KR20000022893A - 진공증착설비용 기화장치 - Google Patents

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Abstract

진공증착설비에 사용되는 기화장치는 도전성 가열봉(8)에 의하여 가열되는 기화기(3)를 포함한다. 이 기화기(3)는 중공체로서 형성된 노즐헤드(1)에 연결된다. 하나의 기판을 기화증착(氣化蒸着)하기 위하여 상기 기화기(3)로부터 증기가 노즐헤드(1)로 유입되고, 그곳으로부터 분사구(2)를 통하여 기판으로 분사된다.

Description

진공증착설비용 기화장치{Vaporization equipment for vacuum deposition plant}
투입된 금속을 기화(氣化)시키기 위하여 전기가열기에 의하여 가열되는 도가니로 이루어지는 기화기와, 생성된 금속증기를 분사하기 위한 분사구가 있는 노즐 헤드(nozzle head)를 갖는 진공증착설비용 기화장치에 관한 것이다.
박판(foil)을 예를 들어 높은 융점을 갖는 알미늄, 동 또는 기타 금속으로 기화증착(氣化蒸着) 시키기 위하여 통상 진공실 내에 도전성 세라믹으로 만들어 전류가 흐르게 하여 투입된 금속을 기화시키기 위한 기화토갑(氣化土匣 evaporator sagger)을 장치한다. 이러한 기화토갑들은 각각 공동화(空洞化)시켜 기화하는 금속을 위한 도가니를 형성한다. 이 때 상기 기화토갑의 위쪽 공간은 완전히 열려 있어서, 그 속에 기화된 금속이 기화토갑의 위쪽으로 안내된 박판에 직접 접촉하여 응축되어 침전될 수 있다. 그와 같이 개방된 기화장치들은 낮은 증기압을 갖는 금속에 대해서만 사용될 수 있다. 왜냐하면 오직 증기는 위쪽으로 향하여 기판 쪽으로 상승하기 때문이다. 그럼에도 또한 피복설비의 비교적 넓은 부분에 증기가 접촉하여 오염된다. 따라서, 설비를 비교적 자주 가동중지시키고 세척하지 않으면 안되기 때문에 장시간 지속적인 가공시간이 불가능한 것이다.
대용적(大容積) 기화기 케이싱 속에 기화하는 금속과 함께 도가니를 장치하는 아연(亞鉛) 기화장치가 공지되어 있다. 상기 도가니의 가열은 세라믹 하우징 속에 전열코일에 의하여 간접적으로 이루어진다. 상기 기화기 케이싱은 위쪽에 판 또는 마룻대(ridge) 모양으로 형성되어 분사구를 갖는 노즐헤드가 탑재되어있고, 이 분사구를 통하여 기화증기가 피복될 박판에 분사된다. 박판을 피복하기 위하여 분사구 위로 안내되어야 하기 때문에 상기 분사구는 피복할 박판의 폭 만큼 길게 형성되어야 한다. 그러므로, 기화기 케이싱은 폭이 상응하게 넓게 형성되고, 따라서 부피가 커져야 한다.
그와 같은 대용적 기화장치들은 이들을 가열하는 시간은 진공피복설비 내에 필요로 하는 진공을 발생시키기 위한 시간 보다 길게 소요된다. 따라서, 박판의 피복이 시작되기 전에 상기 기화장치를 우선 셔터(shutter)로 폐쇄하여 가열하여야 한다. 기화율이 높을 경우에는 너무 많은 금속이 상기 셔터 상에 침착(沈着)됨으로써, 셔터로부터 떨어져서 분사구를 완전히 또는 부분적으로 폐쇄시킬 수 있다. 대용적 기화장치들의 또 다른 단점은 기화속도의 조절이 매우 완만하게 작용한다는 것으로서, 이것은 그러한 기화장치의 대용량과 그 속에 투입되는 다량의 기화금속, 및 그러한 기화장치 내의 온도는 오직 가열관의 외벽에서 간접적으로 측정될 수 있다는 것에 기인된다. 그러한 기화장치에 있어서 추가적인 문제점은 마모 때문에 정비주기가 짧으며, 절연결함 또는 플라즈마 화염이 발생한다는 것이다. 그밖에, 반드시 산화필름의 제거를 수반하는 새로운 아연의 용해와, 아연용탕의 취급은 위험하고 많은 시간이 소요된다.
본 발명은 기화장치의 기화속도를 가능한 한 신속히 변경할 수 있고, 기화된 금속에 의한 오염을 가능한 한 최소화하여 설비의 가동을 정지시키지 않고 가능한 한 장시간의 공정시간의 유지를 가능케 하도록 모두에서 언급한 종류의 기화장치를 실현하는 문제에 기초를 두고 있다.
이와 같은 문제는 본 발명에 따라 노즐헤드를 중공체로 형성시키고, 상기 기화기는 노즐헤드에 연결되어 도가니를 형성하는 기화기 케이싱을 구성함으로써 해결된다.
본 발명에 따라 기화기 케이싱을 노즐헤드로부터 분리함으로써 기능분리가 이루어진다. 상기 기화기는 단지 금속증기를 발생시키는 역할을 하며, 한편 상기 노즐헤드는 전적으로 유입된 금속증기를 필요한 단면부를 통하여 분배하여 배출시키는 역할을 한다. 상기 기능분리는 기화기를 매우 작은 부피로 형성하는 것을 가능케 하기 때문에, 이 기화기는 오직 작은 량의 금속만을 금속용탕으로서 포함함으로써, 기화속도를 양호하게 조절할 수 있고 신속히 변경할 수 있다. 상기 기화기 케이싱은 동시에 기화될 금속을 위한 도가니를 형성하기 때문에 용융금속의 온도를 기화기 케이싱에서 직접 측정할 수 있음으로써, 변경사항을 신속히 확인할 수 있으며, 이는 또한 양호한 제어 및 조절기능을 제공한다.
본 발명의 유리한 진보적 구조에 따라 노즐헤드가 눕힌 상태로 장치된 실린더로 형성되고, 기화기가 기화기 케이싱과 함께 노즐헤드의 원통형 재킷(jacket)표면의 일부와 결합될 경우에는 상기 기화장치는 구조적으로 특히 간단하게 형성되며, 비교적 낮은 기화속도에 대하여 매우 완벽하게 측정할 수 있다.
용해되어 기화될 금속의 투입에 의하여 용융금속의 튀김이 일어날 수 있다. 만약 본 발명의 또 다른 발전적 구조에 따라 상기 기화기 케이싱을 장입챔버(裝入chamber)와 기화챔버로 분할하고, 용해된 금속용탕의 용탕면 아래쪽에 상기 장입챔버와 기화챔버 사이에 용탕연결부를 장치하면, 용탕의 튄 물이 피복될 기판에 도달될 수 없다.
매우 폭이 넓은 노즐헤드에 있어서도, 만약 노즐헤드가 격리벽에 의하여 분사구를 갖고있는 하나의 배출챔버와 기화용기와 연결된 유입챔버로 분할되고, 만약 상기 격리벽이 기화기로부터 간격이 증가하면서 단면이 증가하는 다수의 기화증기 통로들을 형성할 경우에는 분사구의 전체폭에 걸쳐 균일한 증기배출이 달성된다.
만약 증기통로들이 격리벽의 아래쪽에 바닥 쪽으로 열린 절개부의 형태로 장치되고, 만약 상기 증기통로들의 단면이 증기통로들의 상이한 높이에 의하여 다른 경우에는 상기 격리벽을 특히 간단히 형성시킬 수 있으며, 상이한 요구에 대하여 매우 간단히 적응시킬 수 있다.
만약 기화기 케이싱이 강관(鋼管)으로 형성된 바닥구조를 가지며, 이 강관을 통하여 내벽에 간격을 두고 전도성 세라믹으로 된 가열봉을 삽입하여 장치하면, 기화기의 가열장치가 최적하게 형성될 수 있다. 그러한 가열장치는 방사가열장치와 유사하게 작용한다. 그러나 또한 상기 강관의 작은 단면 때문에 강관의 급속한 자기포화(磁氣飽和)를 일으키게 되고, 따라서 높은 전기손실과 이에 따른 강관의 과열을 초래하게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 가열은 방사가열 뿐만 아니라 유도가열로서도 작용한다.
만약 상기 강관이 직사각형 단면으로 형성되고, 상기 가열봉이 통상의 기화토갑으로 이루어질 경우에는 가열장치를 구성하기 위하여 기화토갑에 일반적으로 사용되고, 따라서 비교적 저렴한 경비로 획득할 수 있는 구조부품들을 사용할 수 있다.
만약 기화공정이 끝날 때 기화기로 재료공급이 중지되어야 할 경우, 또는 기화공정 동안에 새로운 재료를 선재(線材) 형태로 투입되는 경우에 있어서, 기화될 금속을 선재의 형태로 투입하기 위하여 기화기 케이싱 내부에 장입관을 장치하고, 그 장입관을 통하여 선재형 금속을 공급하지 않을 때 기화기 케이싱의 내부에서 외부 쪽으로 폐쇄하는 셔터(shutter)를 장치함으로써, 기화기 내에서 금속의 투입을 위하여 필요로 하는 개구부를 통하여 기화증기가 배출되는 것을 방지한다.
상기 셔터를 기화기 케이싱 안쪽으로 열리는 뚜껑으로서 형성시키면, 특히 간단히 장치될 수 있다.
대규모 피복설비에 있어서는 요구되는 기화장치의 부피가 커지므로, 기화장치의 가열을 위해서는 전체 피복설비의 진공화를 위한 시간 보다 본질적으로 긴 시간이 소요된다. 이러한 경우에는 본 발명의 발전적 구조에 따라 기화기와 노즐헤드 사이의 연결부에 차폐장치를 장치하면 상기 기화장치를 통상의 압력 하에 미리 가열할 수 있다.
기화장치에 불활성가스 주입구를 연결함으로써, 상압(常壓)하에 기화기를 가열할 때, 누출현상 때문에 기화장치 속으로 공기가 침입하는 것을 간단히 방지할 수 있다. 따라서, 피복설비와 연결하기 전에 기화기의 내부를 초과압력으로 유지함으로써, 근소한 누출상태 하에서도 기화될 금속에 반응할 산소가 기화기 속으로 침입하는 것을 방지할 수 있다.
비교적 높은 기화속도를 위하여 기화기 케이싱을 노즐헤드의 전면에 연결시키는 구조적 실시예가 유리한 것으로 나타났다. 이러한 실시예에 있어서 또한 비교적 부피가 큰 기화기의 설치는 장소문제를 제기하게 된다.
격리벽에 의하여 유입챔버를 형성하는 노즐헤드의 전면부 부분에 기화기 케이싱을 연결함으로써, 분사구의 전체 길이를 통하여 균일한 기화증기의 배출을 간단히 달성할 수 있다.
상기 기화기 케이싱을 원통형으로 형성하고, 상기 노즐헤드를 기화기 케이싱의 전면벽 위쪽에 편심시켜 연결하면, 기화장치의 구조를 더욱 간단하게 할 수 있다.
만약 본 발명의 또 다른 발전적 구조에 따라 기화기 케이싱과 노즐헤드 사이의 셔터를 기화기 케이싱에 노즐헤드가 연결되는 연결부에 회전슬라이드 밸브로 형성시키면, 기화기 케이싱을 노즐헤드로부터 용이하게 차단시킬 수 있다.
원통형 기화기 케이싱에 있어서, 양단의 전면부에 기화기 케이싱 위로 연장된 두쌍의 플랜지판들이 전원 인입선으로서 장치되고, 이 때 한쪽 전면부의 플랜지판은 접지(接地)하고, 다른 쪽 플랜지판은 전원에 연결하며, 양쪽 전면부의 플랜지판들 사이에 기화기 케이싱을 연하여 외측에 열선을 배치함으로써, 구조적으로 간단히 가열할 수 있다.
상기 피복설비의 가동 중에 기화장치는 진공 하에 작동하기 때문에, 열선들은 상기 기화기 케이싱 쪽으로 단지 방사열만으로 열을 전달할 수 있다. 만약 상기 기화기 케이싱과 동축으로 형성된 원통형 강철재킷으로 열선들을 둘러싸면, 반대방향으로 방출되는 방사열을 기화기 케이싱 쪽으로 반사시킬 수 있다.
만약 열선들을 코일형으로 형성하여, 열선의 코일직경에 해당하는 단면 보다 작은 크기로 기화기 케이싱 쪽으로 개방된 절연체 속에 각각 배치하면, 저렴한 비용으로 특히 높은 열효율을 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기화장치의 제1 실시예를 보여주는 사시도이다.
도 2는 기화장치의 다른 실시예의 아래 부분을 보여주는 단면도이다.
도 3은 기화장치의 제3 실시예를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기화장치의 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호설명*
1 : 노즐헤드 2 : 분사구
3 : 기화기 4 : 기화기 케이싱
5 : 장입관 6 : 선재
7 : 강관 8 : 가열봉
9 : 전원터미날 10 : 전원터미날
11 : 격리벽 12 : 유입실
13 : 배출실 14 : 증기통로
15 : 기화챔버 16 : 장입(裝入)챔버
17 : 유체연결부 18 : 용탕면
19 : 금속용탕 20 : 셔터
21 : 힌지 22 : 불활성가스주입부
23 : 통로 24, 25 ; 26, 27 : 플랜지판
28 : 열선코일 29 : 강철재킷
30 : 절연체 31, 32 : 파지부
33 : 폐쇄장치 34, 35 : 전원터미널
본 발명은 여러 가지의 실시예가 가능하다. 그중 몇 가지를 개략도로 도시하고 설명하면 다음과 같다.
도 1은 박판 피복설비에서 특히 아연을 기화시키기 위한 기화장치의 전체를 도시하고 있으며, 상기 기화장치는 원통형 재킷표면에 길게 분사구(2)를 형성한 관상(管狀) 노즐헤드(1)를 가지고 있으며, 상기 설비를 운전할 때 그 분사구(2)로부터 박판을 피복하는데 필요한 증기가 배출된다. 상기 노즐헤드(1)의 아래쪽에는 기화기 케이싱(4)과 함께 기화기(3)가 고정되어 있다. 상기 기화기 케이싱(4)은 비스듬히 장치된 장입관(裝入管)(5)을 가지고 있으며, 이 장입관(5)을 통하여 기화기(3) 내에 용융될 금속을 선재(線材)(6)의 형태로 주입할 수 있다. 기화기(3)를 가열하기 위하여 기화기 케이싱(4)의 바닥에 직사각형 강관(7)을 형성시키고, 그 강관(7)을 통하여 도전성 세라믹으로 만든 가열봉(8)이 삽입된다. 상기 기화기(3)를 가열하기 위하여 가열봉(8)의 한쪽 끝을 전원터미날(9)에 접속하고 다른 쪽 끝을 전원터미날(10)에 접속하여 전기에너지를 공급한다. 상기 가열봉(8)은 통상적인 기화토갑(氣化土匣)을 사용할 수 있다.
상기 노즐헤드(1)는 비스듬하게 설치하여 점선으로 도시한 격리벽(11)에 의하여 하나의 유입실(12)과 하나의 배출실(13)로 분할된다. 이 때 상기 격리벽(11)은 기화기(3)는 오직 유입실(12)과 연결되고, 분사구(2)는 오직 배출실(13)과 연결되도록 장치된다. 상기 격리벽(11)의 아래쪽에는 다수의 증기통로(14)들이 나란히 장치되고, 상기 기화기(3)로부터 유입실(12)로 도달하는 증기가 상기 증기통로(14)들을 통하여 배출실(13)로 유입될 수 있다. 균일한 증기분배를 달성하기 위하여, 이들 증기통로(14)들이 기화기(3)로부터 간격이 떨어질수록 이 증기통로(14)들의 단면이 상이한 높이에 의하여 더욱 커진다.
상기 노즐헤드(1) 속에 도달하는 증기가 그 속에서 응축되는 것을 방지하기 위하여, 노즐헤드(1)의 양단에 각각 전원터미널(34, 35)을 연결한다. 그렇게 함으로써, 노즐헤드(1)를 통하여 흐르는 고압전류에 의하여 노즐헤드(1)가 항상 기화재료의 융해온도를 약 100℃ 초과하여 온도를 유지하도록 할 수 있다.
도 2에 따른 실시예에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 하나의 기화챔버(15)와 하나의 장입챔버(16)로 분할된다. 오직 기화챔버(15) 만이 노즐헤드(1)와 연결된다. 유체연결부(17)는 장입챔버(16)를 기화챔버(15)와 연결한다. 상기 유체연결부(17)는 기화기 케이싱(4) 내에 존재하는 금속용탕(19)의 용탕면(18) 아래쪽에 항상 위치하도록 낮게 설치된다. 본 실시예에 있어서 상기 장입관(5)은 장입챔버(16)의 내부로 통하여 있어서, 투입된 선재(6)가 장입챔버(16) 내에서 융합된다. 상기 용탕은 유체연결부(17)를 통하여 기화챔버(15)로 도달하고, 이 때 본 실시예에서 노즐헤드(1)를 가로질러 장치된 가열봉(8)의 작용에 의하여 금속을 기화시켜서 노즐헤드(1)에 도달된다. 상기 장입관(5)이 장입챔버(16)와 합류되는 곳에는 힌지(21)를 중심으로 선회하는 뚜껑으로 구성되는 셔터(20)가 장치된다. 상기 셔터(20)는 닫힘 방향으로 스프링 장력이 가해짐으로써, 선재(6)를 빼내면 상기 장입관(5)을 강제로 폐쇄되도록 되어 있다. 따라서 외부공기가 장입챔버(16) 속으로 침입하는 것이 방지된다. 만약 기화기(3) 내부가 진공이 되어있지 않고, 노즐헤드(1)로부터 분리되어 가열될 때는 상기 기화기(3)의 케이싱(4)에 있는 불활성가스 주입부(22)를 통하여 불활성가스를 주입할 수 있다.
도 3에 따른 실시예에 있어서, 기화기 케이싱(4)을 원통형으로 형성시켜, 노즐헤드(1)의 정면에 장치한다. 따라서 이 실시예에 있어서는, 상기 기화기 케이싱(4) 내에 발생된 증기가 통로(23)를 통하여 노즐헤드(1)로 유입된다. 상기 노즐헤드(1)는 도 1에 따른 노즐헤드와 유사한 구조를 가지고 있다. 이 노즐헤드(1)는 또한 도 1에 도시한 바와 같은 격리벽(11)을 가지고 있어서, 증기는 먼저 도 1에 도시된 바와 똑같은 유입실(12)로 유입되고, 거기서 다시 배출실(13)로 유입되어 분사구(2)로 도달한다. 상기 기화기 케이싱(4)의 양단의 전면부분 가까이 에서 각각 2개씩의 플랜지판(24, 25; 26, 27)에 의하여 기화기 케이싱(4)의 외주면이 부분적으로 지지된다. 상기 플랜지판(24, 25), (26, 27) 쌍들 사이에는 다수의 열선코일(28)들이 연결되어, 전류가 플랜지판(24, 25)으로부터 열선코일(28)들을 통하여 플랜지판(26, 27)으로 흐르도록 되어 있다.
도 4는 동축 원통형 강철재킷(steel jacket)(29)에 의하여 둘러싸여 있다. 상기 강철재킷(29)과 기화기 케이싱(4) 사이의 공간에는 절연체(30)들이 반경방향으로 정렬되어 장치된다. 상기 실시예에 있어서 각 절연체(30)는 기화기 케이싱(4) 쪽으로 개방된 2개씩의 파지부(31, 32)들이 형성되어, 그 속에 각각 열선코일(28)이 결합된다.
도 4에 도시된 바와 같이 선형(부채꼴의) 통로(23)가 장치되어, 기화기 케이싱(4) 내에서 발생된 증기가 상기 선형통로(23)를 통하여 도 3에 도시된 노즐헤드(1)로 유입된다는 것을 알 수 있다. 회전슬라이드 밸브로서 형성되어 원호(圓弧) 모양의 부분을 이루는 폐쇄장치(33)가 상기 통로(23) 앞으로 선회되어 기화기 케이싱(4)으로부터 노즐헤드(1)로의 연결을 중단시킬 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 선재(6)의 투입은 도 1 및 도 2에 도시된 것과 유사하게 장입관(5)을 통하여 이루어지며, 그러나 여기서 장입관(5)은 기화기 케이싱(4)의 앞쪽의 전면벽에 장치된다.
본 발명에 따른 기화장치는 기화속도를 가능한 한 신속히 변경할 수 있고, 기화된 금속에 의한 오염을 가능한 한 최소화하여 설비의 가동을 정지시키지 않고 가능한 한 장시간의 공정시간을 유지하는 것이 가능하다.

Claims (18)

  1. 투입된 금속을 기화시키기 위한 도가니가 장치되어 전열기로 가열되는 하나의 기화기(氣化器)와, 발생된 금속증기를 배출하기 위한 분사구가 형성된 하나의 노즐헤드를 포함하는 진공증착설비용 기화장치에 있어서, 상기 노즐헤드(1)는 중공체로 형성되며, 상기 기화기(3)는 노즐헤드(1)에 결합되어 도가니를 형성하는 기화기 케이싱(4)을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 노즐헤드(1)는 가로 눕혀진 원통형으로 형성되고, 상기 기화기(3)는 기화기 케이싱(4)과 함께 상기 노즐헤드(1)의 원통형 재킷의 일부분과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  3. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 장입챔버(16)와 기화챔버(15)로 분할되며, 상기 장입챔버(16)와 기화챔버(15)는 용해된 금속용탕(19)의 용탕면(18) 아래쪽에 하나의 유체연결부(17)에 의하여 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  4. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 상기 노즐헤드(1)는 격리벽(11)에 의하여 분사구(2)가 형성된 하나의 배출실(13)과, 기화기(3)와 연결된 하나의 유입실(12)로 분할되고, 상기 격리벽(11)에는 기화기 케이싱(4)으로부터 간격이 증가함에 따라 단면의 크기가 증가하는 다수의 증기통로(14)들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 증기통로(14)들은 격리벽(11)의 아래 부분에 바닥 쪽으로 열린 개구부들의 형태로 형성되고, 상기 증기통로(14)들의 상이한 높이 때문에 이들의 단면이 서로 다른 것을 특징으로 하는 기화장치.
  6. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 강관(7)으로 형성된 바닥을 가지고 있으며, 상기 강관(7)을 통하여 내벽에 간격을 두고 도전성 세라믹으로된 가열봉(8)이 삽입되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 강관(7)은 직사각형 단면을 가지며, 상기 가열봉(8)은 통상의 기화토갑(氣化土匣)인 것을 특징으로 하는 기화장치.
  8. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 기화될 금속을 선재(6)의 형태로 상기 기화기 케이싱(4) 속으로 장입하기 위하여 장입관(5)을 장치하고, 상기 주입관(5)은 선재 금속을 장입하지 않을 때 기화기 케이싱(4)의 내부에서 외측으로 밀폐하는 셔터(20)를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 셔터(20)는 기화기 케이싱(4)의 내부 쪽으로 열리게 되어 있는 뚜껑으로 되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  10. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 기화기(3)와 노즐헤드(1) 사이의 연결부에 폐쇄장치(33)가 장치되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  11. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 상기 기화기(3)는 불활성가스 주입부(22)를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  12. 전술한 항들 중 적어도 하나 이상의 항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 노즐헤드(1)의 전면부에 연결되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  13. 제8항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 노즐헤드(1)의 전면부 부분에 연결되며, 상기 노즐헤드(1)는 격리벽(11)에 의하여 유입실(12)을 형성하는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4)은 원통형으로 형성되고, 상기 노즐헤드(1)는 기화기 케이싱(4)의 전면부의 위쪽에 편심시켜 결합하는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  15. 제12항 내지 제14항중 적어도 하나의 항에 있어서, 기화기 케이싱(4)과 노즐헤드(1) 사이의 셔터(20)는 상기 기화기 케이싱(4)에 노즐헤드(1)가 연결되는 연결부에 회전슬라이드 밸브로 형성되는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  16. 제12항 내지 제15항중 적어도 하나의 항에 있어서, 상기 기화기 케이싱(4) 양단의 전면부에 기화기 케이싱(4) 위로 연장된 두쌍의 플랜지판(24, 25; 26, 27)들이 전력 인입선으로서 장치되고, 이 때 한쪽 전면부의 플랜지판은 접지(接地)하고, 다른 쪽 플랜지판은 전원에 연결하며, 양쪽 전면부의 플랜지판들 사이에 기화기 케이싱을 따라 외측에 열선을 배치하는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 열선코일(28)들은 기화기 케이싱(4)과 동축으로 장치된 강철재킷(29)에 의하여 둘러싸여지는 것을 특징으로 하는 기화장치.
  18. 제16항 또는 제17항에 있어서, 열선(28)들을 코일형으로 형성하여, 열선(28)의 코일직경에 해당하는 단면보다 작은 크기로 기화기 케이싱(4) 쪽으로 개방된 절연체 속에 각각 배치하는 것을 특징으로 하는 기화장치.
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