JP2000093908A - 洗浄槽の投げ込み式ヒーター、及びこれを具備する洗浄槽 - Google Patents
洗浄槽の投げ込み式ヒーター、及びこれを具備する洗浄槽Info
- Publication number
- JP2000093908A JP2000093908A JP10272114A JP27211498A JP2000093908A JP 2000093908 A JP2000093908 A JP 2000093908A JP 10272114 A JP10272114 A JP 10272114A JP 27211498 A JP27211498 A JP 27211498A JP 2000093908 A JP2000093908 A JP 2000093908A
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- cleaning tank
- quartz tube
- silica tube
- pinhole
- heater
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- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】洗浄槽の投げ込み式ヒーターにおいて、石英管
内を加圧しその加圧状態をモニターすることによって、
低コスト、省スペースにて石英管の破損やピンホールに
よる洗浄液の石英管内への流入防止及び石英管破損やピ
ンホールを容易に認識し得ることが出来、石英管が破損
したりピンホールが生じても、、洗浄槽を金属汚染させ
ないという効果がある。 【解決手段】投げ込み式ヒーターにおいて、石英管３２
内は窒素３７により管を破損させない最適圧に加圧す
る。そしてその石英管内の加圧状態を圧力計３６にてモ
ニターする。 【効果】洗浄槽の投げ込み式ヒーターの石英管が万が
一、破損やピンホールが生じても洗浄液の石英管内への
流入防止出来、石英管破損やピンホールを容易に認識し
得ることが出来る。その結果、洗浄槽を金属汚染させな
いという効果がある。
内を加圧しその加圧状態をモニターすることによって、
低コスト、省スペースにて石英管の破損やピンホールに
よる洗浄液の石英管内への流入防止及び石英管破損やピ
ンホールを容易に認識し得ることが出来、石英管が破損
したりピンホールが生じても、、洗浄槽を金属汚染させ
ないという効果がある。 【解決手段】投げ込み式ヒーターにおいて、石英管３２
内は窒素３７により管を破損させない最適圧に加圧す
る。そしてその石英管内の加圧状態を圧力計３６にてモ
ニターする。 【効果】洗浄槽の投げ込み式ヒーターの石英管が万が
一、破損やピンホールが生じても洗浄液の石英管内への
流入防止出来、石英管破損やピンホールを容易に認識し
得ることが出来る。その結果、洗浄槽を金属汚染させな
いという効果がある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄槽の投げ込み
式ヒーターに関し、更にこの投げ込み式ヒーターを具備
する洗浄槽に関する。
式ヒーターに関し、更にこの投げ込み式ヒーターを具備
する洗浄槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】洗浄槽中の洗浄液を加熱する必要が有る
場合、洗浄液を投げ込み式ヒーターによって加熱するの
が一般的である。図１は投げ込み式ヒーターを用いた洗
浄槽の概略図であり、図１において１１は処理槽、１２
は投げ込み式ヒーター、１３は洗浄液である。図２にお
いて投げ込み式ヒーターの概略図を示すが２１はヒータ
ー線、２２は石英管、２３は石英管シール部である。
場合、洗浄液を投げ込み式ヒーターによって加熱するの
が一般的である。図１は投げ込み式ヒーターを用いた洗
浄槽の概略図であり、図１において１１は処理槽、１２
は投げ込み式ヒーター、１３は洗浄液である。図２にお
いて投げ込み式ヒーターの概略図を示すが２１はヒータ
ー線、２２は石英管、２３は石英管シール部である。
【０００３】従来の洗浄槽の投げ込み式ヒーター（以下
ヒーター）は図１のように石英管の中にヒーター線があ
るので万が一、石英管が破損もしくはピンホールが生じ
た場合、石英管内に洗浄液が流入して洗浄液中にヒータ
ー線の金属が溶出するのを防ぐ目的として公開実用平２
−２８３１号公報、特開平７−１０６０５３号公報に記
載されている通り石英管を２重にしヒーター線を内管内
に収め内管と外管にはさまれた空間を減圧にし、更に前
者はその空間に不活性ガスを封入し温度センサで検知す
るものであり後者はその空間に流れてきた洗浄液をレー
ザセンサで検知していた。
ヒーター）は図１のように石英管の中にヒーター線があ
るので万が一、石英管が破損もしくはピンホールが生じ
た場合、石英管内に洗浄液が流入して洗浄液中にヒータ
ー線の金属が溶出するのを防ぐ目的として公開実用平２
−２８３１号公報、特開平７−１０６０５３号公報に記
載されている通り石英管を２重にしヒーター線を内管内
に収め内管と外管にはさまれた空間を減圧にし、更に前
者はその空間に不活性ガスを封入し温度センサで検知す
るものであり後者はその空間に流れてきた洗浄液をレー
ザセンサで検知していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のヒーターにおいては石英管を２重にし、かつ内管と
外管の間の空間を減圧にするための減圧ポンプが必要で
あり、更に不活性ガスを封入しその温度をモニターする
場合は温度センサが必要であったり、空間に流れてきた
洗浄液検知する場合はレーザセンサが必要であったりと
ヒーターにかかるコストが増大してしまう。また石英管
を２重管にすることで処理槽は大型化しそれに伴い使用
する洗浄液の使用量も多くなる。そしてこれらを具備す
る洗浄槽から構成される洗浄装置にあっては洗浄装置が
大型化してしまうといった問題点を有していた。
来のヒーターにおいては石英管を２重にし、かつ内管と
外管の間の空間を減圧にするための減圧ポンプが必要で
あり、更に不活性ガスを封入しその温度をモニターする
場合は温度センサが必要であったり、空間に流れてきた
洗浄液検知する場合はレーザセンサが必要であったりと
ヒーターにかかるコストが増大してしまう。また石英管
を２重管にすることで処理槽は大型化しそれに伴い使用
する洗浄液の使用量も多くなる。そしてこれらを具備す
る洗浄槽から構成される洗浄装置にあっては洗浄装置が
大型化してしまうといった問題点を有していた。
【０００５】そこで、本発明は、ヒーターの石英管内を
加圧しその加圧状態をモニターするだけで、石英管の破
損やピンホールによる洗浄液の石英管内への流入を防止
し、かつ石英管の破損やピンホールを容易に認識し得る
ことが出来るため、前記問題点を解消したヒーターを提
供することを目的とする。
加圧しその加圧状態をモニターするだけで、石英管の破
損やピンホールによる洗浄液の石英管内への流入を防止
し、かつ石英管の破損やピンホールを容易に認識し得る
ことが出来るため、前記問題点を解消したヒーターを提
供することを目的とする。
【０００６】また、本発明は、ヒーターの石英管内を加
圧しその加圧状態をモニターするだけで、石英管の破損
やピンホールによる洗浄液の石英管内への流入を防止
し、かつ石英管の破損やピンホールを容易に認識し得る
ことが出来るため、前記問題点を解消した洗浄槽を提供
することを目的とする。
圧しその加圧状態をモニターするだけで、石英管の破損
やピンホールによる洗浄液の石英管内への流入を防止
し、かつ石英管の破損やピンホールを容易に認識し得る
ことが出来るため、前記問題点を解消した洗浄槽を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
洗浄槽の投げ込み式ヒーターは、投げ込み式ヒーターを
有する洗浄槽において石英管の破損やピンホールによる
洗浄液の石英管内への流入防止及びヒーター破損やピン
ホールを容易に認識し得ることを目的として石英管内を
加圧しその加圧状態をモニターすることを特徴とする。
洗浄槽の投げ込み式ヒーターは、投げ込み式ヒーターを
有する洗浄槽において石英管の破損やピンホールによる
洗浄液の石英管内への流入防止及びヒーター破損やピン
ホールを容易に認識し得ることを目的として石英管内を
加圧しその加圧状態をモニターすることを特徴とする。
【０００８】この発明によれば、石英管内を加圧するこ
とにより、低コスト、省スペースにて石英管が破損した
りピンホールが生じても、石英管内が加圧されているた
め洗浄液が石英管内に流入することを防ぎ、更にその加
圧状態をモニターすることで石英管の破損やピンホール
を容易に認識し得ることが出来るという効果を奏する。
とにより、低コスト、省スペースにて石英管が破損した
りピンホールが生じても、石英管内が加圧されているた
め洗浄液が石英管内に流入することを防ぎ、更にその加
圧状態をモニターすることで石英管の破損やピンホール
を容易に認識し得ることが出来るという効果を奏する。
【０００９】本発明の請求項２記載の洗浄槽は、請求項
１記載の投げ込み式ヒーターを利用したことを特徴とす
る。
１記載の投げ込み式ヒーターを利用したことを特徴とす
る。
【００１０】この発明によれば、石英管内を加圧するヒ
ーターを用いることにより、低コスト、省スペースに
て、石英管が破損したりピンホールが生じても、石英管
内が加圧されているため洗浄液が石英管内に流入するこ
とを防ぎ、洗浄槽を金属汚染させず、更にその加圧状態
をモニターすることで石英管の破損やピンホールを容易
に認識し得ることが出来るという効果を奏する。
ーターを用いることにより、低コスト、省スペースに
て、石英管が破損したりピンホールが生じても、石英管
内が加圧されているため洗浄液が石英管内に流入するこ
とを防ぎ、洗浄槽を金属汚染させず、更にその加圧状態
をモニターすることで石英管の破損やピンホールを容易
に認識し得ることが出来るという効果を奏する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１２】図３は、請求項１記載の発明に係わる投げ
込み式ヒーターを持つ洗浄槽を示す。洗浄槽３１内にあ
る洗浄液３３は、石英管３２内にあるヒーター線３４に
より温められ洗浄液３３を所定の温度に加熱する。なお
石英管内は窒素３７により管を破損させない最適圧に加
圧されている。そしてその石英管内の加圧状態を圧力計
３６にてモニターしている。
込み式ヒーターを持つ洗浄槽を示す。洗浄槽３１内にあ
る洗浄液３３は、石英管３２内にあるヒーター線３４に
より温められ洗浄液３３を所定の温度に加熱する。なお
石英管内は窒素３７により管を破損させない最適圧に加
圧されている。そしてその石英管内の加圧状態を圧力計
３６にてモニターしている。
【００１３】万が一、石英管に破損やピンホールが生じ
た場合は、窒素により石英管内は加圧されているため石
英管内には洗浄液が流入せず、破損箇所やピンホール箇
所から窒素が洗浄液中に放出されるため、石英管に破損
やピンホールが生じてもヒーター線の金属成分が洗浄液
に溶出しないという効果を奏する。なお、図３では石英
管内を加圧しているガス種として窒素を使用している。
これは、気体が石英管破損，ピンホール発生個所から洗
浄液中に放出する際、気体から洗浄液への汚染を考慮し
ているわけであるがアルゴンその他洗浄液を汚染しない
気体を用いても問題はない。なお、空気中の水分や有機
物等の汚染が気にならない洗浄槽においては圧力空気で
も構わない。
た場合は、窒素により石英管内は加圧されているため石
英管内には洗浄液が流入せず、破損箇所やピンホール箇
所から窒素が洗浄液中に放出されるため、石英管に破損
やピンホールが生じてもヒーター線の金属成分が洗浄液
に溶出しないという効果を奏する。なお、図３では石英
管内を加圧しているガス種として窒素を使用している。
これは、気体が石英管破損，ピンホール発生個所から洗
浄液中に放出する際、気体から洗浄液への汚染を考慮し
ているわけであるがアルゴンその他洗浄液を汚染しない
気体を用いても問題はない。なお、空気中の水分や有機
物等の汚染が気にならない洗浄槽においては圧力空気で
も構わない。
【００１４】そして石英管に破損やピンホールが生じ、
破損箇所やピンホール箇所から窒素が洗浄液中に放出さ
れるとヒーター管内の圧力が変動するため圧力計３６を
設けることにより圧力値の変動から石英管に破損，ピン
ホールの石英管異常を検知する事が出来る。
破損箇所やピンホール箇所から窒素が洗浄液中に放出さ
れるとヒーター管内の圧力が変動するため圧力計３６を
設けることにより圧力値の変動から石英管に破損，ピン
ホールの石英管異常を検知する事が出来る。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明の洗浄槽の投げ
込み式ヒーターによれば、石英管内を加圧し、その加圧
状態をモニターすることにより、低コスト、省スペース
にて石英管の破損やピンホールによる洗浄液の石英管内
への流入防止及び石英管破損やピンホールを容易に認識
し得ることが出来る。
込み式ヒーターによれば、石英管内を加圧し、その加圧
状態をモニターすることにより、低コスト、省スペース
にて石英管の破損やピンホールによる洗浄液の石英管内
への流入防止及び石英管破損やピンホールを容易に認識
し得ることが出来る。
【図１】投げ込み式ヒーターを用いた洗浄槽の概略図で
ある。
ある。
【図２】投げ込み式ヒーターの概略図である。
【図３】本発明の石英管内を加圧する投げ込み式ヒータ
ーを持ちその加圧状態をモニターする洗浄槽の一実施の
形態を示す図である。
ーを持ちその加圧状態をモニターする洗浄槽の一実施の
形態を示す図である。
１１．処理槽 １２．投げ込み式ヒーター １３．洗浄液 ２１．ヒーター線 ２２．石英管 ２３．石英管シール部 ３１．処理槽 ３２．石英管 ３３．洗浄液 ３４．ヒーター線 ３５．窒素ガスと石英管接続部 ３６．圧力計 ３７．窒素供給源 ３８．ガス供給チューブ ３９．圧力計接続チューブ
Claims (2)
- 【請求項１】投げ込み式ヒーターを有する洗浄槽におい
て、ヒーター石英管内を加圧しその加圧状態をモニター
することを特徴とする洗浄槽の投げ込み式ヒーター。 - 【請求項２】請求項１記載の投げ込み式ヒーターを利用
したことを特徴とする洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10272114A JP2000093908A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | 洗浄槽の投げ込み式ヒーター、及びこれを具備する洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10272114A JP2000093908A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | 洗浄槽の投げ込み式ヒーター、及びこれを具備する洗浄槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000093908A true JP2000093908A (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17509290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10272114A Withdrawn JP2000093908A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | 洗浄槽の投げ込み式ヒーター、及びこれを具備する洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000093908A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107398454A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-11-28 | 中山市美科美五金电器有限公司 | 一种预防发热管电气击穿的清洗工艺 |
-
1998
- 1998-09-25 JP JP10272114A patent/JP2000093908A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107398454A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-11-28 | 中山市美科美五金电器有限公司 | 一种预防发热管电气击穿的清洗工艺 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050201 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050309 |