状の隔壁本体部が形成されたと考えられる。 ［ＥＬ素子形成工程］次いで、第１電極層の表出面上
に、正孔輸送層、有機発光層および電子輸送層をそれぞ
れ真空蒸着法によって順次形成して、発光層を形成し
た。発光層の全体の厚さは０．１２μｍとした。

【００８９】最後に、発光層上に第２電極層を真空蒸着
法によって形成した。この第２電極層の厚さは０．１５
μｍとした。以上の工程を経て、本実施例のＥＬＤＰが
製造された。なお、土台部形成工程およびキャップ部形
成工程において使用するマスクとして、ピッチが３３０
μｍ以下、ギャップが３０μｍ以下のものを使用すれ
ば、幅３００μｍの微細な有機ＥＬ素子を３３０μｍの
微細な間隔で配列させたＥＬＤＰを得ることができる。 （実施例２）本実施例では、図１７に示すように、土台
部形成工程において、テーパ状の側面部を有する土台部
を形成するとともに、ＥＬ素子形成工程において、土台
部の側面部上に発光層および第２電極層の端部がそれぞ
れ載設されるように、発光層および第２電極層を形成し
た他は、実施例１と同様にしてＥＬＤＰを製造した。 （実施例３）請求項１に記載のタイプ１のＥＬＤＰであ
って、隔壁本体部が非感光性樹脂より形成され、かつキ
ャップ部が感光性樹脂よりなるＥＬＤＰは次の製造方法
により製造することができる。

【００９０】その製造方法とは、前記基体の前記ＥＬ素
子が設けられる表面を少なくとも含む表面上に、第１電
極層および発光層を順に形成する第１電極層形成工程
と、前記第１電極層形成工程で得られ、かつ少なくとも
前記隔壁が設けられる表面上に非感光性樹脂と感光性樹
脂とを層状に順に塗布することにより非感光性樹脂層と
感光性樹脂層とを形成する樹脂層形成工程と、前記感光
性樹脂層の所定の部分の上面を覆うことのできるマスク
を用い、該感光性樹脂層に露光を行った後、該露光によ
って変質した該感光性樹脂層の部分のみが可溶な現像液
を用いて該感光性樹脂を現像することにより前記キャッ
プ部を形成するキャップ部形成工程と、前記非感光性樹
脂のみが可溶な液を用いて該非感光性樹脂層を処理する
ことにより前記隔壁本体部を形成し、前記隔壁を完成す
る隔壁本体部形成工程と、前記隔壁に取り囲まれた発光
層の表出面上に第２電極層を形成してＥＬ素子を完成す
るＥＬ素子形成工程と、からなる製造方法である。

【００９１】本製造方法でも、ＲＩＥを用いずにキャッ
プ部を効率良く形成することができるとともに、隔壁本
体部とキャップ部とから一体的に構成される隔壁を容易
に形成することができる。また、本製造方法は、請求項
４に記載のＥＬＤＰの製造方法に対して、ＥＬ素子形成
工程で形成される発光層が第１電極層形成工程で形成さ
れる点が異なるのみである。従って、本製造方法によっ
ても、請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法で述べた理
由と同様の理由により、前記ＥＬＤＰを安価にかつ生産
性良く製造することができる。特に、微細なＥＬ素子を
微細な間隔で配列させたＥＬＤＰを安価にかつ生産性良
く製造することができる。また、大面積のものでもその
生産性は高いものである。（実施例４） 請求項２に記載のタイプ１のＥＬＤＰであって、隔壁本
体部が非感光性樹脂より形成され、かつキャップ部が第
１感光性樹脂よりなり、土台部が第２感光性樹脂よりな
るＥＬＤＰは次の製造方法により製造することができ
る。

【００９２】その製造方法とは、基体の前記ＥＬ素子が
形成される表面を少なくとも含む表面上に、第１電極層
および発光層を順に形成する第１電極層形成工程と、前
記第１電極層形成工程で得られ、かつ少なくとも前記隔
壁が設けられる表面上に感光性樹脂を塗布して第１感光
性樹脂層を形成し、該第１感光性樹脂層の所定の部分の
上面を覆うことのできるマスクを用いて第１感光性樹脂
層に露光を行った後、該露光によって変質した第１感光
性樹脂層の部分のみが可溶な現像液を用いて該第１感光
性樹脂を現像することにより前記土台部を形成する土台
部形成工程と、前記基体の前記ＥＬ素子および前記隔壁
が設けられる表面全体にわたって、非感光性樹脂と感光
性樹脂とを層状に順に塗布して非感光性樹脂層と第２感
光性樹脂層とを形成する樹脂層形成工程と、前記第２感
光性樹脂の所定の部分の上面を覆うことのできるマスク
を用いて該第２感光性樹脂に露光を行った後、該露光に
よって変質した第２感光性樹脂の部分のみが可溶な現像
液を用いて該第２感光性樹脂を現像することにより前記
キャップ部を形成するキャップ部形成工程と、前記非感
光性樹脂のみが可溶な現像液を用いて該非感光性樹脂を
現像することにより前記隔壁本体部を形成し、前記隔壁
を完成する隔壁本体部形成工程と、前記隔壁に囲まれた
発光層上に第２電極層を形成して前記ＥＬ素子を完成す
るＥＬ素子形成工程と、からなる製造方法である。

【００９３】本製造方法でも、ＲＩＥを用いずにキャッ
プ部を効率良く形成することができるとともに、隔壁本
体部、キャップ部および土台部から一体的に構成される
隔壁を容易に形成することができる。従って、本製造方
法によっても、請求項４に記載のＥＬＤＰの製造方法で
述べた理由と同様の理由により、前記ＥＬＤＰを信頼性
高く製造することができる。 （実施例６）請求項３に記載のタイプ１のＥＬＤＰであ
って、隔壁本体部が非感光性樹脂より形成され、かつキ
ャップ部が第１感光性樹脂よりなり、土台部が第２感光
性樹脂よりなるＥＬＤＰは次の製造方法により製造する
ことができる。

【００９４】その製造方法とは、実施例５のＥＬＤＰの
製造方法において、土台部形成工程でテーパ状の側面部
を有する前記土台部を形成する製造方法である。本製造
方法でも、土台部および第２電極層を容易に形成するこ
とができる。従って、本製造方法によっても、実施例６
と同様に、前記ＥＬＤＰを信頼性高く製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のＥＬＤＰの一例を示す縦断面図であ
る。

【図２】 本発明のＥＬＤＰにおいて、ＥＬ素子の形状
および配列形態を模式的に示す図である。

【図３】 従来のＥＬＤＰの隔壁を概略的に示す縦断面
図である。

【図４】 従来のＥＬＤＰで生じていた問題を模式的に
図示した縦断面図である。

【図５】 従来のＥＬＤＰの隔壁を概略的に示す縦断面
図である。

【図６】 従来のＥＬＤＰを概略的に示す縦断面図であ
る。

【図７】 本発明のＥＬＤＰの隔壁を概略的に示す縦断
面図である。

【図８】 本発明のＥＬＤＰで生じる恐れのある問題を
図示した縦断面図である。

【図９】 本発明のＥＬＤＰで生じる恐れのある問題を
図示した縦断面図である。

【図１０】 実施例１のＥＬＤＰを概略的に示す縦断面
図である。

【図１１】 本発明のＥＬＤＰの製造方法における一工
程の手段を模式的に示す縦断面図である。

【図１２】 実施例１において、第１電極形成工程で形
成された第１電極層を模式的に示す斜視図である。

【図１３】 実施例１において、土台部形成工程が行わ
れている様子（ａ）、およびその結果形成された土台部
（ｂ）をそれぞれ概略的に示す縦断面図である。

【図１４】 実施例１において、樹脂塗布工程で塗布さ
れた第２感光性樹脂層および非感光性樹脂層を概略的に
示す縦断面図である。

【図１５】 実施例１において、キャップ部形成工程が
行われている様子（ａ）、およびその結果形成されたキ
ャップ部（ｂ）をそれぞれ概略的に示す縦断面図であ
る。

【図１６】 実施例１において、隔壁本体部形成工程で
形成された隔壁を概略的に示す縦断面図である。

【図１７】 実施例２で製造されたＥＬＤＰの一部分を
拡大して概略的に示す縦断面図である。

【図１８】 従来のＥＬＤＰの製造方法において、背面
電極層を形成している様子を模式的に示す斜視図であ
る。

【図１９】 従来のＥＬＤＰの製造方法において、背面
電極層を形成している様子を模式的に示す斜視図であ
る。

【図２０】 従来のＥＬＤＰの製造方法において、背面
電極層を形成している様子を模式的に示す斜視図であ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K007 AB11 AB18 BA06 CA01 CB01 CC04 DA01 DB03 EA00 EB00 FA01 FA02 5C094 AA05 AA25 AA42 AA43 AA44 BA27 CA19 DA13 EC03 FA01 FA02 FB01 FB15 GB10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基体の表面上に形成された第１電極層
   と、該第１電極層上に形成された発光層と、該発光層上
   に形成された第２電極層とからなるとともに、該第１電
   極層および該第２電極層の少なくとも一方が透明である
   複数のＥＬ素子が、該第１電極層、該発光層および該第
   ２電極層の少なくとも一層で隔壁によりそれぞれ隔てら
   れて所定の配列で設けられてなるＥＬディスプレイパネ
   ルにおいて、 前記隔壁は、樹脂材より形成された隔壁本体部と、該隔
   壁本体部の前記基体と反対側に位置する面上に樹脂材よ
   り一体的に形成されたキャップ部とから構成されている
   ことを特徴とするＥＬディスプレイパネル。
2. 【請求項２】 前記隔壁は、前記隔壁本体部の基体側の
   面上に樹脂材より一体的に形成され、かつ該隔壁本体部
   の下面より大きな面積の下面を有する板状の土台部を有
   する請求項１に記載のＥＬディスプレイパネル。
3. 【請求項３】 前記土台部はテーパ状または階段状の側
   面部を持ち、該側面部上に前記発光層および前記第２電
   極層の少なくとも一方の端部が載設されている請求項１
   に記載のＥＬディスプレイパネル。
4. 【請求項４】 基体の表面上に形成された第１電極層
   と、該第１電極層上に形成された発光層と、該発光層上
   に形成された第２電極層とからなるとともに、該第１電
   極層および該第２電極層の少なくとも一方が透明である
   複数のＥＬ素子が、該発光層および該第２電極層で、隔
   壁本体部と、該隔壁本体部の該基体と反対側に位置する
   面上に一体的に形成されたキャップ部とから構成された
   隔壁によりそれぞれ隔てられて所定の配列で設けられて
   なるＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、 前記基体の前記ＥＬ素子が設けられる表面を少なくとも
   含む表面上に、前記第１電極層を形成する第１電極層形
   成工程と、 前記第１電極層形成工程で得られた前記第１電極層およ
   び前記基体の表出面の少なくとも一方に、非感光性樹脂
   と感光性樹脂とを層状に順に塗布することにより、非感
   光性樹脂層と感光性樹脂層とを形成する樹脂層形成工程
   と、 前記感光性樹脂層の所定の部分の上面を覆うことのでき
   るマスクを用い、該感光性樹脂層に露光を行った後、該
   露光によって変質した該感光性樹脂の部分のみが可溶な
   現像液を用いて該感光性樹脂層を現像することにより前
   記キャップ部を形成するキャップ部形成工程と、 前記非感光性樹脂のみが可溶な液を用いて該非感光性樹
   脂層を処理することにより前記隔壁本体部を形成し、前
   記隔壁を完成する隔壁本体部形成工程と、 前記隔壁に取り囲まれた前記第１電極層の表出面上に前
   記発光層および前記第２電極層を順に形成して前記ＥＬ
   素子を形成するＥＬ素子形成工程と、 からなることを特徴とするＥＬディスプレイパネルの製
   造方法。
5. 【請求項５】 基体の表面上に形成された第１電極層
   と、該第１電極層上に形成された発光層と、該発光層上
   に形成された第２電極層とからなるとともに、該第１電
   極層および該第２電極層の少なくとも一方が透明である
   複数のＥＬ素子が、該発光層および該第２電極層で、隔
   壁本体部と、該隔壁本体部の該基体と反対側に位置する
   面上に一体的に形成されたキャップ部とから構成された
   隔壁によりそれぞれ隔てられて所定の配列で設けられて
   なるＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、 前記基体の前記ＥＬ素子が形成される表面を少なくとも
   含む表面上に、第１電極層を形成する第１電極層形成工
   程と、 前記第１電極層形成工程で得られた前記第１電極層およ
   び前記基体の表出面の少なくとも一方に感光性樹脂を塗
   布して第１感光性樹脂層を形成し、該第１感光性樹脂層
   の所定の部分の上面を覆うことのできるマスクを用いて
   第１感光性樹脂層に露光を行った後、該露光によって変
   質した該第１感光性樹脂層の部分のみが可溶な現像液を
   用いて該第１感光性樹脂層を現像することにより前記土
   台部を形成する土台部形成工程と、 前記基体の前記ＥＬ素子および前記隔壁が設けられる表
   面全体にわたって、非感光性樹脂と感光性樹脂とを層状
   に順に塗布することにより、非感光性樹脂層と感光性樹
   脂層とを形成する樹脂層形成工程と、 前記第２感光性樹脂の所定の部分の上面を覆うことので
   きるマスクを用いて該第２感光性樹脂に露光を行った
   後、該露光によって変質した第２感光性樹脂の部分のみ
   が可溶な現像液を用いて該第２感光性樹脂を現像するこ
   とにより前記キャップ部を形成するキャップ部形成工程
   と、 前記非感光性樹脂のみが可溶な液を用いて該非感光性樹
   脂を処理することにより前記隔壁本体部を形成し、前記
   隔壁を完成する隔壁本体部形成工程と、 前記隔壁に囲まれた一方の前記電極層上に前記発光層お
   よび前記第２電極層を順に形成して前記ＥＬ素子を形成
   するＥＬ素子形成工程と、 からなることを特徴とするＥＬディスプレイパネルの製
   造方法。
6. 【請求項６】 前記土台部形成工程でテーパ状の側面部
   を有する前記土台部を形成する請求項５に記載のＥＬデ
   ィスプレイパネルの製造方法。