JP2000111532A - 超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方法 - Google Patents
超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課 題】 対象の外面状態の如何に拘らずその影響
を受けずに、材料内部に異物が生成しているかどうかを
始めとして、対象の内部状態を検査することができる方
法を提供すること。 【解決手段】 内部の状態を検査したい対象に外部から
超音波波形を照射し対象内部を進行し反射して来る反射
波形を取出すと共に、その反射波形から異物の音響イン
ピーダンスの差を波形の揺らぎを抽出することにより検
出し、前記対象内部の異物の有無、又は、異物の有無と
異物の量を検出する。
を受けずに、材料内部に異物が生成しているかどうかを
始めとして、対象の内部状態を検査することができる方
法を提供すること。 【解決手段】 内部の状態を検査したい対象に外部から
超音波波形を照射し対象内部を進行し反射して来る反射
波形を取出すと共に、その反射波形から異物の音響イン
ピーダンスの差を波形の揺らぎを抽出することにより検
出し、前記対象内部の異物の有無、又は、異物の有無と
異物の量を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、当初均質であった
材料（媒質）の中に経時的に生成する異物の存在や、外
部から非破壊的には視認することができない異物の存在
を、正確に検出することができる検出方法に関する。
材料（媒質）の中に経時的に生成する異物の存在や、外
部から非破壊的には視認することができない異物の存在
を、正確に検出することができる検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】予め均質に調整されて棒状，板状等に所
定形状成形され工業部品，設備部品等として使用され
る、例えば、合金材料による金属材料の場合、水の中に
浸漬された状態で使用していると、その材料組成中に水
素化物が徐々に生成することが知られている。
定形状成形され工業部品，設備部品等として使用され
る、例えば、合金材料による金属材料の場合、水の中に
浸漬された状態で使用していると、その材料組成中に水
素化物が徐々に生成することが知られている。
【０００３】上記のような金属材料の組成中に生成する
水素化物は、その材料を脆性化することが知られている
が、使用中の金属材料に水素化物が生成されているか否
か、或は、水素化物がどの程度生成されているか、とい
ったことを予め正確に検出できれば、脆性破壊を未然に
防止できるので、有用である。しかし乍ら、水素化物の
検出は、そのような異物が生成する金属材料の表面に生
じる酸化膜の影響や、生成される水素化物の大きさ，質
量が小さいために、従来の単なる超音波を利用した非破
壊検査の手法によっては、前記水素化物の有無の検査は
不可能と認識されていた。
水素化物は、その材料を脆性化することが知られている
が、使用中の金属材料に水素化物が生成されているか否
か、或は、水素化物がどの程度生成されているか、とい
ったことを予め正確に検出できれば、脆性破壊を未然に
防止できるので、有用である。しかし乍ら、水素化物の
検出は、そのような異物が生成する金属材料の表面に生
じる酸化膜の影響や、生成される水素化物の大きさ，質
量が小さいために、従来の単なる超音波を利用した非破
壊検査の手法によっては、前記水素化物の有無の検査は
不可能と認識されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に検査対象の表面状態等が均質ではなく、またそれ故に
単なる超音波等の非接触手段を利用した非破壊検査で
は、材料内部の状態が当初の均質状態のままか、或は、
何らかの異物を生成して異質化しているかを判別できな
かった点に鑑み、対象の外面状態の如何に拘らずその影
響を受けずに、材料内部に異物が生成しているかどうか
を始めとして、対象の内部状態を検査することができる
方法を提供することを課題とするものである。
に検査対象の表面状態等が均質ではなく、またそれ故に
単なる超音波等の非接触手段を利用した非破壊検査で
は、材料内部の状態が当初の均質状態のままか、或は、
何らかの異物を生成して異質化しているかを判別できな
かった点に鑑み、対象の外面状態の如何に拘らずその影
響を受けずに、材料内部に異物が生成しているかどうか
を始めとして、対象の内部状態を検査することができる
方法を提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すること
を目的としてなされた本発明方法の構成は、内部の状態
を検査したい対象に外部から超音波波形を照射し対象内
部を進行し反射して来る反射波形を取出すと共に、その
反射波形から異物の音響インピーダンスの差を波形の揺
らぎを抽出することにより検出し、前記対象内部の異物
の有無、又は、異物の有無と異物の量を検出することを
主な特徴とするものである。
を目的としてなされた本発明方法の構成は、内部の状態
を検査したい対象に外部から超音波波形を照射し対象内
部を進行し反射して来る反射波形を取出すと共に、その
反射波形から異物の音響インピーダンスの差を波形の揺
らぎを抽出することにより検出し、前記対象内部の異物
の有無、又は、異物の有無と異物の量を検出することを
主な特徴とするものである。
【０００６】本発明では上記構成において、取出す反射
波形の特徴が顕著に現れるように、前記反射波形を波形
フィルタを主体とする処理部を通して加工する。また、
本発明では、前記処理部を通って波形処理された波形に
より位相の揺らぎを標準偏差として数値化し、この数値
に基づいて前記異物の定量化を図って検出する。
波形の特徴が顕著に現れるように、前記反射波形を波形
フィルタを主体とする処理部を通して加工する。また、
本発明では、前記処理部を通って波形処理された波形に
より位相の揺らぎを標準偏差として数値化し、この数値
に基づいて前記異物の定量化を図って検出する。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に本発明方法の実施の一形態に
ついて、図に挙げた例を参照しつつ説明する。図１は本
発明方法の適用対象の一例として、試験体にした合金製
壁の断面を模式的に示した図、図２は図１の試験体の断
面に生じる高周波超音波の反射波形を模式的に示した波
形図、図３及び図４は、異なる試験体に照射した超音波
の反射波形の例をそれぞれ示す波形図、図５は媒質の密
度（粒子密度）と音圧の関係を示す模式的線図、図６は
本発明方法により得られた位相の揺らぎを模式的に示し
た波形図である。
ついて、図に挙げた例を参照しつつ説明する。図１は本
発明方法の適用対象の一例として、試験体にした合金製
壁の断面を模式的に示した図、図２は図１の試験体の断
面に生じる高周波超音波の反射波形を模式的に示した波
形図、図３及び図４は、異なる試験体に照射した超音波
の反射波形の例をそれぞれ示す波形図、図５は媒質の密
度（粒子密度）と音圧の関係を示す模式的線図、図６は
本発明方法により得られた位相の揺らぎを模式的に示し
た波形図である。
【０００８】本発明は、図１に一例として示した予め均
一な媒質に調整した合金製壁体を試験体１とし、その断
面組成の中に、その媒質２の不連続点となる不純物３
（又は異物３）、ここでは水素化物があるとき、その不
純物３の量が超音波の乱反射の量と相関関係のあること
を、過度現象から捉えようとするものである。
一な媒質に調整した合金製壁体を試験体１とし、その断
面組成の中に、その媒質２の不連続点となる不純物３
（又は異物３）、ここでは水素化物があるとき、その不
純物３の量が超音波の乱反射の量と相関関係のあること
を、過度現象から捉えようとするものである。
【０００９】即ち、媒質２が一様である場合、超音波の
反射波形の変化は、一様に反射が生じるため、観測結果
に顕著な現象は見られないが、媒質２の内部にその不連
続点となる不純物３が生成されていると、その不連続点
となる不純物３における反射回数や回析干渉に応じて反
射波形に差が生じるので、この差を観測して媒質２の中
の不純物３の量を定量化すればよいとするのが、本発明
方法の基本的立場である。
反射波形の変化は、一様に反射が生じるため、観測結果
に顕著な現象は見られないが、媒質２の内部にその不連
続点となる不純物３が生成されていると、その不連続点
となる不純物３における反射回数や回析干渉に応じて反
射波形に差が生じるので、この差を観測して媒質２の中
の不純物３の量を定量化すればよいとするのが、本発明
方法の基本的立場である。
【００１０】しかし乍ら、上記反射波形の違いに基づく
変化を、従来手法のように、高速フーリエ変換手法によ
り処理してグラフ化しても、その変化は高速フーリエ変
換演算の周期内で常に動くような微小変化であること、
媒質中を進む高周波の超音波による照射波やその反射波
のハース効果によって、前記変化が必ずしも正の側に現
れるとは限られないことによって、前記反射波形の変化
を観察することはきわめて困難である。
変化を、従来手法のように、高速フーリエ変換手法によ
り処理してグラフ化しても、その変化は高速フーリエ変
換演算の周期内で常に動くような微小変化であること、
媒質中を進む高周波の超音波による照射波やその反射波
のハース効果によって、前記変化が必ずしも正の側に現
れるとは限られないことによって、前記反射波形の変化
を観察することはきわめて困難である。
【００１１】本発明は、上記の点に鑑み、微小時間内で
の周波数の変化を観測するため、周波数の変化を、反射
波形の位相のズレ具合、つまり揺らぎとして捉え、これ
を数値化しようとするものである。即ち、本発明では反
射波形における周波数の変化、つまりその揺らぎ具合を
顕在化させて観測するため、揺らいでいる帯域に合せて
フィルタの特性を設定し、そのフィルタを通して抽出さ
れる波形のゼロクロスの動きを反射波形における周波数
の揺らぎと定義付け、フィルタを通った後の反射波形に
どの程度の揺らぎ成分が含まれているかを、標準偏差を
用いてグラフ化し、これを観測することにより、一定媒
質中の不純物の有無と、不純物がある場合その多寡を判
別するものである。従って、本発明では、照射する高周
波超音波の反射波形にデジタル信号処理による加工を施
すが、その処理の中でフィルタの条件設定が反射波形の
揺らぎを顕在化させるために不可欠である。
の周波数の変化を観測するため、周波数の変化を、反射
波形の位相のズレ具合、つまり揺らぎとして捉え、これ
を数値化しようとするものである。即ち、本発明では反
射波形における周波数の変化、つまりその揺らぎ具合を
顕在化させて観測するため、揺らいでいる帯域に合せて
フィルタの特性を設定し、そのフィルタを通して抽出さ
れる波形のゼロクロスの動きを反射波形における周波数
の揺らぎと定義付け、フィルタを通った後の反射波形に
どの程度の揺らぎ成分が含まれているかを、標準偏差を
用いてグラフ化し、これを観測することにより、一定媒
質中の不純物の有無と、不純物がある場合その多寡を判
別するものである。従って、本発明では、照射する高周
波超音波の反射波形にデジタル信号処理による加工を施
すが、その処理の中でフィルタの条件設定が反射波形の
揺らぎを顕在化させるために不可欠である。
【００１２】本発明では、図１に例示した超音波深触子
４から試験体１に向けて、パルス状の超音波を発射す
る。この波形は、試験体１における壁の外表面1aの酸化
膜５、水素化物３、壁の内表面1bなどで幾度も乱反射し
た波形が重なり合って合成され、図２に例示するよう
に、時間軸に対して連続した波形として検出される。高
周波周波数としては、一例として80MHz〜100MHz程度の
周波数を使用する。
４から試験体１に向けて、パルス状の超音波を発射す
る。この波形は、試験体１における壁の外表面1aの酸化
膜５、水素化物３、壁の内表面1bなどで幾度も乱反射し
た波形が重なり合って合成され、図２に例示するよう
に、時間軸に対して連続した波形として検出される。高
周波周波数としては、一例として80MHz〜100MHz程度の
周波数を使用する。
【００１３】図３の波形は、媒質（壁）中に水素化物３
がかなり含まれている試験体(イ)、図４の波形は、上記
試験体(イ)よりも多くの水素化物３を含む別の試験体(ロ)
により得られたもので、両波形を見ると、水素化物の量
が多い試験体ほど波形の乱れ方が大きく、それに伴いゼ
ロクロスの時間間隔の揺らぎも大きくなっている。つま
り、水素化物によって超音波の反射波形は乱反射してお
り、水素化物の含有率と超音波の乱反射する量とは比例
する方向にあることが判る。
がかなり含まれている試験体(イ)、図４の波形は、上記
試験体(イ)よりも多くの水素化物３を含む別の試験体(ロ)
により得られたもので、両波形を見ると、水素化物の量
が多い試験体ほど波形の乱れ方が大きく、それに伴いゼ
ロクロスの時間間隔の揺らぎも大きくなっている。つま
り、水素化物によって超音波の反射波形は乱反射してお
り、水素化物の含有率と超音波の乱反射する量とは比例
する方向にあることが判る。
【００１４】上記のことから、次のことが考えられる。
音波が均質な媒質中を進行するとき、その媒質内に不連
続点となる不純物，異物があり、かつ、その不連続点が
音波にとって十分な音響インピーダンスの変化を持って
いる場合には、その不連続点で音波の反射が生じる。こ
の反射音波は、不連続点を経ない反射音波との間で位相
にズレを伴う。その理由は、音波が進む媒質の粘性とそ
の慣性が微小なバネ定数を作り、音波の反射位相にズレ
を生じさせることに拠る。しかし、この位相ズレは、反
射回数の少ないうちは、基本周波数の一波長内で収束し
てしまうので、周波数の変化としては殆んど表われずゼ
ロクロスの位置のズレとして現われる。反射回数が多く
なると、ゼロクロスの位置ズレ（位相揺らぎ）も激しく
なる。
音波が均質な媒質中を進行するとき、その媒質内に不連
続点となる不純物，異物があり、かつ、その不連続点が
音波にとって十分な音響インピーダンスの変化を持って
いる場合には、その不連続点で音波の反射が生じる。こ
の反射音波は、不連続点を経ない反射音波との間で位相
にズレを伴う。その理由は、音波が進む媒質の粘性とそ
の慣性が微小なバネ定数を作り、音波の反射位相にズレ
を生じさせることに拠る。しかし、この位相ズレは、反
射回数の少ないうちは、基本周波数の一波長内で収束し
てしまうので、周波数の変化としては殆んど表われずゼ
ロクロスの位置のズレとして現われる。反射回数が多く
なると、ゼロクロスの位置ズレ（位相揺らぎ）も激しく
なる。
【００１５】位相の揺らぎが生じるのは、媒質とこの媒
質中の不純物粒子（この例では水素化物）とで音響イン
ピーダンスに差がある場合であり、これによって、反射
に要する微小な時間が異なってくるためである。粒子の
加速度が正であるときと、負であるときでは、反射する
時間そのものが異なり、位相のズレとして捉えられる
が、正負で補いあうために、周波数の偏移としては捉え
難い。以上から、図１の試験体１の壁の内表面1bから直
接戻って来る反射波形に比べ、不純物３（水素化物）に
よる乱反射成分の波形では、位相の揺らぎが大きくな
り、また、その揺らぎの量を抽出すると、不純物、ここ
では水素化物の含有量を推測できる、と考えることがで
きる。
質中の不純物粒子（この例では水素化物）とで音響イン
ピーダンスに差がある場合であり、これによって、反射
に要する微小な時間が異なってくるためである。粒子の
加速度が正であるときと、負であるときでは、反射する
時間そのものが異なり、位相のズレとして捉えられる
が、正負で補いあうために、周波数の偏移としては捉え
難い。以上から、図１の試験体１の壁の内表面1bから直
接戻って来る反射波形に比べ、不純物３（水素化物）に
よる乱反射成分の波形では、位相の揺らぎが大きくな
り、また、その揺らぎの量を抽出すると、不純物、ここ
では水素化物の含有量を推測できる、と考えることがで
きる。
【００１６】なお、上記試験体１はその表面に酸化膜５
のほか，クラッドや表面粗さがあるが、これらの厚さに
比べ試験体１の壁の厚さが遥かに大きいため、本発明で
は、前記酸化膜５やクラッド，表面粗さで反射される超
音波の反射波は、壁の内部で反射される反射波よりも時
間軸上に現れる時間が少なく、よってその影響は無視で
きると考えた。
のほか，クラッドや表面粗さがあるが、これらの厚さに
比べ試験体１の壁の厚さが遥かに大きいため、本発明で
は、前記酸化膜５やクラッド，表面粗さで反射される超
音波の反射波は、壁の内部で反射される反射波よりも時
間軸上に現れる時間が少なく、よってその影響は無視で
きると考えた。
【００１７】本発明方法は、媒質中を進む超音波の音圧
による粒子密度の変化からも、明らかにすることができ
るので、次にこの点について述べる。音波が媒質中を進
行するとき、図５に模式的に示すように、その媒質内に
密度の変化が生じる。即ち、音圧が高い部分は媒質の密
度が高くなり、音圧の低い部分では、密度が疎であると
いう密度の変化を音波の周期によって繰り返す。いま、
媒質の密度をρとするとき、音波の進行方向のχ方向に
垂直な媒質の微小部分の単位面積Δｘの質量は、ρ．Δ
ｘである。
による粒子密度の変化からも、明らかにすることができ
るので、次にこの点について述べる。音波が媒質中を進
行するとき、図５に模式的に示すように、その媒質内に
密度の変化が生じる。即ち、音圧が高い部分は媒質の密
度が高くなり、音圧の低い部分では、密度が疎であると
いう密度の変化を音波の周期によって繰り返す。いま、
媒質の密度をρとするとき、音波の進行方向のχ方向に
垂直な媒質の微小部分の単位面積Δｘの質量は、ρ．Δ
ｘである。
【００１８】次に、ニュートンの運動法式、Ｆ＝ｍ・ａ
＝ｍ・ｄ2ｘ／ｄｔ2の質量ｍに、上記ρ・Δｘを代入す
ると、 Ｆ＝ｍ・ａ＝ｍ・∂2ｕ／∂ｔ2＝（ρ・Δｘ）・∂2ｕ
／∂ｔ2＝Ｐ・∂2ｕ（ｘ）／∂ｘ2・Δｘ となる。ここで、ｕは媒質の変位量、Ｐは媒質中の静圧
力である。上記式の両辺をΔｘで割ると、ρ・∂2ｕ／
∂ｔ2＝Ｐ・∂2ｕ／∂ｘ2となり、Ｐ／ρ＝ｃとおく
と、∂2ｕ／∂ｔ2＝ｃ2・∂2ｕ／∂ｘ2となる。ここ
で、ｃは音速であり、この式が一次元の波動方程式であ
る。
＝ｍ・ｄ2ｘ／ｄｔ2の質量ｍに、上記ρ・Δｘを代入す
ると、 Ｆ＝ｍ・ａ＝ｍ・∂2ｕ／∂ｔ2＝（ρ・Δｘ）・∂2ｕ
／∂ｔ2＝Ｐ・∂2ｕ（ｘ）／∂ｘ2・Δｘ となる。ここで、ｕは媒質の変位量、Ｐは媒質中の静圧
力である。上記式の両辺をΔｘで割ると、ρ・∂2ｕ／
∂ｔ2＝Ｐ・∂2ｕ／∂ｘ2となり、Ｐ／ρ＝ｃとおく
と、∂2ｕ／∂ｔ2＝ｃ2・∂2ｕ／∂ｘ2となる。ここ
で、ｃは音速であり、この式が一次元の波動方程式であ
る。
【００１９】次に、角周波数ω＝２πｆを用いて、上記
の波動方程式を解くと、数式１に示す一般解が得られ
る。
の波動方程式を解くと、数式１に示す一般解が得られ
る。
【００２０】
【数 １】
【００２１】音波の音圧Ｅは、媒質の粒子速度をｖとす
ると、Ｅ＝ρｖであるので、音圧Ｅは媒質の粒子速度ｖ
が判れば得られる。媒質の粒子速度ｖは上記波動方程式
の一般解が、媒質の変位（距離）を表しているので、こ
の式をｔについて微分することにより導出できる。従っ
て、音波の音圧Ｅは、数式２に示すようになる。
ると、Ｅ＝ρｖであるので、音圧Ｅは媒質の粒子速度ｖ
が判れば得られる。媒質の粒子速度ｖは上記波動方程式
の一般解が、媒質の変位（距離）を表しているので、こ
の式をｔについて微分することにより導出できる。従っ
て、音波の音圧Ｅは、数式２に示すようになる。
【００２２】
【数 ２】
【００２３】媒質が一様である場合、その変化は、一様
に相対的に起るため、顕著な観測結果としては現れない
が、媒質内に不連続点がある場合、不連続点で反射した
ものとしないもの、また、反射回数に応じて、観測結果
に差が出てくる。反射時に、粒子の慣性による影響を考
えると、媒質の不連続点に衝突した粒子は、反射によっ
て力の方向が変るときに、その媒質のバネ定数（ヤング
率）によって、見かけ上速度が落ちることになる。した
がって、音波が反射する場合には、ｔに対してωが遅れ
る状態を作る。反射時のバネ定数の影響による音圧の変
化を図６に示す。実際の波形ではこのような理想的な波
形は、複数の反射により見られないが、全体としての傾
向としては、つかむことができる。
に相対的に起るため、顕著な観測結果としては現れない
が、媒質内に不連続点がある場合、不連続点で反射した
ものとしないもの、また、反射回数に応じて、観測結果
に差が出てくる。反射時に、粒子の慣性による影響を考
えると、媒質の不連続点に衝突した粒子は、反射によっ
て力の方向が変るときに、その媒質のバネ定数（ヤング
率）によって、見かけ上速度が落ちることになる。した
がって、音波が反射する場合には、ｔに対してωが遅れ
る状態を作る。反射時のバネ定数の影響による音圧の変
化を図６に示す。実際の波形ではこのような理想的な波
形は、複数の反射により見られないが、全体としての傾
向としては、つかむことができる。
【００２４】このことを、前出の式に当てはめると、数
式３が得られるので、音波が反射するときには、見かけ
上、周波数が下がる現象が起ることが判る。このため、
乱反射が大きくなればなるほど周波数の偏移した反射波
が多くなる。
式３が得られるので、音波が反射するときには、見かけ
上、周波数が下がる現象が起ることが判る。このため、
乱反射が大きくなればなるほど周波数の偏移した反射波
が多くなる。
【００２５】
【数 ３】
【００２６】しかし、この反射時の過程現象は、１周期
内で収束するため、観測は、フーリエ変換による周波数
特性の変化ではなく、各周期の位相のズレの傾向を観測
する必要があるため、本発明方法による検出方法が有用
なのである。
内で収束するため、観測は、フーリエ変換による周波数
特性の変化ではなく、各周期の位相のズレの傾向を観測
する必要があるため、本発明方法による検出方法が有用
なのである。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上の通りであって、内部の状
態を検査したい対象に外部から超音波波形を照射し対象
内部を進行し反射して来る反射波形を取出すと共に、そ
の反射波形のから異物の音響インピーダンスの差を波形
の揺らぎを抽出することにより検出し、前記対象内部の
異物の有無、又は、異物の有無と異物の量を検出するよ
うにしたから、従来の単なる超音波を利用する非破壊検
査では得られない均質な媒質中に生成される不純物を、
それが微細，或は、微量であっても正確に検出すること
ができる。
態を検査したい対象に外部から超音波波形を照射し対象
内部を進行し反射して来る反射波形を取出すと共に、そ
の反射波形のから異物の音響インピーダンスの差を波形
の揺らぎを抽出することにより検出し、前記対象内部の
異物の有無、又は、異物の有無と異物の量を検出するよ
うにしたから、従来の単なる超音波を利用する非破壊検
査では得られない均質な媒質中に生成される不純物を、
それが微細，或は、微量であっても正確に検出すること
ができる。
【図１】本発明方法の適用対象の一例として、試験体に
した合金製壁の断面を模式的に示した図。
した合金製壁の断面を模式的に示した図。
【図２】図１の試験体の断面に生じる高周波超音波の反
射波形を模式的に示した波形図。
射波形を模式的に示した波形図。
【図３】異なる試験体に照射した超音波の反射波形の例
をそれぞれ示す波形図。
をそれぞれ示す波形図。
【図４】異なる試験体に照射した超音波の反射波形の例
をそれぞれ示す波形図。
をそれぞれ示す波形図。
【図５】媒質の密度（粒子密度）と音圧の関係を示す模
式的線図。
式的線図。
【図６】本発明方法により得られた位相の揺らぎを模式
的に示した波形図。
的に示した波形図。
１ 試験体 1a 外表面 1b 内表面 ２ 媒質 ３ 不純物（異物、又は、水素化物） ４ 超音波深触子 ５ 酸化膜
Claims (4)
- 【請求項１】 内部の状態を検査したい対象に外部から
超音波波形を照射し対象内部を進行し反射して来る反射
波形を取出すと共に、その反射波形から、異物の音響イ
ンピーダンスの差を波形の揺らぎを抽出することにより
検出し、前記対象内部の異物の有無、又は、異物の有無
と異物の量を検出することを特徴とする超音波波形を利
用した媒質中の異物の非破壊検出方法。 - 【請求項２】 反射波形は、波形フィルタを主体とする
処理部を通して加工し、前記処理部で波形処理された波
形から、その波形の位相の揺らぎの特徴を取出し、その
揺らぎの程度と媒質中の異物の量を定量化する請求項１
の超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方
法。 - 【請求項３】 位相の揺らぎの特徴又は程度は、反射波
形のゼロクロス点の間隔を取出してその標準偏差を数値
化し、この数値に基づいて媒質中の異物の量又は異物の
大きさを定量化する請求項２の超音波波形を利用した媒
質中の異物の非破壊検出方法。 - 【請求項４】 照射する超音波波形は、高周波超音波で
ある請求項１〜３のいずれかの超音波波形を利用した媒
質中の異物の非破壊検出方法。
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|---|---|---|---|
| JP30041598A JP3581262B2 (ja) | 1998-10-07 | 1998-10-07 | 超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方法 |
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| CA002286501A CA2286501C (en) | 1998-10-07 | 1999-10-07 | Method for non-destructive detection for foreign matter in medium using waveform of ultrasonic wave |
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|---|---|---|---|
| JP30041598A JP3581262B2 (ja) | 1998-10-07 | 1998-10-07 | 超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方法 |
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| JP3581262B2 JP3581262B2 (ja) | 2004-10-27 |
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ID=17884540
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| JP30041598A Expired - Fee Related JP3581262B2 (ja) | 1998-10-07 | 1998-10-07 | 超音波波形を利用した媒質中の異物の非破壊検出方法 |
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| JP (1) | JP3581262B2 (ja) |
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| DE3135301A1 (de) * | 1981-09-02 | 1983-04-14 | Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf | Verfahren zum nachweis von wasserstoffinduzierten rissen in metallischen werkstoffen |
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| US5359898A (en) * | 1991-06-04 | 1994-11-01 | The Babcock & Wilcox Company | Hydrogen damage confirmation with EMATs |
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| US5629485A (en) * | 1994-12-13 | 1997-05-13 | The B.F. Goodrich Company | Contaminant detection sytem |
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1998
- 1998-10-07 JP JP30041598A patent/JP3581262B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-10-06 EP EP99119789A patent/EP0999445A3/en not_active Withdrawn
- 1999-10-06 US US09/413,501 patent/US6378375B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-10-07 CA CA002286501A patent/CA2286501C/en not_active Expired - Fee Related
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