JP2000113442A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2000113442A JP2000113442A JP10288133A JP28813398A JP2000113442A JP 2000113442 A JP2000113442 A JP 2000113442A JP 10288133 A JP10288133 A JP 10288133A JP 28813398 A JP28813398 A JP 28813398A JP 2000113442 A JP2000113442 A JP 2000113442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- recording medium
- magnetic recording
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高密度磁気記録に適するように改良された面
内及び垂直磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 主記録層であるＣｏ合金系の磁性膜１４
の上下の高磁気異方性エネルギーをもつ磁性膜１３，１
５を設けることにより、面内磁気記録媒体においては耐
熱揺らぎ特性の改善を図り、垂直磁気記録媒体において
は媒体ノイズを低減することにより、１０Ｇｂ／ｉｎ2
以上の高密度磁気記録で必要な耐熱揺らぎ性と低ノイズ
特性を合わせ持った磁気記録媒体を実現する。
内及び垂直磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 主記録層であるＣｏ合金系の磁性膜１４
の上下の高磁気異方性エネルギーをもつ磁性膜１３，１
５を設けることにより、面内磁気記録媒体においては耐
熱揺らぎ特性の改善を図り、垂直磁気記録媒体において
は媒体ノイズを低減することにより、１０Ｇｂ／ｉｎ2
以上の高密度磁気記録で必要な耐熱揺らぎ性と低ノイズ
特性を合わせ持った磁気記録媒体を実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度磁気記録に
適する磁性膜を有する磁気記録媒体に関する。
適する磁性膜を有する磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在実用化されている磁気ディスク装置
は、面内磁気記録方式を採用している。面内磁気記録方
式では、ディスク基板面と平行な方向に磁化し易い面内
磁気記録媒体に、基板と平行な面内磁区を高密度に形成
することが技術課題となっている。この面内磁気記録媒
体の記録密度を伸ばすためには、保磁力を向上するとと
もに磁性膜厚を減少しなければならない。しかし、磁性
膜厚を小さくしすぎると、熱の影響で記録磁化が減少し
たり、消失する問題に遭遇する。このような磁化の熱揺
らぎによる影響が顕著になる磁性膜厚は、Ｃｏ合金系で
は２０ｎｍ以下とされている。
は、面内磁気記録方式を採用している。面内磁気記録方
式では、ディスク基板面と平行な方向に磁化し易い面内
磁気記録媒体に、基板と平行な面内磁区を高密度に形成
することが技術課題となっている。この面内磁気記録媒
体の記録密度を伸ばすためには、保磁力を向上するとと
もに磁性膜厚を減少しなければならない。しかし、磁性
膜厚を小さくしすぎると、熱の影響で記録磁化が減少し
たり、消失する問題に遭遇する。このような磁化の熱揺
らぎによる影響が顕著になる磁性膜厚は、Ｃｏ合金系で
は２０ｎｍ以下とされている。
【０００３】一方、垂直磁気記録方式は、磁性膜厚が面
内媒体の場合に比べて大きくとれるため、熱揺らぎに強
くしかも高密度磁気記録に適した方式として注目され、
垂直磁気記録に適した媒体の構造などが提案されてい
る。Ｃｏ合金系材料からなる垂直磁化膜によれば３００
ＫＦＣＩ以上の高線記録密度が実現できることが報告さ
れている。
内媒体の場合に比べて大きくとれるため、熱揺らぎに強
くしかも高密度磁気記録に適した方式として注目され、
垂直磁気記録に適した媒体の構造などが提案されてい
る。Ｃｏ合金系材料からなる垂直磁化膜によれば３００
ＫＦＣＩ以上の高線記録密度が実現できることが報告さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】面内磁気記録媒体にお
いて、Ｃｏ合金系磁性膜を用いた記録媒体の高密度化を
進めた場合、これまでのトレンドを延長すると１０Ｇｂ
／ｉｎ2以上の記録密度を実現するためには磁性膜の厚
さを２０ｎｍ以下にしなければならない見通しである。
熱揺らぎの影響を防いで記録密度を向上するためには、
磁性膜の磁気異方性エネルギーがＣｏ合金系材料に比べ
て高いＳｍ−Ｃｏ，Ｐｔ−Ｃｏなどの規則合金を代替材
料として使用することが考えられる。しかし、磁気記録
媒体としては、耐熱揺らぎ性に加えて、記録分解能、媒
体ノイズ、耐食性などの他の条件も満足することが必要
であり、Ｓｍ−Ｃｏ，Ｐｔ−Ｃｏなどの規則合金などで
は必ずしもこれらの条件は実用に耐える段階に至ってい
ない。
いて、Ｃｏ合金系磁性膜を用いた記録媒体の高密度化を
進めた場合、これまでのトレンドを延長すると１０Ｇｂ
／ｉｎ2以上の記録密度を実現するためには磁性膜の厚
さを２０ｎｍ以下にしなければならない見通しである。
熱揺らぎの影響を防いで記録密度を向上するためには、
磁性膜の磁気異方性エネルギーがＣｏ合金系材料に比べ
て高いＳｍ−Ｃｏ，Ｐｔ−Ｃｏなどの規則合金を代替材
料として使用することが考えられる。しかし、磁気記録
媒体としては、耐熱揺らぎ性に加えて、記録分解能、媒
体ノイズ、耐食性などの他の条件も満足することが必要
であり、Ｓｍ−Ｃｏ，Ｐｔ−Ｃｏなどの規則合金などで
は必ずしもこれらの条件は実用に耐える段階に至ってい
ない。
【０００５】また、垂直磁気記録媒体では、１０Ｇｂ／
ｉｎ2の記録密度を達成するためには、媒体ノイズの低
減を図ることが必要になっている。このように、１０Ｇ
ｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記録が可能な記録媒体とし
ては、面内磁気記録媒体においては耐熱揺らぎ特性の向
上が、垂直磁気記録媒体においては媒体ノイズの低減が
必要である。本発明は、耐熱揺らぎ性に優れた面内磁気
記録媒体及び低ノイズ化を図った垂直磁気記録媒体を提
供し、これにより１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記
録再生装置の実現を容易ならしめることを目的とする。
ｉｎ2の記録密度を達成するためには、媒体ノイズの低
減を図ることが必要になっている。このように、１０Ｇ
ｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記録が可能な記録媒体とし
ては、面内磁気記録媒体においては耐熱揺らぎ特性の向
上が、垂直磁気記録媒体においては媒体ノイズの低減が
必要である。本発明は、耐熱揺らぎ性に優れた面内磁気
記録媒体及び低ノイズ化を図った垂直磁気記録媒体を提
供し、これにより１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記
録再生装置の実現を容易ならしめることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】面内磁気記録媒体の耐熱
揺らぎ特性を詳細に調べた結果、磁性膜の一部に磁気異
方性エネルギーの低い領域が形成され、この部分から記
録磁化の劣化が進行することが判明した。従って、耐熱
揺らぎ特性を改善するためには、この領域の形成を抑制
することが効果的である。
揺らぎ特性を詳細に調べた結果、磁性膜の一部に磁気異
方性エネルギーの低い領域が形成され、この部分から記
録磁化の劣化が進行することが判明した。従って、耐熱
揺らぎ特性を改善するためには、この領域の形成を抑制
することが効果的である。
【０００７】また、垂直磁気記録媒体の記録磁化状態を
磁気力顕微鏡や走査型スピン電子検出型顕微鏡によって
調べた結果、大部分のノイズは媒体面に存在する逆磁区
や磁化のミクロ的な揺らぎが原因であることが判明し
た。媒体ノイズを減らすためには、逆磁区を減らすとと
もに、媒体の表面もしくは裏表面に存在するミクロな磁
化の揺らぎを減らすことが必要である。
磁気力顕微鏡や走査型スピン電子検出型顕微鏡によって
調べた結果、大部分のノイズは媒体面に存在する逆磁区
や磁化のミクロ的な揺らぎが原因であることが判明し
た。媒体ノイズを減らすためには、逆磁区を減らすとと
もに、媒体の表面もしくは裏表面に存在するミクロな磁
化の揺らぎを減らすことが必要である。
【０００８】実験の結果、上記目的を達成するのに以下
の方法を用いれば良いことが明らかになった。面内磁気
記録及び垂直磁気記録において最も一般的に使用され、
また検討されている媒体の磁性膜材料は六方稠密（ｈｃ
ｐ）構造を持つＣｏ合金材料である。Ｃｏ合金系面内磁
気記録媒体において、磁気異方性エネルギーが低い領域
は膜の下層もしくは上層の界面近傍に存在する。すなわ
ち、磁性膜の成長初期層に相当する下層部分には結晶性
の劣った領域が存在し、かつ上層表面は起伏が存在した
り、磁性膜を構成する元素の偏析減少によって生じた磁
気異方性エネルギーの小さい領域が存在することが明ら
かになった。下層部分に存在する結晶性の劣った領域の
磁気異方性エネルギーも減少していることが確認され
た。
の方法を用いれば良いことが明らかになった。面内磁気
記録及び垂直磁気記録において最も一般的に使用され、
また検討されている媒体の磁性膜材料は六方稠密（ｈｃ
ｐ）構造を持つＣｏ合金材料である。Ｃｏ合金系面内磁
気記録媒体において、磁気異方性エネルギーが低い領域
は膜の下層もしくは上層の界面近傍に存在する。すなわ
ち、磁性膜の成長初期層に相当する下層部分には結晶性
の劣った領域が存在し、かつ上層表面は起伏が存在した
り、磁性膜を構成する元素の偏析減少によって生じた磁
気異方性エネルギーの小さい領域が存在することが明ら
かになった。下層部分に存在する結晶性の劣った領域の
磁気異方性エネルギーも減少していることが確認され
た。
【０００９】本発明では、改良された媒体構造を提供す
るため、磁性膜が少なくとも３層からなる磁性膜を採用
することによって、上記の問題を解決するものである。
ここで下層（基板側）と上層（表面側）の磁性膜の磁気
異方性エネルギー（基板側：Ｋｕb，表面側：Ｋｕs）を
中間の磁性層の磁気異方性エネルギー（Ｋｕm）に比べ
て大きくするものである。
るため、磁性膜が少なくとも３層からなる磁性膜を採用
することによって、上記の問題を解決するものである。
ここで下層（基板側）と上層（表面側）の磁性膜の磁気
異方性エネルギー（基板側：Ｋｕb，表面側：Ｋｕs）を
中間の磁性層の磁気異方性エネルギー（Ｋｕm）に比べ
て大きくするものである。
【００１０】また、垂直磁気記録媒体の主なノイズ要因
は、磁性膜に形成される逆磁区であることが明らかにな
った。この原因は、垂直磁化膜を一方向に垂直磁化する
と媒体表面には強い反磁界が作用し、この反磁界の作用
で、垂直磁化した方向とは逆の向きを持つ、いわゆる逆
磁区が形成されるものである。この逆磁区の形成は、磁
性膜の表面側だけでなく裏面側からも同様に生ずる。こ
の逆磁区の形成を妨げるためには、磁気異方性エネルギ
ーの高い垂直磁化膜を採用する必要がある。磁気異方性
エネルギーとして、３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以上あるこ
とが望ましい。しかし、磁性膜全体を高い磁気異方性エ
ネルギーを持つ材料で構成すると、媒体ノイズが大きく
なったり、あるいは媒体保磁力が大きくなりすぎて記録
ヘッドでの記録が困難になるといった問題が生ずる。
は、磁性膜に形成される逆磁区であることが明らかにな
った。この原因は、垂直磁化膜を一方向に垂直磁化する
と媒体表面には強い反磁界が作用し、この反磁界の作用
で、垂直磁化した方向とは逆の向きを持つ、いわゆる逆
磁区が形成されるものである。この逆磁区の形成は、磁
性膜の表面側だけでなく裏面側からも同様に生ずる。こ
の逆磁区の形成を妨げるためには、磁気異方性エネルギ
ーの高い垂直磁化膜を採用する必要がある。磁気異方性
エネルギーとして、３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以上あるこ
とが望ましい。しかし、磁性膜全体を高い磁気異方性エ
ネルギーを持つ材料で構成すると、媒体ノイズが大きく
なったり、あるいは媒体保磁力が大きくなりすぎて記録
ヘッドでの記録が困難になるといった問題が生ずる。
【００１１】そこで本発明では、先の面内媒体と同様
に、磁性膜が少なくとも３層からなる磁性膜を採用する
ことによって、上記の問題を解決するものである。ここ
で下層（基板側）と上層（表面側）の磁性膜の磁気異方
性エネルギー（基板側：Ｋｕb，表面側：Ｋｕs）を中間
の磁性層の磁気異方性エネルギーＫｕmに比べて大きく
するものである。Ｋｕb，Ｋｕsの望ましい範囲は３×１
０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕb≦５×１０7ｅｒｇ／ｃｃ、３
×１０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕs≦５×１０7ｅｒｇ／ｃｃ
である。３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以下では、逆磁区の形
成を妨げることが困難になり、また、５×１０7ｅｒｇ
／ｃｃを越えると記録ヘッドによる記録が困難になった
り、媒体ノイズが増大するという望ましくない効果が生
ずる。
に、磁性膜が少なくとも３層からなる磁性膜を採用する
ことによって、上記の問題を解決するものである。ここ
で下層（基板側）と上層（表面側）の磁性膜の磁気異方
性エネルギー（基板側：Ｋｕb，表面側：Ｋｕs）を中間
の磁性層の磁気異方性エネルギーＫｕmに比べて大きく
するものである。Ｋｕb，Ｋｕsの望ましい範囲は３×１
０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕb≦５×１０7ｅｒｇ／ｃｃ、３
×１０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕs≦５×１０7ｅｒｇ／ｃｃ
である。３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以下では、逆磁区の形
成を妨げることが困難になり、また、５×１０7ｅｒｇ
／ｃｃを越えると記録ヘッドによる記録が困難になった
り、媒体ノイズが増大するという望ましくない効果が生
ずる。
【００１２】中間の磁性層の磁気異方性エネルギーＫｕ
mの値としては、１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕm＜３×
１０6ｅｒｇ／ｃｃの範囲が適当である。これは低ノイ
ズ特性を持つＣｏ合金系磁性膜の典型的な値であり、実
用的にも使い易い範囲となっている。磁気異方性エネル
ギーの値は磁性膜の組成に依存するため、単層の磁性膜
を形成してこの磁気トルク特性を測定することによって
決定できる。正確な値を求めるためには、それぞれの組
成からなる磁性膜の単結晶膜を形成して、その磁気トル
ク曲線から磁気異方性エネルギーの値を求める方法を採
るのが適当である。
mの値としては、１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕm＜３×
１０6ｅｒｇ／ｃｃの範囲が適当である。これは低ノイ
ズ特性を持つＣｏ合金系磁性膜の典型的な値であり、実
用的にも使い易い範囲となっている。磁気異方性エネル
ギーの値は磁性膜の組成に依存するため、単層の磁性膜
を形成してこの磁気トルク特性を測定することによって
決定できる。正確な値を求めるためには、それぞれの組
成からなる磁性膜の単結晶膜を形成して、その磁気トル
ク曲線から磁気異方性エネルギーの値を求める方法を採
るのが適当である。
【００１３】面内磁気記録媒体においても、それぞれの
磁性膜の磁気異方性エネルギー範囲は上記の垂直磁気記
録媒体と同様に設定すれば、目的の効果が得られること
を確認した。ここで、下層側に設ける磁気異方性エネル
ギーの高い磁性膜層は、中間の層に用いるＣｏ合金磁性
膜と同様な結晶構造であるｈｃｐ構造を持つ方が望まし
い。これは、媒体を構成する磁性膜は多結晶膜である
が、多結晶膜を構成する個々の磁性結晶粒は下地膜との
エピタキシャル成長によって成長するため、磁性結晶粒
が下層と中間層で連続して成長するためには同一の結晶
構造を持つ方が望ましいからである。これに対し、上層
に設ける磁気異方性エネルギーの高い膜は必ずしもｈｃ
ｐ構造を用いる必要はない。Ｃｏ合金以外のＰｔ／Ｃ
ｏ，Ｐｄ／Ｃｏなどの多層膜からなる垂直磁化膜、ある
いはＴｂＦｅＣｏなどの希土類元素を含む非晶質構造を
持つ垂直磁化膜は、磁気異方性エネルギーがいずれも３
×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以上であるが、このような膜を用
いることも可能である。
磁性膜の磁気異方性エネルギー範囲は上記の垂直磁気記
録媒体と同様に設定すれば、目的の効果が得られること
を確認した。ここで、下層側に設ける磁気異方性エネル
ギーの高い磁性膜層は、中間の層に用いるＣｏ合金磁性
膜と同様な結晶構造であるｈｃｐ構造を持つ方が望まし
い。これは、媒体を構成する磁性膜は多結晶膜である
が、多結晶膜を構成する個々の磁性結晶粒は下地膜との
エピタキシャル成長によって成長するため、磁性結晶粒
が下層と中間層で連続して成長するためには同一の結晶
構造を持つ方が望ましいからである。これに対し、上層
に設ける磁気異方性エネルギーの高い膜は必ずしもｈｃ
ｐ構造を用いる必要はない。Ｃｏ合金以外のＰｔ／Ｃ
ｏ，Ｐｄ／Ｃｏなどの多層膜からなる垂直磁化膜、ある
いはＴｂＦｅＣｏなどの希土類元素を含む非晶質構造を
持つ垂直磁化膜は、磁気異方性エネルギーがいずれも３
×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以上であるが、このような膜を用
いることも可能である。
【００１４】磁性層の厚さとしては、面内磁気記録媒体
においては１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度を実現する
ためには、磁性膜の総厚は５〜２５ｎｍの範囲が適当で
ある。上層及び下層の厚さはそれぞれ少なくとも１ｎｍ
は必要であり、上層と下層の合計は中間層の厚さより小
さい方が望ましい。垂直磁気記録媒体においては、１０
Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度を実現するためには磁性膜
の総厚は１０〜５０ｎｍの範囲が適当である。この場合
も、上層及び下層の厚さはそれぞれ少なくとも１ｎｍは
必要であり、上層と下層の合計は中間層の厚さより小さ
い方が望ましい。
においては１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度を実現する
ためには、磁性膜の総厚は５〜２５ｎｍの範囲が適当で
ある。上層及び下層の厚さはそれぞれ少なくとも１ｎｍ
は必要であり、上層と下層の合計は中間層の厚さより小
さい方が望ましい。垂直磁気記録媒体においては、１０
Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度を実現するためには磁性膜
の総厚は１０〜５０ｎｍの範囲が適当である。この場合
も、上層及び下層の厚さはそれぞれ少なくとも１ｎｍは
必要であり、上層と下層の合計は中間層の厚さより小さ
い方が望ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明による磁気記録媒
体の構成を示す断面模式図である。非磁性基板１１の上
に、磁性膜の結晶配向や磁性結晶粒径の制御を行うため
の下地膜１２が形成される。下地膜１２は２層以上の多
層膜として形成されることもある。また、垂直磁気記録
媒体においては、下地膜全体もしくは一部に軟磁性膜が
設けられることもある。磁性膜は下層磁性膜１３、中間
磁性膜１４、及び上層磁性膜１５の少なくとも３層から
なり、それぞれの磁気異方性エネルギーの関係は、３×
１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕb，Ｋｕs＜５×１０7ｅｒｇ／
ｃｃ，１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕm＜３×１０6ｅｒ
ｇ／ｃｃとなっている。ここに磁気異方性エネルギー値
は、基板側：Ｋｕb、表面側：Ｋｕs、中間の層：Ｋｕm
である。上層磁性膜１５の上には保護膜１６及び潤滑膜
１７が形成される。
施の形態を説明する。図１は、本発明による磁気記録媒
体の構成を示す断面模式図である。非磁性基板１１の上
に、磁性膜の結晶配向や磁性結晶粒径の制御を行うため
の下地膜１２が形成される。下地膜１２は２層以上の多
層膜として形成されることもある。また、垂直磁気記録
媒体においては、下地膜全体もしくは一部に軟磁性膜が
設けられることもある。磁性膜は下層磁性膜１３、中間
磁性膜１４、及び上層磁性膜１５の少なくとも３層から
なり、それぞれの磁気異方性エネルギーの関係は、３×
１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕb，Ｋｕs＜５×１０7ｅｒｇ／
ｃｃ，１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕm＜３×１０6ｅｒ
ｇ／ｃｃとなっている。ここに磁気異方性エネルギー値
は、基板側：Ｋｕb、表面側：Ｋｕs、中間の層：Ｋｕm
である。上層磁性膜１５の上には保護膜１６及び潤滑膜
１７が形成される。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。 〔実施例１〕直径２．５インチのガラス基板を用いて、
直流マグネトロンスパッタ法によって、図１に示す断面
構造を持つ面内磁気記録媒体を作製した。基板１１上
に、下地層１２、下層磁性膜１３、中間磁性膜１４、上
層磁性膜１５、及び保護膜１６をこの順序で形成した。
下地用にはＣｒ−１０ａｔ％Ｔｉターゲット、下層磁性
膜用にＣｏ−５ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、
中間磁性膜用にＣｏ−１７ａｔ％Ｃｒ−５ａｔ％Ｐｔ−
３ａｔ％Ｔａターゲット、上層磁性膜用にＣｏ−５ａｔ
％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、保護膜用にカーボン
ターゲットを用いた。スパッタのＡｒガス圧力を３ｍＴ
ｏｒｒ、スパッターパワー１０Ｗ／ｃｍ2、基板温度２
５０Ｃの条件でＣｒＴｉ膜を３０ｎｍ、下層磁性膜を２
ｎｍ、中間磁性膜を１６ｎｍ、上層磁性膜を２ｎｍ、カ
ーボン膜を１０ｎｍの厚さ形成した。潤滑膜としてパー
フロロポリエーテル系の膜を塗布した。それぞれの磁性
膜の磁気異方性エネルギー値は、Ｃｒ−１０ａｔ％Ｔｉ
下地上にそれぞれの磁性膜を２０ｎｍの膜厚形成した試
料の磁気トルク曲線から算出した。
る。 〔実施例１〕直径２．５インチのガラス基板を用いて、
直流マグネトロンスパッタ法によって、図１に示す断面
構造を持つ面内磁気記録媒体を作製した。基板１１上
に、下地層１２、下層磁性膜１３、中間磁性膜１４、上
層磁性膜１５、及び保護膜１６をこの順序で形成した。
下地用にはＣｒ−１０ａｔ％Ｔｉターゲット、下層磁性
膜用にＣｏ−５ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、
中間磁性膜用にＣｏ−１７ａｔ％Ｃｒ−５ａｔ％Ｐｔ−
３ａｔ％Ｔａターゲット、上層磁性膜用にＣｏ−５ａｔ
％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、保護膜用にカーボン
ターゲットを用いた。スパッタのＡｒガス圧力を３ｍＴ
ｏｒｒ、スパッターパワー１０Ｗ／ｃｍ2、基板温度２
５０Ｃの条件でＣｒＴｉ膜を３０ｎｍ、下層磁性膜を２
ｎｍ、中間磁性膜を１６ｎｍ、上層磁性膜を２ｎｍ、カ
ーボン膜を１０ｎｍの厚さ形成した。潤滑膜としてパー
フロロポリエーテル系の膜を塗布した。それぞれの磁性
膜の磁気異方性エネルギー値は、Ｃｒ−１０ａｔ％Ｔｉ
下地上にそれぞれの磁性膜を２０ｎｍの膜厚形成した試
料の磁気トルク曲線から算出した。
【００１７】比較試料として、下層及び中間層それぞれ
単独の２０ｎｍ厚の磁性膜からなる面内磁気記録媒体を
作製した。これらの磁気記録媒体の保磁力Ｈｃと記録再
生特性の評価を、それぞれ振動型磁力計（ＶＳＭ）、磁
気トルク計、記録再生分離型の磁気ヘッドを用いて行な
った。記録ヘッドのギャップ長は０．２μｍ、再生用の
スピンバルブヘッドのシールド間隔は０．２μｍ、測定
時のスペーシングは０．０４μｍとした。記録密度は低
周波の再生出力の半分になる出力半減記録密度Ｄ50を測
定し、２０ｋＦＣＩの磁気記録を行なった場合のシグナ
ルとノイズの比率Ｓ／Ｎは、比較試料のＳ／Ｎに対する
相対値で示した。３００ｋＦＣＩの磁気記録信号の安定
性は、記録直後の再生出力Ｓt=0と１００時間後の再生
出力Ｓt=100の比（Ｓt=100／Ｓt=0）として評価した。
これらの結果を表１に示す。
単独の２０ｎｍ厚の磁性膜からなる面内磁気記録媒体を
作製した。これらの磁気記録媒体の保磁力Ｈｃと記録再
生特性の評価を、それぞれ振動型磁力計（ＶＳＭ）、磁
気トルク計、記録再生分離型の磁気ヘッドを用いて行な
った。記録ヘッドのギャップ長は０．２μｍ、再生用の
スピンバルブヘッドのシールド間隔は０．２μｍ、測定
時のスペーシングは０．０４μｍとした。記録密度は低
周波の再生出力の半分になる出力半減記録密度Ｄ50を測
定し、２０ｋＦＣＩの磁気記録を行なった場合のシグナ
ルとノイズの比率Ｓ／Ｎは、比較試料のＳ／Ｎに対する
相対値で示した。３００ｋＦＣＩの磁気記録信号の安定
性は、記録直後の再生出力Ｓt=0と１００時間後の再生
出力Ｓt=100の比（Ｓt=100／Ｓt=0）として評価した。
これらの結果を表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】本実施例の磁気記録媒体は、比較例に比べ
てＤ50，Ｓ／Ｎ及び記録信号の安定性の点でバランスが
とれており、高密度磁気記録媒体として望ましいことが
わかった。本実施例で作製した磁気記録媒体を用いて、
再生素子としてスピンバルブヘッドを用いた２．５イン
チの磁気記録再生装置を作製した。面記録密度１２Ｇｂ
／ｉｎ2の条件でエラーレート１０-9が確保でき、超高
密度記録再生装置として動作することを確認した。
てＤ50，Ｓ／Ｎ及び記録信号の安定性の点でバランスが
とれており、高密度磁気記録媒体として望ましいことが
わかった。本実施例で作製した磁気記録媒体を用いて、
再生素子としてスピンバルブヘッドを用いた２．５イン
チの磁気記録再生装置を作製した。面記録密度１２Ｇｂ
／ｉｎ2の条件でエラーレート１０-9が確保でき、超高
密度記録再生装置として動作することを確認した。
【００２０】〔実施例２〕直径２．５インチのシリコン
基板を用いて、直流マグネトロンスパッタ法によって、
図２に示す断面構造を持つ垂直磁気記録媒体を作製し
た。基板２１上に、第１下地層２２、第２下地層２３、
下層垂直磁化膜２４、中間垂直磁化膜２５、上層垂直磁
化膜２６、保護膜２７をこの順序で形成した。第１下地
用にはＴｉ−１０ａｔ％Ｃｒターゲット、第２下地用に
はＣｏ−３５ａｔ％Ｃｒターゲット、下層垂直磁化膜用
にＣｏ−５ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、中間
垂直磁化膜用にＣｏ−１６ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔ−
３ａｔ％Ｔａターゲット、上層垂直磁化膜用にＣｏとＰ
ｔのターゲット、保護膜用にカーボンターゲットを用い
た。スパッタのＡｒガス圧力を３ｍＴｏｒｒ、スパッタ
ーパワー１０Ｗ／ｃｍ2、基板温度２８０Ｃの条件でＴ
ｉＣｒ膜を１５ｎｍ、ＣｏＣｒ膜を１０ｎｍ、下層垂直
磁化膜を２ｎｍ、中間垂直磁化膜を２４ｎｍ、上層垂直
磁化膜であるＣｏ／Ｐｔ多層膜を４ｎｍ、カーボン膜を
７ｎｍの厚さ形成した。ここで上層垂直磁化膜であるＣ
ｏ／Ｐｔ多層膜は、Ｃｏ、Ｐｔターゲットを交互に用い
てそれぞれ１ｎｍの厚さづつ２サイクル形成し、合計４
ｎｍ厚の垂直磁化膜を作製し、図２に断面構造を示す垂
直磁気記録媒体を形成した。
基板を用いて、直流マグネトロンスパッタ法によって、
図２に示す断面構造を持つ垂直磁気記録媒体を作製し
た。基板２１上に、第１下地層２２、第２下地層２３、
下層垂直磁化膜２４、中間垂直磁化膜２５、上層垂直磁
化膜２６、保護膜２７をこの順序で形成した。第１下地
用にはＴｉ−１０ａｔ％Ｃｒターゲット、第２下地用に
はＣｏ−３５ａｔ％Ｃｒターゲット、下層垂直磁化膜用
にＣｏ−５ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔターゲット、中間
垂直磁化膜用にＣｏ−１６ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔ−
３ａｔ％Ｔａターゲット、上層垂直磁化膜用にＣｏとＰ
ｔのターゲット、保護膜用にカーボンターゲットを用い
た。スパッタのＡｒガス圧力を３ｍＴｏｒｒ、スパッタ
ーパワー１０Ｗ／ｃｍ2、基板温度２８０Ｃの条件でＴ
ｉＣｒ膜を１５ｎｍ、ＣｏＣｒ膜を１０ｎｍ、下層垂直
磁化膜を２ｎｍ、中間垂直磁化膜を２４ｎｍ、上層垂直
磁化膜であるＣｏ／Ｐｔ多層膜を４ｎｍ、カーボン膜を
７ｎｍの厚さ形成した。ここで上層垂直磁化膜であるＣ
ｏ／Ｐｔ多層膜は、Ｃｏ、Ｐｔターゲットを交互に用い
てそれぞれ１ｎｍの厚さづつ２サイクル形成し、合計４
ｎｍ厚の垂直磁化膜を作製し、図２に断面構造を示す垂
直磁気記録媒体を形成した。
【００２１】比較試料として、下層垂直磁化膜、中間垂
直磁化膜及び上層垂直磁化膜それぞれ単独の膜を下地上
に厚さ３０ｎｍを設けた以外は同様の構造の磁気記録媒
体を作製した。これらの垂直磁気記録媒体の保磁力Ｈｃ
と記録再生特性の評価を、それぞれ振動型磁力計（ＶＳ
Ｍ）、磁気トルク計、記録再生分離型の磁気ヘッドを用
いて行なった。記録ヘッドのギャップ長は０．２μｍ、
再生用の巨大磁気抵抗効果型（ＧＭＲ）ヘッドのシール
ド間隔は０．１５μｍ、測定時のスペーシングは０．０
４μｍとした。記録密度は低周波の再生出力の半分にな
る出力半減記録密度（Ｄ50）を測定し、２０ｋＦＣＩの
磁気記録を行なった場合のシグナルとノイズの比率Ｓ／
Ｎは、本発明の試料のＳ／Ｎに対する相対値で示した。
３００ｋＦＣＩの磁気記録信号の安定性は、記録直後の
再生出力Ｓt=0と１００時間後の再生出力Ｓt=100の比
（Ｓt=100／Ｓt=0）として評価した。これらの結果を表
２に示す。
直磁化膜及び上層垂直磁化膜それぞれ単独の膜を下地上
に厚さ３０ｎｍを設けた以外は同様の構造の磁気記録媒
体を作製した。これらの垂直磁気記録媒体の保磁力Ｈｃ
と記録再生特性の評価を、それぞれ振動型磁力計（ＶＳ
Ｍ）、磁気トルク計、記録再生分離型の磁気ヘッドを用
いて行なった。記録ヘッドのギャップ長は０．２μｍ、
再生用の巨大磁気抵抗効果型（ＧＭＲ）ヘッドのシール
ド間隔は０．１５μｍ、測定時のスペーシングは０．０
４μｍとした。記録密度は低周波の再生出力の半分にな
る出力半減記録密度（Ｄ50）を測定し、２０ｋＦＣＩの
磁気記録を行なった場合のシグナルとノイズの比率Ｓ／
Ｎは、本発明の試料のＳ／Ｎに対する相対値で示した。
３００ｋＦＣＩの磁気記録信号の安定性は、記録直後の
再生出力Ｓt=0と１００時間後の再生出力Ｓt=100の比
（Ｓt=100／Ｓt=0）として評価した。これらの結果を表
２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】本実施例の磁気記録媒体は、比較例に比べ
てＤ50、Ｓ／Ｎ、信号安定性の全ての特性が高密度磁気
記録媒体として望ましいものであり、特にノイズが減少
した結果、Ｓ／Ｎが改善されている。本実施例で作製し
た磁気記録媒体を用いて、再生素子にＧＭＲヘッドを用
いた２．５インチの磁気記録再生装置を作製した。面記
録密度２０Ｇｂ／ｉｎ2の条件でエラーレート１０-9が
確保でき、超高密度記録再生装置として動作することを
確認した。
てＤ50、Ｓ／Ｎ、信号安定性の全ての特性が高密度磁気
記録媒体として望ましいものであり、特にノイズが減少
した結果、Ｓ／Ｎが改善されている。本実施例で作製し
た磁気記録媒体を用いて、再生素子にＧＭＲヘッドを用
いた２．５インチの磁気記録再生装置を作製した。面記
録密度２０Ｇｂ／ｉｎ2の条件でエラーレート１０-9が
確保でき、超高密度記録再生装置として動作することを
確認した。
【００２４】また、上層磁性膜としてＣｏ／Ｐｔ多層膜
の代わりに同じ厚さと膜構成のＣｏ／Ｐｄ多層膜（Ｋｕ
＝１．２×１０7ｅｒｇ／ｃｃ）もしくはＣｏＣｒ5Ｐｔ
8（４ｎｍ）磁性膜を用いた場合も、ノイズが大幅に低
減し高密度磁気記録媒体として望ましい特性を示すこと
を確認した。
の代わりに同じ厚さと膜構成のＣｏ／Ｐｄ多層膜（Ｋｕ
＝１．２×１０7ｅｒｇ／ｃｃ）もしくはＣｏＣｒ5Ｐｔ
8（４ｎｍ）磁性膜を用いた場合も、ノイズが大幅に低
減し高密度磁気記録媒体として望ましい特性を示すこと
を確認した。
【００２５】〔実施例３〕実施例２で試作した垂直磁気
記録媒体において、下層垂直磁化膜と上層垂直磁化膜を
ＣｏＣｒ5Ｐｔ8（２ｎｍ）とし、中間の垂直磁化膜をＣ
ｏＣｒxＴａ4（２６ｎｍ）としてＣｒ組成を５〜２０ａ
ｔ％の範囲で変えた媒体試料を作製した。比較試料とし
て、中間の垂直磁化膜のみで３０ｎｍの記録磁性膜を作
製した垂直磁気記録媒体を作製した。ＣｏＣｒxＴａ
4（２６ｎｍ）膜の飽和磁化と磁気異方性エネルギーの
Ｃｒ組成依存性及びこれらの垂直磁化膜の保磁力（Ｈ
ｃ）、媒体Ｓ／Ｎの測定結果をそれぞれ図３、図４、図
５に示す。
記録媒体において、下層垂直磁化膜と上層垂直磁化膜を
ＣｏＣｒ5Ｐｔ8（２ｎｍ）とし、中間の垂直磁化膜をＣ
ｏＣｒxＴａ4（２６ｎｍ）としてＣｒ組成を５〜２０ａ
ｔ％の範囲で変えた媒体試料を作製した。比較試料とし
て、中間の垂直磁化膜のみで３０ｎｍの記録磁性膜を作
製した垂直磁気記録媒体を作製した。ＣｏＣｒxＴａ
4（２６ｎｍ）膜の飽和磁化と磁気異方性エネルギーの
Ｃｒ組成依存性及びこれらの垂直磁化膜の保磁力（Ｈ
ｃ）、媒体Ｓ／Ｎの測定結果をそれぞれ図３、図４、図
５に示す。
【００２６】高密度磁気記録媒体として望ましい高い保
磁力と高い媒体Ｓ／Ｎを示す領域は、中間の垂直磁化膜
の磁気異方性エネルギーＫｕmの値が１×１０6ｅｒｇ／
ｃｃ＜Ｋｕm＜３×１０6ｅｒｇ／ｃｃの範囲にあること
が明らかになった。Ｋｕm＜１×１０6ｅｒｇ／ｃｃでは
高密度磁気記録に必要な２ｋＯｅ以上の保磁力が得難く
なり、また３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕmではノイズが
増大して１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度で必要な媒体
ノイズが得られなくなった。またＫｕmが大きくなりす
ぎると、下層と上層のより磁気異方性エネルギーの高い
磁性膜を設ける効果も低減することが分かった。
磁力と高い媒体Ｓ／Ｎを示す領域は、中間の垂直磁化膜
の磁気異方性エネルギーＫｕmの値が１×１０6ｅｒｇ／
ｃｃ＜Ｋｕm＜３×１０6ｅｒｇ／ｃｃの範囲にあること
が明らかになった。Ｋｕm＜１×１０6ｅｒｇ／ｃｃでは
高密度磁気記録に必要な２ｋＯｅ以上の保磁力が得難く
なり、また３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕmではノイズが
増大して１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の記録密度で必要な媒体
ノイズが得られなくなった。またＫｕmが大きくなりす
ぎると、下層と上層のより磁気異方性エネルギーの高い
磁性膜を設ける効果も低減することが分かった。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、磁気記録媒体の耐熱揺
らぎ安定性を確保し、しかも媒体ノイズを低減すること
ができ、磁気ディスク装置の高密度化が可能となる、特
に１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記録が可能とな
り、装置の小型化や大容量化が容易になる。
らぎ安定性を確保し、しかも媒体ノイズを低減すること
ができ、磁気ディスク装置の高密度化が可能となる、特
に１０Ｇｂ／ｉｎ2以上の高密度磁気記録が可能とな
り、装置の小型化や大容量化が容易になる。
【図１】本発明の実施例の磁気記録媒体の断面図。
【図２】本発明の実施例の磁気記録媒体の断面図。
【図３】本発明のＣｏ合金系磁性膜のＣｒ組成と飽和磁
化及び磁気異方性エネルギーの関係を示す図。
化及び磁気異方性エネルギーの関係を示す図。
【図４】本発明の垂直磁気記録媒体の保磁力とＣｒ組成
の関係を示す図。
の関係を示す図。
【図５】本発明の垂直磁気記録媒体のＳ／ＮとＣｒ組成
の関係を示す図。
の関係を示す図。
１１…基板、１２…下地層、１３…下層磁性膜、１４…
中間磁性膜、１５…上層磁性膜、１６…保護膜、１７…
潤滑膜、２１…基板、２２…第１下地層、２３…第２下
地層、２４…下層垂直磁化膜、２５…中間直磁化膜、２
６…上層垂直磁化膜、２７…保護膜、２８…潤滑膜
中間磁性膜、１５…上層磁性膜、１６…保護膜、１７…
潤滑膜、２１…基板、２２…第１下地層、２３…第２下
地層、２４…下層垂直磁化膜、２５…中間直磁化膜、２
６…上層垂直磁化膜、２７…保護膜、２８…潤滑膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年７月２９日（１９９９．７．２
９）
９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲葉 信幸 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 本多 幸雄 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 吉田 和悦 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 竹内 輝明 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Ｆターム(参考） 5D006 BB01 BB07 BB08 DA03 DA08 FA09
Claims (6)
- 【請求項１】 非磁性基板と該非磁性基板上に下地膜を
介して形成された磁性膜及び保護膜を備える磁気記録媒
体において、前記磁性膜は少なくとも３層構造を有し、
前記磁性膜の基板側の層と表面側の層の磁気異方性エネ
ルギーが中間の層の磁気異方性エネルギーに比べて大き
いことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気記録媒体において、
前記磁性膜は垂直磁化膜であることを特徴とする磁気記
録媒体。 - 【請求項３】 請求項１記載の磁気記録媒体において、
前記磁性膜は面内磁化膜であることを特徴とする磁気記
録媒体。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項記載の磁気
記録媒体において、前記基板側の層の磁気異方性エネル
ギーＫｕb、前記表面側の層の磁気異方性エネルギーＫ
ｕs、及び前記中間の層の磁気異方性エネルギーＫｕmの
値が、３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕb≦５×１０7ｅｒ
ｇ／ｃｃ，３×１０6ｅｒｇ／ｃｃ≦Ｋｕs≦５×１０7
ｅｒｇ／ｃｃ，１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ＜Ｋｕm＜３×１
０6ｅｒｇ／ｃｃの範囲にあることを特徴とする磁気記
録媒体。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項記載の磁気
記録媒体において、前記磁性膜が六方稠密構造を持つＣ
ｏ合金材料からなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項６】 請求項１〜４のいずれか１項記載の磁気
記録媒体において、前記基板側及び前記中間の層が六方
稠密構造を持つＣｏ合金材料からなり、前記表面側の層
がＣｏもしくはＣｏ合金とＰｔ，Ｐｄもしくはこれらの
金属を主成分とする合金からなる積層多層膜からなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10288133A JP3136133B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10288133A JP3136133B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000113442A true JP2000113442A (ja) | 2000-04-21 |
| JP3136133B2 JP3136133B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=17726248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10288133A Expired - Fee Related JP3136133B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3136133B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6773826B2 (en) | 2001-09-19 | 2004-08-10 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same |
| US8557409B2 (en) | 2010-08-02 | 2013-10-15 | Fuji Electric Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
| US9129635B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-09-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium with controlled anisotropic fields and magnetic memory device |
-
1998
- 1998-10-09 JP JP10288133A patent/JP3136133B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6773826B2 (en) | 2001-09-19 | 2004-08-10 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same |
| US8557409B2 (en) | 2010-08-02 | 2013-10-15 | Fuji Electric Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
| US9129635B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-09-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium with controlled anisotropic fields and magnetic memory device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3136133B2 (ja) | 2001-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4540557B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP5762448B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| KR100611088B1 (ko) | 반강자성 결합 자기 기록 매체 | |
| JP2005276410A (ja) | 強磁性結合された多重の下層を有する反強磁性結合された磁性層を備えた磁気記録ディスク | |
| JP3011918B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP3900999B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH11102510A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびこれを用いた磁気記録装置 | |
| JPH10334440A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP3136133B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP4233710B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2003067909A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP5267938B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3308239B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP3041273B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
| EP1569207A1 (en) | Magnetic recording disk with antiferromagnetically-coupled magnetic layer having multiple lower layers | |
| JP2004272982A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法及び垂直磁気記録媒体 | |
| JP2991689B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
| JP3157806B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2000315311A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP2005092918A (ja) | アモルファス軟磁性膜を有する垂直磁気記録媒体 | |
| JP2000339657A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09265619A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 | |
| JP2000348327A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP4534402B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| Morales et al. | Interactions and reversal processes in CoCrTa/CoCrTaPt thin films |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071201 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081201 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091201 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101201 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111201 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |