JP2000096214A - 真空蒸着装置のための蒸発装置 - Google Patents

真空蒸着装置のための蒸発装置

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JP2000096214A
JP2000096214A JP11269051A JP26905199A JP2000096214A JP 2000096214 A JP2000096214 A JP 2000096214A JP 11269051 A JP11269051 A JP 11269051A JP 26905199 A JP26905199 A JP 26905199A JP 2000096214 A JP2000096214 A JP 2000096214A
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casing
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クレム ギュンター
Hans Neudert
ノイデルト ハンス
Wolfgang Achtner
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気ヒータによって加熱される、供給しよう
とする金属を蒸発させるための坩堝を備えた蒸発器と、
発生した金属蒸気を吐出するためのノズルギャップを備
えたノズル体とを有している、真空蒸着装置のための蒸
発装置を改良して、蒸発率をできるだけ迅速に変えるこ
とができ、蒸発された金属による汚染ができるだけ少な
く、ひいては装置を停止させることなしにできるだけ長
いプロセス時間が可能なものを提供する。 【解決手段】 ノズル体１が中空体として構成されてい
て、蒸発器３が、前記ノズル体１に接続された、坩堝を
形成する蒸発器ケーシング４を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空蒸着装置のた
めの蒸発装置であって、電気ヒータによって加熱され
る、供給しようとする金属を蒸発するための坩堝を備え
た蒸発器と、発生した金属蒸気を吐出するためのノズル
ギャップを備えたノズル体とを有している形式のものに
関する。
【０００２】薄膜（フィルム、シート）に、例えばアル
ミニウム、銅又はその他の高い融点を有する金属を蒸着
するために、真空室内に、大抵の場合いわゆるシャトル
型蒸発器(Verdampferschiffen)が配置される。このシャ
トル型蒸発器は、導電性のセラミックより成っていて、
このシャトル型蒸発器を通して、供給された金属を蒸発
させるために電流が流される。このシャトル型蒸発器
は、それぞれ空洞にすることによって、蒸発させようと
する金属のための坩堝を形成している。この際に、シャ
トル型蒸発器の上側の室は完全に開放されているので、
この上側の室内で蒸発された金属は、シャトル型蒸発器
の上側でガイドされた薄膜に直接達し、ここで凝縮によ
って付着するようになっている。このような開放した蒸
発装置は、低い蒸気圧力を有する金属のためだけに用い
ることができる。何故ならば、低い蒸気圧力によっての
み蒸気は、もっぱら基板に向けて上方に上昇するからで
ある。しかも、蒸発装置の比較的大きい領域に蒸気が達
し、蒸気によって汚されることになる。それによって、
装置を比較的しばしば運転停止させて、洗浄する必要が
あるので、連続的な長いプロセス時間は不可能である。
【０００３】亜鉛のための蒸発装置で、大容積の蒸発器
ケーシング内に蒸発させようとする金属が入れられた坩
堝が配置されているものは公知である。坩堝の加熱は、
セラミック体内に設けられた加熱コイル(Heizwendel)に
よって間接的に行われる。蒸発器ケーシングは、上方に
向かって、プレート又は条片として構成されたノズル体
によって覆われており、このノズル体は、ノズルギャッ
プを有していて、このノズルギャップによって蒸気がコ
ーティング（蒸着）しようとする薄膜に達する。ノズル
ギャップは、コーティングしようとする薄膜の幅と同じ
長さでなければならない。何故ならば、薄膜はコーティ
ングするために、ノズルギャップ上にガイドされるから
である。従って蒸発器ケーシングは相応に幅広で、ひい
ては大容積である。
【０００４】このような大容積の蒸発装置は、加熱時間
が、コーティング装置内で必要な真空を発生させる時間
よりも長い。従って、薄膜に蒸着を行う前に、蒸発装置
をオリフィス(Blende)によって閉鎖し、加熱する必要が
ある。高い蒸発率においては、金属が落下してノズルギ
ャップを全部又は部分的に閉鎖する程度に多くの金属が
オリフィスに付着する。またこのような大容積の蒸発装
置の別の欠点は、蒸発率の制御が、このような蒸発装置
の大部分においてまたこの蒸発装置内で蒸発しようとす
る金属の大部分において、非常に緩慢に行われるという
点にあり、また蒸発装置内の温度は加熱管の外壁で間接
的にのみ測定されるという点にある。このような蒸発装
置においては、摩耗に基づいて保守整備サイクルが短
く、また絶縁の欠陥又はプラズマの点火が発生するとい
う付加的な問題点がある。しかも、新たな亜鉛を溶融す
ること及びその際に酸化被膜を取り除くこと、並びに液
状の亜鉛を扱うことは危険で、しかも時間がかかる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、冒頭に述べた形式の蒸発装置を改良して、蒸発率を
できるだけ迅速に変えることができ、蒸発された金属に
よる汚染ができるだけ少なく、ひいては装置を停止させ
ることなしにできるだけ長いプロセス時間が可能なもの
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明によれば、ノズル体が中空体として構成されていて、
蒸発器が、前記ノズル体に接続された、坩堝を形成する
蒸発器ケーシングを有している。
【０００７】
【発明の効果】本発明に従って蒸発器ケーシングをノズ
ル体に対して分離したことによって、機能上の分離が得
られる。蒸発器は金属蒸気を発生し、これに対してノズ
ル体はもっぱら、このノズル体に供給された金属蒸気を
必要な横断面に亘って分割し、吐出させるという課題を
有している。このように機能を分離したことによって、
蒸発器を非常に小さい容積で構成することが可能となる
ので、蒸発器は、金属浴として非常に少量の金属量を収
容するだけでよく、従ってこの蒸発器の蒸発率は良好に
制御可能で、迅速に変えることができる。蒸発器ケーシ
ングは同時に、蒸発させようとする金属のための坩堝を
形成しているので、液状の金属の温度は、蒸発器ケーシ
ングで直接測定することができ、それによって変化は直
ちに確認することができる。これは制御可能性及び良好
な調節可能のために非常に好都合である。
【０００８】蒸発装置は、本発明の別の実施例に従っ
て、ノズル体が、横置きされたシリンダとして構成され
ていて、蒸発器が蒸発器ケーシングで、ノズル体の外周
面の部分領域に接続されていれば、構造的に特に簡単に
構成され、少ない蒸発率でも完全に十分に測定すること
ができる。
【０００９】溶融及び蒸発しようとする金属を供給する
ことによって、液状の金属が飛散するが、このような飛
散は、蒸発器ケーシングが装入室と蒸発室とに仕切られ
ていて、装入室と蒸発室とが、溶融された金属浴の液体
面の下側で液体接続部を有していれば、蒸着しようとす
る基板に達することはない。
【００１０】ノズル体が、仕切壁によって、ノズルギャ
ップを有する取り出し室と、蒸発器に接続された取り入
れ室とに仕切られており、仕切壁が、蒸発器ケーシング
からの間隔が大きくなればなる程、横断面が大きくなる
多数の蒸気通路を有していれば、非常に幅の広いノズル
体においても、ノズルギャップの幅全体に亘って均一な
蒸気吐出が得られる。
【００１１】蒸気通路が仕切壁の下側で、下側に向かっ
て開放する切欠の形状に形成されており、前記蒸気通路
の横断面が、蒸気通路の高さを変えることによって種々
異なって構成されていれば、仕切壁は特に簡単に構成さ
れ、種々異なる必要に非常に簡単に合わせることができ
る。
【００１２】また、蒸発器ケーシングが、鋼管として構
成された底部を有しており、この鋼管を通って、この鋼
管の内壁に対して間隔を保って、導電性のセラミックよ
り成る加熱ロッドがガイドされていれば、蒸発器の加熱
装置は最適に構成することができる。このような加熱
は、光線(Strahlung）による比較可能な加熱と同じよう
に作用する。しかしながら付加的に、鋼管の横断面が小
さいことによって鋼管は迅速に磁気的な飽和状態にな
り、それによって高い電気的損失及びひいては鋼管の強
い加熱が生じることになる。従って本発明による加熱
は、放射式加熱装置（Strahlungsheizung)としてもまた
誘導式加熱装置(Induktionsheizung）としても働く。
【００１３】鋼管が方形横断面を有していて、加熱ロッ
ドが一般的なシャトル型蒸発器として構成されていれ
ば、加熱装置を構成するために、シャトル型蒸発器のた
めに一般的に使用され、従って比較的安価に手に入れら
れる構成部材を用いることができる。
【００１４】蒸発過程の最後に材料を蒸発器に供給する
必要がないか、又はプロセス中にワイヤの形状の新たな
材料がもたらされる場合には、ワイヤの形状の、蒸発さ
せようとする金属をガイドするために、蒸発器ケーシン
グ内に供給管が配置されており、該供給管が、ワイヤ状
の金属が導入されていない時に蒸発器ケーシングの内部
を外側に対してシールする接続部を有していれば、蒸気
が、金属を供給するために蒸発器に設けられた開口を通
って出ることは避けられる。
【００１５】接続部が、蒸発器ケーシングの内部に向か
って開放するフラップであれば、接続部は特に簡単に構
成される。
【００１６】大きいコーティング装置においては、必要
な蒸発装置は大きいので、蒸発装置を加熱するための時
間が、全コーティング装置の汲み上げ時間よりもしく長
くなくなる。このような場合、蒸発装置は、蒸発器とノ
ズル体との間の接続部に遮断装置が配置されていれば、
標準圧力(Normaldruck）で加熱することができる。
【００１７】標準圧力で蒸発装置を加熱する場合に、漏
れによって空気が蒸発装置内に侵入することは、蒸発器
が不活性ガス接続部を有していることによって、簡単に
避けられる。これによって、蒸発器の内部を、コーティ
ング装置と接続する前に過圧に保つことができるので、
漏れ両が少ない場合でも、蒸発された金属と反応する酸
素が蒸発器内に達することはない。
【００１８】高い蒸発率のためには、蒸発器ケーシング
がノズル体の一方の端面側に接続されていれば、構造的
な実施例として有利である。このような構造において
は、大きい蒸発器を配置してもスペース的な問題は生じ
ない。
【００１９】ノズルプレートの全長に亘って均一な蒸気
吐出を得ることは、蒸発器ケーシングが、仕切壁によっ
て取り入れ室を形成する、ノズル体の端壁の領域に接続
されていることによって、達成される。
【００２０】本発明の蒸発装置のさらに簡単な構造によ
れば、蒸発器ケーシングが円筒形であって、ノズル体
が、蒸発器ケーシングの一方の端壁の上側に偏心的に接
続されている。
【００２１】蒸発器ケーシングとノズル体との間の接続
部が、蒸発器ケーシングにおけるノズル体の接続部に設
けられた回転スライダによって形成されていれば、蒸発
器ケーシングとノズル体との仕切が安価な費用で行うこ
とができる。
【００２２】円筒形の蒸気ケーシングにおいては、蒸発
器ケーシングの両端面側に、蒸発器ケーシングを覆う、
電流ガイドとしてのフランジプレートが配置されてお
り、一方の端面側のフランジプレートがアースに接続さ
れていて、他方のフランジプレートが電圧供給部に接続
されており、２つの端面側のフランジプレート間に、電
熱線が、外側で蒸発器ケーシングに沿ってガイドされて
いることによって、構造的に簡単に加熱を行うことがで
きる。
【００２３】蒸着装置の運転中に蒸発装置は真空下で作
業するので、電熱線は、放射熱だけを蒸発器ケーシング
に伝達することができる。電熱線が、蒸発器ケーシング
に対して同軸的に配置された金属薄板周壁によって取り
囲まれていれば、反対側に向けて放射された熱は、蒸発
器ケーシングに向かって反射される。
【００２４】電熱線がコイル状に巻かれていて、それぞ
れ、蒸発器ケーシングに向かって開放する絶縁体内に配
置されており、該絶縁体の開放横断面が、電熱線の巻直
径よりも小さく構成されていれば、特に高い加熱効率が
安価な費用で得られる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図示
の実施例を用いて具体的に説明する。
【００２６】図１に全体が示されている特に、薄膜コー
ティング装置内で亜鉛を蒸発させるために規定された蒸
発装置は、その外周面で長手方向に延びるノズルギャッ
プ２を備えた管状のノズル体１を有しており、このノズ
ルギャップ２から、装置の駆動時に薄膜（シート、フィ
ルム）をコーティングするために必要な蒸気が吐出され
る。ノズル体１の下側には、蒸発器ケーシング３を備え
た蒸発器３が固定されている。蒸発器ケーシング４は、
斜めに配置された供給管５を有しており、この供給管５
を通して、ワイヤ６の形状の、溶融しようとする金属が
蒸発器３内にもたらされる。加熱するために、蒸発器ケ
ーシング４の底部は、横断面が方形である鋼管７として
構成されていて、この鋼管７を通して、導電性のセラミ
ックより成る加熱ロッド８が導入される。蒸発器３を加
熱するために、電気エネルギーは電流接続部９から加熱
ロッド８を通って、加熱ロッド８の他方の端部の電流接
続部１０に供給される。加熱ロッド８は、一般的なシャ
トル型蒸発器であってよい。
【００２７】ノズル体１は、破線で示され斜めに配置さ
れた仕切壁１１によって、取り入れ室１２と取り出し室
１３とに仕切られている。この場合、仕切壁１１は、蒸
発器３がもっぱら取り入れ室１２に接続されていて、ノ
ズルギャップ２がもっぱら取り出し室１３に接続される
ように、整列されている。仕切壁１１の下側には、多数
の蒸気通路１４が互いに並んで設けられており、これら
の蒸気通路１４を通って、蒸発器３から取り入れ室１２
内に達した蒸気が取り出し室１３内に流入するよになっ
ている。均一な蒸気分配を得るために、この蒸気通路１
４の、種々異なる高さによる横断面は、これらの蒸気通
路１４と蒸発器３との間の間隔が大きければ大きい程、
大きい。
【００２８】ノズル体１内に達した蒸気がこのノズル体
１内で凝縮するのを避けるために、ノズル体１は両端部
でそれぞれ１つの電気的な接続部３４，３５を有してい
る。ノズル体１を通って流れる高電流によって、ノズル
体１は常に、蒸発対象物の溶融温度を越える約１００℃
に保たれる。
【００２９】図２に示した実施例においては、蒸発器ケ
ーシング４は、蒸発器室１５と装入室１５とに仕切られ
ている。蒸発器室１５はノズル体１に接続されている。
液体接続部１７は、装入室１６と蒸発器室１５とを接続
する。この液体接続部１７は、これが蒸発器ケーシング
４内に設けられた金属浴１９の液体面１８の下側に常に
位置するように、低い位置に配置されている。この実施
例においては、供給管５が装入室１６の内部内に導入さ
れているので、供給されたワイヤ６が装入室１６内で溶
融される。ここで溶融された溶融物は、液体接続部１７
を通って蒸発室１５内に達し、ここで加熱ロッド８（こ
の実施例ではノズル体１に対して横方向に配列されてい
る）の作用によって、金属は蒸発され、ノズル体１内に
達する。供給管５が装入室１６内に開口している箇所で
は、装入室１６内に、ヒンジ２１を中心にして旋回可能
なフラップによって形成された接続部２０が設けられて
いる。この接続部２０は、閉鎖方向でプレロード（若し
くは予荷重）がかけられているので、供給管５は、ワイ
ヤ６を引き抜くと、強制的に閉鎖するようになってい
る。これによって、空気が装入室１６内に侵入すること
は避けられる。蒸発器３のケーシング４における不活性
ガス接続部２２は、蒸発器３が真空下になく、ノズル体
１とは別個に加熱される時に、不活性ガスの供給を可能
にする。
【００３０】図３に示した実施例においては、蒸発器ケ
ーシング４は円筒形に構成されていて、ノズル体１の手
前で端面側に配置されている。従ってこの実施例におい
ては、蒸発器ケーシング４内で発生された蒸気は、通路
２３を介してノズル体１内に軸方向で流れる。ノズル体
１は、図１に示した実施例のものと比較可能に構成され
ている。ノズル体１はやはり、図１に示した仕切壁１１
を有しているので、蒸気はまず、同様に図１に示された
取り入れ室１２内に達し、そこから取り出し室１３内で
ノズルギャップ２に達する。蒸発器ケーシング４ぼ端面
側の近くで、それぞれ２つのフランジプレート２４，２
５；２６，２７は部分的に蒸発器ケーシング４を覆って
いる。蒸発器ケーシング４の端面側におけるフランジプ
レート対２４，２５；２６，２７間には、コイル状に巻
かれた加熱ロッド２８が張設されており、これによって
電気エネルギーがフランジプレート２４，２５から電熱
線２８を通ってフランジプレート２６，２７に流れるこ
とができる。
【００３１】図４では、蒸発器ケーシング４が同軸的な
金属薄板周壁２９によって取り囲まれていることが分か
る。金属薄板周壁２９と蒸発器ケーシング４との間の環
状室内には、半径方向で整列されて絶縁体３０が配置さ
れている。この実施例では、各絶縁体３０が、蒸発器ケ
ーシング４に向かって開放する２つの受容室３１，３２
を有しており、これらの受容室３１，３２が、それぞれ
コイル状に巻かれた電熱線を収容する。
【００３２】図４の実施例でも、セクタ状（扇形）の通
路２３が設けられており、この通路２３を介して、蒸発
器ケーシング４内で生ぜしめられた蒸気が、図３に示さ
れたノズル体１内に達する。回転スライダとして構成さ
れた遮断装置３３（セグメント状の部分である）は、通
路３３の手前で旋回させることができ、それによって蒸
発器ケーシング４とノズル体１との結合が遮断される。
【００３３】この実施例では、ワイヤ６の導入は、図１
及び図２に示した実施例と同様に供給管５を介して行わ
れる。この供給管５は、この実施例では蒸発器ケーシン
グ４の前方の端壁に配置されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例による蒸発装置の斜視図で
ある。
【図２】第２実施例による蒸発装置の下側領域の断面図
である。
【図３】蒸発装置の第３実施例の斜視図である。
【図４】図３に示した蒸発装置の横断面図である。
【符号の説明】
１ ノズル体、 ２ ノズルギャップ、 ３ 蒸発器、
４ 蒸発器ケーシング、 ５ 供給管、 ６ ワイ
ヤ、 ７ 鋼管、 ８ 加熱ロッド、 ９，１０電流接
続部、 １１ 仕切壁、 １２ 取り入れ室、 １３
取り出し室、１４ 蒸気通路、 １５ 蒸発室、 １６
装入室、 １７ 液体接続部、 １８ 液体面、 １
９ 金属浴、 ２０ 接続部、 ２１ ヒンジ、 ２２
不活性ガス接続部、 ２３ 通路、 ２４，２５，２
６，２７ フランジプレート、２８ 電熱線、 ２９
金属薄板周壁、 ３０ 絶縁体、 ３１，３２ 受容
部、 ３３ 遮断装置、 ３４，３５ 接続部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴォルフガング アハトナー ドイツ連邦共和国 マインタール アイヒ ヴァルトシュトラーセ 10

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 真空蒸着装置のための蒸発装置であっ
    て、電気ヒータによって加熱される、供給しようとする
    金属を蒸発させるための坩堝を備えた蒸発器と、発生し
    た金属蒸気を吐出するためのノズルギャップを備えたノ
    ズル体とを有している形式のものにおいて、 ノズル体（１）が中空体として構成されていて、蒸発器
    （３）が、前記ノズル体（１）に接続された、坩堝を形
    成する蒸発器ケーシング（４）を有していることを特徴
    とする、真空蒸着装置のための蒸発装置。
  2. 【請求項２】 ノズル体（１）が、横置きされたシリン
    ダとして構成されていて、蒸発器（３）の蒸発器ケーシ
    ング（４）が、ノズル体（１）の外周面の部分領域に接
    続されている、請求項１記載の蒸発装置。
  3. 【請求項３】 蒸発器ケーシング（４）が装入室（１
    ６）と蒸発室（１５）とに仕切られていて、装入室（１
    ６）と蒸発室（１５）とが、溶融された金属浴（１９）
    の液体面（１８）の下側で液体接続部（１７）を有して
    いる、請求項２記載の蒸発装置。
  4. 【請求項４】 ノズル体（１）が、仕切壁（１１）によ
    って、ノズルギャップ（２）を有する取り出し室（１
    ３）と、蒸発器（３）に接続された取り入れ室（１２）
    とに仕切られており、仕切壁（１１）が、蒸発器ケーシ
    ング（４）からの間隔が大きくなればなる程、横断面が
    大きくなる多数の蒸気通路（１４）を有している、請求
    項１から３までのいずれか１項記載の蒸発装置。
  5. 【請求項５】 蒸気通路（１４）が仕切壁（１１）の下
    側で、下側に向かって開放する切欠の形状に形成されて
    おり、前記蒸気通路（１４）の横断面が、蒸気通路（１
    ４）の高さを変えることによって種々異なって構成され
    ている、請求項４記載の蒸発装置。
  6. 【請求項６】 蒸発器ケーシング（４）が、鋼管（７）
    として構成された底部を有しており、この鋼管（７）を
    通って、この鋼管（７）の内壁に対して間隔を保って、
    導電性のセラミックより成る加熱ロッド（８）がガイド
    されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の
    蒸発装置。
  7. 【請求項７】 鋼管（７）が方形横断面を有していて、
    加熱ロッド（８）が一般的なシャトル型蒸発器である、
    請求項６記載の蒸発装置。
  8. 【請求項８】 蒸発させようとする、ワイヤ（６）の形
    状の金属をガイドするために、蒸発器ケーシング（４）
    内に供給管（５）が配置されており、該供給管（５）
    が、ワイヤ状の金属が導入されていない時に蒸発器ケー
    シング（４）の内部を外側に対してシールする接続部
    （２０）を有している、請求項１から７までのいずれか
    １項記載の蒸発装置。
  9. 【請求項９】 接続部（２０）が、蒸発器ケーシング
    （４）の内部に向かって開放するフラップである、請求
    項８記載の蒸発装置。
  10. 【請求項１０】 蒸発器（３）とノズル体（１）との間
    の接続部に遮断装置（３３）が配置されている、請求項
    １から９までのいずれか１項記載の蒸発装置。
  11. 【請求項１１】 蒸発器が不活性ガス接続部（２２）を
    有している、請求項１から１０までのいずれか１項記載
    の蒸発装置。
  12. 【請求項１２】 蒸発器ケーシング（４）がノズル体
    （１）の一方の端面側に接続されている、請求項１から
    １１までのいずれか１項記載の蒸発装置。
  13. 【請求項１３】 蒸発器ケーシング（４）が、仕切壁
    （１１）によって取り入れ室（１２）を形成している、
    ノズル体（１）の端壁の領域に接続されている、請求項
    １２記載の蒸発装置。
  14. 【請求項１４】 蒸発器ケーシング（４）が円筒形であ
    って、ノズル体（１）が、蒸発器ケーシング（４）の一
    方の端壁の上側に偏心的に接続されている、請求項１２
    又は１３記載の蒸発装置。
  15. 【請求項１５】 蒸発器ケーシング（４）とノズル体
    （１）との間の接続部（２０）が、蒸発器ケーシング
    （４）におけるノズル体（１）の接続部に設けられた回
    転スライダによって形成されている、請求項１２から１
    ４までのいずれか１項記載の蒸発装置。
  16. 【請求項１６】 蒸発器ケーシング（４）の両端面側
    に、蒸発器ケーシング（４）を覆う、電流ガイドとして
    のフランジプレート（２４，２５；２６，２７）が配置
    されており、一方の端面側のフランジプレート（２６，
    ２７）がアースに接続されていて、他方のフランジプレ
    ート（２４，２５）が電圧供給部に接続されており、２
    つの端面側のフランジプレート（２４，２５；２６，２
    ７）間に、電熱線（２８）が、外側で蒸発器ケーシング
    （４）に沿ってガイドされている、請求項１２から１５
    までのいずれか１項記載の蒸発装置。
  17. 【請求項１７】 電熱線（２８）が、蒸発器ケーシング
    （４）に対して同軸的に配置された金属薄板周壁（２
    ９）によって取り囲まれている、請求項１６記載の蒸発
    装置。
  18. 【請求項１８】 電熱線（２８）がコイル状に巻かれて
    いて、それぞれ、蒸発器ケーシング（４）に向かって開
    放する絶縁体（３０）内に配置されており、該絶縁体
    （３０）の開放横断面が、電熱線（２８）の巻直径より
    も小さい、請求項１６又は１７記載の蒸発装置。
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