JP2000094229A - スライドユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】組立てヘッドを構成するＺ軸を備えるスライダ
を高速動作させるとともに、停止位置の高精度化を図る
ようにしたスライドユニットを提供することを目的とす
る。 【解決手段】Ｚ軸２３を軸線方向に移動するためのボー
ルナット７０とＺ軸２３を回転駆動するスプラインスリ
ーブ７１とをそれぞれ固定側に配されているモータ７
７、９１によってベルト７６、８５を介して駆動するよ
うにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスライドユニットに
係り、とくに移動可能なスライダ上に移動軸を設けるよ
うにしたスライドユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】直交型ロボットから成る組立て装置が広
く用いられている。直交型ロボットはＸ軸ユニット上に
Ｙ軸ユニットをＸ軸方向に移動可能に取付けるととも
に、Ｙ軸ユニットによってＹ軸方向に移動可能に設けら
れているＺ軸を用いて部品の組立てを行なうようにした
ものである。

【０００３】図２８および図２９は従来のこのような直
交ロボットから成る組立て装置の要部を示しており、Ｙ
軸ユニットの可動子を構成するスライダ１は案内ロッド
２によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。そし
てスライダ１上に直立するようにＺ軸３が取付けられて
いる。Ｚ軸３はその外周面にねじとスプラインとをそれ
ぞれ形成して成り、ねじを形成した部分がボールナット
４に螺合されるとともに、スプラインを形成した部分が
スプラインスリーブ５に係合されるようになっている。

【０００４】ボールナット４にはプーリ６が取付けられ
るとともに、このプーリ６がベルト７を介してモータ８
の出力軸に取付けられているプーリ９と伝動されるよう
になっている。これに対してスプラインスリーブ５のプ
ーリ１０はベルト１１を介してモータ１２の出力軸に取
付けられているプーリ１３と伝動されるようになってい
る。

【０００５】従ってモータ８を駆動すると、プーリ６が
ベルト７によって回転されるために、このプーリ６が取
付けられているボールナット４が回転し、Ｚ軸３が上下
方向、すなわちＺ軸方向に移動する。

【０００６】これに対してモータ１２を駆動すると、ベ
ルト１１を介してプーリ１０が駆動され、これによって
スプラインスリーブ５が回転する。従ってこのスプライ
ンスリーブ５と係合されているＺ軸３が回転することに
なる。すなわちこの装置は、Ｚ軸３がＺ軸方向の移動と
回転運動とを行なうようになっており、Ｚ軸３はＲ軸を
も兼用することになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図２８および図２９に
示すように、案内ロッド２によって案内されて移動する
スライダ１上にＺ軸方向の移動と回転運動とを行なうＺ
軸３を設けるようにした構造によれば、上述の如くスラ
イダ１上に移動用のモータ８と回転用のモータ１２とを
取付け、これらのモータ８、１２によってそれぞれベル
ト７、１１を介して駆動するようにしている。すなわち
Ｚ軸３をその軸線方向に移動させるためのモータ８とＺ
軸３を回転させるためのモータ１２とを必要とし、この
ためにスライダ１の重量が大きくなるとともに、スライ
ダ１の運動の慣性モーメントが大きくなる。

【０００８】従ってスライダ１を動作させるために大き
な動力を必要とするとともに、加速および減速のスピー
ドが遅くなる欠点がある。また高速動作から急停止させ
るときに、スライダ１の重量が大きいと振動が発生し易
くなり、停止位置の精度が悪くなり、これによって高精
度の組立てが行なえなくなるという問題がある。さらに
このような従来の構造によれば、スライダ１にモータ
８、１２が取付けてあるために、スライダ１とともに移
動するモータ８、１２に追随するような配線を程個さな
ればならず、配線が面倒になる欠点がある。

【０００９】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、スライダ上に設けられている移動軸を
駆動するための駆動源をスライダに取付けることによっ
て生ずる上記の種々の問題点を解消するようにしたスラ
イドユニットを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願の一発明は、案内手
段によって移動可能に支持されているスライダと、前記
スライダ上において該スライダの移動方法と直角な方向
に移動可能に支持されている移動軸と、前記案内手段を
支持する固定側に設けられており、前記移動軸を駆動す
る駆動手段と、前記駆動手段と前記移動軸とを伝動させ
る伝動手段と、を具備するスライドユニットに関するも
のである。

【００１１】前記案内手段によって前記スライダが水平
方向に移動可能に支持されるとともに、前記移動軸が垂
直方向に移動可能であってよい。また前記移動軸がねじ
から成り、前記スライダ上のナットに螺合されるととも
に、前記駆動手段によって前記伝動手段を介して前記ナ
ットが回転されると前記移動軸が軸線方向に移動するよ
うにしてよい。また前記駆動手段がモータから構成され
るとともに、前記伝動手段がベルトから構成され、前記
モータによって前記ベルトを介して前記ナットが回転駆
動されるようにしてよい。

【００１２】本願の別の発明は、移動可能なスライダ上
に移動可能でかつ回動可能な移動軸が設けられ、該移動
軸が固定側に配されている駆動手段によって移動および
回転が行なわれることを特徴とするスライドユニットに
関するものである。

【００１３】前記移動軸にねじとスプラインとが設けら
れるとともに、前記ねじがナットに螺合され、前記スプ
ラインがスプラインスリーブに係合され、駆動手段によ
って前記ナットが回転されると前記移動軸が軸線方向に
移動され、駆動手段によって前記スプラインスリーブが
回転されると前記移動軸が回転されるようにしてよい。
また前記ナットと前記スプラインスリーブとが前記スラ
イダ上に同軸状に取付けられてよい。また駆動手段に取
付けられているプーリと反対側の固定側のプーリとの間
において案内プーリにより前記ナットのプーリまたは前
記スプラインスリーブのプーリにベルトが巻付けられて
おり、該ベルトを介して駆動手段によって前記ナットま
たは前記スプラインスリーブが回転駆動されてよい。

【００１４】本発明の好ましい態様は、移動するスライ
ダ上に設けられているＺ軸を軸線方向に移動させあるい
は回転駆動するためのモータを無くし、これによってス
ライダの軽量化を図ることによって高速動作を実現する
ようにしたものである。モータをスライダに取付けない
ようにすると、慣性が小さくなって余分な振動が少なく
なる。

【００１５】Ｚ軸の駆動は次のようにして行なう。すな
わちＺ軸を軸線方向に移動させるためのボールナットと
Ｚ軸を回転するためのスプラインスリーブとをそれぞれ
スライダ上に設け、タイミングベルトを介して固定側に
取付けられたモータにより駆動するようにしたものであ
る。ここでタイミングベルトはボールねじあるいはスプ
ラインスリーブのプーリに案内プーリによってほぼＵ字
状に巻付け、モータと反対側のエンドプレートに取付け
たプーリで反転させてモータ側のプーリまたは駆動軸側
のプーリへ戻る構造にする。そしてボールねじとスプラ
インスリーブの駆動を上下に同じ構造でタイミングベル
トを配し、これによってＺ軸の軸線方向の移動と回転駆
動とを行なうようにする。

【００１６】なおスライダが案内手段に沿って移動され
ると、ボールナットおよびスプラインスリーブに取付け
られているプーリがベルト上を転動することになり、こ
れによってＺ軸が軸線方向に移動したり回転したりす
る。そこでスライダの移動と上記ボールナットおよびス
プラインスリーブを駆動するモータを常に一定の割合で
同期させて制御することにより、安定した動作が可能に
なる。またモータを介してスプラインスリーブを回転駆
動させると、このときにボールナットによってＺ軸が上
下方向に移動する。従って別のモータによってボールナ
ットをＺ軸と同じ回転数で回転させることにより、Ｚ軸
の移動が防止される。

【００１７】このような態様によれば、Ｚ軸を駆動する
モータをスライダに取付ける必要がなくなるために、ス
ライダが軽量化され、同じパワーのモータであっても加
減速速度が大幅に向上し、これによって動作が迅速に行
なわれるスライドユニットが得られる。またイナーシャ
が少なくなるために、オーバーシュートが少なくなって
停止の精度が安定する。

【００１８】またスライダが軽量化されるために、この
スライダを案内する案内手段をも小型化することが可能
になる。また多軸スライド全体を動かす場合に、スライ
ドの先端の振れを小さくすることが可能になる。

【００１９】またＺ軸を駆動するためのモータの動力線
やモータに取付けられているエンコーダと接続されたケ
ーブルを移動するスライダに設ける必要がなくなり、コ
ストセーブが行なわれるとともに、配線の信頼性が向上
することになる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
るスライドユニットを適用した直交ロボット型のマウン
トマシンを示すものである。このマウントマシンは架台
２０を備えるとともに、架台２０上にはＸ軸ユニット２
１が固定されている。そしてこのＸ軸ユニット２１によ
ってＸ軸方向に移動可能にＹ軸ユニット２２が取付けら
れている。そしてＹ軸ユニット２２にはＺ軸方向に移動
可能なＺ軸２３が取付られている。Ｚ軸２３の先端部に
は吸着ヘッド２４が取付けられており、この吸着ヘッド
２４によって部品の吸着を行なうようにしている。

【００２１】架台２０の側部には取付け台２８が取付け
られており、この取付け台２８によって複数のパーツカ
セット２９が並列に並んで配されている。パーツカセッ
ト２９にはそれぞれ部品をテープ上に配列して収納して
巻装したリール３０が設けられており、このようなリー
ル３０によってそれぞれの種類の部品を順次供給するよ
うにしている。

【００２２】また架台２０上であって上記取付け台２８
と対向する位置には一対の搬送装置３１が配されてお
り、これらの搬送装置３１によって回路基板３２が供給
され、あるいはまた部品のマウントを終った回路基板３
２が排出されるようになっている。

【００２３】ここでこの装置による部品の組立ての概略
について説明すると、予めクリーム半田を塗布された回
路基板３２が搬送装置３１によってマウント位置に供給
される。これに対して吸着ヘッド２４を先端部に備える
Ｚ軸２３はＸ軸ユニット２１とＹ軸ユニット２２とによ
って水平面上で任意の位置に位置決めされる。従ってＺ
軸２３をパーツカセット２９の取出し位置の上方に移動
し、この状態においてＺ軸２３を下降させることによ
り、吸着ヘッド２４で所望のパーツカセット２９の部品
を吸着する。この後にＺ軸２３が上昇し、Ｘ軸ユニット
２１とＹ軸ユニット２２とによって水平方向に移動し、
回路基板３２上のマウント位置に移動する。この後に吸
着ヘッド２４がＺ軸２３によって下降され、回路基板３
２上の所定の位置に電子部品をマウントする。このよう
な動作を複数回繰返すことによって、回路基板３２上に
電子部品がマウントされるようになる。そして電子部品
のマウントを終った回路基板３２は搬送装置３１によっ
て排出される。

【００２４】次にＸ軸ユニット２１の構造を図２〜図５
によって説明する。Ｘ軸ユニット２１はフレーム３６を
備えるとともに、図２に示すように両側のベアリング３
７を介してフレーム３６によってボールねじ３８を回転
可能に支持するようにしている。そしてボールねじ３８
の先端部にはプーリ３９が取付けられるとともに、この
プーリ３９がベルト４０を介してモータ４１の出力軸４
２に固着されたプーリ４３に伝動されるようになってい
る。

【００２５】上記ボールねじ３８はボールナット４７と
螺合されており、しかもこのボールナット４７は移動台
４８に取付けられている。そして移動台４８が図３およ
び図４に示すように両側に平行に配されている一対の案
内レール４９によって案内されるようになっている。

【００２６】モータ４１が駆動されると、このモータ４
１の回転はプーリ４３、ベルト４０、およびプーリ３９
を介してボールねじ３８に伝達される。従ってボールね
じ３８が螺合されているボールナット４７が軸線方向に
移動される。従ってこのようなボールナット４７を備え
る移動台４８が案内レール４９に沿って移動されるよう
になる。

【００２７】次にＸ軸ユニット２１によってＸ軸方向に
移動されるＹ軸ユニット２２について図６〜図１０によ
り説明する。Ｙ軸ユニット２２は図６および図７に示す
ようにＬ型のフレーム５３を備えており、このフレーム
５３の直立部分と対向するように反対側の端部にはエン
ドプレート５４が設けられている。そしてフレーム５３
とエンドプレート５４とを連結するように４本の案内ロ
ッド５５が図１０に示すように配されている。これらの
案内ロッド５５によってスライダ５６が移動可能に支持
されている。

【００２８】そして上記フレーム５３とエンドプレート
５４との間に図７に示すようにボールねじ６０が配され
ている。ボールねじ６０はフレーム５３に支持されてい
るベアリング６１とエンドプレート５４に支持されてい
るベアリング６２とによって回転可能に支持されてい
る。そしてこのボールねじ６０はスライダ５６に取付け
られているボールナット６３に螺合されている。またボ
ールねじ６０の端部はカップリング６４を介してモータ
６５の出力軸６６に連結されている。

【００２９】従ってモータ６５を回転駆動すると、ボー
ルねじ６０が回転され、このボールねじ６０と噛合うボ
ールナット６３が取付られているスライダ５６がボール
ねじ６０によって案内ロッド５５に案内されながら図６
〜図８において左右の方向に移動されることになる。

【００３０】次に上記Ｙ軸ユニット２２のスライダ５６
に取付けられているＺ軸２３の駆動について図６〜図１
１により説明する。とくに図１０に示すようにＺ軸２３
の外周部には上側の部分に雄ねじが、下側の部分にスプ
ラインがそれぞれ形成されており、雄ねじが形成されて
いる部分がボールナット７０に螺合されるとともに、ス
プラインが形成されている部分がスプラインスリーブ７
１に係合されるようになっている。そしてこれらのボー
ルナット７０とスプラインスリーブ７１とを介してＺ軸
２３はスライダ５６上において軸線方向に移動可能であ
ってしかも回転可能に支持されている。

【００３１】ボールナット７０には図１０および図１１
に示すようにプーリ７５が取付けられている。そしてプ
ーリ７５はベルト７６によって図８および図１１に示す
モータ７７の出力軸７８に取付けられているプーリ７９
とエンドプレート５４に取付けられている固定側のプー
リ８０とに伝動されるようになっている。なお図８およ
び図１１に示すように、ベルト７６は両側の案内プーリ
８１によってプーリ７５にほぼＵ字状に取付けられてい
る。

【００３２】これに対してＺ軸２３を回転するためのス
プラインスリーブ７１にはプーリ８４が取付けられてい
る。そしてこのプーリ８４はベルト８５を介して中間プ
ーリ８６とエンドプレート５４に取付けられている固定
側のプーリ８７とに伝動されるようになっている。しか
もここでも図９および図１１に示すように、ベルト８５
は一対の案内プーリ８８によってＵ字状に屈曲されてプ
ーリ８４に巻付けられている。

【００３３】上記中間プーリ８６が取付けられている中
間軸８９にはさらにカウンタプーリ９０が取付けられる
とともに、このカウンタプーリ９０とモータ９１の出力
軸９２に固着されているプーリ９３との間にベルト９４
が巻掛けられている。

【００３４】従ってモータ７７を駆動すると、ベルト７
６を介してプーリ７５が駆動され、このプーリ７５が取
付けられているボールナット７０が回転駆動される。従
ってこのボールナット７０によってＺ軸２３が軸線方向
に移動される。

【００３５】これに対してモータ９１を駆動するとベル
ト９４を介してプーリ９０を取付けた中間軸８９が回転
駆動され、この中間軸８９に取付けられているプーリ８
６およびベルト８５を介してプーリ８４が駆動される。
従ってこのプーリ８４が取付けられているスプラインス
リーブ７１が回転される。従ってこのスプラインスリー
ブ７１と係合するＺ軸２３が回転するようになる。

【００３６】このように本実施の形態においては、とく
に図７および図１０に示すように、Ｙ軸ユニット２２の
スライダ５６にボールナット７０およびスプラインスリ
ーブ７１を介してＺ軸２３を取付るようにし、これらの
ボールナット７０とスプラインスリーブ７１とをそれぞ
れプーリ７５、８４によってタイミングベルト７６、８
５を介して回転駆動するようにしたものである。ここで
プーリ７５、８４の両側にそれぞれ案内プーリ８１、８
８を配し、固定側に配したモータ７７、９１および反対
側のプーリ８０、８７とをタイミングベルト７６、８５
で連結するようにしている。

【００３７】従ってモータ７７を駆動することによって
タイミングベルト７６で繋がれたボールナット７０が回
転され、これによってＺ軸２３が上下動するようにして
いる。またモータ９１を駆動することによって、ベルト
９４、８５を介してスプラインスリーブ７１を回転さ
せ、Ｚ軸２３を回転させるようにしている。

【００３８】スライダ５６が案内ロッド５５によってそ
の長さ方向、すなわち図６〜図８において左右の方向に
移動すると、モータ７７、９１が静止している場合に
は、プーリ７５、８４がそれぞれ回転され、これによっ
てＺ軸２３が上下動したり回転したりする。そこでスラ
イダ５６を駆動するためのモータ６５とＺ軸２３を上下
動させるモータ７７およびＺ軸２３を回転させるモータ
９１とを所定の関係で相関をもたせるような制御を行な
うことにより、Ｚ軸２３が正しく所定の動作を行なうよ
うにしている。

【００３９】このような構成によれば、モータ７７、９
１が固定側に配され、これによってＹ軸ユニット２２の
スライダ５６が軽量化される。従って同じパワーのモー
タ６５によってスライダ５６の加減速速度が大幅に速く
できるようになる。またスライダ５６のイナーシャが少
なくなるために、オーバーシュートが小さくなり、停止
精度が向上するとともに安定化する。またスライダ５６
が軽量化されるために、このスライダ５６を支持する案
内ロッド５５を小さくすることができる。また多軸スラ
イド５６全体を駆動する場合におけるスライド５６の先
端の振れを小さくすることが可能になる。

【００４０】またモータ７７、９１の動力線やこれらの
モータ７７、９１に設けられているエンコーダのケーブ
ルを移動するスライダ５６に設ける必要がなく、これに
よってコストの低減と配線の信頼性の向上を図ることが
可能になる。

【００４１】次にこのようなＹ軸ユニット２２を備える
３軸の直交ロボットを用いた組立て装置の例を説明す
る。図１２および図１３は最もシンプルな例を示してお
り、ここでは架台２０上にＸ軸ユニット２１を固定する
とともに、このＸ軸ユニット２１によってＹ軸ユニット
２２をＸ軸方向に移動可能に取付け、しかもこのＹ軸ユ
ニット２２上にＹ軸方向に移動可能なＺ軸２３を取付け
るようにしている。ここでＺ軸２３の取付けに上記の構
造が採用されている。ここでＺ軸２３の作動範囲が斜線
を施した領域になっており、ワーク９８上において組立
てが行なわれるようになっている。

【００４２】図１４および図１５はＸ軸ユニット２１上
に互いに平行に２本のＹ軸ユニット２２を取付けるよう
にしたものである。ここで両側のＹ軸ユニット２２は同
一の動作を行なうことになる。従ってワーク９８上にお
いて両側のＺ軸２３によってともに組立てを行なうこと
が可能になり、２倍の能力を発揮できるようになる。な
お両側のＹ軸ユニット２２を別々に制御して駆動を行な
うことにより、左右のＺ軸２３で別々の組立て動作を行
なうことが可能になる。

【００４３】次に図１６および図１７は最も基本的なマ
ウントマシンに適用したものであって、右側に配列され
ているパーツカセット２９からＺ軸２３によって部品を
吸着するとともに、このような部品を回路基板３２上の
所定の位置にマウントするようにしている。すなわちこ
こではＺ軸２３がチップ部品を取上げるチャックの機能
を果すようにしている。

【００４４】図１８および図１９は図１で説明したマウ
ントマシンとほぼ同じ構成であって、右側にパーツカセ
ット２９を配列するとともに、Ｙ軸ユニット２２によっ
て移動可能に取付けられているＺ軸２３によって一対の
搬送装置３１の内の一方の搬送装置３１上の回路基板３
２にチップ部品をマウントし、このときに反対側の搬送
装置３１によって回路基板３２の交換を行なうようにし
たものであって、タクトタイムの短縮化が図られるよう
になっている。

【００４５】図２０および図２１は架台２０の両側にそ
れぞれパーツカセット２９を配列させるとともに、中央
部に２列に搬送装置３１を配し、これらの搬送装置３１
によって回路基板３２を搬入している。そしてＺ軸２３
によって部品のマウントを終ると、再び搬送装置３１に
よって回路基板３２を排出するとともに、反対側の搬送
装置３１から供給された回路基板３２上に部品をマウン
トするようにしている。

【００４６】図２２および図２３に示す構成は、先の例
と同様に架台２０の両側にそれぞれパーツカセット２９
を配列するとともに、それらの間に搬送装置を構成する
コンベア３１を配し、このコンベア３１によって回路基
板の供給および排出を行なうようにしたものである。

【００４７】図２４および図２５に示す構成は、架台２
０の右側の部分にパーツカセット２９を配列し、これに
対して架台２０の左側の部分にはＩＣ供給トレー９９を
配するようにしたものである。搬送装置３１によって供
給される回路基板３２上には、左側のＺ軸２３によって
パーツカセット２９から取出された部品がマウントされ
る。またこの回路基板３２上には、左側のＺ軸２３によ
ってＩＣ供給トレー９９から取出されたＩＣがマウント
される。

【００４８】図２６および図２７に示す構成は、架台２
０の両側にそれぞれパーツカセット２９が配列されてい
る。そして右側のＺ軸２３によって右側のパーツカセッ
ト２９から例えばチップ部品が取出されるとともに、こ
のチップ部品が回路基板３２上にマウントされる。これ
に対して左側のＺ軸２３によって左側のパーツカセット
２９からＩＣが取出されるとともに、このＩＣが回路基
板３２上にマウントされるようになっている。

【００４９】図１６〜図２７に示したように、回路基板
３２上にチップ部品やＩＣをマウントするマウントマシ
ンのベースは、一般的な直交４軸ロボットとしての機能
を有しており、Ｚ軸２３の先端側のツーリングを変える
ことによって、小型産業用ロボットとしても活用され
る。また専用機のピックアンドプレースユニットとして
活用することも可能である。すなわち３軸ユニットと
し、今までカムやシリンダ等で駆動していた装置をこの
装置に置換えて活用することも可能である。

【００５０】

【発明の効果】本願の一発明は、案内手段によって移動
可能に支持されているスライダと、スライダ上において
該スライダの移動方法と直角な方向に移動可能に支持さ
れている移動軸と、案内手段を支持する固定側に設けら
れており、移動軸を駆動する駆動手段と、駆動手段と移
動軸とを伝動させる伝動手段と、を具備するようにした
ものである。

【００５１】従ってスライダ上には駆動手段が設けられ
ることがなく、これによってスライダの軽量化が図られ
るようになり、スライダの移動動作を迅速化するととも
に、停止精度を高精度にすることが可能になる。

【００５２】本願の別の発明は、移動可能なスライダ上
に移動可能でかつ回動可能な移動軸が設けられ、該移動
軸が固定側に配されている駆動手段によって移動および
回転が行なわれるようにしたものである。

【００５３】従って移動軸を移動しあるいはまた駆動す
るため駆動手段がスライダに設けられておらず、これに
よってスライダの軽量化を図ることが可能になり、スラ
イダの移動動作を高速化させるとともに、停止位置の高
精度化を図ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施の形態に係るスライドユニットを適用し
たマウントマシンの外観斜視図である。

【図２】Ｘ軸ユニットの縦断面図である。

【図３】同平面図である。

【図４】図２におけるＡ〜Ａ線断面矢視図である。

【図５】図２におけるＢ〜Ｂ線断面矢視図である。

【図６】Ｙユニットの側面図である。

【図７】Ｙ軸ユニットの縦断面図である。

【図８】Ｙ軸ユニットの平面図である。

【図９】Ｙ軸ユニットの要部底面図である。

【図１０】図６におけるＣ〜Ｃ線矢視図である。

【図１１】Ｚ軸の駆動機構を示す要部斜視図である。

【図１２】組立て装置の平面図である。

【図１３】同正面図である。

【図１４】別の組立て装置の平面図である。

【図１５】同正面図である。

【図１６】マウントマシンの平面図である。

【図１７】同正面図である。

【図１８】別のマウントマシンの平面図である。

【図１９】同正面図である。

【図２０】さらに別のマウントマシンの平面図である。

【図２１】同正面図である。

【図２２】さらに別のマウントマシンの平面図である。

【図２３】同正面図である。

【図２４】さらに別のマウントマシンの平面図である。

【図２５】同正面図である。

【図２６】さらに別のマウントマシンの平面図である。

【図２７】同正面図である。

【図２８】従来のＺ軸の駆動機構を示す要部斜視図であ
る。

【図２９】同一部を破断した側面図である。

【符号の説明】

１‥‥スライダ、２‥‥案内ロッド、３‥‥Ｚ軸、４‥
‥ボールナット、５‥‥スプラインスリーブ、６‥‥プ
ーリ、７‥‥ベルト、８‥‥モータ、９‥‥プーリ、１
０‥‥プーリ、１１‥‥ベルト、１２‥‥モータ、１３
‥‥プーリ、２０‥‥架台、２１‥‥Ｘ軸ユニット、２
２‥‥Ｙ軸ユニット、２３‥‥Ｚ軸、２４‥‥吸着ヘッ
ド、２８‥‥取付け台、２９‥‥パーツカセット、３０
‥‥リール、３１‥‥搬送装置、３２‥‥回路基板、３
６‥‥フレーム、３７‥‥ベアリング、３８‥‥ボール
ねじ、３９‥‥プーリ、４０‥‥ベルト、４１‥‥モー
タ、４２‥‥出力軸、４３‥‥プーリ、４７‥‥ボール
ナット、４８‥‥移動台、４９‥‥案内レール、５３‥
‥フレーム、５４‥‥エンドプレート、５５‥‥案内ロ
ッド、５６‥‥スライダ、６０‥‥ボールねじ、６１、
６２‥‥ベアリング、６３‥‥ボールナット、６４‥‥
カップリング、６５‥‥モータ、６６‥‥出力軸、７０
‥‥ボールナット、７１‥‥スプラインスリーブ、７５
‥‥プーリ、７６‥‥ベルト、７７‥‥モータ、７８‥
‥出力軸、７９‥‥プーリ、８０‥‥プーリ（固定
側）、８１‥‥案内プーリ、８４‥‥プーリ、８５‥‥
ベルト、８６‥‥中間プーリ、８７‥‥プーリ（固定
側）、８８‥‥案内プーリ、８９‥‥中間軸、９０‥‥
カウンタプーリ、９１‥‥モータ、９２‥‥出力軸、９
３‥‥プーリ、９４‥‥ベルト、９８‥‥ワーク、９９
‥‥ＩＣ供給トレー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C030 AA03 AA08 AA11 BC02 BC15 DA24 5E313 AA01 AA11 AA15 CC03 DD01 DD06 DD34 EE01 EE24 FF03

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】案内手段によって移動可能に支持されてい
   るスライダと、 前記スライダ上において該スライダの移動方法と直角な
   方向に移動可能に支持されている移動軸と、 前記案内手段を支持する固定側に設けられており、前記
   移動軸を駆動する駆動手段と、 前記駆動手段と前記移動軸とを伝動させる伝動手段と、 を具備するスライドユニット。
2. 【請求項２】前記案内手段によって前記スライダが水平
   方向に移動可能に支持されるとともに、前記移動軸が垂
   直方向に移動可能であることを特徴とする請求項１に記
   載のスライドユニット。
3. 【請求項３】前記移動軸がねじから成り、前記スライダ
   上のナットに螺合されるとともに、前記駆動手段によっ
   て前記伝動手段を介して前記ナットが回転されると前記
   移動軸が軸線方向に移動することを特徴とする請求項１
   に記載のスライドユニット。
4. 【請求項４】前記駆動手段がモータから構成されるとと
   もに、前記伝動手段がベルトから構成され、前記モータ
   によって前記ベルトを介して前記ナットが回転駆動され
   ることを特徴とする請求項３に記載のスライドユニッ
   ト。
5. 【請求項５】移動可能なスライダ上に移動可能でかつ回
   動可能な移動軸が設けられ、該移動軸が固定側に配され
   ている駆動手段によって移動および回転が行なわれるこ
   とを特徴とするスライドユニット。
6. 【請求項６】前記移動軸にねじとスプラインとが設けら
   れるとともに、前記ねじがナットに螺合され、前記スプ
   ラインがスプラインスリーブに係合され、駆動手段によ
   って前記ナットが回転されると前記移動軸が軸線方向に
   移動され、駆動手段によって前記スプラインスリーブが
   回転されると前記移動軸が回転されることを特徴とする
   請求項５に記載のスライドユニット。
7. 【請求項７】前記ナットと前記スプラインスリーブとが
   前記スライダ上に同軸状に取付けられていることを特徴
   とする請求項６に記載のスライドユニット。
8. 【請求項８】駆動手段に取付けられているプーリと反対
   側の固定側のプーリとの間において案内プーリにより前
   記ナットのプーリまたは前記スプラインスリーブのプー
   リにベルトが巻付けられており、該ベルトを介して駆動
   手段によって前記ナットまたは前記スプラインスリーブ
   が回転駆動されることを特徴とする請求項６に記載のス
   ライドユニット。