JP2000109545A - 開環メタセシス重合体の水素添加物、その用途及びその製造方法 - Google Patents

開環メタセシス重合体の水素添加物、その用途及びその製造方法

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JP2000109545A JP18399199A JP18399199A JP2000109545A JP 2000109545 A JP2000109545 A JP 2000109545A JP 18399199 A JP18399199 A JP 18399199A JP 18399199 A JP18399199 A JP 18399199A JP 2000109545 A JP2000109545 A JP 2000109545A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 優れたレジスト材ポリマーとして用いるのに
必要な諸性能全てを満足し、しかも狭い分子量分布を有
する開環メタセシス重合体の水素添加物を提供する。 【解決手段】 少なくとも一般式（１）で表される構造
単位（Ａ）と一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）と
一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）から構成され、
その構成モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１お
よび構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／
０であり、かつＭｗとＭｎとの比が１．０〜２．０であ
る開環メタセシス重合体の水素添加物。 【化１】 （式中、Ｒ1〜Ｒ4の少なくとも一つが、酸分解基を含む
置換基、Ｒ6〜Ｒ9の少なくとも一つが、カルボキシ、ヒ
ドロキシを含む置換基、Ｒ11〜Ｒ14の少なくとも１つが
シアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基
である。）

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、新規な開環メタセ
シス重合体水素添加物に関し、更には、耐熱性、耐熱分
解性、光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線（エキシマ
ーレーザー等を含む）を用いた半導体微細加工用フォト
レジストに用いられるポリマーに適した開環メタセシス
重合体の水素添加物を提供し、かつそのような重合体の
水素添加物の製造方法を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路は集積化が進んで
大規模集積回路(LSI)や超大規模集積回路(VLSI)が実用
化されており、また、これとともに、集積回路の最少パ
ターンはサブミクロン領域におよび、今後更に微細化さ
れる傾向にある。微細パターンの形成には、薄膜を形成
した被処理基板上をレジストで被覆し、選択露光を行っ
て所望パターンの潜像を形成した後に、現像してレジス
トパターンを作り、これをマスクとしてドライエッチン
グを行い、その後にレジストを除去することにより所望
のパターンを得るリソグラフィ技術の使用が必須であ
る。
【０００３】このリソグラフィ技術において使用される
露光光源としてｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３
６５ｎｍ）の紫外線光が使用されているが、パターンの
微細化に伴い、より波長の短い遠紫外線光、真空紫外線
光、電子線（ＥＢ）、Ｘ線などが光源として使用される
ようになってきている。特に最近では、エキシマレーザ
（波長２４８ｎｍのＫｒＦレーザー、波長１９３ｎｍの
ＡｒＦレーザー）が露光光源として注目されており、微
細パターンの形成に有効であると期待されている。
【０００４】より短波長である真空紫外領域の露光光を
用いてサブミクロンパターンを形成するためのレジスト
材料に用いられる重合体又は共重合体としては、例え
ば、エステル部にアダマンタン骨格及び酸により脱離す
る保護基を有するアクリル酸エステル又はα置換アクリ
ル酸エステルの重合体又は共重合体（特開平４−３９６
６５号公報参照）、エステル部にノルボルナン骨格及び
酸により脱離する保護基を有するアクリル酸エステル又
はα置換アクリル酸エステルの重合体又は共重合体（特
開平５−２５７２８１号公報参照）、シクロヘキシルマ
レイミドの重合体又は共重合体（特開平５−２５７２８
５号公報参照）、セルロース骨格を主鎖に含み該主鎖が
酸により開裂を起こす高分子化合物（特開平６−３４２
２１２号公報参照）、ポリビニルアルコールまたはポリ
ビニルアルコールの誘導体（特開平７−３３３８５０号
公報参照）等数多くの重合体及び共重合体が提案されて
いる。
【０００５】しかしながら、耐ドライエッチング性、遠
紫外線に対する透明性、レジスト溶剤に対する溶解性、
現像液に対する濡れ性、シリコン等の基板への密着性及
び剥離剤に対する溶解性等レジスト材として用いられる
のに必要な諸性質全てを満足し、しかも合成容易な重合
体及び共重合体は未だなく、更なる開発が求められてい
る。
【０００６】一方、脂肪族環状炭化水素を主鎖とし、酸
により分解する官能基を有する環状骨格を有する高分子
化合物からなるフォトレジスト組成物（ＷＯ９７／３３
１９８号）に見られる様な環状高分子は、耐ドライエッ
チング性が優れ、遠紫外線に対する透明性に優れている
が、高濃度でのレジスト溶剤に対する溶解性、現像液に
対する濡れ性、シリコン基板への密着性が悪いと言う課
題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、レジスト材
用のポリマーとして用いられるのに必要な上記の諸性能
全てを満足し、しかも狭い分子量分布を有する開環メタ
セシス重合体の水素添加物を提供し、かつそのような重
合体の水素添加物の製造方法を提供することを目的とす
るものである。
【０００８】又、本発明はそのような重合体の水素添加
物を用いた、耐ドライエッチング性、遠紫外線に対する
透明性、レジスト溶剤に対する溶解性、現像液に対する
濡れ性、シリコン等の基板への密着性及び剥離剤に対す
る溶解性等の諸特性に優れたレジスト材料を提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記問題点
を解決するため種々検討し、環状オレフィン系単量体の
開環メタセシス重合体の水素添加物が、優れた光学特
性、電気特性、高剛性、耐熱性、基板密着性及び耐候性
を有するレジスト材用のポリマーとして利用できる可能
性を鋭意検討したところ、新規な開環メタセシス重合体
の水素添加物がこれらレジスト材としての諸性能を満足
することを見いだし、本発明を完成するに至った。 （ｉ） 即ち、少なくとも下記一般式（１）
【００１０】
【化７】
【００１１】（式中、Ｒ1〜Ｒ4のうち少なくとも一つ
が、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は
水素、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数
１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のア
ルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、
炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数
７〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２
０のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のア
リールスルホニルオキシ基、カルボキシ基、ヒドロキシ
基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭
素数１〜２０のヒドロキシアルキル基ら選ばれ、Ｘ1は
−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ5−、−ＰＲ5−、または−ＣＲ
5 2−から（Ｒ5は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を
表す）選ばれ、同一でも異なってもよい。ｍは０または
１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ａ）と下
記一般式（２）
【００１２】
【化８】
【００１３】（式中、Ｒ6〜Ｒ9のうち少なくとも一つ
が、カルボキシ、ヒドロキシを含む置換基であり、その
他は水素、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜
２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキ
ル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル
基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭
素数７〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１
〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６
〜２０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ2
は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ10−、−ＰＲ10−、または−
ＣＲ10 2−から（Ｒ10は水素、炭素数１〜２０のアルキ
ル基を表す）選ばれ、同一でも異なってもよい。ｎは０
または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位
（Ｂ）と下記一般式（３）
【００１４】
【化９】
【００１５】（式中、Ｒ11〜Ｒ14の少なくとも１つがシ
アノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基で
あり、その他は水素、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭
素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１
〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜２０のアル
コキシカルボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカル
ボニルアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭
素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０
のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロ
ゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ3は−Ｏ−、−Ｓ−、
−ＮＲ15−、−ＰＲ15−、または−ＣＲ15 2−から（Ｒ
15は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ば
れ、同一でも異なってもよい。ｌは０または１〜３の整
数を表す。）で表される構造単位（Ｃ）とを、その構成
モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構成
モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０で構成
とするものであり、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分
子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０である
ことを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物で
ある。
【００１６】本発明は、また、（ii）一般式（４）で表
される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、ま
たは一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも
２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式
（４）、一般式（５）と一般式（６）で表される少なく
とも３種類の環状オレフィン系単量体をリビング開環メ
タセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに水素添加
する開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法であ
り、一般式（４）
【００１７】
【化１０】
【００１８】（式中、Ｒ16〜Ｒ19のうち少なくとも一つ
が、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は
水素、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数
１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のア
ルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、
炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数
７〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２
０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２
０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ 4は−
Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ20−、−ＰＲ20−、または−ＣＲ
20 2−から（Ｒ20は水素、炭素数１〜２０のアルキル基
を表す）選ばれ、同一でも異なってもよい。ｘは０また
は１〜３の整数を表す。） 一般式（５）
【００１９】
【化１１】
【００２０】（式中、Ｒ21〜Ｒ24のうち少なくとも一つ
が、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカ
ルボキシアルキル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアル
キル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、または炭素数
２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のア
ルキルカルボニルオキシ基、炭素数７〜２０のアリール
カルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホ
ニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオ
キシ基、またはＲ21〜Ｒ24のうちＲ21とＲ23から形成さ
れるカルボン酸無水物であり、その他は水素または炭素
数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜
２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ5は−Ｏ
−、−Ｓ−、−ＮＲ25−、−ＰＲ25−、または−ＣＲ25
2−から（Ｒ25は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を
表す）選ばれ、同一でも異なってもよい。ｙは０または
１〜３の整数を表す。） 一般式（６）
【００２１】
【化１２】
【００２２】（式中、Ｒ26〜Ｒ29の少なくとも１つがシ
アノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基で
あり、その他は水素、炭素数２〜２０のアルコキシカル
ボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアル
キル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２
０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル
基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アル
キル基から選ばれ、 Ｘ6は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ
30−、−ＰＲ30−、または−ＣＲ30 2−から（Ｒ30は水
素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、同一
でも異なってもよい。ｚは０または１〜３の整数を表
す。）（iii） （ii）において、水素添加触媒のもと
に水素添加し、さらに、酸により分解する新たな置換基
に変換することを特徴とする開環メタセシス重合体の水
素添加物の製造方法であり、（iv） （ii）において、
水素添加後、加水分解をする開環メタセシス重合体の水
素添加物の製造方法であり、（ｖ） （ii）において、
水素添加後、加水分解し、さらに、酸により分解する基
を含む新たな置換基に変換する開環メタセシス重合体の
水素添加物の製造方法であり、（vi） 一般式（４）で
表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、
または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくと
も２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式
（４）、一般式（５）及び一般式（６）で表される少な
くとも３種類の環状オレフィン系単量体をオレフィンま
たはジエンの存在下でリビング開環メタセシス触媒で重
合する開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法で
あり、また、本発明は、（vii） 前記（ｉ）の開環メ
タセシス重合体の水素添加物からなるフォトレジスト用
ポリマーである。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明の一般式（１）のＲ1〜Ｒ4
の少なくとも１つにおいて、酸により分解する基を含む
置換基とは、露光時に感光剤から発生する酸によって官
能基が分解してカルボキシ基を生成する置換基であり、
例えば、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭
素数２〜２０のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素数
３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数３
〜２０のアルキルカルボキシカルボニル基、または炭素
数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアルキル基が
挙げられる。
【００２４】具体的には、炭素数２〜２０のアルコキシ
カルボニル基としては、メトキシカルボニル、エトキシ
カルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキ
シカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキ
シカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テト
ラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒ
ドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシ
エトキシカルボニル、または１−ブトキシエトキシカル
ボニル等が挙げられ、炭素数２〜２０のアルコキシカル
ボニルオキシ基としては、メトキシカルボニルオキシ、
エトキシカルボニルオキシ、ｎ−プロポキシカルボニル
オキシ、イソプロポキシカルボニルオキシ、ｎ−ブトキ
シカルボニルオキシ、tert−ブトキシカルボニルオキ
シ、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ、テトラヒ
ドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、テトラ
ヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、１−
エトキシエトキシカルボニルオキシ、または１−ブトキ
シエトキシカルボニルオキシ等が挙げられ、炭素数３〜
２０のアルコキシカルボニルアルキル基としては、メト
キシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イ
ソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボ
ニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−
ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカ
ルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ
カルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキ
シカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イル
オキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボ
ニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメ
チル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルキルカルボキ
シカルボニル基としては、メチルカルボキシカルボニ
ル、エチルカルボキシカルボニル、イソプロピルカルボ
キシカルボニル、tert−ブチルカルボキシカルボニル、
またはシクロヘキシルカルボキシカルボニル等が挙げら
れ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアル
キル基としては、メトキシカルボニルオキシメチル、エ
トキシカルボニルオキシメチル、イソプロポキシカルボ
ニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメ
チル、tert−ブトキシカルボニルオキシエチル、tert−
ブトキシカルボニルオキシメンチル、シクロヘキシルオ
キシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２
−イルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピ
ラン−２−イルオキシカルボニルオキシメンチル、テト
ラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチ
ル、１−エトキシエトキシカルボニルオキシメチル、ま
たは１−ブトキシエトキシカルボニルオキシメチル等が
挙げられる。
【００２５】これらのうち、２級または３級のアルコキ
シを有するアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボ
ニルオキシ基、アルコキシカルボニルアルキル基、また
はアルコキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用
いられ、特に、tert−ブトキシカルボニル基、tert−ブ
トキシカルボニルアルキル基、tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ基、tert−ブチルカルボキシカルボニル基、te
rt−ブトキシカルボニルオキシアルキル基、テトラヒド
ロピラン−２−イルオキシカルボニル基、テトラヒドロ
ピラン−２−イルオキシカルボニルアルキル基、テトラ
ヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ基、テ
トラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシア
ルキル基が好ましく用いられる。
【００２６】その他は、水素；メチル、エチル、プロピ
ル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シクロ
ヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル
基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキ
シ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２
０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、
tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチルまたはメ
トキシメントール等の、またはメチルグルコース等のア
ルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキ
ル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子
等のハロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブロモ
メチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモ
メチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたは
トリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アル
キル基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキルカル
ボニルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜２０
のアリールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の炭素
数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；トシルオキ
シ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基；
カルボキシ基またはヒドロキシ基；カルボキシメチル、
カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブ
チル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘ
キシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基；ま
たはヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシ
プロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまた
はメントール等の、またはグルコース等の糖類を含む炭
素数１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例として挙
げられる。
【００２７】Ｘ1は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ5−、−ＰＲ
5−、または−ＣＲ5 2−から（Ｒ5は水素、炭素数１〜２
０のアルキル基を表す）選ばれ、ｍが１〜３の場合、Ｘ
1は同一でも異なってもよい。Ｒ5で表される炭素数１〜
２０のアルキル基としては、メチル、エチル、ｎ−プロ
ピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シク
ロヘキシル、またはメンチル等が具体例として挙げられ
る。Ｘ1として、特に、好ましくは−Ｏ−または−ＣＨ2
−である。
【００２８】本発明の一般式（２）のＲ6〜Ｒ9の少なく
とも１つにおいて、カルボキシ又はヒドロキシを含む置
換基としては、カルボキシ基；ヒドロキシ基；カルボキ
シメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カ
ルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキ
シシクロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアル
キル基；ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロ
キシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシ
ル、メントール、またはグルコース等の糖類等の炭素数
１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例として挙げら
れる。
【００２９】その他は、水素；メトキシ、エトキシ、イ
ソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメ
ントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシ
メチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert
−ブトキシエチル、メトキシメントール等の、またはメ
チルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２
０のアルコキシアルキル基；メチル、エチル、ｎ−プロ
ピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、シクロ
ヘキシル、メンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；
塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハ
ロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチ
ル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチ
ル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリ
ブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル
基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキルカルボニ
ルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜２０のア
リールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の炭素数１
〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；またはトシルオ
キシ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ
基、が具体例として挙げられる。
【００３０】Ｘ2は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ10−、−Ｐ
Ｒ10−、または−ＣＲ10 2−から（Ｒ 10は水素、炭素数
１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、ｎが１〜３の場
合、Ｘ 2は同一でも異なってもよい。Ｒ10の炭素数１〜
２０のアルキル基としてはメチル、エチル、ｎ−プロピ
ル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シクロ
ヘキシル、またはメンチル等が具体例として挙げられ
る。Ｘ2として、特に、好ましくは−Ｏ−または−ＣＨ2
−である。
【００３１】また、一般式（３）のＲ11〜Ｒ14の少なく
とも１つにおいて、シアノを含む置換基としては、シア
ノ基、あるいはシアノメチルまたはシアノエチル等の炭
素数２〜２０のシアノアルキル基が挙げられ、ラクトニ
ルオキシカルボニルを含む置換基としては、γ−ブチロ
ラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−ブチロラクト
ニル−３−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−
２−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−３−オ
キシカルボニル、α−メチル−γ−ブチロラクトニル−
２−オキシカルボニル、（２−ジヒドロフラノン−５−
イル）メトキシカルボニル、δ−バレロラクトニル−２
−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−３−オキ
シカルボキル、δ−バレロラクトニル−４−オキシカル
ボキル、２−メチル−δ−バレロラクトニル−２−オキ
シカルボキルまたは５，５−ジメチルシクロペンタンカ
ルボラクトニル−１−オキシカルボニル等の炭素数５〜
２０のラクトニルオキシカルボニル基が挙げらる。
【００３２】その他は、水素；カルボキシ基；ヒドロキ
シ基；カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキ
シプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチル
またはカルボキシシクロヘキシル等の炭素数２〜２０の
カルボキシアルキル基；ヒドロキシメチル、ヒドロキシ
エチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒド
ロキシヘキシルまたはメントール等の、またはグルコー
ス等の糖類を含む炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル
基；メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プ
ロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−
ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、シク
ロヘキシルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２
−イルオキシカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イ
ルオキシカルボニル、１−エトキシエトキシカルボニル
または１−ブトキシエトキシカルボニル等の炭素数２〜
２０のアルコキシカルボニル基；メトキシカルボニルメ
チル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキシカル
ボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチル、tert
−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシカルボニ
ルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルメチル、
テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメチ
ル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメ
ンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニ
ルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチル、ま
たは１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等の炭素数
３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基；メトキ
シ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−
ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコ
キシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブト
キシメチル、tert−ブトキシエチル、メトキシメントー
ル等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を
含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；メチル、
エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ
−ブチル、シクロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１
〜２０のアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子ま
たはフッ素原子等のハロゲン；またはフルオロメチル、
クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジク
ロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、ト
リクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜
２０のハロゲン化アルキル基が具体例として挙げられ
る。
【００３３】さらに、Ｘ3は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ15
−、−ＰＲ15−、または−ＣＲ15 2−から（Ｒ15は水
素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、ｌが
１〜３の場合、Ｘ3は同一でも異なってもよい。Ｒ15で
表される炭素数１〜２０のアルキル基としては、メチ
ル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチ
ル、tert−ブチル、シクロヘキシル、またはメンチル等
のアルキル基が具体例として挙げられる。Ｘ3として、
特に、好ましくは−Ｏ−または−ＣＨ2−である。
【００３４】本発明においてリビング開環メタセシス触
媒で重合する一般式（４）、一般式（５）または一般式
（６）で表される環状オレフィン系単量体としては、
ｘ、ｙまたはｚが０であるビシクロヘプトエンの誘導
体、ｘ、ｙまたはｚが１であるテトラシクロドデセンの
誘導体、ｘ、ｙまたはｚが２であるヘキサシクロヘプタ
デセンの誘導体、ｘ、ｙまたはｚが３であるオクタシク
ロドコセンの誘導体等が挙げられる。
【００３５】一般式（４）において、Ｒ16〜Ｒ19の少な
くとも１つが示す、酸により分解する基を含む置換基と
は、露光時に感光剤から発生する酸によって官能基が分
解してカルボキシを生成する置換基であり、例えば、炭
素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜２
０のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素数３〜２０の
アルコキシカルボニルアルキル基、炭素数３〜２０のア
ルキルカルボキシカルボニル基、または炭素数３〜２０
のアルコキシカルボニルオキシアルキル基が挙げられ
る。
【００３６】具体的には、炭素数２〜２０のアルコキシ
カルボニル基としては、メトキシカルボニル、エトキシ
カルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキ
シカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキ
シカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テト
ラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒ
ドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシ
エトキシカルボニル、または１−ブトキシエトキシカル
ボニル等が挙げられ、炭素数２〜２０のアルコキシカル
ボニルオキシ基としては、メトキシカルボニルオキシ、
エトキシカルボニルオキシ、ｎ−プロポキシカルボニル
オキシ、イソプロポキシカルボニルオキシ、ｎ−ブトキ
シカルボニルオキシ、tert−ブトキシカルボニルオキ
シ、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ、テトラヒ
ドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、テトラ
ヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、１−
エトキシエトキシカルボニルオキシ、または１−ブトキ
シエトキシカルボニルオキシ等が挙げられ、炭素数３〜
２０のアルコキシカルボニルアルキル基としては、メト
キシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イ
ソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボ
ニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−
ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカ
ルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ
カルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキ
シカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イル
オキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボ
ニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメ
チル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルキルカルボキ
シカルボニル基としては、メチルカルボキシカルボニ
ル、エチルカルボキシカルボニル、イソプロピルカルボ
キシカルボニル、tert−ブチルカルボキシカルボニル、
またはシクロヘキシルカルボキシカルボニル等が挙げら
れ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアル
キル基としては、メトキシカルボニルオキシメチル、エ
トキシカルボニルオキシメチル、イソプロポキシカルボ
ニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメ
チル、tert−ブトキシカルボニルオキシエチル、tert−
ブトキシカルボニルオキシメンチル、シクロヘキシルオ
キシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２
−イルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピ
ラン−２−イルオキシカルボニルオキシメンチル、テト
ラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチ
ル、１−エトキシエトキシカルボニルオキシメチル、ま
たは１−ブトキシエトキシカルボニルオキシメチル等が
挙げられる。
【００３７】これらのうち、２級または３級のアルコキ
シを有するアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボ
ニルオキシ基、アルコキシカルボニルアルキル基、また
はアルコキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用
いられ、特に、tert−ブトキシカルボニル基、tert−ブ
トキシカルボニルアルキル基、tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ基、tert−ブトキシカルボニルオキシアルキル
基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル
基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルア
ルキル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボ
ニルオキシ基、またはテトラヒドロピラン−２−イルオ
キシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用いられ
る。
【００３８】その他は、水素；メチル、エチル、プロピ
ル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、シ
クロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアル
キル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブ
トキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１
〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチ
ル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチルまた
はメトキシメントール等の、またはメチルグルコース等
のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシア
ルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素
原子等のハロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブ
ロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブ
ロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルま
たはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化
アルキル基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキル
カルボニルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜
２０のアリールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の
炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；トシル
オキシ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ
基；カルボキシ基またはヒドロキシ基；カルボキシメチ
ル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキ
シブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシク
ロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル
基；またはヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒド
ロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシ
ルまたはメントール等の、またはグルコース等の糖類を
含む炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例と
して挙げられる。
【００３９】Ｘ4は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ20−、−Ｐ
Ｒ20−、または−ＣＲ20 2−から（Ｒ 20は水素、炭素数
１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、ｘが１〜３の場
合、Ｘ 4は同一でも異なってもよい。Ｒ20で表される炭
素数１〜２０のアルキル基としては、メチル、エチル、
ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチ
ル、シクロヘキシル、またはメンチル等が具体例として
挙げられる。Ｘ4として、さらに、好ましくは少なくと
も１つが−Ｏ−または−ＣＨ2−である。
【００４０】本発明の一般式（５）のＲ21〜Ｒ24の少な
くとも１つにおいて、炭素数２〜２０のカルボキシアル
キル基としては、カルボキシメチル、カルボキシエチ
ル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキ
シイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等が挙げ
られ、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基として
は、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシ
プロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまた
はメントール等の、またはグルコース等の糖類が挙げら
れ、炭素数１〜２０のアルコキシ基としては、メトキ
シ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−
ブトキシまたはメントキシ等が挙げられ、炭素数２〜２
０のアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル、
メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキ
シエチル、メトキシメントール等のアルコキシアルキル
基、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類が挙げ
られ、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基と
しては、アセトキシ等が挙げられ、炭素数７〜２０のア
リールカルボニルオキシ基としては、ナフトイルオキシ
等があげられ、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオ
キシ基としてはメシルオキシ等が挙げられ、炭素数６〜
２０のアリールスルホニルオキシ基としては、トシルオ
キシ等が挙げられる。またＲ21〜Ｒ24のうちＲ21とＲ23
から形成されるカルボン酸無水物が具体例として挙げら
れる。これらのうち、好ましくは、アルコキシ基、アル
コキシアルキル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリ
ールカルボニルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ
基、アリールスルホニルオキシ基、またはカルボン酸無
水物である。特に、好ましくはカルボン酸無水物であ
る。
【００４１】その他は、水素；メチル、エチル、ｎ−プ
ロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シ
クロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアル
キル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原
子等のハロゲン；またはフルオロメチル、クロロメチ
ル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチ
ル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロ
メチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハ
ロゲン化アルキル基が具体例として挙げられる。
【００４２】Ｘ5は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ25−、−Ｐ
Ｒ25−、または−ＣＲ25 2−から（Ｒ 25は水素、炭素数
１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、ｙが１〜３の場
合、Ｘ 5は同一でも異なってもよい。Ｒ25で表される炭
素数１〜２０のアルキル基としては、メチル、エチル、
ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチ
ル、シクロヘキシル、またはメンチル等が具体例として
挙げられる。Ｘ5として、さらに、好ましくは少なくと
も１つが−Ｏ−または−ＣＨ2−である。
【００４３】また、一般式（６）のＲ26〜Ｒ29の少なく
とも１つにおいて、シアノを含む置換基としては、シア
ノ基、あるいはシアノメチルまたはシアノエチル等の炭
素数２〜２０のシアノアルキル基が挙げられ、ラクトニ
ルオキシカルボニルを含む置換基としては、γ−ブチロ
ラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−ブチロラクト
ニル−３−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−
２−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−３−オ
キシカルボニル、α−メチル−γ−ブチロラクトニル−
２−オキシカルボニル、（２−ジヒドロフラノン−５−
イル）メトキシカルボニル、δ−バレロラクトニル−２
−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−３−オキ
シカルボキル、δ−バレロラクトニル−４−オキシカル
ボキル、２−メチル−δ−バレロラクトニル−２−オキ
シカルボキルまたは５，５−ジメチルシクロペンタンカ
ルボラクトニル−１−オキシカルボニル等の炭素数５〜
２０のラクトニルオキシカルボニル基が挙げらる。
【００４４】その他は、水素；メトキシカルボニル、エ
トキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプ
ロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−
ブトキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニ
ル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、
テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−
エトキシエトキシカルボニル、または１−ブトキシエト
キシカルボニル等の炭素数２〜２０のアルコキシカルボ
ニル基；メトキシカルボニルメチル、エトキシカルボニ
ルメチル、イソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブ
トキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエ
チル、tert−ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキ
シルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２
−イルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−
２−イルオキシカルボニルメンチル、テトラヒドロフラ
ン−２−イルオキシカルボニルメチル、１−エトキシエ
トキシカルボニルメチル、または１−ブトキシエトキシ
カルボニルメチル等の炭素数３〜２０のアルコキシカル
ボニルアルキル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキ
シ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシ、またはメントキシ
等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、
メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキ
シエチル、メトキシメントール等の、またはメチルグル
コース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアル
コキシアルキル基；メチル、エチル、プロピル、イソプ
ロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、シクロヘキシル、ま
たはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；塩素原
子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲ
ン；またはフルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチ
ル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチ
ル、トリフルオロメチル、トリクロロメチル、またはト
リブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキ
ル基が具体例として挙げられる。
【００４５】さらに、Ｘ6は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ30
−、−ＰＲ30−、または−ＣＲ30 2−から（Ｒ30は水
素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、ｚが
１〜３の場合、Ｘ6は同一でも異なってもよい。Ｒ30で
表される炭素数１〜２０のアルキル基としては、メチ
ル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチ
ル、tert−ブチル、シクロヘキシル、またはメンチル等
が具体例として挙げられる。Ｘ 6として、さらに、好ま
しくは少なくとも１つが−Ｏ−または−ＣＨ2−であ
る。
【００４６】本発明における一般式（４）の具体例とし
ては、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキ
シカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）
オキシカルボニルオキシ−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２’−イル）オキシカルボニル−５−メチル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
オキシ−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５，６−ジ（テトラヒドロピラン−２’−
イル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２’−イル）オキシカルボニル−６−メチル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
オキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニル−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−６−メトキシカルボニル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−メトキシ
カルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニル−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）
オキシカルボニルオキシ−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６
−トリフルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−６−トリフルオロメチル−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒ
ドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−トリ
フルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−６−トリフルオロメチル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシメチル−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルオキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルオキシ−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロ
ピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−アセトキ
シ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニル−６−ナフトイルオキシ−７−オキサビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニルオキシ−６−ナフトイルオキシ−
７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニル−６−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロ
ピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−５−ナ
フトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
オキシ−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２’−イル）オキシカルボニル−６−メシルオキシ−
７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニルオキシ−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニル−６−トシルオキシ−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルオキシ−６−トシルオキシ−７−オキ
サビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６
−トシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−６−トシルオキシ−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の７
−オキサビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキ
サビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をチア（−
Ｓ−）に代えて７−チアビシクロヘプトエン類、または
上記の７−オキサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ
−）をアザ（−ＮＨ−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）
−）に代えて７−アザビシクロヘプトエン類、７−メチ
ル−７−アザビシクロヘプトエン類、または上記の７−
オキサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をホス
ファ（−ＰＨ−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）
−）に代えて７−ホスファビシクロヘプトエン類、７−
メチル−７−ホスファビシクロヘプトエン類、さらに上
記の７−オキサビシクロヘプトエン類のオキサをメチレ
ン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（ＣＨ3）
−）に代えて得られるビシクロヘプトエン類、７−メチ
ルビシクロヘプトエン類を挙げることができる。
【００４７】または、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−
２’−イル）オキシカルボニル−１１−オキサテトラシ
クロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、
８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１１−オキ
サテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−
ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オ
キシカルボニルオキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−８−メチル−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7 ,10］−３
−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ
−８−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒ
ドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−８−メチ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−
２’−イル）オキシカルボニルオキシ−８−メチル−１
１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジ（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１
１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,1 0］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−メチル−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）
オキシカルボニル−９−メチル−１１−オキサテトラシ
クロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、
８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニルオキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メトキシカルボニ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,1 0］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルオキシ−９−メトキシカルボニル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニル−９−メトキシカルボニル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニルオキシ−９−メトキシカルボニル−１１−
オキサテトラシクロ［４．４．０．１2, 5．１7,10］−
３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2, 5．１7,10］−３−ド
デセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニル−９−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−
２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−トリフルオロメチ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルオキシ−９−トリフルオロメチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニル−９−トリフルオロメチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニルオキシ−９−トリフルオロメチル−１１−
オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−
３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシク
ロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８
−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニ
ルオキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチル−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ
シクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルシクロヘキシル−１１−オキサテト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7 ,10］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−アセトキ
シ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルオキシ−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシ
クロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、
８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニル−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
オキシ−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−ナフトイルオキシ
−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニル−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2, 5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メシ
ルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニルオキシ−９−メシルオキシ−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニル−９−メシルオキシ−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−９−メシルオキシ−１１−オキサテト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−トシルオ
キシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−９−トシルオキシ−１１−オキ
サテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−
ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オ
キシカルボニル−９−トシルオキシ−１１−オキサテト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−９−トシルオキシ−１１−オキサテト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、または上
記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ（−
Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１１−チアテトラシク
ロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシクロ
ドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、メ
チルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた１１−アザテト
ラシクロドデセン類、１１−メチル−１１−アザテトラ
シクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシ
クロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ
−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１
１−ホスファテトラシクロドデセン類、１１−メチル−
１１−ホスファテトラシクロドデセン類、さらに上記の
１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサをメチレ
ン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）
−）に代えたテトラシクロドデセン類、１１−メチルテ
トラシクロドデセン類を挙げることができる。
【００４８】または、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシ
カルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５
−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラ
ヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１１−メチル−１５−オ
キサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−１１−メチル−１５−オキ
サヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラ
ヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１１−
メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニルオキシ−１１−メチル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０ 2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,1 4］−４−ヘプタデセ
ン、１１，１２−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．１10,13．０2, 7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１
２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０ 2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシ
カルボニル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−
イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メチル−１５−
オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニル−１２−メトキシカルボニル−１５
−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メトキシカルボニ
ル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9 ,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’
−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メトキシカル
ボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−ｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ルオキシ−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル
−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−
オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3, 6．１10,13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒ
ドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１
２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキ
サヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニル−１２−トリフルオロメチル−１
５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−トリフル
オロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１ 3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシ
カルボニル−１２−トリフルオロメチル−１５−オキサ
ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピ
ラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ト
リフルオロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）
オキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−
イル）オキシカルボニルオキシメチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ
メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシシクロヘキ
シル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシ
ル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１ 3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−アセトキシ−１
５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１ 3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−アセトキ
シ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）
オキシカルボニルオキシ−１２−アセトキシ−１５−オ
キサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニル−１２−ナフトイルオキシ−１５−
オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10, 13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキシ−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−
イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキ
シ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１1 0,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メシルオキシ−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキ
シ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−
イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキシ−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０ 2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−トシルオキシ−１
５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−トシルオ
キシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシ
カルボニル−１２−トシルオキシ−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピ
ラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ト
シルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9 ,14］−４−ヘプタデセン
等の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類、または
上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオキ
サ（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１５−チアヘキ
サシクロヘプタデセン類、または上記の１５−オキサヘ
キサシクロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ
（−ＮＨ−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代え
た１５−アザヘキサシクロヘプタデセン類、１５−メチ
ル−１５−アザヘキサシクロヘプタデセン類、または上
記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオキサ
（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ−）、メチルホスファ
（−Ｐ（メチル）−）に代えた１５−ホスファヘキサシ
クロヘプタデセン類、１５−メチル−１５−ホスファヘ
キサシクロヘプタデセン類、さらに上記の１５−オキサ
ヘキサシクロヘプタデセン類のオキサをメチレン（−Ｃ
Ｈ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）−）に代
えたヘキサシクロヘプタデセン類、１５−メチルヘキサ
シクロヘプタデセン類を挙げることができる。
【００４９】または、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−シクロヘキシルオキシカルボニル
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０1 2,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−１１−メチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１４−メチル−１９−オキサオ
クタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,1 8．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１
４−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１４−メチル−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１1 3,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４，１５−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキ
シカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１５−メチル−１９−オキサオ
クタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シク
ロヘキシルオキシカルボニル−１５−メチル−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ−１５−メ
チル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,1 8．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１５−メトキシカルボニル−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニル−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2, 9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキ
シ−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシ
クロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13, 16．
０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキ
シ−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９
−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニル−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０ 3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニルオキシ−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメ
チル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０1 2,17］−
５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１５−トリフルオロメチル−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニル−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキ
シ−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシ
クロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．
０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒド
ロピラン−２’−イル）オキシカルボニルメチル−１９
−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボ
ニルオキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニルオキシメチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシシクロヘキシル−１９−オキサオ
クタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシル−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−アセトキ
シ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ド
コセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−
１５−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2, 9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン
−２’−イル）オキシカルボニル−１５−アセトキシ−
１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０1 2,17］−５−ド
コセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オ
キシカルボニルオキシ−１５−アセトキシ−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１ 2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−ナフトイ
ルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキ
シ−１５−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシク
ロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−ナフト
イルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１５−ナフトイルオキシ
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11 ,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−メ
シルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2, 9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオ
キシ−１５−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−メシル
オキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,1 8．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１５−メシルオキシ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−トシルオ
キシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3, 8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオ
キシ−１５−トシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１ 11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−トシル
オキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１５−トシルオキシ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4 ,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等
の１９−オキサオクタシクロドコセン類、または上記の
１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサ（−Ｏ
−）をチア（−Ｓ−）に代えた１９−チアオクタシクロ
ドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシクロド
コセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、メチ
ルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた１９−アザオクタ
シクロドコセン類、１９−メチル−１９−アザオクタシ
クロドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシク
ロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ
−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１
９−ホスファオクタシクロドコセン類、１９−メチル−
１９−ホスファオクタシクロドコセン類、さらに上記の
１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサをメチレ
ン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）
−）に代えたオクタシクロドコセン類、１９−メチルオ
クタシクロドコセン類を挙げることができる。
【００５０】本発明における一般式（５）の具体例とし
ては、５−カルボキシ−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−７−オキサビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキ
シメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−カルボキシシクロヘキシル−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロ
キシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−ヒドロキシシクロヘキシル−７−オキ
サビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メト
キシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシ−７
−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５
−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシメチ
ル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ナフトイルオキシ−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メ
シルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−カルボキシ−６−メチル−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロ
キシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−６−メチル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−カルボキシシクロヘキシル−６−メチル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
ヒドロキシメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシシク
ロヘキシル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシ−６−メチル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−６−メチル−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メント
キシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−６
−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−メントキシメチル−６−メチル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ア
セトキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ナフトイルオキシ−６−メ
チル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−メシルオキシ−６−メチル−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカル
ボン酸無水物、７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−５−エン−２，３−ジカルボン酸、５，６−ジヒド
ロキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−カルボキシメチル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキ
シシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシメチル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，
６−ジヒドロキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシ
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメント
キシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−７−オキ
サビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−
ジメントキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５，６−ジアセトキシ−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６
−ジナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメシルオキシ−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の７
−オキサビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキ
サビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をチア（−
Ｓ−）に代えた、例えば５−カルボキシ−７−チアビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ
−７−チアビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等
の７−チアビシクロヘプトエン類、または上記の７−オ
キサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ
（−ＮＨ−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代え
た７−アザビシクロヘプトエン類、７−メチル−７−ア
ザビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキサビシ
クロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−Ｐ
Ｈ−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた
７−ホスファビシクロヘプトエン類、７−メチル−７−
ホスファビシクロヘプトエン類、さらに上記の７−オキ
サビシクロヘプトエン類のオキサをメチレン（−ＣＨ2
−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）−）に代えた
ビシクロヘプトエン類、７−メチルビシクロヘプトエン
類を挙げることができる。
【００５１】または、８−カルボキシ−１１−オキサテ
トラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデ
セン、８−ヒドロキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
カルボキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボ
キシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロ
キシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシシク
ロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メトキシ−１１
−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］
−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１１−オキ
サテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−
ドデセン、８−メントキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
メントキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−アセト
キシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2, 5．１7,10］−３−ドデセン、８−ナフトイルオキ
シ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−メシルオキシ−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８−カルボキシ−９−メチル−１１−オキ
サテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−
ドデセン、８−ヒドロキシ−９−メチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−カルボキシメチル−９−メチル−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８−カルボキシシクロヘキシル−９−メチ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシメチル−９−
メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシシクロ
ヘキシル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
メトキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−メチル−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１ 2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−メントキシ−９−メチル−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−９−メチル−１１
−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］
−３−ドデセン、８−メントキシメチル−９−メチル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−アセトキシ−９−メチル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−ナフトイルオキシ−９−メ
チル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メシルオキシ−
９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−８−ドデセン
−３，４−ジカルボン酸無水物、１１−オキサテトラシ
クロ［４．４．０．１2,5．１7 ,10］−８−ドデセン−
３，４−ジカルボン酸、８，９−ジヒドロキシ−１１−
オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−
３−ドデセン、８，９−ジカルボキシメチル−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８，９−ジカルボキシシクロヘキシル−１
１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジヒドロキシメチル
−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８，９−ジヒドロキシシクロヘ
キシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメトキシ−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシ
−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメントキシ−１１−
オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−
３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメントキシメチル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7
,10］−３−ドデセン、８，９−ジアセトキシ−１１−
オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−
３−ドデセン、８，９−ジナフトイルオキシ−１１−オ
キサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン、８，９−ジメシルオキシ−１１−オキサテ
トラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデ
セン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、または
上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ
（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１１−チアテトラ
シクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシ
クロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ
−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた１１−
アザテトラシクロドデセン類、１１−メチル−１１−ア
ザテトラシクロドデセン類、または上記の１１−オキサ
テトラシクロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ
（−ＰＨ−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に
代えた１１−ホスファテトラシクロドデセン類、１１−
メチル−１１−ホスファテトラシクロドデセン類、さら
に上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ
をメチレン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ
（メチル）−）に代えたテトラシクロドデセン類、１１
−メチルテトラシクロドデセン類を挙げることができ
る。
【００５２】または、１１−カルボキシ−１５−オキサ
ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシ−１５
−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキ
シメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−カルボキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチル
−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒ
ドロキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１ 3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−メトキシ−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキ
シ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
メントキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシメチル−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,
13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−アセ
トキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−メシルオキシ−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシ−１２−
メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−ヒドロキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．１10, 13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシメチル
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,1 4］−４−ヘプタデ
セン、１１−カルボキシシクロヘキシル−１２−メチル
−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒ
ドロキシメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシ
クロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］
−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシシクロヘキシル
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−メトキシ−１２−メチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．１10, 13．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．１10,13．０2,7．０9 ,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−メントキシ−１２−メチル−１５−オキサ
ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．
０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキ
シメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−メントキシメチル−１２−メチ
ル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
アセトキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−ナフトイルオキシ−１２−メチ
ル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
メシルオキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−１１−ヘ
プタデセン−４，５−ジカルボン酸無水物、１５−オキ
サヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−１１−ヘプタデセン−４，５−ジカ
ルボン酸、１１，１２−ジヒドロキシ−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジカルボキシ
メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０ 2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１，１２−ジカルボキシシクロヘキシル−１５−オキ
サヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジ
ヒドロキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１，１２−ジヒドロキシシクロヘキシル−
１５−オキサシクロヘキシルヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１，１２−ジメトキシ−１５−オキサヘキサシ
クロ［６．６．１．１3,6．１10, 13．０2,7．０9,14］
−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキ
シ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，
１２−ジメントキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１ 3,6．１
10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１
２−ジメントキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１，１２−ジアセトキシ−１５−オ
キサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０
2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジナ
フトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１ 3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１，１２−ジメシルオキシ−１５−オキサヘキ
サシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,1
4］−４−ヘプタデセン等の１５−オキサヘキサシクロ
ヘプタデセン類、または上記の１５−オキサヘキサシク
ロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）
に代えた１５−チアヘキサシクロヘプタデセン類、また
は上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオ
キサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、メチルアザ（−Ｎ
（メチル）−）に代えた１５−アザヘキサシクロヘプタ
デセン類、１５−メチル−１５−アザヘキサシクロヘプ
タデセン類、または上記の１５−オキサヘキサシクロヘ
プタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ
−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１
５−ホスファヘキサシクロヘプタデセン類、１５−メチ
ル−１５−ホスファヘキサシクロヘプタデセン類、さら
に上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオ
キサをメチレン（−ＣＨ 2−）、メチルメチレン（−Ｃ
Ｈ（メチル）−）に代えたヘキサシクロヘプタデセン
類、１５−メチルヘキサシクロヘプタデセン類を挙げる
ことができる。
【００５３】または、１４−カルボキシ−１９−オキサ
オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒ
ドロキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13, 16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−カルボキシメチル−１９−オキサオ
クタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カル
ボキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシメチ
ル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１ 2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ド
コセン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−メントキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2, 9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−メントキシメチル−１９−オキサ
オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ア
セトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−ナフトイルオキシ−１９−オキサオ
クタシクロ［８．８．０．１ 2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メシ
ルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−カルボキシ−１５−メチル−１９−
オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−ヒドロキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシ
クロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．
０3,8．０1 2,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシメ
チル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシシクロヘキ
シル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０1
2,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシメチル−１５
−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１５−
メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０1 2,17］−５
−ドコセン、１４−メトキシ−１５−メチル−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−メチル−１９−オキサ
オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メ
ントキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシメチ
ル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４−アセトキシ−１５−メ
チル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2, 9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−ナフトイルオキシ−１５−メチル
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−メシルオキシ−１５−メチル−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−１４−
ドコセン−５，６−ジカルボン酸無水物、１９−オキサ
オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−１１−ドコセン−５，６
−ジカルボン酸、１４，１５−ジヒドロキシ−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４，１５−ジカルボキシメチル−１９−オキサオクタシ
クロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．
０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジカル
ボキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジヒドロ
キシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4 ,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４，１５−ジヒドロキシシクロヘキシ
ル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ド
コセン、１４，１５−ジメトキシ−１９−オキサオクタ
シクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１
５−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメント
キシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチ
ル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．
１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ド
コセン、１４，１５−ジメントキシメチル−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４，１５−ジアセトキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジナフト
イルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１ １１，１８．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメシルオキシ
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン等の１９−オキサオクタシクロドコセン類、または
上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサ
（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１９−チアオクタ
シクロドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシ
クロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ
−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた１９−
アザオクタシクロドコセン類、１９−メチル−１９−ア
ザオクタシクロドコセン類、または上記の１９−オキサ
オクタシクロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ
（−ＰＨ−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に
代えた１９−ホスファオクタシクロドコセン類、１９−
メチル−１９−ホスファオクタシクロドコセン類、さら
に上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサ
をメチレン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ
（メチル）−）に代えたオクタシクロドコセン類、１９
−メチルオクタシクロドコセン類を挙げることができ
る。
【００５４】本発明における一般式（６）の具体例とし
ては、５−シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５，６−ジシアノ−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチ
ル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−シアノエチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−メトキシカル
ボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−シアノ−６−エトキシカルボニル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−シアノ−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テト
ラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−
シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−シアノ−６−メトキシ−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−
エトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−６−シアノ−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
シアノ−６−クロロ−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−ブロモ−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
シアノ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチル−６−メチル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−シアノエチル−６−メチル−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノプロピ
ル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−シアノブチル−６−メチル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
シアノ−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチル−６−エチル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−シアノエチル−６−エチル−７−オキサビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノプロピ
ル−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−シアノブチル−６−エチル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等、
【００５５】または、５−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（γ−ブチロラ
クトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−バレ
ロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカ
ルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキ
シカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフ
ラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−６−メト
キシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
６−エトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−６−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシ
カルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニル−６−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニ
ル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフラノン−５’
−イル）メトキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オ
キサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オ
キシカルボニル）−６−エトキシ−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシ−６−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカル
ボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシ
カルボニル）−６−クロロ−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニ
ル−２’−オキシカルボニル）−６−ブロモ−７−オキ
サビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ
−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−
メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカ
ルボニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフ
ラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−６−メチ
ル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボ
ニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン等の７−オキサビシクロヘプトエ
ン類、または上記の７−オキサビシクロヘプトエン類の
オキサ（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた７−チアビ
シクロヘプトエン類、または上記の７−オキサビシクロ
ヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、
メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた７−アザビシ
クロヘプトエン類、７−メチル−７−アザビシクロヘプ
トエン類、または上記の７−オキサビシクロヘプトエン
類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ−）、メチル
ホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた７−ホスファビ
シクロヘプトエン類、７−メチル−７−ホスファビシク
ロヘプトエン類、さらに上記の７−オキサビシクロヘプ
トエン類のオキサをメチレン（−ＣＨ2−）、メチルメ
チレン（−ＣＨ（メチル）−）に代えたビシクロヘプト
エン類、７−メチルビシクロヘプトエン類を挙げること
ができる。
【００５６】または、８−シアノ−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,1 0］−３−ドデセ
ン、８，９−ジシアノ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノエチ
ル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−メトキシカ
ルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−エト
キシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニル−９−シアノ−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカ
ルボニル−９−シアノ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１ 2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノ−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノ−９−エトキシ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−シアノ−１１−オキサテトラ
シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−シアノ−９−クロロ−１１−オキサテトラシク
ロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８
−シアノ−９−ブロモ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
メチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
エチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
プロピル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノブチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
シアノ−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
メチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
エチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
プロピル−９−エチル１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ
ブチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等、
【００５７】または、８−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，
９−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラ
クトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテ
トラシクロ［４．４．０．１2, 5．１7,10］−３−ドデ
セン、８−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）
メトキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,1 0］−３−ドデセン、８−
（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラノ
ン−５’−イル）メトキシカルボニル）−９−メトキシ
カルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラ
クトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカ
ルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2, 5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラク
トニル−２’−オキシカルボニル）−９−エトキシカル
ボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１
2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニル−９−（γ−ブチロラクトニル−２’−オ
キシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テト
ラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−９−メトキシ−１１−オキ
サテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−
ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシ
カルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシク
ロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８
−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシ
カルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシク
ロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８
−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）
−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチ
ロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−エトキ
シ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９
−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）
−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−９−クロロ−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカ
ルボニル）−９−ブロモ−１１−オキサテトラシクロ
［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラ
クトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メチル−１
１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラ
ノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−９−メチル
−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−９−メチル−１１−オキサ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、また
は上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ
（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた11−チアテトラシ
クロドデセン類、または上記の11−オキサテトラシクロ
ドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、メ
チルアザ（−Ｎ（メチル）−）に代えた１１−アザテト
ラシクロドデセン類、１１−メチル−１１−アザテトラ
シクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシ
クロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ
−）、メチルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１
１−ホスファテトラシクロドデセン類、１１−メチル−
１１−ホスファテトラシクロドデセン類、さらに上記の
１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサをメチレ
ン（−ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）
−）に代えたテトラシクロドデセン類、１１−メチルテ
トラシクロドデセン類を挙げることができる。
【００５８】または、１１−シアノ−１５−オキサヘキ
サシクロ［６．６．１．１3,6．０2 ,7．０9,14］−４−
ヘプタデセン、１１，１２−ジシアノ−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−シアノメチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−シアノエチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−メトキシカルボ
ニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シ
アノ−１２−エトキシカルボニル−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘ
プタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１
２−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル
−１２−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−シアノ−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−シアノ−１２−エトキシ−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１２−シ
アノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シ
アノ−１２−クロロ−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−シアノ−１２−ブロモ−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタ
デセン、１１−シアノ−１２−メチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−シアノメチル−１２−メチル−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノエ
チル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−シアノプロピル−１２−メチル−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−シアノブチル−１２−メチル−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−
１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−シアノメチル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシ
クロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−シアノエチル−１２−エチル−１５−
オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０
9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノプロピル−１
２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シ
アノブチル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．０2,7．０ 9,14］−４−ヘプタデ
セン等、
【００５９】または、１１−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１，１２−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカ
ルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブ
チロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メ
トキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサ
シクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０ 9,14］−４−ヘ
プタデセン、１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’
−イル）メトキシカルボニル）−１２−メトキシカルボ
ニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ
［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカ
ルボニル）−１２−エトキシカルボニル−１５−オキサ
ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ル−１２−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカル
ボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テ
トラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１
２−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2,7．０ 9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）
−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．
６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メト
キシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘキ
サシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−
ヘプタデセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘ
キサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’
−オキシカルボニル）−１２−エトキシ−１５−オキサ
ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１２−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．
０2,7．０ 9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブ
チロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−ク
ロロ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．
１3,6．０2 ,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１２−ブロモ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3, 6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）
−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．
１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１
−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシ
カルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタ
デセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシ
カルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシク
ロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタ
デセン等の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類、
または上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類
のオキサ（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１５−チ
アヘキサシクロヘプタデセン類、または上記の１５−オ
キサヘキサシクロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）を
アザ（−ＮＨ−）、メチルアザ（−Ｎ（メチル）−）に
代えた１５−アザヘキサシクロヘプタデセン類、１５−
メチル−１５−アザヘキサシクロヘプタデセン類、また
は上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオ
キサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ−）、メチルホスフ
ァ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１５−ホスファヘキサ
シクロヘプタデセン類、１５−メチル−１５−ホスファ
ヘキサシクロヘプタデセン類、さらに上記の１５−オキ
サヘキサシクロヘプタデセン類のオキサをメチレン（−
ＣＨ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）−）に
代えたヘキサシクロヘプタデセン類、１５−メチルヘキ
サシクロヘプタデセン類を挙げることができる。
【００６０】または、１４−シアノ−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4 ,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５
−ジシアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−シアノメチル−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シア
ノエチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−シアノ−１５−メトキシカルボニル
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2, 9．１
4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−シアノ−１５−エトキシカルボニル−１９
−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−シアノ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニル−１５−シアノ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−
メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−シアノ−１５−エトキシ−１９−オ
キサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−シアノ−１９−オキサ
オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シ
アノ−１５−クロロ−１９−オキサオクタシクロ［８．
８．０．１2, 9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０
12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−ブロモ
−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１
4,7．１11 ,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコ
セン、１４−シアノ−１５−メチル−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シア
ノメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノエチル−
１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノプロピル−１
５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−シアノブチル−１５−メチル−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−シアノ−１５−エチル−１９−オキサオクタシク
ロ［８．８．０．１ 2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノメチル−
１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4 ,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノエチル−１５
−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11 ,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−シアノプロピル−１５−エチル−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−シアノブチル−１５−エチル−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等、
【００６１】または、１４−（γ−ブチロラクトニル−
２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジ（γ−
ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−
オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１ 2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロフラノン−
５’−イル）メトキシカルボニル）−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ
−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９
−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０ 3,8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタ
シクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−
（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１1 3,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒ
ドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１
５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラ
クトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ
カルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−１５−エトキシカルボニル−１９
−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１
11,18．１13,16．０3, 8．０12,17］−５−ドコセン、１
４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−（γ−ブチ
ロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキ
サオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカル
ボニル−１５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシ
カルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクト
ニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13, 16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒ
ドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１
５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13, 16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラクト
ニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ−１
９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．
１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、
１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニ
ル）−１５−エトキシ−１９−オキサオクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブト
キシ−１５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカ
ルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．
１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−
５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−
オキシカルボニル）−１５−クロロ−１９−オキサオク
タシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１
13,16．０3,8．０1 2,17］−５−ドコセン、１４−（γ
−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５
−ブロモ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オ
キシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタ
シクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−
（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−
１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．
０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．
０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロ
フラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１５−
メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１
2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５
−ドコセン、１４−（δ−バレロラクトニル−２’−オ
キシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタ
シクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０ 3,8．０12,17］−５−ドコセン等の１９−
オキサオクタシクロドコセン類、または上記の１９−オ
キサオクタシクロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をチア
（−Ｓ−）に代えた１９−チアオクタシクロドコセン
類、または上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類
のオキサ（−Ｏ−）をアザ（−ＮＨ−）、メチルアザ
（−Ｎ（メチル）−）に代えた１９−アザオクタシクロ
ドコセン類、１９−メチル−１９−アザオクタシクロド
コセン類、または上記の１９−オキサオクタシクロドコ
セン類のオキサ（−Ｏ−）をホスファ（−ＰＨ−）、メ
チルホスファ（−Ｐ（メチル）−）に代えた１９−ホス
ファオクタシクロドコセン類、１９−メチル−１９−ホ
スファオクタシクロドコセン類、さらに上記の１９−オ
キサオクタシクロドコセン類のオキサをメチレン（−Ｃ
Ｈ2−）、メチルメチレン（−ＣＨ（メチル）−）に代
えたオクタシクロドコセン類、１９−メチルオクタシク
ロドコセン類を挙げることができる。
【００６２】本発明においては、一般式（４）で表され
る少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または
一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種
類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一
般式（５）と一般式（６）で表される少なくとも３種の
環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒
で重合する。更には、一般式（４）または一般式（４）
と一般式（５）または一般式（４）、一般式（５）と一
般式（６）と共に、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−メチルビシク［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−クロロビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−ブロモビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−メチル−６−メチルビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン等のビシクロヘプトエン誘導体、テト
ラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセ
ン、８−メチルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン、８−エチルテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−クロロ
テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ド
デセン、８−ブロモテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メチル−９−メ
チルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３
−ドデセン等のテトラシクロドデセン誘導体、ヘキサシ
クロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］
−４−ヘプタデセン、１１−メチルヘキサシクロ［６．
６．１．１3, 6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−エチルヘキサシクロ［６．６．１．１
3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等
のヘキサシクロヘプタデセン誘導体、オクタシクロ
［８．８．０．１2,9．１4,7．１11 ,18．１13,16．０
3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メチルオクタシ
クロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．
０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−エチルオクタ
シクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．
１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等のオクタ
シクロドコセン誘導体、またはシクロブテン、シクロペ
ンテン、シクロヘプテン、シクロオクテン等のシクロオ
レフィン類等と共重合しても良い。
【００６３】また、本発明に使用される重合触媒として
は、リビング開環メタセシス重合する触媒であればどの
ようなものでもよいが、開環メタセシス触媒の具体例と
しては、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢ
ｕt）（ＯＢｕt）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）
（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｗ（Ｎ−２，６−
Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）
2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐ
ｈ）（ＯＢｕt）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）
（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭ
ｅ2（ＣＦ3）2）2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、
Ｂｕtはtert−ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェ
ニル基を表す。）等のタングステン系アルキリデン触
媒、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ
Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍ
ｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ
3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＰｈ
2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2
Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣＭｅ2（Ｃ
Ｆ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）
（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ
3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＰｈ
2）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ
（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6
Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）
2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨ
ＣＨＣＰｈ2）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、
Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰ
ｈ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣ
Ｍｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒ
i 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＰｈ）2（ＰＭ
ｅ3）、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert
-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基を表
す。）等のタングステン系アルキリデン触媒、Ｍｏ（Ｎ
−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＢ
ｕt）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕ
t）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ
6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2、Ｍｏ
（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）
（ＯＢｕt）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（Ｃ
ＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｍｏ（Ｎ−２，
６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ
（ＣＦ3）2）2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂ
ｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル
基を表す。）等のモリブデン系アルキリデン触媒、Ｒｅ
（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ
6Ｈ3）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ−２−Ｂ
ｕtＣ 6Ｈ4）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭ
ｅ2ＣＦ3）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭ
ｅ（ＣＦ3）2）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ
−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）2、（式中のＢｕtはtert-ブチ
ル基を表す。）等のレニウム系アルキリデン触媒、Ｔａ
［Ｃ（Ｍｅ）Ｃ（Ｍｅ）ＣＨＭｅ3］（Ｏ−２，６−Ｐ
ｒi 2Ｃ6Ｈ3）3Ｐｙ、Ｔａ［Ｃ（Ｐｈ）Ｃ（Ｐｈ）ＣＨ
Ｍｅ3］（Ｏ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）3Ｐｙ、（式中の
Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、Ｐｙはピリジン基
を表す。）等のタンタル系アルキリデン触媒、Ｒｕ（Ｃ
ＨＣＨＣＰｈ2）（ＰＰｈ3）2Ｃｌ2、Ｒｕ（ＣＨＣＨＣ
Ｐｈ2）（Ｐ（Ｃ6Ｈ11）3）2Ｃｌ2（式中のＰｈはフェ
ニル基を表す。）等のルテニウム系アルキリデン触媒や
チタナシクロブタン触媒が挙げられる。上記開環メタセ
シス触媒は、単独にまたは２種以上混合してもよい。
【００６４】また、上記の他に、有機遷移金属錯体と助
触媒としてのルイス酸との組合せによるリビング開環メ
タセシス触媒系、例えば、モリブデン、タングステン等
の遷移金属ハロゲン錯体と助触媒として有機アルミニウ
ム化合物、有機錫化合物またはリチウム、ナトリウム、
マグネシウム、亜鉛、カドミウム、ホウ素等の有機金属
化合物とから成る開環メタセシス触媒を用いることもで
きる。
【００６５】有機遷移金属ハロゲン錯体の具体例として
は、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢ
ｕt）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈ
ｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒ
i 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2Ｃ
ｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（Ｏ
Ｂｕt）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔ
ｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐ
ｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2Ｃｌ
2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブ
チル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、ｔｈｆは
テトラヒドロフランを表す。）等のタングステン系ハロ
ゲン錯体と助触媒としての下記有機金属化合物の組み合
わせからなる触媒、またはＭｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ
6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，
６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃ
ｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）
（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐ
ｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ
−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2Ｃ
Ｆ3）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2Ｃ6Ｈ3）（ｔ
ｈｆ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、（式中のＰｒi
はiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメ
チル基、Ｐｈはフェニル基、ｔｈｆはテトラヒドロフラ
ンを表す。）等のモリブデン系ハロゲン錯体と助触媒と
しての下記有機金属化合物の組み合わせからなる触媒が
挙げられる。
【００６６】また、助触媒としての有機金属化合物の具
体例としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルア
ルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシ
ルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリフェ
ニルアルミニウム、トリベンジルアルミニウム、ジエチ
ルアルミニウムモノクロリド、ジ−ｎ−ブチルアルミニ
ウム、ジエチルアルミニウムモノブロミド、ジエチルア
ルミニウムモノイオジド、ジエチルアルミニウムモノヒ
ドリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルア
ルミニウムジクロリド等の有機アルミニウム化合物、テ
トラメチル錫、ジエチルジメチル錫、テトラエチル錫、
ジブチルジエチル錫、テトラブチル錫、テトラオクチル
錫、トリオクチル錫フルオリド、トリオクチル錫クロリ
ド、トリオクチル錫ブロミド、トリオクチル錫イオジ
ド、ジブチル錫ジフルオリド、ジブチル錫ジクロリド、
ジブチル錫ジブロミド、ジブチル錫ジイオジド、ブチル
錫トリフルオリド、ブチル錫トリクロリド、ブチル錫ト
リブロミド、ブチル錫トリイオジド等の有機錫化合物、
ｎ−ブチルリチウム等の有機リチウム化合物、ｎ−ペン
チルナトリウム等の有機ナトリウム化合物、メチルマグ
ネシウムイオジド、エチルマグネシウムブロミド、メチ
ルマグネシウムブロミド、ｎ−プロピルマグネシウムブ
ロミド、ｔ−ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグ
ネシウムクロリド等の有機マグネシウム化合物、ジエチ
ル亜鉛等の有機亜鉛化合物、ジエチルカドミウム等の有
機カドミウム化合物、トリメチルホウ素、トリエチルホ
ウ素、トリ−ｎ−ブチルホウ素等の有機ホウ素化合物等
が挙げられる。
【００６７】本発明のリビング開環メタセシス重合にお
いて、環状オレフィン系単量体と開環メタセシス触媒の
モル比は、タングステン、モリブデン、レニウム、タン
タル、またはルテニウム等の遷移金属アルキリデン触媒
やチタナシクロブタン触媒の場合は、環状オレフィン系
単量体が触媒に対してモル比で２〜１００００であり、
好ましくは１０〜５０００である。また、有機遷移金属
ハロゲン錯体と有機金属化合物から成る開環メタセシス
触媒の場合、環状オレフィン系単量体が有機遷移金属ハ
ロゲン錯体に対してモル比で２〜１００００、好ましく
は１０〜５０００であり、助触媒としての有機金属化合
物が有機遷移金属ハロゲン錯体に対してモル比で０．１
〜１０、好ましくは１〜５となる範囲である。
【００６８】また、本発明の開環メタセシス重合は無溶
媒でも溶媒を使用しても良いが、特に使用する溶媒とし
ては、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジブチ
ルエーテル、ジメトキシエタンまたはジオキサン等のエ
ーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレンまたはエチル
ベンゼン等の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサンまた
はヘプタン等の脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シク
ロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘ
キサンまたはデカリン等の脂肪族環状炭化水素、または
メチレンジクロライド、ジクロロエタン、ジクロロエチ
レン、テトラクロロエタン、クロロベンゼンまたはトリ
クロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素等が挙げられ、
これらの２種類以上を混合使用しても良い。
【００６９】また、本発明において触媒効率を高めるた
めに連鎖移動剤を使用しても良い。このような連鎖移動
剤としては、例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、
ペンテン、ヘキセン、オクテン等のα−オレフィンが挙
げられ、さらに、ビニルトリメチルシラン、アリルトリ
メチルシラン、アリルトリエチルシラン、アリルトリイ
ソプロピルシラン等のケイ素含有オレフィンが挙げら
れ、また、１、４−ペンタジエン、１-5-ヘキサジエ
ン、１、６−ヘプタジエン等の非共役系ジエンが挙げら
れる。さらに、これらオレフィンまたはジエンはそれぞ
れ単独または２種類以上を併用しても良い。
【００７０】本発明において共存させる連鎖移動剤の使
用量は、連鎖移動剤が環状オレフィン系単量体に対して
０．００１〜１０００、好ましくは０．０１〜１００の
範囲である。また、連鎖移動剤が遷移金属アルキリデン
錯体のアルキリデンの１当量に対して０．１〜１００
０、好ましくは１〜５００の範囲である。
【００７１】開環メタセシス重合では、単量体の反応性
および重合溶媒ヘの溶解性によっても異なるが、単量体
／開環メタセシス触媒と溶媒の濃度は０．１〜１００ｍ
ｏｌ／Ｌの範囲が好ましく、通常−３０〜１５０℃の反
応温度で１分〜１０時間反応させ、ブチルアルデヒド等
のアルデヒド類、アセトン等のケトン類、メタノール等
のアルコール類等の失活剤で反応を停止し、開環メタセ
シス重合体溶液を得ることができる。
【００７２】本発明において、リビング開環メタセシス
重合によって得られる重合体は、開環メタセシス重合が
リビング重合反応であるため、単量体と触媒のモル比を
制御することによって、所望の分子量の重合体を得るこ
とができる。また、連鎖移動剤としてオレフィンまたは
ジエンの存在下でリビング開環メタセシス重合を行うこ
とでリビング重合反応を保ちながら、単量体と連鎖移動
剤と触媒のモル比を制御することによっても、所望の分
子量の重合体を得ることができる。このリビング重合で
得られた分子量は、ポリスチレン換算での数平均分子量
Ｍｎが５００〜１００，０００である。好ましくは、
１，０００〜５０，０００であり、特に、好ましくは
３，０００〜２０，０００である。また、単量体及び連
鎖移動剤の性質によって多少の差異はあるものの重量平
均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）
が１．０〜２．０の狭い分子量分布の範囲に制御され、
この開環メタセシス重合体を水素添加触媒の存在下で水
素添加した後でも、あるいは加水分解した後でもこの分
子量分布の範囲は変わらない。この範囲の分子量と狭い
分子量分布は、レジスト材を溶媒に溶解させ、シリコン
ウェハーに回転塗布機で塗布する工程において、均一な
平滑コーティング膜を形成する上で極めて重要なことで
ある。したがって、レジスト材として分子量及び分子量
分布を決める重合をリビング重合で行うことは、その後
に重合体の主鎖部分のオレフィンを水素添加し、官能基
を加水分解して製造したポリマーが、極性溶媒に対する
溶解度、シリコンウェハー表面との密着性または、その
表面への塗布性を高めたレジスト材の機能を発現するた
めに極めて重要である。
【００７３】本発明の開環メタセシス重合体の主鎖部分
におけるオレフィンの水素添加反応は、公知の水素添加
触媒を使用することができる。開環メタセシス重合体の
主鎖部分のオレフィンを水素添加することによって、紫
外線（ＵＶ）最大吸収波長の領域を下げることができ、
特に、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザー領域に
対してこの領域でのＵＶ透過率を最大限高める為には、
この水素添加反応が必要となる。水素添加触媒の具体例
として不均一系触媒ではパラジウム、白金、ニッケル、
ロジウム、ルテニウム等の金属をカーボン、シリカ、ア
ルミナ、チタニア、マグネシア、ケイソウ土、合成ゼオ
ライト等の担体に担持させた担持型金属触媒、または均
一系触媒では、ナフテン酸ニッケル／トリエチルアルミ
ニウム、ニッケルアセチルアセトナート／トリイソブチ
ルアルミニウム、オクテン酸コバルト／ｎ−ブチルリチ
ウム、チタノセンジクロリド／ジエチルアルミニウムク
ロリド、酢酸ロジウム、ジクロロビス（トリフェニルホ
スフィン）パラジウム、クロロトリス（トリフェニルホ
スフィン）ロジウム、ジヒドリドテトラキス（トリフェ
ニルホスフィン）ルテニウム等の公知の水素添加触媒が
挙げられ、さらに、均一系触媒として水素の存在下に下
記一般式（７）で表わされる有機金属錯体とアミン化合
物からなる水素添加触媒を用いて水素添加することもで
きる。
【００７４】一般式（７） ＭＨkＱhＴpＺq （７） （式中、Ｍはルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリ
ジウム、パラジウム、白金またはニッケルを表し、Ｈは
水素を表し、Ｑはハロゲンを表し、ＴはＣＯ、ＮＯ、ト
ルエン、アセトニトリルまたはテトラヒドロフランを表
し、ＺはＰＲ’1Ｒ’2Ｒ’3（Ｐはリンを示し、Ｒ’1、
Ｒ’2、Ｒ’3はそれぞれ同一もしくは異なる直鎖、分岐
または環状のアルキル、アルケニル、アリール、アルコ
キシまたはアリロキシを示す。）で表せる有機リン化合
物を表し、ｋは０または１、ｈは１〜３の整数、ｐは０
または１、ｑは２〜４の整数を表す。）
【００７５】一般式（７）おいて、Ｑで表されるハロゲ
ン原子としては、塩素、フッ素、臭素または沃素原子を
例示できる。更に、Ｚで表される有機リン化合物の具体
例としては、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフ
ィン、トリイソプロピルホスフィン、トリｎ−プロピル
ホスフィン、トリｔ−ブチルホスフィン、トリイソブチ
ルホスフィン、トリｎ−ブチルホスフィン、トリシクロ
ヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、メチル
ジフェニルホスフィン、ジメチルフェニルホスフィン、
トリｏ−トリルホスフィン、トリｍ−トリルホスフィ
ン、トリｐ−トリルホスフィン、ジエチルフェニルホス
フィン、ジクロロ（エチル）ホスフィン、ジクロロ（フ
ェニル）ホスフィン、クロロジフェニルホスフィン、ト
リメチルホスフィト、トリイソプロピルホスフィト、ト
リフェニルホスフィトを例示できる。
【００７６】一般式（７）で表せられる有機金属錯体の
具体例としては、ジクロロビス（トリフェニルホスフィ
ン）ニッケル、ジクロロビス（トリフェニルホスフィ
ン）パラジウム、ジクロロビス（トリフェニルホスフィ
ン）白金、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロ
ジウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィン）オ
スミウム、ジクロロヒドリドビス（トリフェニルホスフ
ィン）イリジウム、ジクロロトリス（トリフェニルホス
フィン）ルテニウム、ジクロロテトラキス（トリフェニ
ルホスフィン）ルテニウム、トリクロロニトロシルビス
（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロビス
（アセトニトリル）ビス（トリフェニルホスフィン）ル
テニウム、ジクロロビス（テトラヒドロフラン）ビス
（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリ
ド（トルエン）トリス（トリフェニルホスフィン）ルテ
ニウム、クロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニ
ルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドカルボニル
トリス（ジエチルフェニルホスフィン）ルテニウム、ク
ロロヒドリドニトロシルトリス（トリフェニルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリエチルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリシクロヘキシル
ホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリフェニ
ルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチ
ルジフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス
（トリジメチルフェニルホスフィン）ルテニウム、ジク
ロロトリス（トリｏ−トリルホスフィン）ルテニウム、
ジクロロトリス（ジクロロエチルホスフィン）ルテニウ
ム、ジクロロトリス（ジクロロフェニルホスフィン）ル
テニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィト）ル
テニウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィト）
ルテニウム等が挙げられる。
【００７７】また、アミン化合物の具体例としては、メ
チルアミン、エチルアミン、アニリン、エチレンジアミ
ン、１，３−ジアミノシクロブタン等の一級アミン化合
物、ジメチルアミン、メチルイソプロピルアミン、Ｎ−
メチルアニリン等の二級アミン化合物、トリメチルアミ
ン、トリエチルアミン、トリフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−
ジメチルアニリン、ピリジン、γ−ピコリン等の三級ア
ミン化合物等を挙げることができ、好ましくは三級アミ
ン化合物が用いられ、特にトリエチルアミンを用いた場
合が水素添加率の向上が著しい。
【００７８】これらの有機金属錯体及びアミン化合物
は、それぞれ２種以上任意の割合で併用することもでき
る。
【００７９】本発明における開環メタセシス重合体を水
素添加する公知の水素添加触媒を使用する場合、開環メ
タセシス重合体と水素添加触媒の使用量は、公知の水素
添加触媒が開環メタセシス重合体に対して５〜５０００
０ｐｐｍであり、好ましくは１００〜１０００ｐｐｍで
ある。また、一般式（７）で表される有機金属錯体とア
ミン化合物からなる水素添加触媒を使用する場合は、一
般式（７）で表される有機金属錯体が開環メタセシス重
合体に対して５〜５００００ｐｐｍであり、好ましくは
１０〜１００００ｐｐｍ、特に好ましくは５０〜１００
０ｐｐｍである。また、アミン化合物は併用する一般式
（７）の有機金属錯体に対して、０．１当量〜１０００
当量、好ましくは０．５当量〜５００当量、特に好まし
くは１〜１００当量である。
【００８０】一般式（７）の有機金属錯体とアミン化合
物からなる水素添加触媒は、予め有機金属錯体にアミン
化合物を接触処理したものを用いても可能であるが、有
機金属錯体にアミン化合物を予め接触処理することな
く、直接それぞれを反応系に添加してもよい。
【００８１】開環メタセシス重合体の水素添加反応に於
いて用いられる溶媒としては開環メタセシス重合体を溶
解し溶媒自体が水素添加されないものであればどのよう
なものでもよく、例えば、テトラヒドロフラン、ジエチ
ルエーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタンなど
のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチル
ベンゼンなどの芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサン、
ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シク
ロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘ
キサン、デカリンなどの脂肪族環状炭化水素、メチレン
ジクロリド、ジクロロエタン、ジクロロエチレン、テト
ラクロロエタン、クロルベンゼン、トリクロルベンゼン
などのハロゲン化炭化水素等が挙げられ、これらは２種
以上混合して使用してもよい。
【００８２】開環メタセシス重合体の水素添加反応は、
水素圧力が通常、常圧〜３０ＭＰａ、好ましくは０．５
〜２０ＭＰａ、特に好ましくは２〜１５ＭＰａの範囲で
行われ、その反応温度は、通常０〜３００℃の温度であ
り、好ましくは室温〜２５０℃、特に好ましくは５０〜
２００℃の温度範囲である。
【００８３】本発明における開環メタセシス重合体水素
添加物の製造は、開環メタセシス重合体溶液から開環メ
タセシス重合体を単離した後再度溶媒に溶解しても可能
であるが、単離することなく、上記有機金属錯体とアミ
ン化合物からなる水素添加触媒を加えることにより水素
添加反応を行う方法を採用することもできる。
【００８４】開環メタセシス重合または水素添加反応の
終了後、公知の方法により重合体溶液に残存する開環メ
タセシス触媒または水素添加触媒を除去することができ
る。例えば、濾過、吸着剤による吸着法、良溶媒による
溶液に乳酸等の有機酸と貧溶媒と水とを添加し、この系
を常温下或いは加温下において触媒を抽出除去する方
法、更には良溶媒による溶液または重合体スラリーを塩
基性化合物と酸性化合物で接触処理した後、洗浄除去す
る方法等が挙げられる。
【００８５】開環メタセシス重合体水素添加物溶液から
重合体水素化物の回収法は特に限定されず、公知の方法
を用いることができる。例えば、撹拌下の貧溶媒中に反
応溶液を排出し重合体水素化物を凝固させ濾過法、遠心
分離法、デカンテーション法等により回収する方法、反
応溶液中にスチームを吹き込んで重合体水素化物を析出
させるスチームストリッピング法、反応溶液から溶媒を
加熱等により直接除去する方法等が挙げられる。
【００８６】本発明における水素添加方法を用いると、
９０％以上の水素添加率が容易に達成でき、９５％以
上、特に９９％以上とすることが可能であり、そうして
得られる開環メタセシス重合体水素添加物は容易に酸化
されることがなく、優れた開環メタセシス重合体の水素
添加物となる。
【００８７】また、本発明では、開環メタセシス重合
体を水素添加した後、水素添加物の官能基に、さらに酸
により分解する基を含む置換基を新たに導入しても良い
し、開環メタセシス重合体を水素添加した後、官能基
を部分的に加水分解し、カルボン酸又はアルコールに変
換してもよいし、カルボン酸又はアルコールに変換し
たのち、更に酸により分解する基を含む新たな置換基に
変換しても良い。即ち、加水分解により生成したカルボ
ン酸またはアルコールを酸により分解する基を含む新た
な置換基でエステルまたはエーテルに変換することがで
きる。
【００８８】加水分解される開環メタセシス重合体の水
素添加物の官能基は、アルコキシカルボニル、アルコキ
シカルボニルオキシ、アルコキシカルボニルアルキル、
アルコキシカルボニルオキシアルキル、アルキルカルボ
ニルオキシ、アルキルスルホニルオキシ、アリールスル
ホニルオキシ、アルコキシ、アルコキシアルキル、カル
ボン酸無水物である。この加水分解は、硫酸、塩酸、硝
酸、トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸または酢酸
等の酸性触媒存在下で行う酸性加水分解、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム等のアルカリ性
触媒存在下で行うアルカリ性加水分解、または酸、アル
カリに代えて酢酸ナトリウム、ヨウ化リチウム等を用い
る中性加水分解のいずれで行っても良い。また、カルボ
ン酸無水物をアルコールで加水分解し、カルボン酸とエ
ステルに変換しても良い。
【００８９】本発明における加水分解反応は、水溶媒で
も有機溶媒を使用して良いが、特に使用する有機溶媒と
しては、メタノール、エタノール等のアルコール類、ア
セトン等のケトン類、テトラヒドロフラン、ジエチルエ
ーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタン、ジオキ
サン等のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、
エチルベンゼン等の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサ
ン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素、酢
酸等のカルボン酸、ニトロメタン等のニトロ化合物、ピ
リジン、ルチジン等のピリジン類、ジメチルホルムアミ
ド等のホルムアミド類などが挙げられ、水またはアルコ
ール類と混合しても良く、また有機溶媒のみで使用して
も良い。更に、これらの２種類以上を混合使用しても良
い。反応温度は、通常０〜３００℃の温度であり、好ま
しくは室温〜２５０℃の温度範囲である。
【００９０】また、酸性またはアルカリ性加水分解の後
にアルカリまたは酸で適宜、中和処理しても良い。加水
分解の後、開環メタセシス重合体の水素添加物溶液また
はスラリーからの重合体の回収法は特に限定されず、公
知の方法を用いることができる。例えば、溶液の場合、
撹拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化物を
沈殿させスラリーとし、濾過法、遠心分離法、デカンテ
ーション法等により回収する方法、反応溶液にスチーム
を吹き込んで重合体を析出させるスチームストリッピン
グ法、反応溶液から溶媒を加熱等により直接除去する方
法等が挙げられ、スラリーの場合、そのまま濾過法、遠
心分離法、デカンテーション法等により回収する方法等
が挙げられる。
【００９１】カルボン酸またはアルコールをエステル化
する方法、またはエーテル化する方法としては通常の方
法が適用できる。カルボン酸をエステル化する方法とし
ては、例えば、鉱酸、有機酸あるいはルイス酸存在下で
のアルコール類との脱水縮合反応によるエステル化、オ
ルト−アルキル化剤によるエステル化、酸存在下でのオ
レフィン類の付加によるエステル化、有機塩基性化合物
を用いたハロゲン化物との間での縮合反応によるエステ
ル化、またはアルキルビニルエーテル類の付加によるア
ルコキシアルキルエステル化などが挙げられる。また、
カルボン酸をチオニルクロライド等により酸ハロゲン化
物に変換した後、アルコール類と接触させエステル化す
る方法、カルボン酸の金属塩をハロゲン化物と接触させ
エステル化する方法などが挙げられる。また、アルコー
ルをエステル化する方法としては、例えば、鉱酸、有機
酸あるいはルイス酸存在下でのカルボン酸との間での脱
水縮合反応によるエステル化、酸無水物を用いたエステ
ル化、酸ハロゲン化物との反応によるエステル化等が挙
げられる。
【００９２】また、アルコールをエーテル化する方法と
しては、例えば、塩基性化合物存在下でのハロゲン化物
との間での縮合によるエーテル化、塩基性化合物存在下
でのジメチル硫酸を用いたメチルエーテル化、鉱酸、有
機酸あるいはルイス酸存在下でのアルコール類との脱水
縮合反応によるエーテル化、ジアゾ化合物を用いたエー
テル化、酸性触媒存在下でのオレフィン類の付加による
エーテル化、塩化水素存在下でのカルボニル化合物への
付加によるα−クロロエーテル化、またはアルキルビニ
ルエーテル類の付加によるアルコキシアルキルエーテル
化等が挙げられる。また、アルコールから金属アルコキ
シドを形成し、これを分離した後さらにハロゲン化物等
と接触させエーテル化を行う方法等が挙げられる。
【００９３】上記のエステル化、またはエーテル化にお
いて、特に、反応条件が比較的穏和で、副生物を生じ
ず、また使用する触媒の除去が容易という点でアルキル
ビニルエーテル類の付加によるエステル化またはエーテ
ル化が好ましく用いられる。使用されるアルキルビニル
エーテル類としては、例えば、メチルビニルエーテル、
エチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、
イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテ
ル、sec−ブチルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−ブチルビ
ニルエーテル、イソオクチルビニルエーテル、デシルビ
ニルエーテル、ドデシルビニルエーテル、シクロヘキシ
ルビニルエーテル、２−エチルヘキシルビニルエーテ
ル、ｔｅｒｔ−ペンチルビニルエーテル、オクタデシル
ビニルエーテル、セシルビニルエーテル、２−メトキシ
エチルビニルエーテル、ビニル−２−(２−エトキシエ
トキシ)エチルエーテル、エチレングリコ−ルブチルビ
ニルエーテル、ｔｅｒｔ−アミルビニルエーテル、また
は２，３−ジヒドロフラン、３，４−ジヒドロ−２H−
ピラン、１，４−ジオキセン等のアルコキシ置換、無置
換または環状のアルキルビニルエーテル類が挙げられ
る。さらに、これらのうちエチルビニルエーテル、ｎ−
プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテ
ル、ｎ−ブチルビニルエーテル、２，３−ジヒドロフラ
ン、３，４−ジヒドロ−２H−ピランが好ましく用いら
れる。
【００９４】これらのアルキルビニルエーテル類の使用
量は、開環メタセシス重合体の水素添加物のカルボン酸
またはアルコール１モルに対して通常１０モル以下であ
り、好ましくは０．１〜５モルの範囲であり、更に好ま
しくは０．４〜３．５モルの範囲である。アルキルビニ
ルエーテル類を用いたエステル化またはエーテル化反応
は触媒の存在なしでも行えるが、酸触媒を用いることに
よって効率的に行うことができる。酸触媒としては、例
えば、塩化水素ガス等のハロゲン化水素、硫酸、リン
酸、塩酸、もしくは臭化水素酸等の鉱酸、ヘテロポリ酸
もしくはナフィオン等の固体酸、またはｐ−トルエンス
ルホン酸、トリフルオロ酢酸、プロピオン酸、マロン
酸、シュウ酸、クロルスルホン酸・ピリジン塩、トリフ
ルオロ酢酸・ピリジン塩、硫酸・ピリジン塩もしくはｐ
−トルエンスルホン酸・ピリジン塩等の有機酸が挙げら
れ、これらのうち塩化水素ガス、塩酸、トリフルオロ酢
酸、トリフルオロ酢酸・ピリジン塩、ｐ−トルエンスル
ホン酸・ピリジン塩または硫酸・ピリジン塩が好ましく
用いられる。また、これらの酸触媒は単独でも、または
２種以上の組み合わせで、かつ同時に、または逐次的に
に使用することもできる。これらの酸触媒の使用量は、
開環メタセシス重合体の水素添加物のカルボン酸または
アルコール１モルに対して通常２モル以下であり、好ま
しくは０．００００１〜０．２モルの範囲であり、更に
好ましくは０．００１〜０．０５モルの範囲である。
【００９５】本発明において、上記の方法で使用する溶
媒としては、反応を阻害しないものであれば特に制限さ
れないが、具体的には、水、またはペンタン、ヘキサ
ン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類、
またはベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、クメン等
の芳香族炭化水素類、またはジクロロメタン、クロロホ
ルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン等のハロゲン
化合物、またはジエチルエーテル、テトラヒドロフラ
ン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールジメチル
エーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエ
ーテル類、またはアセトン、エチルメチルケトン、２−
ヘプタノン、シクロヘキサノン、アセトフェノン等のケ
トン類、またはアセトニトリル、プロピオニトリル等の
ニトリル類、または酢酸エチル等のエステル類等が挙げ
られる。これらは単独でもまたは２種以上を混合して使
用してもよい。また、これらの溶媒の使用によって、反
応を均一溶液中あるいは不均一な懸濁液中のいずれで行
っても良い。
【００９６】本発明の方法における反応の実施形態は特
に制限されるものではなく、エステル化またはエーテル
化が効果的に実施できる方法であれば如何なる形態であ
って良く、窒素等の不活性ガス下でも、空気下でも、ま
たは減圧、常圧、加圧、または回分、半回分、連続の何
れの実施形態であっても良い。また、反応温度および時
間は、エステル化、またはエーテル化の形態によって異
なるが、通常温度は、−５０〜２００℃であり、好まし
くは、０℃〜１５０℃である。また、反応時間は、通常
１００時間以内であり、好ましくは５分〜４８時間であ
る。
【００９７】カルボン酸またはアルコールを酸により分
解する基を含む新たな置換基でエステルまたはエーテル
に変換した開環メタセシス重合体の水素添加物の溶液ま
たはスラリーからの重合体の回収方法は特に限定され
ず、公知の方法を用いることができる。例えば溶液の場
合、撹拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化
物を沈殿させスラリーとし、濾過、遠心分離法、デカン
テーション法等により回収する方法、反応溶液にスチー
ムを吹き込んで重合体を析出させるスチームストリッピ
ング法、反応溶液から溶媒を加熱などにより直接除去す
る方法などが挙げられ、スラリーの場合、そのまま濾過
法、遠心分離法、デカンテーション法などにより回収す
る方法などが挙げられる。
【００９８】本発明において、一般式（１）で表される
構造単位（Ａ）と一般式（２）で表される構造単位
（Ｂ）の構造単位のモル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜
９９／１および、一般式（２）で表される構造単位
（Ｂ）と一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）の構造
単位のモル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０
である。ここで、構造単位（Ａ）は、露光時に感光剤か
ら発生する酸により分解される基を含んでおり、露光
後、アルカリ水溶液で現像してレジストパターンを作る
ために必要であり、構造単位（Ｂ）は、シリコン基板の
ような被処理基板との密着性を発現するのに必要であ
る。これらのモル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９未満であ
ると、現像が不十分となる傾向にあり、９９／１を超え
ると被処理基板との密着性が発現しない場合がある。ま
た、構造単位（Ｃ）はシアノまたはラクトニルオキシカ
ルボニルを含んでおり、シリコン基板のような被処理基
板との密着性を改善すること、および溶剤への溶解性を
改善することができる。さらに、構造単位（Ｂ）と構造
単位（Ｃ）の構造単位のモル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／
７０〜１００／０の範囲にあることは、露光後のアルカ
リ水溶液による現像時に濡れ張力を改善し、現像むらを
解決するのに重要である。これらの構造単位がこの範囲
にあることは、レジスト組成を調製するのに好適であ
り、極性の高い感光剤と共に、例えば２−ヘプタノンな
どの極性溶媒に溶解し、シリコン基板のような被処理基
板に塗布するレジスト材として極めて重要である。すな
わち、開環メタセシス重合体の水素添加物が、レジスト
組成物を調製する時に、極性溶媒に対する溶解度、また
は溶解速度を高めることで均一な平滑コーティング膜を
形成することができる。
【００９９】特に、少なくともＸ1，Ｘ2またはＸ3のう
ち１つが、Ｘ1が−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ5−、−ＰＲ5
−から（Ｒ5は水素、炭素数１〜２０のアルキルを表
す）選ばれる一般式（１）で表される構造単位（Ａ）、
Ｘ2が−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ10−、−ＰＲ10−から
（Ｒ10は水素、炭素数１〜２０のアルキルを表す）選ば
れる一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）またはＸ3
が−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ15−、−ＰＲ15−から（Ｒ15
は水素、炭素数１〜２０のアルキルを表す）選ばれる一
般式（３）で表される構造単位（Ｃ）で構成される開環
メタセシス重合体の水素添加物は、シリコン基板のよう
な被処理基板への密着性、アルカリ水溶液による現像時
に濡れ張力の改善、レジスト材のシリコンウェハーに塗
布する工程で使用されるケトン類、アルコール類等の極
性有機溶媒に対する溶解性をさらに向上させる効果があ
る。また、水に対する親和性も向上し、露光後のアルカ
リ水溶液等の剥離剤（または現像剤）に対する現像性も
向上する。
【０１００】以上のように、本発明における少なくとも
一般式（１）で表される構造単位（Ａ）と下記一般式
（２）で表される構造単位（Ｂ）と下記一般式（３）で
表される構造単位（Ｃ）から構成され、その構成モル比
（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構成モル比
（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０であり、かつ
重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／
Ｍｎ）が１．０〜２．０である開環メタセシス重合体の
水素添加物は、フォトレジスト用ポリマーとして有用で
ある。例えば、光酸発生剤及び溶剤とともにポジ型レジ
スト組成物として用いられる。ここで光酸発生剤とは、
エキシマレーザー等の活性化放射線に露光されるとブレ
ンステッド酸またはルイス酸を発生する物質である。ま
た更に、レジスト組成物中には、溶解調節剤、界面活性
剤、保存安定剤、増感剤、またはストリエーション防止
剤等を添加することができる。このレジスト組成物は、
例えば、該組成物をシリコンウエハー等の基板表面にス
ピンコーティング等の常法により塗布した後、溶剤を乾
燥除去することによりレジスト膜を形成することがで
き、また、パターン形成のための露光は、遠紫外線やＫ
ｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、電子
線をレジスト膜へ照射することにより行われ、更に熱処
理（露光後ベーク）を行うと、より高感度化することが
できる。次いで、露光部分をアルカリ水溶液等の現像液
で洗い出す事によりレリーフパターンを得る。本発明の
開環メタセシス重合体の水素添加物を用いて形成された
レリーフパターンは解像性、コントラストともに極めて
良好である。更には、上記の如くに形成したパターンを
マスクとして基板をエッチングすることも出来る。
【０１０１】以下、実施例にて本発明を詳細に説明する
が、本発明がこれらによって限定されるものではない。
【０１０２】なお、実施例において得られた重合体の物
性値は、以下の方法により測定した。
【０１０３】平均分子量；ＧＰＣを使用し、得られた環
状オレフィン系開環メタセシス重合体、該重合体水素添
加物または加水分解した該重合体水素添加物をテトラヒ
ドロフランに溶解し、検出器として日本分光製８３０−
ＲＩおよびＵＶＩＤＥＣ−１００−ＶＩ、カラムとして
Ｓｈｏｄｅｘ ｋ−８０５，８０４，８０３，８０２．
５を使用し、室温において流量１．０ｍｌ／ｍｉｎでポ
リスチレンスタンダードによって分子量を較正した。
【０１０４】水素添加率；環状オレフィン系開環メタセ
シス重合体水素添加物の粉末を重水素化クロロホルムに
溶解し、９０ＭＨｚまたは４００ＭＨｚ−1ＨＮＭＲを
用いてδ＝４．５〜６．０ｐｐｍにおける主鎖の炭素−
炭素間二重結合に帰属するピークが、水素添加反応によ
って減少する大きさを算出した。
【０１０５】重合体中に含まれるカルボン酸の割合は、
ブロモチモールブルーを指示薬とする、中和滴定により
測定した。または、重合体中に含まれる構造単位（Ｃ）
のシアノ基の割合は、パーキンエルマー社製ＣＨＮ分析
装置ＰＥ２４００IIで窒素含量を測定し、算出した。ま
たは、島津ＦＴＩＲ−８１００Ｍで赤外吸収スペクトル
測定し、エステルのカルボニル伸縮振動１７６０〜１７
００ｃｍ-1とカルボン酸のカルボニル伸縮振動１７４０
〜１７８０ｃｍ-1またはヒドロキシの伸縮振動３７００
〜３２００ｃｍ-1とニトリルの伸縮振動２２００〜２３
００ｃｍ−１から、および1Ｈ−ＮＭＲスペクトルの特
性吸収から構造単位（Ａ）と（Ｂ）及び（Ｃ）の組成比
を算出した。
【０１０６】ＵＶ吸収スペクトルは、石英ガラス板にス
ピンコーターを用いて回転数３０００ｒｐｍで膜厚１．
０μｍの厚みで塗布し、島津ＵＶ−３１００で測定し
た。
【０１０７】また、シリコンウエハー基板への密着性
は、同様にスピンコーターで基板に塗布し膜し、１２０
℃で１０分間ベークし、ＪＩＳＤ０２０２の試験方法に
したがって碁盤目上に傷を入れ、セロハンテープでピー
リングし、剥がれの状態を目視で観察した。判定はＡ：
５％未満の剥離、Ｂ：５〜２０％未満の剥離、Ｃ：２０
〜５０％未満の剥離、Ｄ：５０％以上の剥離とする。
【０１０８】実施例１ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（３．７７ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）と
８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（５．００
ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）をテトラヒドロフラン（３００
ｍｌ）（以後ＴＨＦと言う）に溶解し撹拌を行った。こ
れに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍ
ｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（０Ｂｕt）2（ＰＭｅ
3）（３２６ｍｇ、０．５５ｍｍｏｌ）を加え室温で１
時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（１９８ｍ
ｇ、３．８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を
停止させた。
【０１０９】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して８．６０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１１０】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体８．６０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジ
クロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルア
ミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８
０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で
５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、
次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体
水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重
合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行
うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物８．６５ｇを得た。得られた開環メタセシス重合体
水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主
鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められ
ず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定し
た数平均分子量Ｍｎは１６，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．
０４であった。
【０１１１】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
８．５０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５
３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で
１時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解さ
せ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物８．２ｇを得た。得られた重合体の構造単
位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は９０／１０であり、ＧＰＣ
で測定した数平均分子量Ｍｎは１６，０００、Ｍｗ／Ｍ
ｎは１．０６であった。
【０１１２】比較例１ 実施例１と同様にして合成した開環メタセシス重合体を
水素添加反応をせずに、実施例１と同様に部分的に加水
分解した開環メタセシス重合体を得た。得られた重合体
の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は９０／１０であ
り、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，８０
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．０５であった。
【０１１３】比較例２ 実施例１と同様にして合成した開環メタセシス重合体を
実施例１と同様に水素添加反応を行った。その後、実施
例１の部分的な加水分解を行わなかった。結果、水素添
加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は１
００／０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１５，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４である開環メタセ
シス重合体水素添加物を得た。
【０１１４】比較例３ 実施例１において５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
（３．７７ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）に代えて５−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン（３．１２ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）を使用し
たこと以外は実施例１と同様にして合成した開環メタセ
シス重合体を実施例１と同様に水素添加反応を行い、そ
の後、実施例１と同様に部分的な加水分解した。結果と
して、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）
の組成比は９０／１０であり、ＧＰＣで測定した数平均
分子量Ｍｎは１６，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０５であ
る開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１１５】実施例２ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（３．４０ｇ、１７．３ｍｍｏｌ）、
７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−
２，３−ジカルボン酸無水物（０．３３ｇ、１．９６ｍ
ｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシ
クロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン
（５．００ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（３００ｍ
ｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合
触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨ
ＣＭｅ2）（０Ｂｕt）2（ＰＭｅ3）（３２６ｍｇ、０．
５５ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その
後、ブチルアルデヒド（１９８ｍｇ、３．８５ｍｍｏ
ｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１１６】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して８．４０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１１７】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体８．４０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジ
クロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルア
ミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８
０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で
５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、
次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体
水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重
合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行
うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物
の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフ
ィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水
素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分
子量Ｍｎは１５，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１０であっ
た。
【０１１８】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
８．３５ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５
３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で
０．５時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解
させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して
白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合
体の水素添加物７．９ｇを得た。得られた重合体の構造
単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は８５／１５であり、ＧＰ
Ｃで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，４００、Ｍｗ／
Ｍｎは１．１３であった。
【０１１９】実施例３ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（７．５３ｇ、３８．４ｍｍｏｌ）を
ＴＨＦ（３００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開
環メタセシス重合触媒としてＭｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi 2
Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ3）（０Ｂｕt）2（３７５ｍｇ、
０．７７ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。そ
の後、ブチルアルデヒド（２７８ｍｇ、３．８５ｍｍｏ
ｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１２０】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、水／メタノール混合液（２０００ｍｌ）中に加えて
開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗
浄し、真空乾燥して７．４０ｇの開環メタセシス重合体
粉末を得た。
【０１２１】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体７．５３ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジ
クロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルア
ミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８
０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で
５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、
次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体
水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重
合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行
うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物
の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフ
ィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水
素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分
子量Ｍｎは９，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４であっ
た。
【０１２２】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
７．３１ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５
３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で
３時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解さ
せ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物６．８９ｇを得た。得られた重合体の構造
単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は６９／３１であり、ＧＰ
Ｃで測定した数平均分子量Ｍｎは８，９００、Ｍｗ／Ｍ
ｎは１．０６であった。
【０１２３】実施例４ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（２．８５ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）、
５−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン（２．２４ｇ、１４．５ｍｍ
ｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシク
ロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン
（３．７８ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）と８−メトキシカル
ボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−
３−ドデセン（３．１６ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）をＴＨ
Ｆ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。さらに、１，
５−ヘキサジエン（１．０ｇ、１２ｍｍｏｌ）を加え、
８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（Ｃ
ＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（５２
ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３時間反応させた。そ
の後、ブチルアルデヒド（４０ｍｇ、０．７ｍｍｏｌ）
を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１２４】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（９０ｍｇ、１．２２ｍｍｏｌ）を加え、
水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、
メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス
重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥
して１０．９ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１２５】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタ
セシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水
素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピー
クが認められず、その水素添加率は１００％であり、Ｇ
ＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，２００、Ｍｗ
／Ｍｎは１．４６であった。
【０１２６】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で５％水酸化カリ
ウムメタノール水溶液４００ｍｌに加え、７０℃で１時
間攪拌し、その後、２％塩酸水溶液１０００ｍｌに加
え、中和し、沈殿、濾過し、水洗浄し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物８．２ｇを得た。得られた重合体の構造単
位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５４／４６あ
り、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，７０
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．４８であった。
【０１２７】実施例５ 実施例４において、４種類の環状オレフィン系単量体を
５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メキシカルボ
ニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン（７．１２ｇ、２８ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセン（７．２９ｇ、２８ｍｍｏｌ）
に代えたこと以外は実施例４と同様に行い、１３．１ｇ
の開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１２８】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例４と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は
１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１６，８００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１２９】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
１０．０ｇを実施例４と同様に加水分解して白色粉末状
の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添
加物９．１２ｇを得た。得られた重合体の構造単位
（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５８／４２あり、
ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，２００、Ｍ
ｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１３０】実施例６ 実施例５において、環状オレフィン系単量体として５−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メキシカルボニル
−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ
［４．４．０．１2, 5．１7,10］−３−ドデセンを５，
６−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．４６ｇ、１
８．４ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
−９−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン（８．９ｇ、２８ｍｍ
ｏｌ）に代えたこと以外は実施例５と同様に行い、１
２．２ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１３１】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例５と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は
１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１８，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４５であった。
【０１３２】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．８ｇを実施例５と同様に加水分解して白色粉末状の
部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加
物を得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の
組成比（モル比）は５２／４８あり、ＧＰＣで測定した
数平均分子量Ｍｎは１８，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４
４であった。
【０１３３】実施例７ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−（テトラヒド
ロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−７−オキサ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．３８
ｇ、２４ｍｍｏｌ）、８−（テトラヒドロピラン−２’
−イル）オキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．
１2,5．１7,10］−３−ドデセン（６．９２ｇ、２４ｍ
ｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行っ
た。さらに、１，５−ヘキサジエン（２．０ｇ、２４．
０ｍｍｏｌ）を加え、８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６
−Ｍｅ 2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）
2（ＰＭｅ3）（５２ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３
時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４０ｍ
ｇ、０．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停
止させた。
【０１３４】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（９０ｍｇ、１．２２ｍｍｏｌ）を加え、
水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、
メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス
重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥
して１０．９ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１３５】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したク
ロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニルホスフィ
ン）ルテニウム（３．８ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）と
トリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）
のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰ
ａ、１５５℃で７時間水素添加反応を行った後、温度を
室温まで戻し水素ガスを放出した。この開環メタセシス
重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセ
シス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾
燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体
水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素
添加物の1H−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオ
レフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、１
００％であり、またＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎ
は１２，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５４であった。
【０１３６】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．８ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で０．１Ｎ塩化水
素含有メタノール溶液２０ｍｌと１，４−ジオキサン４
００ｍｌの溶液に加え、室温で２０分攪拌し、その後、
濾過し、メタノール洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の
部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加
物９．３ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／
（Ｂ）の組成比（モル比）は７０／３０あり、ＧＰＣで
測定した数平均分子量Ｍｎは１１，６００、Ｍｗ／Ｍｎ
は１．５４であった。
【０１３７】比較例４ 実施例７と同様にして合成した開環メタセシス重合体粉
末を実施例７と同様に水素添加反応を行った。その後、
実施例７の部分的な加水分解を行わなかった。結果とし
て、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の
組成比は１００／０であり、ＧＰＣで測定した数平均分
子量Ｍｎは１３，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４９である
開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１３８】比較例５ 実施例７において５−（テトラヒドロピラン−２’−イ
ル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン（５．３８ｇ、２４ｍｍｏｌ）に
代えて５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシ
カルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
（５．３３ｇ、２４ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実
施例７と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実
施例７と同様に水素添加反応を行い、その後、実施例７
と同様に部分的な加水分解を行った。その結果、水素添
加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は７
０／３０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１２，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５０である開環メタセ
シス重合体水素添加物を得た。
【０１３９】表−１に上記の実施例及び比較例で得られ
た開環メタセシス重合体水素添加物のＵＶ透過率及び密
着性評価の結果を示す。
【０１４０】
【表１】
【０１４１】実施例８ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（９．６４ｇ、４９．２ｍｍｏｌ）
と、５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン（３．９０ｇ、３２．８ｍｍｏｌ）を、テトラヒドロ
フラン（３００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開
環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6
Ｈ3)（ＣＨＣＨＣＭｅ2)（ＯＢｕt) 2(ＰＭｅ3)（０．６
９５ｇ、１．１７ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応さ
せた。その後、ブチルアルデヒド（４２０ｍｇ、５．８
５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させ
た。
【０１４２】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（１．３０ｇ、１７．６ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して１３．３５ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１４３】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジ
クロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルア
ミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８
０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で
５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、
次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体
水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重
合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行
うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物９．９６ｇを得た。得られた開環メタセシス重合体
水素添加物の1H−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖
のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められ
ず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定し
た数平均分子量Ｍｎは１１，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．
００であった。
【０１４４】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
８．０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン８００
ｍｌ、トリフルオロ酢酸６．８５ｍｌに加え、７０℃で
３時間撹拌し、メタノールに加え、沈殿、濾過し、乾燥
した。さらに、ＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、
沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水
分解した開環メタセシス重合体の水素添加物７．７ｇを
得た。得られた重合体の算出した構造単位（Ａ）／
（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は３９／２１／４０
であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１０，９
００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０２であった。
【０１４５】実施例９ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（５．４２ｇ、２７．６ｍｍｏｌ）、
５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
（０．３６ｇ、３．０ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン（７．１９ｇ、２７．６ｍｍｏ
ｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。こ
れに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍ
ｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ
3）（４９３ｍｇ、０．８３ｍｍｏｌ）を加え室温で１
時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（２９３ｍ
ｇ、５．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停
止させた。
【０１４６】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して１２．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１４７】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は
１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１６，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１４８】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．８０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５
３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で
１時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解さ
せ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物９．１５ｇを得た。得られた重合体の構造
単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は８５
／１０／５であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎ
は１５，４００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０９であった。
【０１４９】比較例６ 実施例９において５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エンの使用量０．３６ｇ（３．０ｍｍｏｌ）
を１．５６ｇ（１３．０ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセンの使用量７．１９ｇ（２７．６
ｍｍｏｌ）を４．６９ｇ（１７．６ｍｍｏｌ）に代えた
こと以外は実施例９と同様にして合成した開環メタセシ
ス重合体を実施例９と同様に水素添加反応を行い、その
後、実施例９の部分的な加水分解を行わなかった。結果
として、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／
（Ｂ）／（Ｃ）の組成比は７８／０／２２であり、ＧＰ
Ｃで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，１００、Ｍｗ／
Ｍｎは１．０９である開環メタセシス重合体水素添加物
を得た。
【０１５０】実施例１０ 実施例９において環状オレフィン系単量体として５−シ
アノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（０．３
６ｇ、３．０ｍｍｏｌ）を５−（γ−ブチロラクトニル
−２’−オキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン（１．７９ｇ、８．０ｍｍｏｌ）に代え
たこと以外は実施例９と同様にして１３．８ｇの開環メ
タセシス重合体粉末を得た。
【０１５１】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例９と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタ
セシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水
素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピー
クが認められず、１００％であり、またＧＰＣで測定し
た数平均分子量Ｍｎは１６，６００、Ｍｗ／Ｍｎは１．
０７であった。
【０１５２】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．７ｇを実施例９と同様にして白色粉末状の部分的に
加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物８．８
ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／
（Ｃ）の組成比（モル比）は７５／１２／１３であり、
ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，６００、Ｍ
ｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５３】比較例７ 実施例１０において５−（γ−ブチロラクトニル−２’
−オキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エンの使用量１．７９ｇ（８．０ｍｍｏｌ）を３．
９６ｇ（１８．０ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．
１7,10］−３−ドデセンの使用量７．１９ｇ（２７．６
ｍｍｏｌ）を４．６９ｇ（１７．６ｍｍｏｌ）に代えた
こと以外は実施例１０と同様にして合成した開環メタセ
シス重合体を実施例１０と同様に水素添加反応を行い、
その後、得られた開環メタセシス重合体水素添加物をベ
ンゼン中でトリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃
で０．５時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶
解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥し
て水素添加率１００％の白色粉末状の部分的に加水分解
した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。その構
造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比は６７／５／２
８であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，
１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０９であった。
【０１５４】実施例１１ 実施例１０において環状オレフィン系単量体として５−
（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）ビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンを５−（δ−バ
レロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキ
サビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（１．９０
ｇ、８．０ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例１０と
同様にして１３．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１５５】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例１０と同様に白色粉末状の開
環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率
は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎ
は１７，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５６】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．８０ｇを実施例１０と同様にして白色粉末状の部分
的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物
９．０ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／
（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は７３／１５／１２
であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，３
００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５７】実施例１２ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−メトキシカル
ボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン（２．７８ｇ、２２．８ｍｍｏｌ）、５−シアノ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、（０．６７
ｇ、３．０ｍｍｏｌ）、７−オキサビシクロ［２．２．
１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸無水物
（０．８０ｇ、４．８ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセン（７．１９ｇ、２７．６ｍｍｏ
ｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。こ
れに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍ
ｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）
2（ＰＭｅ3）（５４５ｍｇ、０．８３ｍｍｏｌ）を加え
室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド
（２９３ｍｇ、５．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌
し、反応を停止させた。
【０１５８】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して１０．９５ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１５９】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環
メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は
１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
１４，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１２であった。
【０１６０】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．７ｇを実施例１と同様にして白色粉末状の部分的に
加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．３
ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／
（Ｃ）の組成比（モル比）は８８／７／５であり、ＧＰ
Ｃで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，０００、Ｍｗ／
Ｍｎは１．１３であった。
【０１６１】実施例１３ 窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン（５．４９ｇ、２９ｍｍｏｌ）、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．
０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（７．５５ｇ、２
９ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行
った。さらに、１，５−ヘキサジエン（２．０ｇ、２４
ｍｍｏｌ）を加え、８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６−
Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2
（ＰＭｅ3）（５２ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３
時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４０ｍ
ｇ、０．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停
止させた。
【０１６２】この開環メタセシス重合体溶液にトリメチ
レンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加
え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した
後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセ
シス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空
乾燥して１１．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１６３】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジ
クロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルア
ミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８
０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で
５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、
次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体
水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重
合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行
うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物１０．１ｇを得た。その水素添加率は１００％であ
り、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，７０
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１６４】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．８ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でトルエン７００
ｍｌ、トリフルオロ酢酸１５ｍｌに加え、７０℃で３時
間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メ
タノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して黄白色粉
末状の加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物
７．３２ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／
（Ｂ）の組成比は１３／８７であった。これをＴＨＦ２
５ｍｌに溶解し、３，４−ジヒドロ−２H−ピラン３．
２８ｇ、ｐ−トルエンスルホン酸・ピリジン塩０．１ｇ
を加え、室温で２０時間攪拌した。その後、メタノール
（２０００ｍｌ）に加え、沈殿させ、濾過し、メタノー
ル洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解
した開環メタセシス重合体の水素添加物８．３９ｇを得
た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比
（モル比）は５５／４５あり、ＧＰＣで測定した数平均
分子量Ｍｎは１２，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５０であ
った。
【０１６５】実施例１４ 実施例１３において、環状オレフィン系単量体として５
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、８−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１
7,10］−３−ドデセンを５−メトキシカルボニル−７−
オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（４．
４１ｇ、２９ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニル−９−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．
４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（９．２３
ｇ、２９ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例１３と同
様にして１２．５４ｇの開環メタセシス重合体粉末を得
た。
【０１６６】その後、２０００ｍｌのオートクレーブに
この開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００
ｍｌ）に溶解して、実施例１３と同様に白色粉末状の開
環メタセシス重合体水素添加物９．９５ｇを得た。得ら
れた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲか
ら算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに
帰属するピークが認められず、１００％であり、ＧＰＣ
で測定した数平均分子量Ｍｎは１４，６００、Ｍｗ／Ｍ
ｎは１．５３であった。
【０１６７】得られた開環メタセシス重合体水素添加物
９．７ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で５％水酸化カリ
ウムメタノール水溶液５００ｍｌに加え、７０℃で１時
間攪拌し、その後、３％塩酸水溶液に加え、中和し、沈
殿、濾過し、水洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の加水
分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得
られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル
比）は５５／４５であった。これをＴＨＦ２５ｍｌに溶
解し、３，４−ジヒドロ−２H−ピラン３．２８ｇ、ｐ
−トルエンスルホン酸・ピリジン塩０．１ｇを加え、室
温で２０時間攪拌した。その後、メタノール（２０００
ｍｌ）に加え、沈殿させ、濾過し、メタノール洗浄し、
真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メ
タセシス重合体の水素添加物を得た。得られた重合体の
構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は６８／３
２あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，９
００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５３であった。
【０１６８】表−２に、以上の実施例８〜１４及び比較
例６、７で得られた開環メタセシス重合体水素添加物の
ＵＶ透過率及び密着性評価の結果を示す。
【０１６９】
【表２】
【０１７０】参考例１ 実施例１で得た開環メタセシス重合体水素添加物１０グ
ラム及びビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨード
ニウムトリフルオロメタンスルホネート０．２グラムを
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７
０グラムに溶解した後、０．１μｍのミクロフィルター
で濾過してポジ型フォトレジスト溶液を調製した。
【０１７１】次いで、このフォトレジスト溶液をスピン
コータを用いてシリコンウエハ上に塗布し、ホットプレ
ート上で１２０℃にて９０秒間乾燥することにより、膜
厚０．５μｍのポジ型フォトレジスト層を形成した。次
いで、ＡｒＦ露光装置（ニコン社製）により、ＡｒＦエ
キシマレーザー光（１９３ｎｍ）を選択的に照射したの
ち、１１０℃で９０秒間加熱処理後、２．３８重量％テ
トラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間
現像し、３０秒間蒸留水にて水洗した後、乾燥し、レジ
ストパターンプロファイルを得た。
【０１７２】このような操作で形成された０．２５μｍ
のラインアンドスペースが１：１に形成される露光時間
を感度としてｍＪ／ｃｍ2（エネルギー量）単位で測定
したところ、１５ｍＪ／ｃｍ2であった。
【０１７３】さらに、このようにして形成された０．２
５μｍのレジストパターンの断面形状をＳＥＭ（走査型
電子顕微鏡）写真により観察したところ、基板に対して
垂直な矩形のレジストパターンであった。また、このよ
うな操作で０．２０μｍのレジストパターンまで解像さ
れ、パターン倒れはなかった。
【０１７４】次に、酸素とテトラフルオロメタンの混合
ガスをエッチングガスとして、エッチング装置ＯＡＰＭ
−４０６［東京応化工業（株）製］でドライエッチング
処理し、耐ドライエッチング性を単位時間当りの膜減り
量で評価したところ、ポリヒドロキシスチレンを１．０
とした場合、０．９０であった。
【０１７５】
【発明の効果】本発明のフォレジスト用開環メタセシス
重合体の水素添加物は、密着性、耐熱性、耐熱分解性、
光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線を用いた半導体微
細加工用フォトレジストに適した重合体であり、工業的
に極めて価値がある。又、本発明の製造方法によれば、
このように有用な開環メタセシス重合体の水素添加物を
効率よく、容易に得られる方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９
０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物のＩＲス
ペクトルを示す。
【図２】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９
０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物の1Ｈ−
ＮＭＲスペクトルを示す。
【図３】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９
０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物のＵＶス
ペクトルを示す。
【図４】比較例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９
０／１０の開環メタセシス重合体のＵＶスペクトルを示
す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） (72)発明者 池田 圭一 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 山本 喜博 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 川原 信夫 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 (72)発明者 大北 益瑞 大阪府高石市高砂１丁目６番地 三井化学 株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも下記一般式（１） 【化１】 （式中、Ｒ1〜Ｒ4のうち少なくとも一つが、酸により分
    解する基を含む置換基であり、その他は水素、炭素数１
    〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロ
    ゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭
    素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０
    のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数７〜２０のアリ
    ールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルス
    ルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニ
    ルオキシ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜
    ２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０の
    ヒドロキシアルキル基から選ばれ、Ｘ1は−Ｏ−、−Ｓ
    −、−ＮＲ5−、−ＰＲ5−、または−ＣＲ5 2−から（Ｒ
    5は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ば
    れ、同一でも異なってもよい。ｍは０または１〜３の整
    数を表す。）で表される構造単位（Ａ）と下記一般式
    （２） 【化２】 （式中、Ｒ6〜Ｒ9のうち少なくとも一つが、カルボキ
    シ、ヒドロキシを含む置換基であり、その他は水素、炭
    素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコ
    キシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲ
    ン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数２
    〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数７〜２０
    のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアル
    キルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリ
    ールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ2は−Ｏ−、−
    Ｓ−、−ＮＲ10−、−ＰＲ10−、または−ＣＲ10 2−か
    ら（Ｒ10は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）
    選ばれ、同一でも異なってもよい。ｎは０または１〜３
    の整数を表す。）で表される構造単位（Ｂ）と下記一般
    式（３） 【化３】 （式中、Ｒ11〜Ｒ14の少なくとも１つがシアノまたはラ
    クトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他
    は水素、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０
    のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０のヒド
    ロキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルコキシカルボ
    ニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキ
    ル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０
    のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル
    基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アル
    キル基から選ばれ、Ｘ3は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ
    15−、−ＰＲ15−、または−ＣＲ15 2−から（Ｒ15は水
    素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ばれ、同一
    でも異なってもよい。ｌは０または１〜３の整数を表
    す。）で表される構造単位（Ｃ）から構成され、その構
    成モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構
    成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０であ
    り、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比
    （Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０であることを特徴とす
    る開環メタセシス重合体の水素添加物。
  2. 【請求項２】 一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）
    と一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）の構成モル比
    （Ｂ）／（Ｃ）が１００／０である請求項１記載の開環
    メタセシス重合体の水素添加物。
  3. 【請求項３】 一般式（１）で表される構造単位（Ａ）
    が２種以上で構成され、および／または、一般式（２）
    で表される構造単位（Ｂ）が２種以上で構成され、およ
    び／または、一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）が
    ２種以上で構成されることを特徴とする請求項１記載の
    開環メタセシス重合体の水素添加物。
  4. 【請求項４】 一般式（１）で表される構造単位（Ａ）
    のＸ1、一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）のＸ2、
    および一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）のＸ3の
    うち少なくとも１つが−Ｏ−であり、その他が−ＣＨ2
    −であることを特徴とする請求項１記載の開環メタセシ
    ス重合体の水素添加物。
  5. 【請求項５】 一般式（１）のＲ1〜Ｒ4のうち少なくと
    も一つとして選ばれる酸により分解する基を含む置換基
    がｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルまたはテトラヒドロピ
    ラン−２−イルオキシカルボニルである請求項１記載の
    開環メタセシス重合体の水素添加物。
  6. 【請求項６】 一般式（３）のＲ11〜Ｒ14のうち少なく
    とも一つとして選ばれるラクトニルオキシカルボニルを
    含む置換基がγ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボ
    ニルまたはδ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキ
    シである請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添
    加物。
  7. 【請求項７】 ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の数
    平均分子量が５００〜１００，０００である請求項１記
    載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
  8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の
    開環メタセシス重合体の水素添加物からなるフォトレジ
    スト用ポリマー。
  9. 【請求項９】 一般式（４）で表される少なくとも１種
    類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一
    般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィ
    ン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）と一般
    式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフィン
    系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合し、水素
    添加触媒のもとに水素添加することを特徴とする請求項
    １に記載の開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方
    法。 一般式（４） 【化４】 （式中、Ｒ16〜Ｒ19のうち少なくとも一つが、酸により
    分解する基を含む置換基であり、その他は水素または炭
    素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０
    のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ
    基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２
    〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数７〜２０
    のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアル
    キルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリ
    ールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ4は−Ｏ−、−
    Ｓ−、−ＮＲ20−、−ＰＲ20−、または−ＣＲ20 2−か
    ら（Ｒ 20は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）
    選ばれ、同一でも異なってもよい。ｘは０または１〜３
    の整数を表す。） 一般式（５） 【化５】 （式中、Ｒ21〜Ｒ24のうち少なくとも一つが、カルボキ
    シ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアル
    キル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素
    数１〜２０のアルコキシ基、または炭素数２〜２０のア
    ルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボ
    ニルオキシ基、炭素数７〜２０のアリールカルボニルオ
    キシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ
    基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、ま
    たはＲ21〜Ｒ24のうちＲ21とＲ23から形成されるカルボ
    ン酸無水物であり、その他は水素または炭素数１〜２０
    のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロ
    ゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ5は−Ｏ−、−Ｓ−、
    −ＮＲ25−、−ＰＲ25−、または−ＣＲ25 2−から（Ｒ
    25は水素、炭素数１〜２０のアルキル基を表す）選ば
    れ、同一でも異なってもよい。ｙは０または１〜３の整
    数を表す。） 一般式（６） 【化６】 （式中、Ｒ26〜Ｒ29の少なくとも１つがシアノまたはラ
    クトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他
    は水素、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭
    素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素
    数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキ
    シアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲ
    ン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から
    選ばれ、 Ｘ6は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ30−、−ＰＲ30
    −、または−ＣＲ30 2−から（Ｒ30は水素、炭素数１〜
    ２０のアルキル基を表す）選ばれ、同一でも異なっても
    よい。ｚは０または１〜３の整数を表す。）
  10. 【請求項１０】 請求項９において、水素添加後、さら
    に、酸により分解する基を含む新たな置換基に変換する
    ことを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物の
    製造方法。
  11. 【請求項１１】 請求項９において、水素添加後、加水
    分解をすることを特徴とする開環メタセシス重合体の水
    素添加物の製造方法。
  12. 【請求項１２】 請求項９において、水素添加後、加水
    分解し、さらに、酸により分解する基を含む新たな置換
    基に変換することを特徴とする開環メタセシス重合体の
    水素添加物の製造方法。
  13. 【請求項１３】 一般式（４）で表される少なくとも１
    種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と
    一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフ
    ィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）及び
    一般式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフ
    ィン系単量体をオレフィンまたはジエンの存在下でリビ
    ング開環メタセシス触媒で重合することを特徴とする請
    求項９乃至１２のいずれか１項に記載の開環メタセシス
    重合体の水素添加物の製造方法。
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