JP2000091846A5 - - Google Patents
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Description
【0017】
線路基板10は、図2の(a),(b)に示すように、半絶縁性又は絶縁性(例えば、比抵抗が106Ωcm程度以上で、熱伝導率が140W/mK程度以上のAlN、SiC、ダイアモンド等)の平板基板11の上面に、信号線路12、その信号線路12に直流バイアスを印加するチョーク部13、その信号線路12の端部に連続させた信号電極14、その信号電極14を挟むように配置した一対の表面接地電極15が形成され、裏面には接地電極16が形成され、表面接地電極15は接地電極16に対してヴィアホール17により接続されている。この線路基板10は、その信号線路12の裏面に接地電極がなく、サスペンディド線路を形成している。
線路基板10は、図2の(a),(b)に示すように、半絶縁性又は絶縁性(例えば、比抵抗が106Ωcm程度以上で、熱伝導率が140W/mK程度以上のAlN、SiC、ダイアモンド等)の平板基板11の上面に、信号線路12、その信号線路12に直流バイアスを印加するチョーク部13、その信号線路12の端部に連続させた信号電極14、その信号電極14を挟むように配置した一対の表面接地電極15が形成され、裏面には接地電極16が形成され、表面接地電極15は接地電極16に対してヴィアホール17により接続されている。この線路基板10は、その信号線路12の裏面に接地電極がなく、サスペンディド線路を形成している。
【0019】
一例として、半導体基板21は不純物濃度が1〜2×1018atom/cm 3 のn型ガリウム砒素からなり、第1のコンタクト層22は不純物濃度が2×1018atom/cm 3 で厚さ1.5μmのn型ガリウム砒素からなり、活性層23は不純物濃度が1.2×1016atom/cm 3 で厚さ1.6μmのn型ガリウム砒素からなり、第2のコンタクト層24は不純物濃度が1×1018atom/cm 3 で厚さ0.3μmのn型ガリウム砒素からなる。ガリウム砒素に代えてインジウムリン等の他の化合物半導体を使用することもできる。
一例として、半導体基板21は不純物濃度が1〜2×1018atom/cm 3 のn型ガリウム砒素からなり、第1のコンタクト層22は不純物濃度が2×1018atom/cm 3 で厚さ1.5μmのn型ガリウム砒素からなり、活性層23は不純物濃度が1.2×1016atom/cm 3 で厚さ1.6μmのn型ガリウム砒素からなり、第2のコンタクト層24は不純物濃度が1×1018atom/cm 3 で厚さ0.3μmのn型ガリウム砒素からなる。ガリウム砒素に代えてインジウムリン等の他の化合物半導体を使用することもできる。
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EP03025203.5A EP1388901B1 (en) | 1998-04-28 | 1999-04-27 | Structure for assembly of a Gunn diode |
DE69934933T DE69934933T2 (de) | 1998-04-28 | 1999-04-27 | Gunndiode, NRD Leitungsschaltung und Verfahren zur Herstellung |
EP03025204.3A EP1388931B1 (en) | 1998-04-28 | 1999-04-27 | NRD guide Gunn oscillator |
EP03025205.0A EP1388902B1 (en) | 1998-04-28 | 1999-04-27 | Fabricating method of Gunn diode |
CNB2004100016222A CN1278398C (zh) | 1998-04-28 | 1999-04-28 | 耿氏二极管制造方法以及耿氏振荡器 |
CNB991053869A CN100364111C (zh) | 1998-04-28 | 1999-04-28 | 耿氏二极管及其安装结构 |
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US09/541,097 US6514832B1 (en) | 1998-04-28 | 2000-03-31 | Gunn diode, NRD guide Gunn oscillator, fabricating method of Gunn diode and structure for assembly of the same |
US09/540,041 US6426511B1 (en) | 1998-04-28 | 2000-03-31 | Gunn diode, NRD guide gunn oscillator, fabricating method of gunn diode and structure for assembly of the same |
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1998
- 1998-09-11 JP JP25900598A patent/JP3899193B2/ja not_active Expired - Lifetime
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