JP2000103626A - 光学素材・素子搬送部材 - Google Patents

光学素材・素子搬送部材

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JP2000103626A
JP2000103626A JP10273649A JP27364998A JP2000103626A JP 2000103626 A JP2000103626 A JP 2000103626A JP 10273649 A JP10273649 A JP 10273649A JP 27364998 A JP27364998 A JP 27364998A JP 2000103626 A JP2000103626 A JP 2000103626A
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optical material
molding
optical
mold
molded product
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Sunao Miyazaki
直 宮崎
Keiji Hirabayashi
敬二 平林
Shigeru Hashimoto
茂 橋本
Nobuyuki Nakagawa
伸行 中川
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の搬送部材の材料では実現できなかっ
た、シンプルな構造でありながら、成形品が割れる原因
となる熱衝撃を回避するためのヒーターの加熱を必要と
しない光学素材・素子搬送部材を提供する。 【解決手段】 加熱軟化した光学素材を成形装置内の成
形金型にて押圧成形することにより所要光学機能面を有
する光学素子を製造する際に、光学素材または光学素子
(成形品)を載置または吸着して上記成形装置内外に出
し入れするための光学素材・素子搬送部材において、そ
の搬送部材の基材として、少なくとも光学素材・素子と
接触する部分を、超耐熱ポリイミド樹脂成形体としたこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱軟化した光学
素材を成形装置内の成形金型にて押圧成形することによ
り所要光学機能面を有する光学素子を製造する際に、光
学素材または光学素子(成形品)を載置または吸着して
上記成形装置内外に出し入れするための、光学素子プレ
ス成形における、光学素材・素子搬送部材に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】近年、検索・研磨による光学素子加工方
法に代わり、加熱軟化させた光学用成形ガラス素材を成
形型内で直接プレスする方法が注目されている。通常、
この種の成形には、胴型内で上記胴型に摺動する成形用
型部材を用いて、軟化状態にあるガラス素材をプレス
し、上記型部材の成形面に対応した光学機能面を上記ガ
ラス素材に形成するようにした光学素子のプレス成形装
置が用いられる。
【0003】この場合、上記成形型内へのガラス素材の
搬入、そこからの成形品の搬出には、主として、吸着フ
ィンガーが使用される。上記吸着フィンガーは、吸着ハ
ンドの先端に導いた真空負圧で、上記ガラス素材または
成形品を吸引し、上記吸着ハンド先端に設けた吸着パッ
ドに吸着・保持する働きをしている。
【0004】そして、このような吸着フィンガーで搬送
した成形品は、別の搬送部材に移載して、装置外に取り
出され、更に、装置外に設けられた、別の吸着フィンガ
ーで成形品を収容するパレットに収められる。このよう
な上述の吸着フィンガーなどの搬送部材の材質は、通
常、高温のガラスに接触することから、耐酸化性に優れ
るステンレスやタングステン合金など(例えば、特開平
4−139031号公報や特開平9−268019号公
報に開示)が使われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光学素材・素子搬送部材の材料では、耐酸化性に優れる
ため、ガラスと接触しても、搬送部材の破損は起こらな
いものの、金属であるために熱伝導が良く、成形品との
温度差が可成りある場合、成形品が熱衝撃で割れるとい
う欠点があった。そのため、吸着フィンガー、搬送部材
にヒーターを設置して、温度コントロールする必要があ
った。しかしながら、この温度の設定には微妙なコント
ロールが必要で、わずかな温度の狂いによっても、成形
品が割れる欠点がある。特に、フィンガーにヒーターを
取り付けるために、装置が複雑になると共に、成形チャ
ンバーを、可成り大きく構成しなければならず、ガス置
換容量も大きくなるなどの不利を招く。また、加熱によ
って搬送部材の一部成分(例えば、添加材として含まれ
るモリブデン)が昇華して、光学素子を汚染することさ
えあった。また、金属系の材料では、表面が硬いために
成形品に傷が付くことがあった。
【0006】本発明はこのような従来の課題を解消し、
従来の搬送部材の材料では実現できなかった、シンプル
な構造でありながら、成形品が割れる原因となる熱衝撃
を回避するためのヒーターの加熱を必要としない光学素
材・素子搬送部材を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、加熱軟化した光学素材の成形装置内の
成形金型にて押圧成形することにより所要光学機能面を
有する光学素子を製造する際に、光学素材または光学素
子(成形品)を載置または吸着して上記成形装置内外に
出し入れするための光学素材・素子搬送部材において、
その搬送部材の基材として、少なくとも光学素材・素子
と接触する部分を、超耐熱ポリイミド樹脂成形体とした
ことを特徴とする。
【0008】このような構成においては、超耐熱ポリイ
ミド樹脂成形体は光学素材・素子搬送部材としての十分
な強度と硬さを持ち、加工性に優れ(切削加工が可能:
金属系材料よりも加工が容易)ている。そして、超耐熱
ポリイミドは、熱伝導率が低いので、室温の状態で高温
のガラスに接触しても、ガラスに熱衝撃が伝わらないた
め成形品が割れることがない。また、超耐熱製なので、
500℃程度のガラスと接触しても材料が変質、変形す
ることがない。また、ガラスに対して不活性である。し
たがって、光学素子搬送部材に必要な、耐酸化性に優
れ、ガラスに対して不活性であり、機械的強度に優れ、
かつ、加工性に優れ、精密加工が容易にでき、高温のガ
ラスに接触しても熱衝撃を与えないという条件を完全に
満たす。
【0009】なお、本発明中で、超耐熱ポリイミドと表
現している物質は、500℃以下では熱分解しないポリ
イミド樹脂のことを示す。
【0010】また、特に、本発明では、前記光学素材・
素子搬送部材基材として用いる超耐熱ポリイミド樹脂成
形体は、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPD
A)とジアミンとの縮重合による、全芳香族系ポリイミ
ド樹脂の成形体であることを特徴とする。
【0011】このように、ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物(BPDA)とジアミンとの縮重合による、全
芳香族系ポリイミド樹脂の成形体は、融点を持たず、5
40℃以上で熱分解する。したがって、この温度以下で
使用するならば、吸着パッドとして、良好に使用するこ
とができる。
【0012】この故に、本発明の搬送部材で搬送できる
ガラスは、搬送時の温度が540℃以下のガラスに限定
されるが、市販されるガラスモールド用ガラスのほとん
どがこの条件を満たしている。すなわち、一般に成形品
の搬送は、ガラスの転移点から数十度下げた温度で行わ
れるが、ガラスモールド用のガラスで転移点が540℃
以上のものはほとんど無いためである。また、この材料
は、鏡面加工が可能であり、かつ、表面の硬度は金属系
の材料よりも柔らかいので、成形品に傷が付くこともな
い。これは、この材料が切削加工が可能であり、かつ、
気孔率がゼロであるからである。なお、この材料に耐熱
性を向上させるために、勿論、添加物を加えることもで
きる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に具体
的に説明する。即ち、光学素子などのプレス成形装置
で、吸着パッドに加わる負圧により、ガラス素材を吸着
・保持し、所要個所(成形用型内)に搬入し、また、上
記プレス成形装置で成形されたガラス成形品を上記吸着
パッドに吸着・保持して搬出するための吸着フィンガー
においては、上記吸着パッドが、ガラス素材を吸着する
コーン状の吸着面、および、上記吸着面の外周に位置し
てガラス成形品の周縁を吸着するリング状吸着面を具備
している。
【0014】以下、本発明に係わる吸着フィンガーを、
図示の光学素子のプレス成形装置に適用した場合につい
て、具体的に説明する。図示のプレス成形装置は、図1
および図2に示すように、ガラス素材(ガラスブラン
ク)を成形型1内に装填し、プレス操作機構2の操作
で、成形型1の可動部(後述)を働かせることにより、
プレス成形するものであって、このプレス成形は、好ま
しくは、窒素ガス雰囲気などの不活性ガス雰囲気中で行
われる。このために、成形型1、プレス操作機構2など
は、気密構造の成形チャンバー3内に装備される。
【0015】成形チャンバー3は、架台10上に配置さ
れ、ガラス素材の搬入および成形品の搬出のための出入
口301にゲートバルブ11を装備していて、これを介
して外部と連通されている。また、架台10には、成形
チャンバー3に隣接して、成形型交換チャンバー12が
配設してあり、この交換チャンバー12は、ゲートバル
ブ13を介して、成形チャンバー3に連通している。
【0016】また、成形チャンバー3内には、成形型1
に対するガラス素材の導入(搬入)および成形品の導出
(搬出)を行うための入換え手段として、吸着フィンガ
ー4が装備されている。吸着フィンガー4は、成形チャ
ンバー3の床を貫通して、外部から成形チャンバー3内
へ垂直に導入した回転軸401の上端に、吸着ハンド4
02を装着し、吸着ハンド402の先端に吸着パッド4
03を設けたもので、回転軸401は、架台10に設け
たシリンダ機構14のピストンロッド14Aに回転自在
に連結され、ピストンロッド14Aの動作で、軸方向に
上下動作されるようになっており、また、ピストンロッ
ド14Aに設けた伝導モータ15により、ギヤ列16を
介して、回転動作されるようになっている。
【0017】吸着パッド403は、図3に示すように、
球形上のガラス素材(ガラスブランク)Gを吸着するコ
ーン状の吸着面403A、および、吸着面403Aの外
周に位置してガラス成形品G′の周縁を吸着するリング
状吸着面403Bを具備しており、表1に示す超耐熱ポ
リイミド樹脂によってできている。そして、吸着ハンド
402内に設けた負圧通路404を、吸着パッド403
のセンター部分に連通し、そこに負圧を掛けることで、
吸着パッド403に真空・吸引力を作用させることがで
きる。
【0018】このために、ガラス素材を吸着する時に
は、吸着面403Aが作用すると(図3の(A)を参
照)共に、ガラス成形品を吸着する時には、吸着面40
3Bが作用する(図3の(B)を参照)ことになる。
【0019】しかして、吸着パッド403にガラス素材
を吸着した状態で、上記シリンダ機構14の制御および
伝導モータ15の回転制御に基づく回転軸401の軸方
向動作および回転動作で、吸着パッド403を成形型1
内に導入し、下型部材101の成形面の上にガラス素材
を置き、また、成形後は、同じ吸着パッド403を成形
型1内に導入し、ガラス成形品を吸着した状態で、回転
軸401の逆方向の軸方向動作および回転動作で、成形
型1内から取出すように機能する。
【0020】架台10の上には、出入口301の下方に
位置して、成形チャンバー3に対する上記ガラス素材お
よび成形品の搬入・搬出手段17が配置してある。搬入
・搬出手段17は、シリンダ機構18から上方に延びる
ピストンロッド18Aに入替えチャンバー171を装着
すると共に、入替えチャンバー171の上端に在る開口
171Aから上下に出入りできる置き台172を装備
し、置き台172を、入替えチャンバー171内に設け
た昇降手段(例えば、ピストン・シリンダ機構)173
によって昇降できるようにしてある。なお、置き台17
2は、図4に示されており、表1に示すような超耐熱ポ
リイミド樹脂によってできている。
【0021】しかして、成形チャンバー3に対して、ガ
ラス素材あるいは成形品を搬入・搬出するときには、置
き台172にガラス素材を載せた状態で、シリンダ機構
18の制御により、ピストンロッド18Aを上昇させ
て、入替えチャンバー171を上昇し、その開口171
Aをゲートバルブ11に気密に接触させる。この状態
で、入替えチャンバー171内を所定の雰囲気に置換
し、その後、ゲートバルブ11を開放して、成形チャン
バー3と入替えチャンバー171とを連通し、更に、昇
降手段173で、置き台172を成形チャンバー3内に
導入し、吸着フィンガー4に対してガラス素材の受渡し
および成形品の受取りを行うのである。そして、この
後、昇降手段173を逆に動作し、置き台172を入替
えチャンバー171に戻し、ゲートバルブ11を閉じ、
シリンダ機構の働きで、入替えチャンバー171を降下
し、置き台172からの成形品の取出し、および、そこ
への新たなガラス素材の持込みを、それぞれ、行うこと
ができる。
【0022】なお、この実施の形態では、置き台172
へのガラス素材の持込み、そこからの成形品の取出しに
は、所定のロボット19が用いられる。ロボット19
は、吸着手段などを用いて、ストッカー20からガラス
素材を置き台172へ置き換えると共に、更に置き台1
72から所要個所へ成形品を持ち出すものである。
【0023】即ち、ロボット19は、X軸アーム19
1、Y軸アーム192を有し、両アームの働きで、Y軸
アーム192に設けた吸着ハンド193をX・Y軸方向
に移動操作できるようにしてある。この吸着ハンド19
3の先端の、ガラスと接触する部分も、表1に示す超耐
熱ポリイミド樹脂によってできている。また、ストッカ
ー20は、フレーム20A上に電動モータ20Bを設
け、その回転軸にパレット20Cを固定したもので、電
動モータ20Bの駆動で、パレット20Cを旋回し、ロ
ボット19に対応した個所で、成形品の受取り、ガラス
素材の引き渡しを行うのである。
【0024】なお、この装置では、別に冷却台21が用
意されていて、上記吸収ハンド193によって置き台1
72から取出した成形品を一時的に冷却台21に置き、
所望温度まで自然、あるいは、強制冷却することができ
るが、ここでは、用いなかった。
【0025】上述の成形型1は、成形用の胴型100
に、その中心に対して、四方に分散配置された4組の下
型部材101および上型部材102を、上下摺動自在に
組み込んだ、4個取りの構造になっており、上述の吸着
パッド403によるガラス素材の受け入れ、および、成
形品の取出しのために、胴型100の側部に出入り用の
開口100Aを形成している。そして、胴型100は成
形チャンバー3内において、パレット5上に配置・固定
されている。パレット5は、交換チャンバー12内のガ
イドレール6Aを介して、交換チャンバー12からゲー
トバルブ13を通して成形チャンバー3内に敷設された
ガイドレール6Bへと案内され、成形チャンバー3内の
プレス位置に設置されるようになっている。
【0026】上述のプレス操作機構2は、図1に示すよ
うに、上記プレス位置において、ガイドレール6Bの下
側に押上用の操作部材201を配置してあり、また、成
形型1の上方に、各上型部材102に対応して、4個の
プレス用の操作部材202を配置し、これらを共通ホル
ダーブロック203で保持している。操作部材201
は、その上端を、成形チャンバー3の底部に設けた環状
の部材204を介して、成形チャンバー3の外部から内
部に挿入できる構造になっており、また、その下端を、
押上用のシリンダー機構205から上方に延びるピスト
ンロッド206に連結している。また、操作部材201
の上端には、下型部材101に共通する突上げ駒207
が取付けてあって、胴型100に対して摺動させなが
ら、下型部材101を共通に押し上げることができるよ
うになっている。
【0027】操作部材202は、ホルダーブロック20
3の下端に設けた摺動部で案内されて、上下に動作でき
る状態になっており、ホルダーブロック203内に設け
た弾持機構208で、ホルダーブロック203に対し
て、所定位置まで相対移動できるように下向きに弾持さ
れている。なお、この実施の形態では、弾持機構208
には、皿ばねを重ねた構造を採用しているが、他の適当
な機構、構成のものを採用しても良い。
【0028】ホルダーブロック203の上端には共通ロ
ッド209が連結してあり、共通ロッド209は、成形
チャンバー3の天井部を貫通して、その内部から外部に
延びていて、成形チャンバー3の上部に配置したプレス
用のシリンダー機構210から下方に延びるピストンロ
ッド211に連結されている。
【0029】しかして、プレス操作機構2を用いて、ガ
ラス素材をプレス成形する時には、先ず、シリンダ機構
210の働きで、ホルダーブロック203を上昇させ、
上型部材102を引き上げ、所謂、型開きをなす。そし
て、先述の吸着ハンド402により、ガラス素材を成形
型1内に導入し、再び、ホルダーブロック203を下降
すると、上型部材102は上記ガラス素材上に降下す
る。その後、更に、シリンダ機構210を稼動し、ホル
ダーブロック203を降下すると、操作部材202が上
型部材102にプレス圧を加える。上型部材102が押
し切った後、冷却過程で、シリンダ機構205は操作部
材201を押上げ、突上げ駒207を介して下型部材1
01を上向きに押圧し、R面を確保する。また、成形
後、シリンダ機構210を稼動し、ホルダーブロック2
03を上昇すると、上型部材102が上昇し、型開きが
なされる。
【0030】上述の成形型交換チャンバー12には成形
型交換手段7が装備してある。この成形型交換手段7
は、入れ替え手段701を備えていて、これによって、
ガイドレール6Aに沿って、成形型1を載置・固定した
パレット5を、ゲートバルブ13を介して、成形チャン
バー3内のガイドレール6Bに移送するようになってい
る。
【0031】入れ替え手段701は、成形型交換チャン
バー12内に延びるロッド702の先端に、結合ハンド
703を取付けるとともに、その基端部にスラストベア
リング704を介して、アクチュエータ705を装着し
ており、また、アクチュエータ705に装備したモータ
706によって、L字クランク707を介して、ロッド
702を回転操作できる構成になっており、また、アク
チュエータ705を駆動する時、ロッド702と平行に
配置したガイドレール708に沿って、アクチュエータ
705を移動することで、ロッド702を、その長手方
向に移動できるように構成されている。
【0032】しかして、モータ706の動作で、ロッド
702を回動し、この動作で、パレット5に対する結合
ハンド703の係脱操作をなし、また、アクチュエータ
705の働きで、パレット5を、ガイドレール6Aに沿
って移動することができる。これによって、入れ替え手
段701の制御により、パレット5を、ゲートバルブ1
3を介して、成形チャンバー3のガイドレール6Bにも
たらし、ブレス操作機構2のプレス位置にセットし、あ
るいは、逆に、そこから成形型交換チャンバー12へと
引戻すことができる。
【0033】また、成形型交換手段7は、パレット5を
移動するパレット置換手段711を備えている。パレッ
ト置換手段711は、ガイドレール6Aの長手方向と直
交する方向に進退するピストンロッド712Aを備えた
シリンダ機構712を、成形型交換チャンバー12の一
側に装備し、また、ピストンロッド712Aの先端に、
2つのステージ713A,713Bを有する送り台71
3を装着したものである。そして、各ステージ713
A,713Bには、それぞれ、上述のガイドレール6A
が装備してある。なお、成形型交換チャンバー12の他
側には、成形型1の出し入れのための開口があり、そこ
に扉12Aが装備してある。
【0034】しかして、予め、扉12Aをあけて、シリ
ンダ機構712を働かせ、送り台713を成形型交換チ
ャンバー12の開口から外に迫り出させて、例えば、ス
テージ713Aのガイドレール6A上に、新たな成形型
1を搭載したパレット5を載せ、そして、シリンダ機構
712を逆に働かせ、送り台713を戻して、図2に示
すように、シリンダ機構712のある側に片寄せ、扉1
2Aを閉じて、成形型交換チャンバー12内のガス置換
を行っておくと、この状態では、ステージ713Bのガ
イドレール6Aが、成形型交換チャンバー12の中央
(パレット入換え位置)に位置している。
【0035】従って、入れ替え手段701の働きで、成
形チャンバー3から、使用済みの成形型1を、これを載
せたパレット5とともに、空のステージ713B上に取
出すことができる。また、その後、シリンダ機構712
を働かせて、成形型交換チャンバー12の中央にステー
ジ713Aを位置させ、再び、入れ替え手段701を働
かせることで、ガイドレール6A上から成形チャンバー
3のガイドレール6Bへとの新たな成形型1をパレット
5とともに、移送でき、プレス操作機構2のプレス位置
にセットすることができる。なお、使用済みの成形型1
は、成形チャンバー3に対する新たな成形型1の入換え
後、扉12Aを開放して、パレット5上より取出すこと
ができる。
【0036】5,000shotの成形をした結果、表
1に示す、すべての搬送部材(実施例1〜4)で割れな
どの不良や搬送部材の劣化などを生じることなく、良好
な成形品が得られた。この実施例の比較として、ステン
レス製及びタングステン製の搬送部材の使用した比較例
では、半数以上のレンズに割れが発生した。なお、成形
品の温度として、540℃、450℃、350℃につい
て行ったが、同じ結果であった。
【0037】
【表1】
【0038】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、加熱軟
化した光学素材を成形装置内の成形金型にて押圧成形す
ることにより、所要の光学機能面を有する光学素子を製
造する際に、光学素材または光学素子(成形品)を載置
または吸着して上記成形装置内外に出し入れするための
光学素材・素子搬送部材において、その基材として、少
なくとも光学素材・素子と接触する部分を超耐熱ポリイ
ミド樹脂成形体としたことにより、光学素材・素子搬送
部材に要求される必要条件を全て満たすことができる。
特に、本発明によれば、超耐熱ポリイミド樹脂成形体を
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)とジ
アミンとの縮重合による、全芳香族系ポリイミド樹脂の
成形体とすることにより、樹脂材料でありながら成形品
を搬送する温度に耐え、しかも、切削加工が可能であり
ながら、鏡面加工が可能となり、成形品の割れ、傷の発
生を防止できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す光学素子のプレス成
形装置の概略断面図である。
【図2】同じく、光学素子のプレス成形装置の概略平断
面図である。
【図3】同じく、吸着フィンガーの概略断面図である。
【図4】同じく、置き台の概略断面図である。
【符号の説明】
1 成形型 2 プレス操作機構 3 成形チャンバー 4 吸着フィンガー 5 パレット 6A ガイドレール 6B ガイドレール 7 成形型交換機構 10 架台 11 ゲートバルブ 12 成形型交換チャンバー 12A 扉 13 ゲートバルブ 14 吸着ハンド上下用シリンダ機構 14A ピストンロッド 15 吸着ハンド回転軸回転用伝導モータ 16 ギヤ列 17 ガラス素材・素子搬出入手段 18 シリンダ機構 18A ピストンロッド 19 ロボット 20 ストッカー 20A ストッカーフレーム 20B 電動モータ 20C パレット 21 冷却台 100 胴型 100A 胴型出入り用開口 101 下型部材 102 上型部材 171 入替えチャンバー 171A 入替えチャンバー開口 172 置き台 173 ピストン・シリンダ機構(置き台昇降手段) 191 ロボットX軸アーム 192 ロボットY軸アーム 193 ロボット吸着ハンド 201 下型押し上げ操作部材 202 プレス操作部材 203 ホルダーブロック 204 環状部材 205 シリンダ機構 206 ピストンロッド 207 突き上げ駒 208 弾持機構 209 共通ロッド 210 プレスシリンダー機構 211 ピストンロッド 301 光学素材・素子搬出入口 401 吸着ハンド回転軸 402 吸着ハンド 403 吸着パッド 403A 吸着面 403B 吸着面 404 負圧通路 701 入れ替え手段 702 ロッド 703 結合ハンド 704 スラストベアリング 705 アクチュエータ 706 モータ 707 L字クランク 708 ガイドレール 711 パレット置換手段 712 シリンダ機構 712A ピストンロッド 713 送り台 713A ステージ 713B ステージ G ガラス素材 G′ ガラス成形品
フロントページの続き (72)発明者 橋本 茂 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 中川 伸行 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加熱軟化した光学素材を成形装置内の成
    形金型にて押圧成形することにより所要光学機能面を有
    する光学素子を製造する際に、光学素材または光学素子
    (成形品)を載置または吸着して上記成形装置内外に出
    し入れするための光学素材・素子搬送部材において、そ
    の搬送部材の基材として、少なくとも光学素材・素子と
    接触する部分を、超耐熱ポリイミド樹脂成形体としたこ
    とを特徴とする光学素材・素子搬送部材。
  2. 【請求項2】 前記光学素材・素子搬送部材の基材とし
    て用いる超耐熱ポリイミド樹脂成形体は、ビフェニルテ
    トラカルボン酸二無水物(BPDA)とジアミンとの縮
    重合による、全芳香族系ポリイミド樹脂の成形体である
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学素材・素子搬送
    部材。
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