JP2000131540A - 光合分波器 - Google Patents
光合分波器Info
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12016—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the input or output waveguides, e.g. tapered waveguide ends, coupled together pairs of output waveguides
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アレイ導波路回折格子を用いても適正に中心
波長のずれを補正して波長多重光を合波あるいは分波す
ることが可能で、歩留まりよく安価に作製することがで
きる光合分波器を提供する。 【解決手段】 複数の第１の導波路３、第１のスラブ導
波路４、複数の導波路を有するアレイ導波路回折格子
５、第２のスラブ導波路６及び複数の第２の導波路７を
備え、各導波路が記載順に接続形成された光合分波器
１。第１のスラブ導波路４との接続部における複数の第
１の導波路３の間隔と、第２のスラブ導波路６との接続
部における複数の第２の導波路７の間隔との比が、第１
のスラブ導波路４の焦点距離と、第２のスラブ導波路６
の焦点距離との比と異なる。
波長のずれを補正して波長多重光を合波あるいは分波す
ることが可能で、歩留まりよく安価に作製することがで
きる光合分波器を提供する。 【解決手段】 複数の第１の導波路３、第１のスラブ導
波路４、複数の導波路を有するアレイ導波路回折格子
５、第２のスラブ導波路６及び複数の第２の導波路７を
備え、各導波路が記載順に接続形成された光合分波器
１。第１のスラブ導波路４との接続部における複数の第
１の導波路３の間隔と、第２のスラブ導波路６との接続
部における複数の第２の導波路７の間隔との比が、第１
のスラブ導波路４の焦点距離と、第２のスラブ導波路６
の焦点距離との比と異なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ導波路回折
格子を用いた光合分波器に関する。
格子を用いた光合分波器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信においては、伝送容量を飛
躍的に増大させる手段として、光周波数多重通信の研究
開発が盛んに行われている。光通信において伝送容量を
飛躍的に増大させるには、波長間隔が可能な限り小さい
多数の波長成分を有する光を合分波することができる光
デバイスが必要で、その１つの手段としてアレイ導波路
回折格子を用いた光合分波器が知られている（例えば、
特開平９−４９９３６号公報等）。
躍的に増大させる手段として、光周波数多重通信の研究
開発が盛んに行われている。光通信において伝送容量を
飛躍的に増大させるには、波長間隔が可能な限り小さい
多数の波長成分を有する光を合分波することができる光
デバイスが必要で、その１つの手段としてアレイ導波路
回折格子を用いた光合分波器が知られている（例えば、
特開平９−４９９３６号公報等）。
【０００３】この光合分波器は、複数の入力導波路、入
力側スラブ導波路、複数の導波路を有するアレイ導波路
回折格子、出力側スラブ導波路及び複数の出力導波路を
当該順に接続したものである。そして、この光合分波器
は、例えば、入力導波路の特定の１つの導波路に入射さ
せた波長多重光（中心波長λ1〜λ8，波長間隔Δλ）を
入力側スラブ導波路→複数の導波路を有するアレイ導波
路回折格子→出力側スラブ導波路と伝送して中心波長λ
1〜λ8のそれぞれの光に分波し、複数の出力導波路の対
応する個々の導波路へと出力する。
力側スラブ導波路、複数の導波路を有するアレイ導波路
回折格子、出力側スラブ導波路及び複数の出力導波路を
当該順に接続したものである。そして、この光合分波器
は、例えば、入力導波路の特定の１つの導波路に入射さ
せた波長多重光（中心波長λ1〜λ8，波長間隔Δλ）を
入力側スラブ導波路→複数の導波路を有するアレイ導波
路回折格子→出力側スラブ導波路と伝送して中心波長λ
1〜λ8のそれぞれの光に分波し、複数の出力導波路の対
応する個々の導波路へと出力する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、アレイ導波
路回折格子は、導波路の加工に際し、作製される導波路
の幅，高さ，屈折率がばらつき、出力側スラブ導波路で
分波される光の中心波長が設計値からずれ易い。このと
き、光の中心波長の設計値からの前記ずれが、アレイ導
波路回折格子が異なっても予め設計した所定の中心波長
であれば、設計時に対応することによって補正可能で、
問題とはならない。しかし、前記中心波長のずれが、予
め設計した所定の中心波長と異なる場合には、補正する
ことができない。しかも、このような前記中心波長のず
れは、アレイ導波路回折格子ごとに異なるのが普通であ
る。
路回折格子は、導波路の加工に際し、作製される導波路
の幅，高さ，屈折率がばらつき、出力側スラブ導波路で
分波される光の中心波長が設計値からずれ易い。このと
き、光の中心波長の設計値からの前記ずれが、アレイ導
波路回折格子が異なっても予め設計した所定の中心波長
であれば、設計時に対応することによって補正可能で、
問題とはならない。しかし、前記中心波長のずれが、予
め設計した所定の中心波長と異なる場合には、補正する
ことができない。しかも、このような前記中心波長のず
れは、アレイ導波路回折格子ごとに異なるのが普通であ
る。
【０００５】このため、アレイ導波路回折格子を用いた
光合分波器においては、作製後における中心波長のずれ
を予め見積もることが困難で、これが光合分波器の作製
歩留まりを著しく低下させる原因となっていた。本発明
は上記の点に鑑みてなされたもので、アレイ導波路回折
格子を用いても適正に中心波長のずれを補正して波長多
重光を合波あるいは分波することが可能で、歩留まりよ
く安価に作製することができる光合分波器を提供するこ
とを目的とする。
光合分波器においては、作製後における中心波長のずれ
を予め見積もることが困難で、これが光合分波器の作製
歩留まりを著しく低下させる原因となっていた。本発明
は上記の点に鑑みてなされたもので、アレイ導波路回折
格子を用いても適正に中心波長のずれを補正して波長多
重光を合波あるいは分波することが可能で、歩留まりよ
く安価に作製することができる光合分波器を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては上記目
的を達成するため、複数の第１の導波路、第１のスラブ
導波路、複数の導波路を有するアレイ導波路回折格子、
第２のスラブ導波路及び複数の第２の導波路を備え、前
記各導波路が前記の順に接続形成された光合分波器にお
いて、前記第１のスラブ導波路との接続部における前記
複数の第１の導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路
との接続部における前記複数の第２の導波路の間隔との
比が、前記第１のスラブ導波路の焦点距離と、前記第２
のスラブ導波路の焦点距離との比と異なるように構成し
たのである。
的を達成するため、複数の第１の導波路、第１のスラブ
導波路、複数の導波路を有するアレイ導波路回折格子、
第２のスラブ導波路及び複数の第２の導波路を備え、前
記各導波路が前記の順に接続形成された光合分波器にお
いて、前記第１のスラブ導波路との接続部における前記
複数の第１の導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路
との接続部における前記複数の第２の導波路の間隔との
比が、前記第１のスラブ導波路の焦点距離と、前記第２
のスラブ導波路の焦点距離との比と異なるように構成し
たのである。
【０００７】好ましくは、前記第１のスラブ導波路との
接続部における前記複数の第１の導波路の間隔と、前記
第２のスラブ導波路との接続部における前記複数の第２
の導波路の間隔とが等しく、前記第１のスラブ導波路の
焦点距離と、前記第２のスラブ導波路の焦点距離とが異
なるように構成する。また好ましくは、前記第１のスラ
ブ導波路との接続部における前記複数の第１の導波路の
間隔と、前記第２のスラブ導波路との接続部における前
記複数の第２の導波路の間隔とが異なり、前記第１のス
ラブ導波路の焦点距離と、前記第２のスラブ導波路の焦
点距離とが等しくなるように構成する。
接続部における前記複数の第１の導波路の間隔と、前記
第２のスラブ導波路との接続部における前記複数の第２
の導波路の間隔とが等しく、前記第１のスラブ導波路の
焦点距離と、前記第２のスラブ導波路の焦点距離とが異
なるように構成する。また好ましくは、前記第１のスラ
ブ導波路との接続部における前記複数の第１の導波路の
間隔と、前記第２のスラブ導波路との接続部における前
記複数の第２の導波路の間隔とが異なり、前記第１のス
ラブ導波路の焦点距離と、前記第２のスラブ導波路の焦
点距離とが等しくなるように構成する。
【０００８】ここで、本明細書で使用する中心波長と
は、波長多重光から分波された光における中心波長をい
う。
は、波長多重光から分波された光における中心波長をい
う。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図４に基づいて詳細に説明する。光合分波器１は、
シリコン，ガラス等の基板２の上に石英系ガラス導波路
からなる複数の入力導波路３、入力側スラブ導波路４、
アレイ導波路回折格子５、出力側スラブ導波路６及び複
数の出力導波路７が当該順に接続形成されている。
乃至図４に基づいて詳細に説明する。光合分波器１は、
シリコン，ガラス等の基板２の上に石英系ガラス導波路
からなる複数の入力導波路３、入力側スラブ導波路４、
アレイ導波路回折格子５、出力側スラブ導波路６及び複
数の出力導波路７が当該順に接続形成されている。
【００１０】複数の入力導波路３は、一端がシリコン基
板２の端面に露出し、他端は入力側スラブ導波路４と、
図２（ａ）に示すように、導波路相互の間に間隔ΔＸ1
をおいて接続されている。このとき、複数の入力導波路
３は、いずれか１つに光ファイバ等の光導波路を介して
分波すべき波長多重光が入射される。入力側スラブ導波
路４は、Ｆ1の焦点距離を有する凹面型のスラブ導波路
で、特定の入力導波路３から入射した波長多重光を回折
させてアレイ導波路回折格子５へと出射する。
板２の端面に露出し、他端は入力側スラブ導波路４と、
図２（ａ）に示すように、導波路相互の間に間隔ΔＸ1
をおいて接続されている。このとき、複数の入力導波路
３は、いずれか１つに光ファイバ等の光導波路を介して
分波すべき波長多重光が入射される。入力側スラブ導波
路４は、Ｆ1の焦点距離を有する凹面型のスラブ導波路
で、特定の入力導波路３から入射した波長多重光を回折
させてアレイ導波路回折格子５へと出射する。
【００１１】アレイ導波路回折格子５は、複数の導波路
を有し、隣り合う導波路間の長さの差ΔＬ(＝光路長差)
を利用した回折格子で、入力側スラブ導波路４における
回折で広がった入射光をすべて受光するのに十分な数の
複数のチャンネル導波路を有している。アレイ導波路回
折格子５は、入力側スラブ導波路４側と出力側スラブ導
波路６側との両端における複数の導波路の間隔が等しく
設定されている。ここで、アレイ導波路回折格子５を構
成する複数の導波路は、接続損失を低減するため、入力
側スラブ導波路４や出力側スラブ導波路６との接続部を
テーパ状に拡大している。
を有し、隣り合う導波路間の長さの差ΔＬ(＝光路長差)
を利用した回折格子で、入力側スラブ導波路４における
回折で広がった入射光をすべて受光するのに十分な数の
複数のチャンネル導波路を有している。アレイ導波路回
折格子５は、入力側スラブ導波路４側と出力側スラブ導
波路６側との両端における複数の導波路の間隔が等しく
設定されている。ここで、アレイ導波路回折格子５を構
成する複数の導波路は、接続損失を低減するため、入力
側スラブ導波路４や出力側スラブ導波路６との接続部を
テーパ状に拡大している。
【００１２】出力側スラブ導波路６は、Ｆ2の焦点距離
を有する凹面型のスラブ導波路で、アレイ導波路回折格
子５を伝搬した波長多重光を複数の出力導波路７に集光
させる。このとき、波長多重光は、アレイ導波路回折格
子５における角分散によって複数の出力導波路７への集
光位置が波長毎に異なり、波長毎に別々の出力導波路７
へ出射される。
を有する凹面型のスラブ導波路で、アレイ導波路回折格
子５を伝搬した波長多重光を複数の出力導波路７に集光
させる。このとき、波長多重光は、アレイ導波路回折格
子５における角分散によって複数の出力導波路７への集
光位置が波長毎に異なり、波長毎に別々の出力導波路７
へ出射される。
【００１３】複数の出力導波路７は、一端がシリコン基
板２の端面に露出し、他端は出力側スラブ導波路６と、
図２（ｂ）に示すように、導波路相互の間に間隔ΔＸ2
をおいて接続されている。このとき、複数の入力導波路
３及び複数の出力導波路７は、入力側スラブ導波路４及
び出力側スラブ導波路６との接続部がローランド円上に
配置される。ここで、ローランド円とは、オウ面格子の
中央に立てた垂線を直径とし、その長さがオウ面の曲率
半径に等しく、しかも格子の刻線に垂直な面内にある円
をいう（共立出版株式会社発行「化学大辞典９」参
照）。
板２の端面に露出し、他端は出力側スラブ導波路６と、
図２（ｂ）に示すように、導波路相互の間に間隔ΔＸ2
をおいて接続されている。このとき、複数の入力導波路
３及び複数の出力導波路７は、入力側スラブ導波路４及
び出力側スラブ導波路６との接続部がローランド円上に
配置される。ここで、ローランド円とは、オウ面格子の
中央に立てた垂線を直径とし、その長さがオウ面の曲率
半径に等しく、しかも格子の刻線に垂直な面内にある円
をいう（共立出版株式会社発行「化学大辞典９」参
照）。
【００１４】光合分波器１は、以上のように構成され、
入力側スラブ導波路４との接続部における複数の入力導
波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６との接続
部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2との比が、
入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ
導波路６の焦点距離Ｆ2との比と異なることを特徴とす
る。
入力側スラブ導波路４との接続部における複数の入力導
波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６との接続
部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2との比が、
入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ
導波路６の焦点距離Ｆ2との比と異なることを特徴とす
る。
【００１５】即ち、光合分波器１は、入力側スラブ導波
路４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ
1と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の
出力導波路７の間隔ΔＸ2とが等しく、入力側スラブ導
波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ導波路６の焦点
距離Ｆ2とが異なるように構成する。また、光合分波器
１は、入力側スラブ導波路４との接続部における複数の
入力導波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６と
の接続部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2とが
異なり、入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力
側スラブ導波路６の焦点距離Ｆ2とが等しくなるように
構成する。
路４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ
1と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の
出力導波路７の間隔ΔＸ2とが等しく、入力側スラブ導
波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ導波路６の焦点
距離Ｆ2とが異なるように構成する。また、光合分波器
１は、入力側スラブ導波路４との接続部における複数の
入力導波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６と
の接続部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2とが
異なり、入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力
側スラブ導波路６の焦点距離Ｆ2とが等しくなるように
構成する。
【００１６】上記のように構成される光合分波器１は、
図５に示す凹面回折格子１０を用いて以下のように作動
原理を説明することができる。先ず、凹面回折格子１０
は、ピッチｄで格子が形成され、曲率半径をＲとする。
そして、凹面回折格子１０の表面に回折格子１０の中心
Ｏで接するローランド円１１（半径＝Ｒ／２）を考え
る。このとき、図５において、点Ｆは凹面回折格子１０
の焦点である。
図５に示す凹面回折格子１０を用いて以下のように作動
原理を説明することができる。先ず、凹面回折格子１０
は、ピッチｄで格子が形成され、曲率半径をＲとする。
そして、凹面回折格子１０の表面に回折格子１０の中心
Ｏで接するローランド円１１（半径＝Ｒ／２）を考え
る。このとき、図５において、点Ｆは凹面回折格子１０
の焦点である。
【００１７】ローランド円１１上の任意の位置に入力ス
リット１２を置き、入力スリット１２から光を入射させ
ると、この入射光は凹面回折格子１０で次の回折方程式
を満たす角度に回折され、ローランド円１１上の点に集
光する。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＝ｍλ……………（式１） ここで、θiは入射角、θoは出射角、ｎRはローランド
円１１内の媒体１３の屈折率、ｍは回折次数、λは波
長、ｄは回折格子のピッチである。
リット１２を置き、入力スリット１２から光を入射させ
ると、この入射光は凹面回折格子１０で次の回折方程式
を満たす角度に回折され、ローランド円１１上の点に集
光する。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＝ｍλ……………（式１） ここで、θiは入射角、θoは出射角、ｎRはローランド
円１１内の媒体１３の屈折率、ｍは回折次数、λは波
長、ｄは回折格子のピッチである。
【００１８】従って、前記集光位置に出力スリット１４
を形成すれば、特定波長λ、特定次数ｍの回折光だけを
出力することができる。ここで、光合分波器１は、前記
のように複数の入力導波路３及び複数の出力導波路７
は、入力側スラブ導波路４及び出力側スラブ導波路６と
の接続部がローランド円上に配置されている。
を形成すれば、特定波長λ、特定次数ｍの回折光だけを
出力することができる。ここで、光合分波器１は、前記
のように複数の入力導波路３及び複数の出力導波路７
は、入力側スラブ導波路４及び出力側スラブ導波路６と
の接続部がローランド円上に配置されている。
【００１９】従って、光合分波器１は、複数の入力導波
路３，入力側スラブ導波路４，入力側スラブ導波路４と
アレイ導波路回折格子５との接続部が、凹面回折格子１
０のそれぞれ入力スリット１２，媒体１３，格子面と対
応することになる。同様に、複数の出力導波路７，出力
側スラブ導波路６，アレイ導波路回折格子５と出力側ス
ラブ導波路６との接続部が、凹面回折格子１０のそれぞ
れ出力スリット１４，媒体１３，格子面と対応する。ま
た、入力側スラブ導波路４及び出力側スラブ導波路６の
焦点距離Ｆ1，Ｆ2は、凹面回折格子１０の焦点距離と対
応する。
路３，入力側スラブ導波路４，入力側スラブ導波路４と
アレイ導波路回折格子５との接続部が、凹面回折格子１
０のそれぞれ入力スリット１２，媒体１３，格子面と対
応することになる。同様に、複数の出力導波路７，出力
側スラブ導波路６，アレイ導波路回折格子５と出力側ス
ラブ導波路６との接続部が、凹面回折格子１０のそれぞ
れ出力スリット１４，媒体１３，格子面と対応する。ま
た、入力側スラブ導波路４及び出力側スラブ導波路６の
焦点距離Ｆ1，Ｆ2は、凹面回折格子１０の焦点距離と対
応する。
【００２０】ところで、光合分波器１は、アレイ導波路
回折格子５が複数のチャンネル導波路を有し、これら複
数のチャンネル導波路はＮ番目と(Ｎ＋１)番目の導波路
(Ｎは自然数)の光路長差ΔＬが一定に設定されている。
このため、アレイ導波路回折格子５は、入力側スラブ導
波路４との接続部から出力側スラブ導波路６との接続部
に至る全長を波長多重光が伝搬することで、凹面回折格
子１０と同一の回折作用をする。
回折格子５が複数のチャンネル導波路を有し、これら複
数のチャンネル導波路はＮ番目と(Ｎ＋１)番目の導波路
(Ｎは自然数)の光路長差ΔＬが一定に設定されている。
このため、アレイ導波路回折格子５は、入力側スラブ導
波路４との接続部から出力側スラブ導波路６との接続部
に至る全長を波長多重光が伝搬することで、凹面回折格
子１０と同一の回折作用をする。
【００２１】従って、光合分波器１は、図１において、
例えば、入力導波路３の４番目の導波路３ｄに入射した
波長多重光（中心波長λ1〜λ8，波長間隔Δλ）を、入
力側スラブ導波路４→アレイ導波路回折格子５→出力側
スラブ導波路６と伝送し、中心波長λ1〜λ8のそれぞれ
の光を分波して複数の出力導波路７へと出力する。この
とき、中心波長λ1の光は導波路７ａに、中心波長λ2の
光は導波路７ｂに、…………、中心波長λ8の光は導波
路７ｈに、それぞれ出力する。
例えば、入力導波路３の４番目の導波路３ｄに入射した
波長多重光（中心波長λ1〜λ8，波長間隔Δλ）を、入
力側スラブ導波路４→アレイ導波路回折格子５→出力側
スラブ導波路６と伝送し、中心波長λ1〜λ8のそれぞれ
の光を分波して複数の出力導波路７へと出力する。この
とき、中心波長λ1の光は導波路７ａに、中心波長λ2の
光は導波路７ｂに、…………、中心波長λ8の光は導波
路７ｈに、それぞれ出力する。
【００２２】このとき、本発明の光合分波器１において
は、入力側スラブ導波路４との接続部における複数の入
力導波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６との
接続部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2との比
が、入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側ス
ラブ導波路６の焦点距離Ｆ2との比と異なることを特徴
とする。
は、入力側スラブ導波路４との接続部における複数の入
力導波路３の間隔ΔＸ1と、出力側スラブ導波路６との
接続部における複数の出力導波路７の間隔ΔＸ2との比
が、入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側ス
ラブ導波路６の焦点距離Ｆ2との比と異なることを特徴
とする。
【００２３】このとき、光合分波器１は、２種類のロー
ランド円に基づいて、以下のように中心波長のずれを補
正して波長多重光を合波あるいは分波する機能を説明す
ることができる。先ず、複数の入力導波路３及び複数の
出力導波路７は、入力側スラブ導波路４及び出力側スラ
ブ導波路６との接続部が、図３に示す模式図において、
ローランド円２１上に配置されている場合を考える。
ランド円に基づいて、以下のように中心波長のずれを補
正して波長多重光を合波あるいは分波する機能を説明す
ることができる。先ず、複数の入力導波路３及び複数の
出力導波路７は、入力側スラブ導波路４及び出力側スラ
ブ導波路６との接続部が、図３に示す模式図において、
ローランド円２１上に配置されている場合を考える。
【００２４】凹面回折格子２０のローランド円２１に関
し、円２１上の点Ｂ1から波長λ、回折次数ｍの光を入
射させ、この入射光が凹面回折格子２０で回折されて円
２１上の他の点Ｃに集光するとき（この場合をケース１
とする）、回折方程式は前記式１の左辺にアレイ導波路
回折格子５で生じる位相差ｎcΔＬを加えた次式で示さ
れる。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλ………………（式２）
し、円２１上の点Ｂ1から波長λ、回折次数ｍの光を入
射させ、この入射光が凹面回折格子２０で回折されて円
２１上の他の点Ｃに集光するとき（この場合をケース１
とする）、回折方程式は前記式１の左辺にアレイ導波路
回折格子５で生じる位相差ｎcΔＬを加えた次式で示さ
れる。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλ………………（式２）
【００２５】ここで、ｎcはアレイ導波路回折格子５の
実効屈折率、ΔＬはアレイ導波路回折格子５の隣り合う
導波路間の光路長差である。また、点Ｂ1からｎΔＸ2
(ｎは整数)だけ離れたローランド円２１上の点Ｂ2から
波長λB2、回折次数ｍの光を入射させ、この入射光が凹
面回折格子２０で回折されて点Ｃに集光するとき（この
場合をケース２とする）、入射角をθB2とすると、上記
と同様にして、回折方程式は次式で示される。 ｎRｄ（sinθB2＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλB2………………（式３）
実効屈折率、ΔＬはアレイ導波路回折格子５の隣り合う
導波路間の光路長差である。また、点Ｂ1からｎΔＸ2
(ｎは整数)だけ離れたローランド円２１上の点Ｂ2から
波長λB2、回折次数ｍの光を入射させ、この入射光が凹
面回折格子２０で回折されて点Ｃに集光するとき（この
場合をケース２とする）、入射角をθB2とすると、上記
と同様にして、回折方程式は次式で示される。 ｎRｄ（sinθB2＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλB2………………（式３）
【００２６】従って、式２及び式３より次の式４が得ら
れる。 λB2−λ＝ｎRｄ／ｍ（sinθB2−sinθi）……………………（式４） 次に、図３において、複数の入力導波路３と入力側スラ
ブ導波路４との接続部が凹面回折格子２５のローランド
円２６上に、複数の出力導波路７と出力側スラブ導波路
６との接続部が、ローランド円２１上に配置されている
場合を考える。
れる。 λB2−λ＝ｎRｄ／ｍ（sinθB2−sinθi）……………………（式４） 次に、図３において、複数の入力導波路３と入力側スラ
ブ導波路４との接続部が凹面回折格子２５のローランド
円２６上に、複数の出力導波路７と出力側スラブ導波路
６との接続部が、ローランド円２１上に配置されている
場合を考える。
【００２７】ここで、凹面回折格子２０，２５は共通の
中点Ｏを有し、ローランド円２６上の点Ａ1は、ＯＢ1の
延長上にある。このとき、ローランド円２６上の点Ａ1
から波長λ、回折次数ｍの光を入射させ、この入射光が
凹面回折格子２５で回折されて点Ｃに集光するとき（こ
の場合をケース３とする）、ケース３はケース１と入射
角、出射角共に同じであるから、回折方程式は前記式２
と同一に表現される。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλ………………（式５）
中点Ｏを有し、ローランド円２６上の点Ａ1は、ＯＢ1の
延長上にある。このとき、ローランド円２６上の点Ａ1
から波長λ、回折次数ｍの光を入射させ、この入射光が
凹面回折格子２５で回折されて点Ｃに集光するとき（こ
の場合をケース３とする）、ケース３はケース１と入射
角、出射角共に同じであるから、回折方程式は前記式２
と同一に表現される。 ｎRｄ（sinθi＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλ………………（式５）
【００２８】また、点Ａ1からｎΔＸ1(ｎは整数)だけ離
れたローランド円２６上の点Ａ2から波長λA2、回折次
数ｍの光を入射させ、この入射光が点Ｃに集光するとき
（この場合をケース４とする）、入射角をθA2とする
と、上記と同様にして、回折方程式は次式で示される。 ｎRｄ（sinθA2＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλA2……………（式６）
れたローランド円２６上の点Ａ2から波長λA2、回折次
数ｍの光を入射させ、この入射光が点Ｃに集光するとき
（この場合をケース４とする）、入射角をθA2とする
と、上記と同様にして、回折方程式は次式で示される。 ｎRｄ（sinθA2＋sinθo）＋ｎcΔＬ＝ｍλA2……………（式６）
【００２９】従って、式５及び式６より次の式７が得ら
れる。 λA2−λ＝ｎRｄ／ｍ（sinθA2−sinθi）…………………（式７） このとき、θは十分に小さいのでsinθ≒θとし、λA2
−λ＝ΔλA、λB2−λ＝ΔλB、θA2−θi＝ΔθA、θ
B2−θi＝ΔθBとすると、式４及び式７は以下のように
書き換えられる。 ΔλB＝(ｎRｄ／ｍ)・ΔθB………………(式８) ΔλA＝(ｎRｄ／ｍ)・ΔθA………………(式９)
れる。 λA2−λ＝ｎRｄ／ｍ（sinθA2−sinθi）…………………（式７） このとき、θは十分に小さいのでsinθ≒θとし、λA2
−λ＝ΔλA、λB2−λ＝ΔλB、θA2−θi＝ΔθA、θ
B2−θi＝ΔθBとすると、式４及び式７は以下のように
書き換えられる。 ΔλB＝(ｎRｄ／ｍ)・ΔθB………………(式８) ΔλA＝(ｎRｄ／ｍ)・ΔθA………………(式９)
【００３０】ところで、入力側スラブ導波路４は焦点距
離がＦ1、出力側スラブ導波路６は焦点距離がＦ2である
から、図３より、次式が導かれる。 ｎΔＸ2≒Ｆ2ΔθB…………………………(式１０) ｎΔＸ1≒Ｆ1ΔθA…………………………(式１１) 従って、式１０，式１１を式８，式９にそれぞれ代入し
て得た式に基づいて、ΔλAとΔλBとの比を求めこれを
整理することにより、次式が得られる。 ΔλA＝(ΔＸ1／ΔＸ2)（Ｆ2／Ｆ1)ΔλB………………(式１２)
離がＦ1、出力側スラブ導波路６は焦点距離がＦ2である
から、図３より、次式が導かれる。 ｎΔＸ2≒Ｆ2ΔθB…………………………(式１０) ｎΔＸ1≒Ｆ1ΔθA…………………………(式１１) 従って、式１０，式１１を式８，式９にそれぞれ代入し
て得た式に基づいて、ΔλAとΔλBとの比を求めこれを
整理することにより、次式が得られる。 ΔλA＝(ΔＸ1／ΔＸ2)（Ｆ2／Ｆ1)ΔλB………………(式１２)
【００３１】この式１２を元に、入力側スラブ導波路４
の焦点距離Ｆ1、出力側スラブ導波路６の焦点距離Ｆ2、
ΔＸ1，ΔＸ2の関係について検討する。先ず、次に示す
式１３が成立する場合、 Ｆ1：Ｆ2＝ΔＸ1：ΔＸ2………………(式１３) ΔλA＝ΔλB……………………………(式１４) となる。
の焦点距離Ｆ1、出力側スラブ導波路６の焦点距離Ｆ2、
ΔＸ1，ΔＸ2の関係について検討する。先ず、次に示す
式１３が成立する場合、 Ｆ1：Ｆ2＝ΔＸ1：ΔＸ2………………(式１３) ΔλA＝ΔλB……………………………(式１４) となる。
【００３２】即ち、式１４は、複数の入力導波路３から
ローランド円２１に入射する光の位置に関し、入力導波
路３をｎ本、即ち、ｎΔＸ2ずらしたときの出力導波路
７での中心波長のずれ量と、ローランド円２６に入射さ
せる光の位置に関し、入力導波路３をｎ本、即ち、ｎΔ
Ｘ1ずらしたときの出力導波路７での中心波長のずれ量
とが同じであることを示している。
ローランド円２１に入射する光の位置に関し、入力導波
路３をｎ本、即ち、ｎΔＸ2ずらしたときの出力導波路
７での中心波長のずれ量と、ローランド円２６に入射さ
せる光の位置に関し、入力導波路３をｎ本、即ち、ｎΔ
Ｘ1ずらしたときの出力導波路７での中心波長のずれ量
とが同じであることを示している。
【００３３】従って、式１３の関係を満たす限り、入力
導波路３をｎ本ずらしたときの出力導波路７での中心波
長ずれ量は、アレイ導波路回折格子を用いた従来の光合
分波器と同じである。一方、次の式１５が成立する場合
には、 Ｆ1：Ｆ2≠ΔＸ1：ΔＸ2………………(式１５) ΔλA≠ΔλB……………………………(式１６) となる。
導波路３をｎ本ずらしたときの出力導波路７での中心波
長ずれ量は、アレイ導波路回折格子を用いた従来の光合
分波器と同じである。一方、次の式１５が成立する場合
には、 Ｆ1：Ｆ2≠ΔＸ1：ΔＸ2………………(式１５) ΔλA≠ΔλB……………………………(式１６) となる。
【００３４】即ち、式１６は、複数の入力導波路３から
ローランド円２１に入射する光の位置に関し、入力導波
路３をｎ本ずらしたとき（ｎΔＸ2ずらしたとき）の出
力導波路７での中心波長のずれ量と、ローランド円２６
に入射させる光の位置に関し、入力導波路３をｎ本ずら
したとき（ｎΔＸ1ずらしたとき）の出力導波路７での
中心波長のずれ量とが異なることを示している。
ローランド円２１に入射する光の位置に関し、入力導波
路３をｎ本ずらしたとき（ｎΔＸ2ずらしたとき）の出
力導波路７での中心波長のずれ量と、ローランド円２６
に入射させる光の位置に関し、入力導波路３をｎ本ずら
したとき（ｎΔＸ1ずらしたとき）の出力導波路７での
中心波長のずれ量とが異なることを示している。
【００３５】従って、ローランド円２６上の入力導波路
３をｎ本ずらしたときのローランド円２１上の出力導波
路７における中心波長のずれ量は、アレイ導波路回折格
子を用した従来の光合分波器と異なり、式１２から明ら
かなように、(ΔＸ1／ΔＸ2)（Ｆ2／Ｆ1)倍ずれること
になる。以上から、本発明の光合分波器１は、入力側ス
ラブ導波路４の焦点距離Ｆ1、出力側スラブ導波路６の
焦点距離Ｆ2、ΔＸ1，ΔＸ2を適切に設定すれば、作製
中に生じた中心波長のずれの度合いに応じて、複数の入
力導波路３のうち、波長多重光を入射させる入力導波路
３の位置をずらすことにより、目的とする中心波長の光
を複数の出力導波路７中の特定の出力導波路７に集光さ
せることができ、作製段階で生じた中心波長のばらつき
を補正することができる。
３をｎ本ずらしたときのローランド円２１上の出力導波
路７における中心波長のずれ量は、アレイ導波路回折格
子を用した従来の光合分波器と異なり、式１２から明ら
かなように、(ΔＸ1／ΔＸ2)（Ｆ2／Ｆ1)倍ずれること
になる。以上から、本発明の光合分波器１は、入力側ス
ラブ導波路４の焦点距離Ｆ1、出力側スラブ導波路６の
焦点距離Ｆ2、ΔＸ1，ΔＸ2を適切に設定すれば、作製
中に生じた中心波長のずれの度合いに応じて、複数の入
力導波路３のうち、波長多重光を入射させる入力導波路
３の位置をずらすことにより、目的とする中心波長の光
を複数の出力導波路７中の特定の出力導波路７に集光さ
せることができ、作製段階で生じた中心波長のばらつき
を補正することができる。
【００３６】ここで、光合分波器１は、複数の出力導波
路７側から個々の波長の光を入射させ、出力側スラブ導
波路６→アレイ導波路回折格子５→入力側スラブ導波路
４を伝搬させることによって波長多重光に合波させて複
数の入力導波路３の特定の導波路に出射させることもで
きる。
路７側から個々の波長の光を入射させ、出力側スラブ導
波路６→アレイ導波路回折格子５→入力側スラブ導波路
４を伝搬させることによって波長多重光に合波させて複
数の入力導波路３の特定の導波路に出射させることもで
きる。
【００３７】実施例１ 図１に示す光合分波器１において、入力側スラブ導波路
４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ１
と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の出
力導波路７の間隔ΔＸ2とを２０μｍに設定し（ΔＸ１
＝ΔＸ2＝２０μｍ）、入力側スラブ導波路４の焦点距
離Ｆ1＝１００３２μｍ、出力側スラブ導波路６の焦点
距離Ｆ2＝８７７８μｍ（Ｆ1：Ｆ2＝８：７）に設定
し、動作波長域1.５５μｍ帯で、波長間隔１００GHz(＝
約0.８ｎｍ)の下に、作動特性を以下のように測定し
た。
４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ１
と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の出
力導波路７の間隔ΔＸ2とを２０μｍに設定し（ΔＸ１
＝ΔＸ2＝２０μｍ）、入力側スラブ導波路４の焦点距
離Ｆ1＝１００３２μｍ、出力側スラブ導波路６の焦点
距離Ｆ2＝８７７８μｍ（Ｆ1：Ｆ2＝８：７）に設定
し、動作波長域1.５５μｍ帯で、波長間隔１００GHz(＝
約0.８ｎｍ)の下に、作動特性を以下のように測定し
た。
【００３８】光合分波器１は、他の設計諸元を、多重チ
ャンネル数Ｎch＝１６、線分散＝２５μｍ／ｎｍ、アレ
イ導波路回折格子５の導波路ピッチ＝１５μｍ、導波路
数＝１００本、光路長差ΔＬ＝６5.３μｍ、回折次数ｍ
＝６１、FSR(Free SpectralRange)＝２５ｎｍとした。
ここで、光合分波器１は、Ｆ1：Ｆ2＝８：７としたの
で、式１３よりΔＸ1：ΔＸ2＝８：７であれば、前記従
来の光合分波器と同一の特性を示すことになる。
ャンネル数Ｎch＝１６、線分散＝２５μｍ／ｎｍ、アレ
イ導波路回折格子５の導波路ピッチ＝１５μｍ、導波路
数＝１００本、光路長差ΔＬ＝６5.３μｍ、回折次数ｍ
＝６１、FSR(Free SpectralRange)＝２５ｎｍとした。
ここで、光合分波器１は、Ｆ1：Ｆ2＝８：７としたの
で、式１３よりΔＸ1：ΔＸ2＝８：７であれば、前記従
来の光合分波器と同一の特性を示すことになる。
【００３９】しかし、光合分波器１は、ΔＸ１＝ΔＸ2
としたので、前記従来の光合分波器とは特性が異なる。
そこで、光合分波器１において、波長多重光を入射する
入力導波路３を４番目の導波路３ｄから５番目の導波路
３ｅに１つずらしたとき、特定の出力導波路７ｄに出射
される光の波長特性を測定した。その結果を図４示す。
としたので、前記従来の光合分波器とは特性が異なる。
そこで、光合分波器１において、波長多重光を入射する
入力導波路３を４番目の導波路３ｄから５番目の導波路
３ｅに１つずらしたとき、特定の出力導波路７ｄに出射
される光の波長特性を測定した。その結果を図４示す。
【００４０】図４において、点線は、波長多重光を４番
目の導波路３ｄに入射させたとき、出力導波路７ｄで測
定された出射光の波長特性、実線は、波長多重光を５番
目の導波路３ｅに入射させたとき、出力導波路７ｄで測
定された出射光の波長特性である。図４から明らかなよ
うに、光合分波器１は、入力導波路３を１つずらすこと
で、出力導波路７へ出射される光の中心波長が、前記し
た従来の光合分波器では0.８ｎｍであるのに対し、0.７
ｎｍ長波長側へずれたことが分かる。
目の導波路３ｄに入射させたとき、出力導波路７ｄで測
定された出射光の波長特性、実線は、波長多重光を５番
目の導波路３ｅに入射させたとき、出力導波路７ｄで測
定された出射光の波長特性である。図４から明らかなよ
うに、光合分波器１は、入力導波路３を１つずらすこと
で、出力導波路７へ出射される光の中心波長が、前記し
た従来の光合分波器では0.８ｎｍであるのに対し、0.７
ｎｍ長波長側へずれたことが分かる。
【００４１】この結果は、使用した波長多重光の波長間
隔0.８ｎｍに対し、式１２より計算される１×７／８×
0.８＝0.７ｎｍと一致した。このことから、本実施例の
光合分波器１は、波長補正が可能であることが確認され
た。ここで、本実施例の光合分波器１は、入力導波路３
における導波路を変更することで中心波長のずれを補正
した。しかし、光合分波器１は、出力導波路における導
波路を同様に変更することで、中心波長のずれを補正す
ることもできる。
隔0.８ｎｍに対し、式１２より計算される１×７／８×
0.８＝0.７ｎｍと一致した。このことから、本実施例の
光合分波器１は、波長補正が可能であることが確認され
た。ここで、本実施例の光合分波器１は、入力導波路３
における導波路を変更することで中心波長のずれを補正
した。しかし、光合分波器１は、出力導波路における導
波路を同様に変更することで、中心波長のずれを補正す
ることもできる。
【００４２】また、光合分波器１は、アレイ導波路回折
格子５において、入力側スラブ導波路４側と出力側スラ
ブ導波路６側との両端における複数の導波路の間隔を等
しく設定したが異ならせてもよいことは言うまでもな
い。更に、入力導波路３や出力導波路７の導波路の数
は、使用する波長多重光の数とは関係なく、設計に応じ
て適宜変更することができる。
格子５において、入力側スラブ導波路４側と出力側スラ
ブ導波路６側との両端における複数の導波路の間隔を等
しく設定したが異ならせてもよいことは言うまでもな
い。更に、入力導波路３や出力導波路７の導波路の数
は、使用する波長多重光の数とは関係なく、設計に応じ
て適宜変更することができる。
【００４３】実施例２ 図１に示す光合分波器１において、入力側スラブ導波路
４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ1
と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の出
力導波路７の間隔ΔＸ2とを、それぞれΔＸ1＝１５μ
ｍ，ΔＸ2＝２０μｍ（ΔＸ1：ΔＸ2＝３：４）とし、
入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ
導波路６の焦点距離Ｆ2とを等しく設定し、他の設計諸
元を実施例１と同じに設定した。
４との接続部における複数の入力導波路３の間隔ΔＸ1
と、出力側スラブ導波路６との接続部における複数の出
力導波路７の間隔ΔＸ2とを、それぞれΔＸ1＝１５μ
ｍ，ΔＸ2＝２０μｍ（ΔＸ1：ΔＸ2＝３：４）とし、
入力側スラブ導波路４の焦点距離Ｆ1と、出力側スラブ
導波路６の焦点距離Ｆ2とを等しく設定し、他の設計諸
元を実施例１と同じに設定した。
【００４４】このとき、本実施例の光合分波器１におい
て、波長多重光を入射する入力導波路３を４番目の導波
路３ｄから５番目の導波路３ｅに１つずらすと、出力導
波路７へ出射される光の中心波長のずれ量は、前記従来
の光合分波器において入力導波路を１つずらしたときの
出力導波路での中心波長のずれ量に対し、式１２より３
／４となる。
て、波長多重光を入射する入力導波路３を４番目の導波
路３ｄから５番目の導波路３ｅに１つずらすと、出力導
波路７へ出射される光の中心波長のずれ量は、前記従来
の光合分波器において入力導波路を１つずらしたときの
出力導波路での中心波長のずれ量に対し、式１２より３
／４となる。
【００４５】そこで、本実施例の光合分波器１におい
て、入力導波路３を１つずらしたときの特定の１つの出
力導波路７における中心波長のずれを測定したところ、
0.６１ｎｍであった。この結果は、使用した波長多重光
の波長間隔0.８ｎｍの式１２に基づく３／４の値である
0.６ｎｍとほぼ一致した。このことから、本実施例の光
合分波器１においても、波長補正が可能であることが確
認された。
て、入力導波路３を１つずらしたときの特定の１つの出
力導波路７における中心波長のずれを測定したところ、
0.６１ｎｍであった。この結果は、使用した波長多重光
の波長間隔0.８ｎｍの式１２に基づく３／４の値である
0.６ｎｍとほぼ一致した。このことから、本実施例の光
合分波器１においても、波長補正が可能であることが確
認された。
【００４６】
【発明の効果】本発明によれば、アレイ導波路回折格子
を用いても適正に中心波長のずれを補正して波長多重光
を合波あるいは分波することが可能な光合分波器を歩留
まりよく安価に提供することができる。
を用いても適正に中心波長のずれを補正して波長多重光
を合波あるいは分波することが可能な光合分波器を歩留
まりよく安価に提供することができる。
【図１】本発明の光合分波器の平面図である。
【図２】複数の入力導波路の入力側スラブ導波路側にお
ける間隔ΔＸ1（ａ）と、複数の出力導波路の出力側ス
ラブ導波路側における間隔ΔＸ2（ｂ）とを示す拡大平
面図である。
ける間隔ΔＸ1（ａ）と、複数の出力導波路の出力側ス
ラブ導波路側における間隔ΔＸ2（ｂ）とを示す拡大平
面図である。
【図３】図１の光合分波器の機能を説明する模式図であ
る。
る。
【図４】図１の光合分波器において、波長多重光を入射
させる入力導波路を１つずらしたときに特定の出力導波
路で測定された出射光の波長特性図である。
させる入力導波路を１つずらしたときに特定の出力導波
路で測定された出射光の波長特性図である。
【図５】図１の光合分波器の作動原理を凹面回折格子を
用いて説明する模式図である。
用いて説明する模式図である。
１ 光合分波器 ２ 基板 ３ 複数の入力導波路（複数の第１の導波
路） ４ 入力側スラブ導波路（第１のスラブ導波
路） ５ アレイ導波路回折格子 ６ 出力側スラブ導波路（第２のスラブ導波
路） ７ 複数の出力導波路（複数の第２の導波
路） １０ 凹面回折格子 １１ ローランド円 １２ 入力スリット １３ 媒体 １４ 出力スリット ２０，２５ 凹面回折格子 ２１，２６ ローランド円 θi 入射角 θo 出射角
路） ４ 入力側スラブ導波路（第１のスラブ導波
路） ５ アレイ導波路回折格子 ６ 出力側スラブ導波路（第２のスラブ導波
路） ７ 複数の出力導波路（複数の第２の導波
路） １０ 凹面回折格子 １１ ローランド円 １２ 入力スリット １３ 媒体 １４ 出力スリット ２０，２５ 凹面回折格子 ２１，２６ ローランド円 θi 入射角 θo 出射角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 完二 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA03 KA12 KA13 LA01 LA19 QA04 TA42
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の第１の導波路、第１のスラブ導波
路、複数の導波路を有するアレイ導波路回折格子、第２
のスラブ導波路及び複数の第２の導波路を備え、前記各
導波路が前記の順に接続形成された光合分波器におい
て、 前記第１のスラブ導波路との接続部における前記複数の
第１の導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路との接
続部における前記複数の第２の導波路の間隔との比が、 前記第１のスラブ導波路の焦点距離と、前記第２のスラ
ブ導波路の焦点距離との比と異なることを特徴とする光
合分波器。 - 【請求項２】 前記第１のスラブ導波路との接続部にお
ける前記複数の第１の導波路の間隔と、前記第２のスラ
ブ導波路との接続部における前記複数の第２の導波路の
間隔とが等しく、 前記第１のスラブ導波路の焦点距離と、前記第２のスラ
ブ導波路の焦点距離とが異なる、請求項１の光合分波
器。 - 【請求項３】 前記第１のスラブ導波路との接続部にお
ける前記複数の第１の導波路の間隔と、前記第２のスラ
ブ導波路との接続部における前記複数の第２の導波路の
間隔とが異なり、 前記第１のスラブ導波路の焦点距離と、前記第２のスラ
ブ導波路の焦点距離とが等しい、請求項１の光合分波
器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10300684A JP2000131540A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 光合分波器 |
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