JP2000094342A - カップホイ−ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置 - Google Patents
カップホイ−ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 平面研削装置で基板を研削する際、研削液の
流通をよくするとともに、研削屑を砥石内から速く砥石
外へ排出する。 【解決手段】 カップホイ−ル型砥石５０のカップ状台
金５３は底壁５２の外面に周壁５１と同心に設けられた
環状溝５６と当溝内に供給される研削液を周壁の内側へ
導入するために該環状溝の底面から底壁を貫通して設け
られ、該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、
かつ、周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入
孔５７を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定され
た環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分におい
て周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する
環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かっ
て３０〜６０度傾斜した研削液排出用スリット５８が多
数等間隔に設けられている。
流通をよくするとともに、研削屑を砥石内から速く砥石
外へ排出する。 【解決手段】 カップホイ−ル型砥石５０のカップ状台
金５３は底壁５２の外面に周壁５１と同心に設けられた
環状溝５６と当溝内に供給される研削液を周壁の内側へ
導入するために該環状溝の底面から底壁を貫通して設け
られ、該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、
かつ、周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入
孔５７を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定され
た環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分におい
て周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する
環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かっ
て３０〜６０度傾斜した研削液排出用スリット５８が多
数等間隔に設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハ、
ゲルマニウムウエハ、アルミニウムウエハ、ガラス基板
等の半導体基板や、金属板を平面研削（研磨も含む）す
るに用いられるカップホイ−ル型砥石、および該カップ
ホイ−ル型砥石を具備する平面研削装置に関する。
ゲルマニウムウエハ、アルミニウムウエハ、ガラス基板
等の半導体基板や、金属板を平面研削（研磨も含む）す
るに用いられるカップホイ−ル型砥石、および該カップ
ホイ−ル型砥石を具備する平面研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板、金属板、セラミック板の研
削、研磨には平面研削装置が使用される（特開平２−２
７４４６２号、同３−１５４７７３号公報）。かかる平
面研削装置の一例として、例えば、図５に示す平面研削
装置が挙げられる（特願平１０−７１２５２号）。図
中、1 は平面研削装置、Ａは本体基台、２は回転軸、３
はウエハ、４は研削テ−ブル、５はカップホイ−ル型砥
石、６は本体ケ−シング、７は昇降装置、8 はスピンド
ル軸、9 は軸受、１０はスピンドル軸ケ−シング、１１
はカップホイ−ル型砥石を取り付けるヘッド、１２はス
ピンドル軸ケ−シングを昇降装置に据え付ける取り付け
部材、１３は後述する傾斜調整ボルト駆動用モ−タ−、
１４はスピンドル軸を回転駆動させるビルド・イン・モ
−タ−、１５はＸ軸方向の傾斜調整ボルト、１５' はＹ
軸方向の傾斜調整ボルト、１６は昇降装置を垂直方向に
昇降可能とする凹状溝を有するレ−ル、１８はスピンド
ル軸ケ−シングに設けられた半球状凸部、１９は昇降装
置の前面に前記半球状凸部と若干の隙間を持って嵌合で
きるように形成された半球状凹部、２１はロッド、２２
は空気軸受である。
削、研磨には平面研削装置が使用される（特開平２−２
７４４６２号、同３−１５４７７３号公報）。かかる平
面研削装置の一例として、例えば、図５に示す平面研削
装置が挙げられる（特願平１０−７１２５２号）。図
中、1 は平面研削装置、Ａは本体基台、２は回転軸、３
はウエハ、４は研削テ−ブル、５はカップホイ−ル型砥
石、６は本体ケ−シング、７は昇降装置、8 はスピンド
ル軸、9 は軸受、１０はスピンドル軸ケ−シング、１１
はカップホイ−ル型砥石を取り付けるヘッド、１２はス
ピンドル軸ケ−シングを昇降装置に据え付ける取り付け
部材、１３は後述する傾斜調整ボルト駆動用モ−タ−、
１４はスピンドル軸を回転駆動させるビルド・イン・モ
−タ−、１５はＸ軸方向の傾斜調整ボルト、１５' はＹ
軸方向の傾斜調整ボルト、１６は昇降装置を垂直方向に
昇降可能とする凹状溝を有するレ−ル、１８はスピンド
ル軸ケ−シングに設けられた半球状凸部、１９は昇降装
置の前面に前記半球状凸部と若干の隙間を持って嵌合で
きるように形成された半球状凹部、２１はロッド、２２
は空気軸受である。
【０００３】研削テ−ブル４上に載せられたウエハ３の
表面にスピンドル軸８を昇降装置により下降させてカッ
プホイ−ル型砥石をウエハ面に圧接し、両軸２，８を同
一方向または逆方向に回転させることによりウエハ表面
に砥石を摺擦させてウエハ表面を研削（研磨）する。カ
ップホイ−ル型砥石としては、図６に示す環状の周壁５
ａと、その一端に設けられた底壁とを備えたカップ状台
金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に扇状の砥石小片
５ｄを環状に接着剤で隣接する砥石小片間に研削液の流
通するスリット５ｆを形成させるようにして固定した砥
石小片高さが３〜５ｍｍのカップホイ−ル型砥石（実開
昭６１−１４４９５９号、同６１−１４４９６１号、同
６１−１４４９６２号、特開昭６２−１８１８７５号公
報）が使用されている。
表面にスピンドル軸８を昇降装置により下降させてカッ
プホイ−ル型砥石をウエハ面に圧接し、両軸２，８を同
一方向または逆方向に回転させることによりウエハ表面
に砥石を摺擦させてウエハ表面を研削（研磨）する。カ
ップホイ−ル型砥石としては、図６に示す環状の周壁５
ａと、その一端に設けられた底壁とを備えたカップ状台
金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に扇状の砥石小片
５ｄを環状に接着剤で隣接する砥石小片間に研削液の流
通するスリット５ｆを形成させるようにして固定した砥
石小片高さが３〜５ｍｍのカップホイ−ル型砥石（実開
昭６１−１４４９５９号、同６１−１４４９６１号、同
６１−１４４９６２号、特開昭６２−１８１８７５号公
報）が使用されている。
【０００４】また、環状の周壁と、その一端に設けられ
た底壁とを備えたカップ状台金の前記周壁の底壁とは反
対面の上面に環状砥石（スリットはない）を固定したカ
ップホイ−ル型砥石であって、前記台金は底壁の外面に
周壁と同心に設けられた環状溝（１）と該環状溝内に供
給される研削液を周壁の内側へ導入するために該環状溝
の底面から前記底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端
側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に
多数等間隔に設けられた研削液導入孔（２）を有し、砥
石の頂面は軸心から砥石外側に向かって行くほど砥石の
高さが増加するよう０．５〜１．０度の傾斜（３）が設
けられていることを特徴とする、平面研削装置用カップ
ホイ−ル型砥石が提案されている（特許第２５０３１５
８号、特許第２５００２８５号）。
た底壁とを備えたカップ状台金の前記周壁の底壁とは反
対面の上面に環状砥石（スリットはない）を固定したカ
ップホイ−ル型砥石であって、前記台金は底壁の外面に
周壁と同心に設けられた環状溝（１）と該環状溝内に供
給される研削液を周壁の内側へ導入するために該環状溝
の底面から前記底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端
側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に
多数等間隔に設けられた研削液導入孔（２）を有し、砥
石の頂面は軸心から砥石外側に向かって行くほど砥石の
高さが増加するよう０．５〜１．０度の傾斜（３）が設
けられていることを特徴とする、平面研削装置用カップ
ホイ−ル型砥石が提案されている（特許第２５０３１５
８号、特許第２５００２８５号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前者の環状砥石にスリ
ットが設けられているカップホイ−ル型砥石は、研削さ
れる基板の径の大型化によりさらなる研削液の流通の向
上が望まれている。後者のカップホイ−ル型砥石では、
研削液の導入または排出用の貫通孔またはスリットが環
状砥石に設けられていないためカップホイ−ル型砥石の
環状溝に供給された研削液を環状砥石の外側へ逃がすの
を容易とするため環状砥石頂面に内側に向かう傾斜を設
けているが、この研削液の逃げが充分とは言えない。ま
た、砥石内の研削屑（切子）の逃げも充分でない。更
に、特許第２５０３１５８号、特許第２５００２８５号
公報には、平面研削装置に具備されたカップホイ−ル型
砥石の環状溝に研削液をどのように供給するか開示され
ていない。本発明は、両者のカップホイ−ル型砥石の利
点を利用し、研削液、研削屑の砥石からの逃げを更に向
上させたカップホイ−ル型砥石、および該砥石を具備し
た平面研削装置の提供を目的とする。
ットが設けられているカップホイ−ル型砥石は、研削さ
れる基板の径の大型化によりさらなる研削液の流通の向
上が望まれている。後者のカップホイ−ル型砥石では、
研削液の導入または排出用の貫通孔またはスリットが環
状砥石に設けられていないためカップホイ−ル型砥石の
環状溝に供給された研削液を環状砥石の外側へ逃がすの
を容易とするため環状砥石頂面に内側に向かう傾斜を設
けているが、この研削液の逃げが充分とは言えない。ま
た、砥石内の研削屑（切子）の逃げも充分でない。更
に、特許第２５０３１５８号、特許第２５００２８５号
公報には、平面研削装置に具備されたカップホイ−ル型
砥石の環状溝に研削液をどのように供給するか開示され
ていない。本発明は、両者のカップホイ−ル型砥石の利
点を利用し、研削液、研削屑の砥石からの逃げを更に向
上させたカップホイ−ル型砥石、および該砥石を具備し
た平面研削装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１は、環
状の周壁と、その一端に設けられた底壁とを備えたカッ
プ状台金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に環状砥石
を固定したカップホイ−ル型砥石であって、前記台金は
底壁の外面に周壁と同心に設けられた環状溝（ａ）と該
環状溝内に供給される研削液を周壁の内側へ導入するた
めに該環状溝の底面から前記底壁を貫通して設けられ、
該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、
周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入孔
（ｂ）を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定され
た環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分におい
て周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する
環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かっ
て３０〜６０度傾斜した研削液排出用スリット（ｃ）が
多数等間隔に設けられていることを特徴とする、平面研
削装置用カップホイ−ル型砥石を提供するものである。
状の周壁と、その一端に設けられた底壁とを備えたカッ
プ状台金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に環状砥石
を固定したカップホイ−ル型砥石であって、前記台金は
底壁の外面に周壁と同心に設けられた環状溝（ａ）と該
環状溝内に供給される研削液を周壁の内側へ導入するた
めに該環状溝の底面から前記底壁を貫通して設けられ、
該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、
周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入孔
（ｂ）を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定され
た環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分におい
て周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する
環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かっ
て３０〜６０度傾斜した研削液排出用スリット（ｃ）が
多数等間隔に設けられていることを特徴とする、平面研
削装置用カップホイ−ル型砥石を提供するものである。
【０００７】本発明の請求項２は、前記カップホイ−ル
型砥石において、スリットの高さが３〜１０ｍｍであ
り、砥石幅２〜７ｍｍ、スリットで区分けされた環状砥
石刃の長さが１０〜５０ｍｍであるカップホイ−ル型砥
石を提供するものである。本発明の請求項３は、前記カ
ップホイ−ル型砥石において、砥石の頂面は軸心から砥
石外側に向かって行くほど砥石の高さが増加するよう
０．５〜５度の傾斜が設けられてなるカップホイ−ル型
砥石を提供するものである。
型砥石において、スリットの高さが３〜１０ｍｍであ
り、砥石幅２〜７ｍｍ、スリットで区分けされた環状砥
石刃の長さが１０〜５０ｍｍであるカップホイ−ル型砥
石を提供するものである。本発明の請求項３は、前記カ
ップホイ−ル型砥石において、砥石の頂面は軸心から砥
石外側に向かって行くほど砥石の高さが増加するよう
０．５〜５度の傾斜が設けられてなるカップホイ−ル型
砥石を提供するものである。
【０００８】本発明の請求項４は、回転するスピンドル
軸に軸承された砥石取付板に前記カップホイ−ル型砥石
を装着し、かつ、前記スピンドル軸の回転駆動に影響さ
れないように独立してスピンドル軸を内装するように設
けられたヘッド内の空間に前記カップホイ−ル型砥石の
環状溝に研削液を供給するノズルを具備してなる、平面
研削装置を提供するものである。
軸に軸承された砥石取付板に前記カップホイ−ル型砥石
を装着し、かつ、前記スピンドル軸の回転駆動に影響さ
れないように独立してスピンドル軸を内装するように設
けられたヘッド内の空間に前記カップホイ−ル型砥石の
環状溝に研削液を供給するノズルを具備してなる、平面
研削装置を提供するものである。
【０００９】
【作用】軸心側から砥石外側に向かって３０〜６０度傾
斜した研削液排出用スリットを環状砥石に設け、かつ、
研削液導入用環状溝を周壁内面に設けた構造のカップホ
イ−ル型砥石とすることにより、前記環状溝に供給され
た研削液、研削屑は前記スリットを経てカップホイ−ル
型砥石の周壁外へ容易に排出される。また、環状溝に研
削液を供給するノズルをスピンドル軸の回転とは無関係
に固定した（回転しない）ヘッドに具備させたことによ
り、平面研削装置の構造を簡単とすることができた（従
来のような中空回転軸内に研削液を供給する管を設け、
かつ、該管と研削液供給タンクとを結ぶ可撓性パイプが
捩れ切れないようにロ−タリ−ジョイント等を用いる複
雑な構造を取る必要がない。）。
斜した研削液排出用スリットを環状砥石に設け、かつ、
研削液導入用環状溝を周壁内面に設けた構造のカップホ
イ−ル型砥石とすることにより、前記環状溝に供給され
た研削液、研削屑は前記スリットを経てカップホイ−ル
型砥石の周壁外へ容易に排出される。また、環状溝に研
削液を供給するノズルをスピンドル軸の回転とは無関係
に固定した（回転しない）ヘッドに具備させたことによ
り、平面研削装置の構造を簡単とすることができた（従
来のような中空回転軸内に研削液を供給する管を設け、
かつ、該管と研削液供給タンクとを結ぶ可撓性パイプが
捩れ切れないようにロ−タリ−ジョイント等を用いる複
雑な構造を取る必要がない。）。
【００１０】
【実施例】以下、図面を用いて本発明をさらに詳細に説
明する。図１は、本発明のカップホイ−ル型砥石で、ａ
はその上面図、ｂは下面図、図２は該カップホイ−ル型
砥石の断面図、図３はカップホイ−ル型砥石の周壁頂面
に設けられた環状砥石のスリットの状態を示す部分上面
図、図４は該スリットを有する環状砥石の部分断面図、
図５は研削装置の一部を切り欠いた平面研削装置の平面
図である。
明する。図１は、本発明のカップホイ−ル型砥石で、ａ
はその上面図、ｂは下面図、図２は該カップホイ−ル型
砥石の断面図、図３はカップホイ−ル型砥石の周壁頂面
に設けられた環状砥石のスリットの状態を示す部分上面
図、図４は該スリットを有する環状砥石の部分断面図、
図５は研削装置の一部を切り欠いた平面研削装置の平面
図である。
【００１１】図１〜図３に示すカップホイ−ル型砥石５
０において、５１は環状の周壁、５２は周壁の一端に設
けられた底壁、５３はカップ状台金、５３ａはボルト
孔、５４は前記周壁の上面、５５は環状砥石、５６は環
状溝、５７，５７，５７…は環状溝内に供給される研削
液を周壁の内側へ導入するために環状溝の底面から前記
底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端側へ向かう程度
外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に多数等間隔に設
けられた研削液導入孔、５８，５８，５８…は、周壁の
上面に固定された環状砥石の周壁の頂面より突出してい
る部分において周壁および環状溝が共有する軸心と該軸
心に直交する環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石
外側に向かって３０〜６０度（図３では４５度）傾斜し
た研削液排出用スリットである。
０において、５１は環状の周壁、５２は周壁の一端に設
けられた底壁、５３はカップ状台金、５３ａはボルト
孔、５４は前記周壁の上面、５５は環状砥石、５６は環
状溝、５７，５７，５７…は環状溝内に供給される研削
液を周壁の内側へ導入するために環状溝の底面から前記
底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端側へ向かう程度
外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に多数等間隔に設
けられた研削液導入孔、５８，５８，５８…は、周壁の
上面に固定された環状砥石の周壁の頂面より突出してい
る部分において周壁および環状溝が共有する軸心と該軸
心に直交する環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石
外側に向かって３０〜６０度（図３では４５度）傾斜し
た研削液排出用スリットである。
【００１２】図４に示す平面研削装置1 において、６は
本体ケ−シング、8 はスピンドル軸、9 は軸受、１１は
カップホイ−ル型砥石の取付板、１２はスピンドル軸ケ
−シング取付部材、１３は傾斜調整ボルト駆動用モ−タ
−、１４はスピンドル軸を回転駆動させるビルド・イン
・モ−タ−、２２は空気軸受、２３は空気供給管、２４
は取付板１１とスピンドル軸を軸承する固定板２５との
連結軸、２６はスピンドル軸ケ−シング用冷却液供給
管、２７は空気軸受２２と該空気軸受の周壁下に設けた
円筒状囲板（砥石カバー）２８とからなるヘッド内に設
けられた空間部、５０はカップホイ−ル型砥石、５１は
周壁、５２は底壁、５３はカップ状台金、５５は砥石、
５６は環状溝、５７は研削液導入孔、５９は研削液供給
ノズル、６０は研削液供給管、６１は研削液取入口であ
り、この研削液供給管は図示されていないが、昇降装置
の取付部材に固定されており、研削液タンクと可撓性ホ
−スで接続されている。
本体ケ−シング、8 はスピンドル軸、9 は軸受、１１は
カップホイ−ル型砥石の取付板、１２はスピンドル軸ケ
−シング取付部材、１３は傾斜調整ボルト駆動用モ−タ
−、１４はスピンドル軸を回転駆動させるビルド・イン
・モ−タ−、２２は空気軸受、２３は空気供給管、２４
は取付板１１とスピンドル軸を軸承する固定板２５との
連結軸、２６はスピンドル軸ケ−シング用冷却液供給
管、２７は空気軸受２２と該空気軸受の周壁下に設けた
円筒状囲板（砥石カバー）２８とからなるヘッド内に設
けられた空間部、５０はカップホイ−ル型砥石、５１は
周壁、５２は底壁、５３はカップ状台金、５５は砥石、
５６は環状溝、５７は研削液導入孔、５９は研削液供給
ノズル、６０は研削液供給管、６１は研削液取入口であ
り、この研削液供給管は図示されていないが、昇降装置
の取付部材に固定されており、研削液タンクと可撓性ホ
−スで接続されている。
【００１３】カップホイ−ル型砥石５０は、ビルド・イ
ン・モ−タ−１４の回転駆動をスピンドル軸８、固定板
２５、連結軸２４、取付板１１を経て伝達し、回転させ
る。ヘッドは取付部材１２に固定されているので砥石５
０が回転しても、ヘッド自信は回転駆動しない。従っ
て、研削液供給ノズル５９と研削液供給タンクを連結す
る可撓性ホ−スが捻れて破損することはない。
ン・モ−タ−１４の回転駆動をスピンドル軸８、固定板
２５、連結軸２４、取付板１１を経て伝達し、回転させ
る。ヘッドは取付部材１２に固定されているので砥石５
０が回転しても、ヘッド自信は回転駆動しない。従っ
て、研削液供給ノズル５９と研削液供給タンクを連結す
る可撓性ホ−スが捻れて破損することはない。
【００１４】研削液供給ノズル５９より砥石５０の環状
溝５６に供給された研削液は、導入孔５７，５７…を経
て砥石５６，５６…周壁内面に導かれ、さらにスリット
５０ｆを通過して砥石の周壁外側へ排出される。図２に
示すように、研削液の排出を容易とするため、更に砥石
頂面に、軸心から砥石外側に向かって行くほど砥石の高
さが増加するよう０．５〜５度の傾斜を設けると良い
（図２では１度）。また、導入孔５７の傾斜は４５〜８
５度、好ましくは６０〜７５度とする（図２では７５
度）。
溝５６に供給された研削液は、導入孔５７，５７…を経
て砥石５６，５６…周壁内面に導かれ、さらにスリット
５０ｆを通過して砥石の周壁外側へ排出される。図２に
示すように、研削液の排出を容易とするため、更に砥石
頂面に、軸心から砥石外側に向かって行くほど砥石の高
さが増加するよう０．５〜５度の傾斜を設けると良い
（図２では１度）。また、導入孔５７の傾斜は４５〜８
５度、好ましくは６０〜７５度とする（図２では７５
度）。
【００１５】環状砥石は、ダイヤモンド砥粒、ＣＢＮ砥
粒をフェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂等の接着剤で環状に
成型したもので、図３に示すようにカップホイ−ル型砥
石の周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交す
る環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向か
って３０〜６０度傾斜したスリット５８，５８，５８…
が等間隔に設けられる。スリットの角度はスピンドル軸
の回転速度に依存するが、カップホイ−ル型砥石の回転
による遠心力により該スリットを経て研削液、研削屑が
砥石周壁外に効率よく排出されるためには前記角度であ
る。汎用砥石には４５度である。スリットのテ−パ−角
の向きは、回転する砥石の遠心力方向が好ましい。スリ
ットの形成は環状砥石を削ってスリットを形成してもよ
いが、砥石小片５５を周壁頂面にスリット間隔を置いて
接着剤で固着して形成しても良い。
粒をフェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂等の接着剤で環状に
成型したもので、図３に示すようにカップホイ−ル型砥
石の周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交す
る環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向か
って３０〜６０度傾斜したスリット５８，５８，５８…
が等間隔に設けられる。スリットの角度はスピンドル軸
の回転速度に依存するが、カップホイ−ル型砥石の回転
による遠心力により該スリットを経て研削液、研削屑が
砥石周壁外に効率よく排出されるためには前記角度であ
る。汎用砥石には４５度である。スリットのテ−パ−角
の向きは、回転する砥石の遠心力方向が好ましい。スリ
ットの形成は環状砥石を削ってスリットを形成してもよ
いが、砥石小片５５を周壁頂面にスリット間隔を置いて
接着剤で固着して形成しても良い。
【００１６】カップホイ−ル型砥石は、スリットの高さ
が３〜１０ｍｍ、砥石幅２〜７ｍｍ、スリットで区分け
された環状砥石刃の長さが１０〜５０ｍｍであるのが好
ましい。研削液導入孔５７の径は２〜６ｍｍが好まし
い。周壁高さは２５〜４５ｍｍ、直径は被研削体の大き
さによるが６０〜４５０ｍｍの中で選ぶのが好ましい。
が３〜１０ｍｍ、砥石幅２〜７ｍｍ、スリットで区分け
された環状砥石刃の長さが１０〜５０ｍｍであるのが好
ましい。研削液導入孔５７の径は２〜６ｍｍが好まし
い。周壁高さは２５〜４５ｍｍ、直径は被研削体の大き
さによるが６０〜４５０ｍｍの中で選ぶのが好ましい。
【００１７】
【発明の効果】本発明の平面研削装置用カップホイ−ル
型砥石は研削液、研削屑の砥石内面よりの逃げが良好で
あり、研削時の熱の発生が少なく、また基板をより平坦
に研削できる。
型砥石は研削液、研削屑の砥石内面よりの逃げが良好で
あり、研削時の熱の発生が少なく、また基板をより平坦
に研削できる。
【図１】本発明のカップホイ−ル型砥石を示すもので、
ａはその上面図、ｂは下面図である。
ａはその上面図、ｂは下面図である。
【図２】カップホイ−ル型砥石の部分断面図である。
【図３】カップホイ−ル型砥石の周壁頂面に設けられた
環状砥石のスリットの状態を示す部分上面図である。
環状砥石のスリットの状態を示す部分上面図である。
【図４】本発明の平面研削装置の一部を切り欠いた平面
図である。
図である。
【図５】平面研削装置の一部を切り欠いた平面図であ
る。
る。
【図６】従来のカップホイ−ル型砥石の斜視図である。
１ 研削装置 ５ カップホイ−ル型砥石 １１ 取付板 １４ ビルト・イン・モ−タ− ２２ 空気軸受 ５０ カップホイ−ル型砥石 ５１ 環状の周壁 ５２ 底壁 ５３ カップ状台金 ５３ａ ボルト孔 ５５ 砥石片 ５６ 環状溝 ５７ 研削液導入孔 ５８ スリット ５９ 研削液供給ノズル
Claims (4)
- 【請求項１】 環状の周壁と、その一端に設けられた底
壁とを備えたカップ状台金の前記周壁の底壁とは反対面
の上面に環状砥石を固定したカップホイ−ル型砥石であ
って、前記台金は底壁の外面に周壁と同心に設けられた
環状溝（ａ）と該環状溝内に供給される研削液を周壁の
内側へ導入するために該環状溝の底面から前記底壁を貫
通して設けられ、該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ
傾斜して、かつ、周壁に同心に多数等間隔に設けられた
研削液導入孔（ｂ）を有し、底壁とは反対面の周壁の上
面に固定された環状の砥石は周壁の頂面より突出してい
る部分において周壁および環状溝が共有する軸心と該軸
心に直交する環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石
外側に向かって３０〜６０度傾斜した研削液排出用スリ
ット（ｃ）が多数等間隔に設けられていることを特徴と
する、平面研削装置用カップホイ−ル型砥石。 - 【請求項２】 スリットの高さは３〜１０ｍｍであり、
環状砥石幅２〜７ｍｍ、スリットで区分けされた砥石刃
の長さが１０〜５０ｍｍである、請求項１に記載のカッ
プホイ−ル型砥石。 - 【請求項３】 砥石の頂面は軸心から砥石外側に向かっ
て行くほど砥石の高さが増加するよう０．５〜５度の傾
斜が設けられてなる、請求項１に記載のカップホイ−ル
型砥石。 - 【請求項４】 回転するスピンドル軸に軸承された取付
板に請求項１のカップホイ−ル型砥石を装着し、かつ、
前記スピンドル軸の回転駆動に影響されないように独立
してスピンドル軸を内装するように設けられたヘッド内
の空間に前記カップホイ−ル型砥石の環状溝に研削液を
供給するノズルを具備してなる、平面研削装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10287363A JP2000094342A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カップホイ−ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置 |
| KR1019990041127A KR100338404B1 (ko) | 1998-09-25 | 1999-09-22 | 컵휠형지석 및 그것을 구비한 평면연삭장치 |
| TW088116374A TW411307B (en) | 1998-09-25 | 1999-09-23 | Cup wheel-type grinding wheel and surface grinding device having it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10287363A JP2000094342A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カップホイ−ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000094342A true JP2000094342A (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17716401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10287363A Abandoned JP2000094342A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カップホイ−ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000094342A (ja) |
| KR (1) | KR100338404B1 (ja) |
| TW (1) | TW411307B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003089065A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
| CN102873646A (zh) * | 2012-11-01 | 2013-01-16 | 昆山市大金机械设备厂 | 抛光研磨盘和抛光装置 |
| WO2019174580A1 (zh) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 桂林创源金刚石有限公司 | 一种磨具及制作方法 |
| CN112139862A (zh) * | 2020-09-28 | 2020-12-29 | 南通巨升非晶科技股份有限公司 | 一种提高非晶合金磁导率及其磁性的方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104999349A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-10-28 | 上海大学 | 一种电主轴前置的深孔磨削加工装置 |
| JP7100524B2 (ja) * | 2018-08-02 | 2022-07-13 | 株式会社ディスコ | ホイールマウント |
-
1998
- 1998-09-25 JP JP10287363A patent/JP2000094342A/ja not_active Abandoned
-
1999
- 1999-09-22 KR KR1019990041127A patent/KR100338404B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-09-23 TW TW088116374A patent/TW411307B/zh not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN102873646A (zh) * | 2012-11-01 | 2013-01-16 | 昆山市大金机械设备厂 | 抛光研磨盘和抛光装置 |
| WO2019174580A1 (zh) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 桂林创源金刚石有限公司 | 一种磨具及制作方法 |
| CN112139862A (zh) * | 2020-09-28 | 2020-12-29 | 南通巨升非晶科技股份有限公司 | 一种提高非晶合金磁导率及其磁性的方法 |
| CN112139862B (zh) * | 2020-09-28 | 2022-03-08 | 南通巨升非晶科技股份有限公司 | 一种提高非晶合金磁导率和磁性的装置及其工作方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW411307B (en) | 2000-11-11 |
| KR100338404B1 (ko) | 2002-05-27 |
| KR20000023424A (ko) | 2000-04-25 |
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