JP2000099999A - 光ディスク原盤露光方法及びその装置 - Google Patents

光ディスク原盤露光方法及びその装置

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JP2000099999A
JP2000099999A JP10264493A JP26449398A JP2000099999A JP 2000099999 A JP2000099999 A JP 2000099999A JP 10264493 A JP10264493 A JP 10264493A JP 26449398 A JP26449398 A JP 26449398A JP 2000099999 A JP2000099999 A JP 2000099999A
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Hideyasu Endo
英康 遠藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 集光ビーム単体の強度半値幅より広い1本の
幅広案内溝の潜像を光ディスク原盤上に確実に形成でき
るようにする。 【解決手段】 幅広案内溝の潜像形成時には異なるキャ
リア周波数F1,F2を持つ複数の信号を選択し合成器
13により合成して音響光学型光偏向器5に入力するこ
とで、1つの集光ビームに基づき幅広案内溝の幅方向に
2つの集光ビームを形成し、この2つの集光ビームを同
時に光ディスク原盤1上に照射させることで、幅広案内
溝の潜像を確実に形成できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤露
光方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、光ディスクには、案内溝(グル
ーブ)以外にリードイントラック及びリードアウトトラ
ックに、CD(Compact Disk)の場合と同様に、TO
C(Table Of Contents)情報、所定周期のパルス信
号等が予め記録されている。従って、プリフォーマット
された光ディスクには、離散値的情報パターン(ピッ
ト)が形成された領域と、幅広のグルーブとが混在する
ことになる。このように幅の異なるパターンを形成する
場合、従来では、ピット及びグループの各々の幅に対応
した記録スポットを用意し、これらの記録スポットを切
り換えて原盤をカッティングするようにしている。
【0003】ところが、このようにピット用とグループ
用とで記録スポットを切り換る方法の場合、レーザパワ
ーを大きくしなければならない等の不具合がある。
【0004】この点、特開平1−35742号公報(特
許第2643159号)によれば、1つの記録スポット
だけでピット及び幅広のグルーブを形成できる方法が開
示されている。具体的には、光学的に記録可能なディス
クにプリフォーマットとして離散値的情報パターンとグ
ルーブを形成するための光学的記録方法であって、離散
値的情報パターンを形成するためのスポットサイズを有
する記録ビームを発生し、この記録ビームによって離散
値的情報パターンを形成し、所定の関係を満たす周波数
で記録ビームをディスクの径方向に振ることによりグル
ーブのエリアを多重露光し、記録ビームのスポットサイ
ズより広い幅を有するグルーブを形成するようにしてい
る。
【0005】図9及び図10を参照して、より詳細に説
明する。100は光ディスク原盤、101はアルゴンイ
オンレーザ等のレーザ光源である。レーザ光源101か
らの記録ビームは音響光学型光変調器(AOM)102
に導かれる。このAOM102には、ピット系列を形成
する場合にはEFM信号、グルーブを形成する場合には
一定レベルのDC信号がドライバ103を介して入力さ
れる。EFM信号によって記録ビームの強度がオン・オ
フされる。AOM102から出力される記録ビームは、
音響光学型光偏向器(AOD)104に供給される。A
OM102が超音波周波数を一定にしたまま回折光の強
度を変化させるのに対して、AOD104は回折光の強
度を一定にして超音波周波数を変化させることにより偏
向を生じさせる。AOD104から出力される記録ビー
ムは、中間レンズ105、対物レンズ106を介して光
ディスク原盤100上に照射される。光ディスク原盤1
00はスピンドルモータ107によって線速一定で回転
駆動される。
【0006】AOD104に対しては、制御信号が供給
されるVCO(電圧制御型発振器)108により形成さ
れた高周波信号(例えば、224MHz)がドライバ1
09を介して供給される。AOD104によって記録ビ
ームをウオブリングするために、高周波信号の周波数が
変えられる。
【0007】これにより、離散値的情報パターン、即
ち、ピット系列を記録するためのスポットサイズを有す
る記録ビームを発生させ、光ディスク原盤100上に照
射させることにより、図10(b)に示すようにピット
系列110が形成される。ピット系列110の中心軌跡
はウオブリングされている(ウオブリング周波数は、例
えば、22.05kHz)。また、このような記録ビー
ムを光ディスク原盤100の径方向に振らせることによ
り、図10(a)又は(b)に示すように、幅広のグル
ーブ111が形成される。この場合、高い周波数信号
(例えば、224MHz)で記録ビームが振られるた
め、多重露光されることになる。また、このように形成
される幅広のグルーブ111の中心軌跡もウオブリング
されている。このようにして、ピット系列110と幅広
のグルーブ111とが1本の記録ビームによって形成さ
れる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平1−
35742号公報に示される方法の場合、記録ビームを
多重露光するための周波数は数MHz以上と高く、AO
D104の周波数応答がないため、多重露光しても思っ
た程は、溝幅が広がらないものである。
【0009】そこで、本発明は、集光ビーム単体の強度
半値幅より広い1本の幅広案内溝の潜像を確実に光ディ
スク原盤上に形成できる光ディスク原盤露光方法及びそ
の装置を提供することを目的とする。
【0010】また、本発明は、片側のみ蛇行した幅広案
内溝の潜像を形成することもでき、トラックピッチを狭
くして光ディスクの大容量化を図ることができる光ディ
スク原盤露光装置を提供することを目的とする。
【0011】さらに、本発明は、両側が蛇行した幅広案
内溝の潜像を形成することもでき、FM変調による情報
を2倍にできる光ディスク原盤露光装置を提供すること
を目的とする。
【0012】また、本発明は、上記目的を達成する上
で、溝形状を安定化させ得る光ディスク原盤露光装置を
提供する。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の光
ディスク原盤露光方法は、感光性膜が形成された光ディ
スク原盤上に音響光学型光偏向器を介して露光用の集光
ビームを照射し、離散値的情報パターンの潜像とととも
に、集光ビーム単体の強度半値幅より広い1本の幅広案
内溝の潜像を形成するようにした光ディスク原盤露光方
法において、前記幅広案内溝の潜像形成時には異なるキ
ャリア周波数を持つ複数の信号を選択し合成して前記音
響光学型光偏向器に入力し、前記幅広案内溝の幅方向に
2つの集光ビームを形成するようにした。
【0014】従って、幅広案内溝の潜像形成時には、キ
ャリア周波数の異なる複数の信号を選択し合成して音響
光学型光偏向器に入力することで、1本の集光ビームに
基づき幅広案内溝の幅方向に2つの集光ビームを形成し
ているので、この2つの集光ビームによって光ディスク
原盤上に幅広案内溝の潜像を確実に形成することができ
る。
【0015】請求項2記載の光ディスク原盤露光装置
は、感光性膜が形成された光ディスク原盤上に音響光学
型光偏向器を介して露光用の集光ビームを照射し、離散
値的情報パターンの潜像ととともに、集光ビーム単体の
強度半値幅より広い1本の幅広案内溝の潜像を形成する
ようにした光ディスク原盤露光装置において、前記幅広
案内溝の潜像形成時に前記光ディスク原盤上で前記幅広
案内溝の幅方向に2つの集光ビームを形成するように異
なるキャリア周波数を持つ複数の信号を選択し合成して
前記音響光学型光偏向器に入力させる選択合成手段を備
える。
【0016】従って、幅広案内溝の潜像形成時には、選
択合成手段によってキャリア周波数の異なる複数の信号
を選択し合成して音響光学型光偏向器に入力させること
で、1本の集光ビームに基づき幅広案内溝の幅方向に2
つの集光ビームを形成しているので、この2つの集光ビ
ームによって光ディスク原盤上に幅広案内溝の潜像を確
実に形成することができる。
【0017】請求項3記載の発明は、請求項2記載の光
ディスク原盤露光装置において、異なるキャリア周波数
を持ち選択し合成して前記音響光学型光偏向器に入力さ
せる複数の信号は、FM変調された信号とFM変調され
ない信号とである。
【0018】従って、キャリア周波数の異なる信号とし
て、FM変調された信号とFM変調されない信号とを用
いることで、片側のみウオブリングされた幅広案内溝の
潜像を形成することができ、トラックピッチを狭くして
光ディスクの大容量化を図ることができる。
【0019】請求項4記載の発明は、請求項2記載の光
ディスク原盤露光装置において、異なるキャリア周波数
を持ち選択し合成して前記音響光学型光偏向器に入力さ
せる複数の信号は、各々異なる周波数のFM変調信号で
FM変調された信号である。
【0020】従って、キャリア周波数が異なり、かつ、
各々異なる周波数のFM変調信号でFM変調された信号
を用いることで、両側が蛇行した幅広案内溝の潜像を形
成することもでき、FM変調による情報を2倍にでき
る。
【0021】請求項5記載の発明は、請求項2記載の光
ディスク原盤露光装置において、異なるキャリア周波数
を持ち選択し合成して前記音響光学型光偏向器に入力さ
せる2つの信号が対をなし、各々個別に選択されて前記
音響光学型光偏向器に入力させる場合のこの音響光学型
光偏向器の出力光量が互いに等しくなるように設定され
た信号である。
【0022】従って、形成される2つの集光ビームの光
量が安定するように各々の信号の周波数等が設定される
ので、形成される幅広案内溝の溝形状が安定する。
【0023】請求項6記載の発明は、請求項5記載の光
ディスク原盤露光装置において、対をなす2つの信号
は、各々のキャリア周波数を調整することにより、前記
音響光学型光偏向器の出力光量が互いに等しくなるよう
に設定される。
【0024】従って、対をなす2つの信号の各々のキャ
リア周波数を調整するだけで、請求項5記載の発明を達
成できる。
【0025】請求項7記載の発明は、請求項5記載の光
ディスク原盤露光装置において、対をなす2つの信号
は、各々のキャリア周波数の信号振幅を調整することに
より、前記音響光学型光偏向器の出力光量が互いに等し
くなるように設定される。
【0026】従って、対をなす2つの信号の各々のキャ
リア周波数の信号振幅を調整するだけで、請求項5記載
の発明を達成できる。
【0027】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図1
ないし図3に基づいて説明する。まず、本実施の形態に
用いられる光ディスク原盤露光装置の構成例を図1によ
り説明する。1は例えば感光性膜としてフォトレジスト
膜が形成された光ディスク原盤であり、2はレーザ光
源、例えば、Arイオンレーザ光源である。このArイ
オンレーザ光源2から出射される記録ビームを光ディス
ク原盤1上に照射させるための光路上には、反射ミラー
3、音響光学型光変調器(AOM)4、音響光学型光偏
向器(AOD)5及び対物レンズ6が順に配設されてい
る。
【0028】AOM4は、プリフォーマッタ7からのプ
リフォーマット信号に基づきAOドライバ8で制御され
ることで、Arイオンレーザ光源2から出射される記録
ビームを離散値的情報を持つ光信号に変換する。この
際、プリフォーマッタ7からのプリフォーマット信号と
してDC信号をこのAOM4に加えることで、情報を持
たない単なる光通過信号として出力させることも可能で
ある(これが、後述する広幅案内溝を形成するモードと
して利用される)。このAOM4を透過した記録ビーム
は、AOD5を通過する際に、このAOD5に加えられ
る信号の周波数により種々に制御される。このため、A
OD5の制御信号入力側に対しては、選択合成手段9が
設けられている。この選択合成手段9は、加算・制御回
路10から出力される2種類の直流VT1,VT2に基
づき各々異なるキャリア周波数F1,F2を発生する2
個の電圧制御型発振器(VCO)11,12と、これら
のVCO11,12から出力されるキャリア周波数F
1,F2の信号を合成(加算)してAOD5に加える合
成器13と、プリフォーマッタ7からの制御信号に基づ
きVCO11,12から合成器13に対するキャリア周
波数F1,F2の信号の入力を選択するソリッドステー
ト型のスイッチ14,15とにより構成されている。
【0029】このような構成において、直流VT1,V
T2に基づきVCO11,12から出力される異なるキ
ャリア周波数F1,F2は、例えば、135MHz,1
40MHzの如く、接近した周波数とされる。ここに、
離散値的情報パターンの潜像の形成時には、スイッチ1
5側が閉じられ、スイッチ14のみがオンされること
で、合成器13を通してキャリア周波数F1がAOD5
に加えられ、このキャリア周波数F1の信号に基づき集
光ビームの強度半値幅に基づき図2中に示すように離散
値的情報パターンとしてのピット16が形成される。
【0030】一方、グルーブ用の幅広案内溝17の潜像
形成領域に至ると、スイッチ14,15がともにオンし
て両方のキャリア周波数F1,F2の信号が選択され、
合成器13で加算される。このように異なるキャリア周
波数F1,F2の信号を合成器13を通してAOD5に
加えると、1本の集光ビームがAOD5を通過する際
に、各々のキャリア周波数F1,F2に基づく2個の集
光ビームに変換されて光ディスク原盤1上に同時に集光
照射されることとになる。この際、異なるキャリア周波
数F1,F2は近接しているため、2つの集光ビームと
されても、原盤半径方向にオーバラップするような状態
で同時に集光照射されるので、図2中に示す如く、集光
ビーム単体の強度半値幅よりも広い幅広案内溝17が確
実に形成される。
【0031】この際、各々のキャリア周波数F1,F2
を例えば周波数22.05kHzにてFM変調された信
号とすれば、図3に示すように、全体的にウオブリング
されたピット16や幅広案内溝17の潜像を形成するこ
とができる。
【0032】本発明の第二の実施の形態を図1,図4及
び図5に基づいて説明する。本実施の形態では、直流V
T1,VT2を変化させることでVCO11,12から
出力されるキャリア周波数F1,F2を変えるようにし
たものである。このため、本実施の形態では、直流VT
1,VT2を供給する加算・制御回路10に対して直流
信号Vc1,Vc2,Vc3を用意し、加算・制御回路
10で各々の直流信号Vc1,Vc2,Vc3に対して
ATIP(時間情報又はアドレス情報の入ったFM変調
信号、例えば、周波数22.05kHz)信号を加算
し、 VT1=Vc1+ATIP 又は VT1=Vc2+A
TIP (VT1の切換えは、プリフォーマッタ7からの信号に
より行なう) VT2=Vc3+ATIP を作る。このようにVT1,VT2に対してATIP信
号を加算する/加算しないの制御もプリフォーマッタ7
からの信号により行なう。ここで、VT1=Vc2(F
M変調されない信号),VT2=Vc3+Vc3(FM
変調された信号)として、VCO11,12から出力さ
れるキャリア周波数F1,F2を合成器13で加算し、
その合成信号をAOD5に加えると、図4に示すよう
に、片側(キャリア周波数F2側)のみATIP信号に
より蛇行した(ウオブリングされた)広幅案内溝18が
形成される。これによれば、トラックピッチを狭くし
て、作製される光ディスクの大容量化を図ることができ
る。
【0033】また、ATIP信号による変調周波数を異
なるものとし、VT1=Vc2+ATIP(FM変調さ
れた信号),VT2=Vc3+Vc3(FM変調された
信号)として、VCO11,12から出力されるキャリ
ア周波数F1,F2を合成器13で加算し、その合成信
号をAOD5に加えると、図5に示すように、両側が異
なる変調周波数のATIP信号により異なる周期で蛇行
した(ウオブリングされた)広幅案内溝19が形成され
る。これによれば、FM変調による情報を2倍にでき
る。
【0034】本発明の第三の実施の形態を図1,図6な
いし図8に基づいて説明する。図1において、スイッチ
14のみをオンさせてVCO11側の出力を周波数を可
変させてAOD5に加えた場合のAOD出力光量とAO
D印加周波数との特性は、図6に示すように放物線を描
く。同様に、スイッチ15のみをオンさせてVCO11
側の出力を周波数を可変させてAOD5に加えた場合の
AOD出力光量とAOD印加周波数との特性も、図6に
示すように放物線を描く。そこで、このような特性下
に、異なる周波数の2つのキャリア周波数F1,F2を
図6の如く、設定すると、キャリア周波数F1,F2に
基づき生成される2個の集光ビームの光量は同一とな
る。よって、形成される広幅案内溝の形状が安定するこ
ととなる。
【0035】ところで、このような放物線を描くAOD
出力光量とAOD印加周波数との特性は、光軸ずれ等に
起因して図7に破線で示すように変化する場合がある。
この場合、各々のキャリア周波数F1,F2を調整して
出力光量が等しくなるように各々F1′、F2′とする
ことにより、光量の安定化を維持できる。
【0036】また、このような放物線を描くAOD出力
光量とAOD印加周波数との特性は、光軸ずれ等に起因
して図8に破線で示すように変化する場合がある。この
場合、一方のキャリア周波数F2における信号振幅を調
整して出力光量が等しくなるようにすることで、光量の
安定化を維持できる。
【0037】
【発明の効果】請求項1及び2記載の発明によれば、幅
広案内溝の潜像形成時には、キャリア周波数の異なる複
数の信号を選択し合成して音響光学型光偏向器に入力す
ることで、1本の集光ビームに基づき幅広案内溝の幅方
向に2つの集光ビームを形成するようにしたので、この
2つの集光ビームによって光ディスク原盤上に幅広案内
溝の潜像を確実に形成することができる。
【0038】請求項3記載の発明によれば、キャリア周
波数の異なる信号として、FM変調された信号とFM変
調されない信号とを用いることで、片側のみウオブリン
グされた幅広案内溝の潜像を形成することができ、トラ
ックピッチを狭くして光ディスクの大容量化を図ること
ができる。
【0039】請求項4記載の発明によれば、キャリア周
波数が異なり、かつ、各々異なる周波数のFM変調信号
でFM変調された信号を用いることで、両側が蛇行した
幅広案内溝の潜像を形成することもでき、FM変調によ
る情報を2倍にすることができる。
【0040】請求項5ないし7記載の発明によれば、形
成される2つの集光ビームの光量が安定するように各々
の信号の周波数等が設定されるので、形成される幅広案
内溝の溝形状を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一ないし第三の実施の形態を示すブ
ロック構成図である。
【図2】本発明の第一の実施の形態において形成される
ピット及びグルーフの様子を平面的に示す説明図であ
る。
【図3】ウオブリングされたピット及びグルーフの様子
を平面的に示す説明図である。
【図4】本発明の第二の実施の形態において形成される
グルーフの様子を平面的に示す説明図である。
【図5】本発明の第二の実施の形態において形成される
グルーフの様子を平面的に示す説明図である。
【図6】本発明の第三の実施の形態におけるAOD出力
光量とAOD印加周波数との関係を示す特性図である。
【図7】そのAOD出力光量とAOD印加周波数との関
係に変化が生じた場合を示す特性図である。
【図8】そのAOD出力光量とAOD印加周波数との関
係に変化が生じた場合を示す特性図である。
【図9】従来例を示す構成図である。
【図10】そのピット及びグルーブの形成状況を示す説
明図である。
【符号の説明】
1 光ディスク原盤 5 音響光学型光偏向器 9 選択合成手段

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 感光性膜が形成された光ディスク原盤上
    に音響光学型光偏向器を介して露光用の集光ビームを照
    射し、離散値的情報パターンの潜像ととともに、集光ビ
    ーム単体の強度半値幅より広い1本の幅広案内溝の潜像
    を形成するようにした光ディスク原盤露光方法におい
    て、前記幅広案内溝の潜像形成時には異なるキャリア周
    波数を持つ複数の信号を選択し合成して前記音響光学型
    光偏向器に入力し、前記幅広案内溝の幅方向に2つの集
    光ビームを形成するようにした光ディスク原盤露光方
    法。
  2. 【請求項2】 感光性膜が形成された光ディスク原盤上
    に音響光学型光偏向器を介して露光用の集光ビームを照
    射し、離散値的情報パターンの潜像ととともに、集光ビ
    ーム単体の強度半値幅より広い1本の幅広案内溝の潜像
    を形成するようにした光ディスク原盤露光装置におい
    て、前記幅広案内溝の潜像形成時に前記光ディスク原盤
    上で前記幅広案内溝の幅方向に2つの集光ビームを形成
    するように異なるキャリア周波数を持つ複数の信号を選
    択し合成して前記音響光学型光偏向器に入力させる選択
    合成手段を備えることを特徴とする光ディスク原盤露光
    装置。
  3. 【請求項3】 異なるキャリア周波数を持ち選択し合成
    して前記音響光学型光偏向器に入力させる複数の信号
    は、FM変調された信号とFM変調されない信号とであ
    ることを特徴とする請求項2記載の光ディスク原盤露光
    装置。
  4. 【請求項4】 異なるキャリア周波数を持ち選択し合成
    して前記音響光学型光偏向器に入力させる複数の信号
    は、各々異なる周波数のFM変調信号でFM変調された
    信号であることを特徴とする請求項2記載の光ディスク
    原盤露光装置。
  5. 【請求項5】 異なるキャリア周波数を持ち選択し合成
    して前記音響光学型光偏向器に入力させる2つの信号が
    対をなし、各々個別に選択されて前記音響光学型光偏向
    器に入力させる場合のこの音響光学型光偏向器の出力光
    量が互いに等しくなるように設定された信号であること
    を特徴とする請求項2記載の光ディスク原盤露光装置。
  6. 【請求項6】 対をなす2つの信号は、各々のキャリア
    周波数を調整することにより、前記音響光学型光偏向器
    の出力光量が互いに等しくなるように設定されることを
    特徴とする請求項5記載の光ディスク原盤露光装置。
  7. 【請求項7】 対をなす2つの信号は、各々のキャリア
    周波数の信号振幅を調整することにより、前記音響光学
    型光偏向器の出力光量が互いに等しくなるように設定さ
    れることを特徴とする請求項5記載の光ディスク原盤露
    光装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002059892A1 (fr) * 2001-01-26 2002-08-01 Sony Corporation Support d'enregistrement optique, disque maitre destine a la fabrication du support d'enregistrement optique et dispositif et procede pour fabriquer le disque maitre destine a la fabrication du support d'enregistrement optique

Cited By (3)

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