JP2000131637A - 回転可能ミラ―アセンブリおよび画像露光装置 - Google Patents
回転可能ミラ―アセンブリおよび画像露光装置Info
- Publication number
- JP2000131637A JP2000131637A JP11098625A JP9862599A JP2000131637A JP 2000131637 A JP2000131637 A JP 2000131637A JP 11098625 A JP11098625 A JP 11098625A JP 9862599 A JP9862599 A JP 9862599A JP 2000131637 A JP2000131637 A JP 2000131637A
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- Japan
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- mirror
- support
- assembly according
- assembly
- rotatable
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 非点収差およびスポット品質の劣化の問題を
解決する回転可能なミラーアセンブリを提供する。 【解決手段】 回転可能なミラーアセンブリは、回転可
能に取付けられたサポート（１）と、サポートに取付け
られサポートとともに回転するためのミラー（７）とを
含む。ミラー（７）は、サポートの回転軸（６）から横
方向にずれた位置（５）で取付けられており、ミラーは
サポートの残余の部分から間隔がおかれているので、回
転したときに歪むようになっている。
解決する回転可能なミラーアセンブリを提供する。 【解決手段】 回転可能なミラーアセンブリは、回転可
能に取付けられたサポート（１）と、サポートに取付け
られサポートとともに回転するためのミラー（７）とを
含む。ミラー（７）は、サポートの回転軸（６）から横
方向にずれた位置（５）で取付けられており、ミラーは
サポートの残余の部分から間隔がおかれているので、回
転したときに歪むようになっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例として内部ドラムイ
メージセッタのような画像露光装置において使用するた
めの、回転可能ミラーアセンブリに関する。
メージセッタのような画像露光装置において使用するた
めの、回転可能ミラーアセンブリに関する。
【０００２】
【従来の技術および解決しようとする課題】画像再生の
分野では、通常、画像情報で変調されたレーザビームな
どの放射ビームにより、高速で記録媒体を走査する。こ
の走査動作は、回転している、ある角度をつけたミラー
にビームを導くことによって行なわれる。記録媒体の露
光の速度を増大させるために、従来、典型的な例として
は分速３００００回転という超高速でミラーを回転させ
ている。このように回転が高速である場合、ミラーを作
製するもとになる材料は歪む可能性があり、結果とし
て、記録媒体に当たるビームの非点収差およびスポット
品質の劣化が生じる。一般には、ビームの焦点を記録媒
体に合わせる焦点レンズを、ビームに沿う異なる場所で
位置決めして、走査方向において、かつ走査方向に直交
する方向において焦点合わせを最適にしなければならな
い。この場合の焦点位置間の距離は非点収差の測定値と
なり、この距離を最小にすることが望ましい。
分野では、通常、画像情報で変調されたレーザビームな
どの放射ビームにより、高速で記録媒体を走査する。こ
の走査動作は、回転している、ある角度をつけたミラー
にビームを導くことによって行なわれる。記録媒体の露
光の速度を増大させるために、従来、典型的な例として
は分速３００００回転という超高速でミラーを回転させ
ている。このように回転が高速である場合、ミラーを作
製するもとになる材料は歪む可能性があり、結果とし
て、記録媒体に当たるビームの非点収差およびスポット
品質の劣化が生じる。一般には、ビームの焦点を記録媒
体に合わせる焦点レンズを、ビームに沿う異なる場所で
位置決めして、走査方向において、かつ走査方向に直交
する方向において焦点合わせを最適にしなければならな
い。この場合の焦点位置間の距離は非点収差の測定値と
なり、この距離を最小にすることが望ましい。
【０００３】この問題に対処する１つの方法は、ミラー
の輪郭を特別なものにして、ミラーが回転しているとき
に外形が実質的に平坦になるようにすることを含んでい
た。これに伴う欠点は、その輪郭がある回転速度での正
しい補償しかもたらすことができないという事実を含ん
でいる。
の輪郭を特別なものにして、ミラーが回転しているとき
に外形が実質的に平坦になるようにすることを含んでい
た。これに伴う欠点は、その輪郭がある回転速度での正
しい補償しかもたらすことができないという事実を含ん
でいる。
【０００４】
【課題の解決手段および動作モード】本発明に従うと、
回転可能ミラーアセンブリは、回転可能に取付けられた
サポートと、サポートの回転軸から横方向にずれた位置
でサポートに取付けられ、サポートとともに回転するた
めのミラーとを含み、このミラーはサポートの残余の部
分から間隔をおいて設けられているので回転したときに
歪むようになっている。
回転可能ミラーアセンブリは、回転可能に取付けられた
サポートと、サポートの回転軸から横方向にずれた位置
でサポートに取付けられ、サポートとともに回転するた
めのミラーとを含み、このミラーはサポートの残余の部
分から間隔をおいて設けられているので回転したときに
歪むようになっている。
【０００５】ミラーそのものを修正しようと試みる代わ
りに、新しい方策が考案されている。その考案によれ
ば、ミラーが、非点収差が比較的にほとんどなくなるよ
うに歪むようにしている。これは、サポートの回転軸か
ら横方向にずれた位置でミラーをサポートに取付けるこ
とによって可能になる。こうすると、ミラーの前部分
は、ミラーの最上部の歪みを補償するように自由に歪
む。
りに、新しい方策が考案されている。その考案によれ
ば、ミラーが、非点収差が比較的にほとんどなくなるよ
うに歪むようにしている。これは、サポートの回転軸か
ら横方向にずれた位置でミラーをサポートに取付けるこ
とによって可能になる。こうすると、ミラーの前部分
は、ミラーの最上部の歪みを補償するように自由に歪
む。
【０００６】典型的には、ミラーの反射面は静止してい
るときには実質的に平坦である。しかしながら、高速で
は、ミラーの形状を異なるものにして反射面がそれに応
じて形成されるようにすることが望ましい場合もあり得
る。
るときには実質的に平坦である。しかしながら、高速で
は、ミラーの形状を異なるものにして反射面がそれに応
じて形成されるようにすることが望ましい場合もあり得
る。
【０００７】ある好ましい装置では、サポートは、ミラ
ーをサポートに取付けるためにミラーのスロットに固定
された差込み部を含む。典型的には、この差込み部を適
切な接着剤を用いてスロットに接着するが、スプライン
などの他の接続形式も使用できる。この装置の変形例で
は、ミラーがサポートのスロットに固定された差込み部
を含むことが可能である。
ーをサポートに取付けるためにミラーのスロットに固定
された差込み部を含む。典型的には、この差込み部を適
切な接着剤を用いてスロットに接着するが、スプライン
などの他の接続形式も使用できる。この装置の変形例で
は、ミラーがサポートのスロットに固定された差込み部
を含むことが可能である。
【０００８】ある代替的な装置では、サポートおよびミ
ラーは一体的に形成され、スロットがミラーの前部に刻
まれている。こうすると、構成をよりシンプルにできる
場合もあり、アセンブリの動作音はより静かになるであ
ろう。
ラーは一体的に形成され、スロットがミラーの前部に刻
まれている。こうすると、構成をよりシンプルにできる
場合もあり、アセンブリの動作音はより静かになるであ
ろう。
【０００９】特定の設計に必要とされる補償を正確に行
なうために、差込み部の大きさおよび場所を変えたり、
切込みの形状および範囲を変えてもよい。
なうために、差込み部の大きさおよび場所を変えたり、
切込みの形状および範囲を変えてもよい。
【００１０】従来のミラーアセンブリのように、サポー
トおよび／またはミラーに１つ以上のバランスウェイト
を与えて回転が確実にスムーズに行なわれるようにして
もよい。
トおよび／またはミラーに１つ以上のバランスウェイト
を与えて回転が確実にスムーズに行なわれるようにして
もよい。
【００１１】典型的には、ミラーの反射面はサポートの
回転軸に対し非直交の角度で延在する。これが有利であ
る理由は、偏向すべきビームをミラーに向けて回転軸に
沿い導くことができることである。
回転軸に対し非直交の角度で延在する。これが有利であ
る理由は、偏向すべきビームをミラーに向けて回転軸に
沿い導くことができることである。
【００１２】ミラーの反射面は平面的に楕円形状でもよ
いが、他の形状も可能である。前述のように、本発明は
画像露光装置において使用するのに特に適しており、こ
の画像露光装置はさらに、ミラーに当たる放射ビームを
発生させるための放射ビーム源と、ミラーによる反射に
従いビームが入射する記録媒体サポートと、画像情報で
ビームを変調するための変調器とを含む。その一例は、
従来の内部ドラムイメージセッタである。
いが、他の形状も可能である。前述のように、本発明は
画像露光装置において使用するのに特に適しており、こ
の画像露光装置はさらに、ミラーに当たる放射ビームを
発生させるための放射ビーム源と、ミラーによる反射に
従いビームが入射する記録媒体サポートと、画像情報で
ビームを変調するための変調器とを含む。その一例は、
従来の内部ドラムイメージセッタである。
【００１３】次に、ミラーアセンブリのいくつかの例、
およびこういったミラーアセンブリを採り入れたイメー
ジセッタについて、添付の図面を参照して説明する。
およびこういったミラーアセンブリを採り入れたイメー
ジセッタについて、添付の図面を参照して説明する。
【００１４】
【実施例】図１に示したミラーアセンブリは、使用の際
にモータに接続されるスピンドル２を含むサポート１
と、円形のキャビティ４を定めるリム３とを含む。サポ
ート１の回転の中心となるスピンドル２の軸６から横方
向にずらされた直立する差込み部５がサポート１と一体
的に形成されている。
にモータに接続されるスピンドル２を含むサポート１
と、円形のキャビティ４を定めるリム３とを含む。サポ
ート１の回転の中心となるスピンドル２の軸６から横方
向にずらされた直立する差込み部５がサポート１と一体
的に形成されている。
【００１５】反射面９を定める本体８を備えたミラー７
が差込み部５に取付けられる。この面の形状は図５にお
いてより明確にされており、この面が楕円であり平坦で
あることがわかるであろう。本体８のベースには、ミラ
ー７をサポート１に取付けることができるように、差込
み部５を受けるスロット１０が形成される。差込み部５
は適切な接着剤でミラー本体８に接着される。なお、ミ
ラー７は、差込み部５に取付けられているお蔭でキャビ
ティ４内で自由に支持されるのである。したがって、本
体８のエッジ部分とそのまわりのキャビティとの間には
空間がある。
が差込み部５に取付けられる。この面の形状は図５にお
いてより明確にされており、この面が楕円であり平坦で
あることがわかるであろう。本体８のベースには、ミラ
ー７をサポート１に取付けることができるように、差込
み部５を受けるスロット１０が形成される。差込み部５
は適切な接着剤でミラー本体８に接着される。なお、ミ
ラー７は、差込み部５に取付けられているお蔭でキャビ
ティ４内で自由に支持されるのである。したがって、本
体８のエッジ部分とそのまわりのキャビティとの間には
空間がある。
【００１６】サポートおよびミラーの典型的な材料は、
アルミニウムまたはベリリウムであり、各々同じであっ
ても異なっていてもよい。
アルミニウムまたはベリリウムであり、各々同じであっ
ても異なっていてもよい。
【００１７】さらなるサポートを与えるために、バラン
スウェイト１１をサポート１の異なる部分に配置する。
加えて、またはその代わりとして、バランスウェイトを
ミラー本体８の機械加工された適切なボア（図示せず）
内に含み入れることもできる。
スウェイト１１をサポート１の異なる部分に配置する。
加えて、またはその代わりとして、バランスウェイトを
ミラー本体８の機械加工された適切なボア（図示せず）
内に含み入れることもできる。
【００１８】ミラーの典型的な直径は３０ｍｍである。
使用の際には、スピンドル２をたとえば分速３００００
回転という高速で回転させると、ミラー本体８の反射面
９が歪む。しかしながら、ミラー本体９を差込み部５の
上で、軸６から横方向にずらして支持しているために、
この歪みを、図１の点線１２で示すように反射面９の少
なくとも中央領域では最小にすることができることがわ
かっている。図１に示した歪みは実際の歪みよりもかな
り誇張されている。その理由は、１３で示すように差込
み部５から離れたミラー本体８の領域は軸６に直交する
方向において長手方向に歪む可能性がある一方、領域１
４は外向きに歪むことであるように思われる。これは、
本体８を軸６を中心としてサポート１に取付けた場合の
歪みとは異なる形であり、結果として実質的に平坦な領
域１５が生まれる。
使用の際には、スピンドル２をたとえば分速３００００
回転という高速で回転させると、ミラー本体８の反射面
９が歪む。しかしながら、ミラー本体９を差込み部５の
上で、軸６から横方向にずらして支持しているために、
この歪みを、図１の点線１２で示すように反射面９の少
なくとも中央領域では最小にすることができることがわ
かっている。図１に示した歪みは実際の歪みよりもかな
り誇張されている。その理由は、１３で示すように差込
み部５から離れたミラー本体８の領域は軸６に直交する
方向において長手方向に歪む可能性がある一方、領域１
４は外向きに歪むことであるように思われる。これは、
本体８を軸６を中心としてサポート１に取付けた場合の
歪みとは異なる形であり、結果として実質的に平坦な領
域１５が生まれる。
【００１９】第２の例を図２に示す。この場合、ミラー
７′およびサポート１′を、溝またはスロット２０を機
械加工することにより同じブロックから機械加工して、
ミラー７′がサポート１′上の脚２１上で支持されるよ
うにする。サポート１′を通してミラー７′内へとボア
２２を機械加工し、このボアにバランスウェイトを置く
ことによって、バランスウェイトをミラー７′の本体に
とり入れることができる。図２の例では別々の部分が少
なくこのアセンブリの回転がより静かになるであろうた
め、図２の例が図１の例よりも好ましい場合もある。
７′およびサポート１′を、溝またはスロット２０を機
械加工することにより同じブロックから機械加工して、
ミラー７′がサポート１′上の脚２１上で支持されるよ
うにする。サポート１′を通してミラー７′内へとボア
２２を機械加工し、このボアにバランスウェイトを置く
ことによって、バランスウェイトをミラー７′の本体に
とり入れることができる。図２の例では別々の部分が少
なくこのアセンブリの回転がより静かになるであろうた
め、図２の例が図１の例よりも好ましい場合もある。
【００２０】図３の（Ａ）は、従来のやり方で取付けら
れたスピナの反射面の外観を大幅に誇張して示したもの
である。垂直軸はミリメートル単位であり、楕円形のミ
ラーの長軸は５０で示され、短軸は５１で示されてい
る。ミラーは、長軸５０の方向においては、かなりの凸
状の湾曲を示していることがわかる。短軸５１に沿い凹
状の湾曲があり、非点収差を生じさせるのは、この２つ
の湾曲の倍率の違いである。
れたスピナの反射面の外観を大幅に誇張して示したもの
である。垂直軸はミリメートル単位であり、楕円形のミ
ラーの長軸は５０で示され、短軸は５１で示されてい
る。ミラーは、長軸５０の方向においては、かなりの凸
状の湾曲を示していることがわかる。短軸５１に沿い凹
状の湾曲があり、非点収差を生じさせるのは、この２つ
の湾曲の倍率の違いである。
【００２１】図３の（Ｂ）は図３の（Ａ）と似ている
が、図２に示したミラー７′の反射面の外観を示したも
のである。この場合、２つの方向５０および５１におけ
る湾曲の相違は、図３の（Ａ）に示したものよりも大幅
に減少していることがわかり、したがって、非点収差が
大幅に減少する。ミラー７′の５２および５３において
生じる歪みも図３の（Ｂ）でわかる。
が、図２に示したミラー７′の反射面の外観を示したも
のである。この場合、２つの方向５０および５１におけ
る湾曲の相違は、図３の（Ａ）に示したものよりも大幅
に減少していることがわかり、したがって、非点収差が
大幅に減少する。ミラー７′の５２および５３において
生じる歪みも図３の（Ｂ）でわかる。
【００２２】このミラーアセンブリは、ビームによる走
査を行なう広範にわたる応用例において使用できる。あ
る好ましい例では、このアセンブリを図４に示したタイ
プの内部ドラムイメージセッタに採り入れる。図４は、
図１に示した種類のアセンブリを示し、サポートスピン
ドル２はベース２４に取付けられたモータ２３に取付け
られている。これらの構成要素は、すべての構成要素の
まわりで円周をなすように延在する、２５で簡単に示し
たドラム内に配置される。フィルム２６といった記録媒
体は、ドラム２５の内面に取付けられる。ベース２４は
また焦点レンズ２７を支えている。
査を行なう広範にわたる応用例において使用できる。あ
る好ましい例では、このアセンブリを図４に示したタイ
プの内部ドラムイメージセッタに採り入れる。図４は、
図１に示した種類のアセンブリを示し、サポートスピン
ドル２はベース２４に取付けられたモータ２３に取付け
られている。これらの構成要素は、すべての構成要素の
まわりで円周をなすように延在する、２５で簡単に示し
たドラム内に配置される。フィルム２６といった記録媒
体は、ドラム２５の内面に取付けられる。ベース２４は
また焦点レンズ２７を支えている。
【００２３】レーザ２８は、ドラム２５からある距離の
ところに位置し、従来の態様で画像情報に従いビームを
変調する変調器３０に与えられるレーザビーム２９を発
生させる。このビームは次に、焦点レンズ２７に導か
れ、レンズはビームの焦点を記録媒体２６に合わせる。
ビームは、焦点レンズ２７からミラー７の反射面９に導
かれ、フィルム２６に反射する。典型的には、ビームの
幅は、反射面９に当たったときに２０−３０ミリメート
ルであり、その焦点を数ミクロン下のところでフィルム
２６に合わせる。
ところに位置し、従来の態様で画像情報に従いビームを
変調する変調器３０に与えられるレーザビーム２９を発
生させる。このビームは次に、焦点レンズ２７に導か
れ、レンズはビームの焦点を記録媒体２６に合わせる。
ビームは、焦点レンズ２７からミラー７の反射面９に導
かれ、フィルム２６に反射する。典型的には、ビームの
幅は、反射面９に当たったときに２０−３０ミリメート
ルであり、その焦点を数ミクロン下のところでフィルム
２６に合わせる。
【００２４】モータ２３はスピンドル２を回転させ、そ
の結果、ビーム２９による走査はフィルム２６に沿い円
周方向に行なわれる。同時に、矢印の３１で示すように
ベース２４とドラム２５との間に相対運動を生じさせ、
これによって、長手方向における別々の走査線に沿いビ
ームによる走査をうまく行なうことができる。
の結果、ビーム２９による走査はフィルム２６に沿い円
周方向に行なわれる。同時に、矢印の３１で示すように
ベース２４とドラム２５との間に相対運動を生じさせ、
これによって、長手方向における別々の走査線に沿いビ
ームによる走査をうまく行なうことができる。
【図１】ミラーアセンブリの第１の例の概略側面図であ
る。
る。
【図２】第２の例の概略側面図である。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ、従来のミラー
アセンブリおよび図２に示したアセンブリが回転してい
るときの反射面の外観を示す図である。
アセンブリおよび図２に示したアセンブリが回転してい
るときの反射面の外観を示す図である。
【図４】内部ドラムイメージセッタの概略側面図であ
り、明確にするためにいくつかの部分は省略している。
り、明確にするためにいくつかの部分は省略している。
【図５】図１に示したミラーの斜視図である。
１ サポート ２ スピンドル ５ 差込み部 ７ ミラー ９ 反射面 １１ バランスウェイト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーティン・ブレイク イギリス、ハートフォードシャー、ヒッチ ン、グレート・オフレイ、サラスベリー・ レーン、54
Claims (10)
- 【請求項１】 回転可能ミラーアセンブリであって、回
転可能に取付けられたサポートと、サポートの回転軸か
ら横方向にずれた位置でサポートに取付けられ、サポー
トとともに回転するためのミラーとを含み、前記ミラー
をサポートの残余の部分から間隔をおいて設けて、ミラ
ーが回転するときに歪むようにする、回転可能ミラーア
センブリ。 - 【請求項２】 前記ミラーの反射面は静止しているとき
実質的に平坦である、請求項１に記載のアセンブリ。 - 【請求項３】 前記サポートは、前記ミラーを前記サポ
ートに取付けるためにミラーのスロットに固定された差
込み部を含む、請求項１または２に記載のアセンブリ。 - 【請求項４】 前記サポートおよび前記ミラーは一体的
に形成される、請求項１または２に記載のアセンブリ。 - 【請求項５】 前記サポートおよび／または前記ミラー
は１つ以上のバランスウェイトを含む、前掲の請求項の
いずれかに記載のアセンブリ。 - 【請求項６】 前記ミラーの反射面は、前記サポートの
回転軸に対し非垂直の角度で延在する、前掲の請求項の
いずれかに記載のアセンブリ。 - 【請求項７】 前記ミラーの反射面は平面図において楕
円形状である、前掲の請求項のいずれかに記載のアセン
ブリ。 - 【請求項８】 前記ミラーおよびサポートは同じ材料か
らなる、前掲の請求項のいずれかに記載のアセンブリ。 - 【請求項９】 前記ミラーはベリリウムまたはアルミニ
ウムからなる、前掲の請求項のいずれかに記載のアセン
ブリ。 - 【請求項１０】 画像露光装置であって、前掲の請求項
のいずれかに記載の回転可能ミラーアセンブリと、前記
ミラーに当たる放射ビームを発生させるための放射ビー
ム源と、前記ビームが前記ミラーによる反射に従い入射
する記録媒体サポートと、前記ビームを画像情報で変調
するための変調器とを含む、画像露光装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP98302719:4 | 1998-04-07 | ||
| EP98302719A EP0949524A1 (en) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | Rotatable mirror assembly |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000131637A true JP2000131637A (ja) | 2000-05-12 |
Family
ID=8234766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11098625A Withdrawn JP2000131637A (ja) | 1998-04-07 | 1999-04-06 | 回転可能ミラ―アセンブリおよび画像露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6285390B1 (ja) |
| EP (1) | EP0949524A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000131637A (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4239633B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-03-18 | 富士ゼロックス株式会社 | 電子写真装置 |
| DE102006031580A1 (de) | 2006-07-03 | 2008-01-17 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs |
| DE102009010465B3 (de) | 2009-02-13 | 2010-05-27 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Laserscanner |
| DE102009015920B4 (de) | 2009-03-25 | 2014-11-20 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
| US9551575B2 (en) | 2009-03-25 | 2017-01-24 | Faro Technologies, Inc. | Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver |
| DE102009035337A1 (de) | 2009-07-22 | 2011-01-27 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen eines Objekts |
| DE102009035336B3 (de) | 2009-07-22 | 2010-11-18 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
| US9113023B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-08-18 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector |
| US9210288B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-12-08 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals |
| DE102009055989B4 (de) | 2009-11-20 | 2017-02-16 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
| DE102009055988B3 (de) | 2009-11-20 | 2011-03-17 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
| DE102009057101A1 (de) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
| US9529083B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-12-27 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector |
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